JP2006344773A - 半導体装置及びその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】 占有面積を抑えた簡便な形態でプラズマ処理に伴うチャージングを抑える半導体装置及びその製造方法を提供する。
【解決手段】 層間の絶縁層17はMOSFET Q1を覆い、所定部が貫通されホール18t,18dが形成されている。ホール18tは、配線用ホールで、配線プラグ部材19tが埋め込まれ、下端部はゲート電極14に接続されている。配線パターン21は、配線プラグ部材19tの上端部と接続されている。ホール18dは、ダミー用ホールで、埋め込まれたダミープラグ部材19dは、その下端部が半導体基板10の基板コンタクト領域12に接続されている。配線パターン21形成のために配線層M1(破線)をドライエッチングしている最中において、ダミープラグ部材19dは、プラズマチャージを放電させる経路となる。
【選択図】 図1
【解決手段】 層間の絶縁層17はMOSFET Q1を覆い、所定部が貫通されホール18t,18dが形成されている。ホール18tは、配線用ホールで、配線プラグ部材19tが埋め込まれ、下端部はゲート電極14に接続されている。配線パターン21は、配線プラグ部材19tの上端部と接続されている。ホール18dは、ダミー用ホールで、埋め込まれたダミープラグ部材19dは、その下端部が半導体基板10の基板コンタクト領域12に接続されている。配線パターン21形成のために配線層M1(破線)をドライエッチングしている最中において、ダミープラグ部材19dは、プラズマチャージを放電させる経路となる。
【選択図】 図1
Description
本発明は、半導体装置製造時のウェハプロセスにおいて、プラズマ処理によって発生するチャージングの影響から素子部を保護するダミーパターンを有する半導体装置及びその製造方法に関する。
ウェハプロセスでは、真空中のプラズマ放電現象を利用したCVD(化学気相成長)、スパッタリング、エッチング、アッシング等の工程が不可欠である。このようなプラズマプロセス中に、トランジスタ素子にはチャージダメージが入り、特性の劣化が引き起こされる。すなわち、ゲート電極等に電荷が蓄積されることにより、薄いゲート絶縁膜に静電気的ストレスが生じ、ゲート絶縁膜の耐圧劣化を招く。
従来、素子のチャージダメージを緩和させる対策として次のような技術が知られている。プラズマチャージを捕集することを目的として、複数のダミー配線パターンを設ける。すなわち、チャージングをダミー配線パターンにより分散させて、ゲート絶縁膜へのダメージを軽減する(例えば、特許文献1参照)。
特開平10−154808号公報(3頁、図1)
上記プラズマチャージを捕集するためのダミー配線パターンは、捕集効果を高めるための物理的な構造として、ある一定の大きさを有することが重要である。ダミー配線パターンに関係する表面積や周辺長の多寡に応じて捕集可能なチャージ量が決まってくるからである。つまり、素子の劣化を抑制する効果は、ダミー配線パターンの占有面積に比例すると考えられていた。従って、これらのダミー配線パターンを半導体集積回路内に多く取り込めばよい。しかしながら、半導体集積回路の微細化の進展に伴い、ダミー配線パターンを形成する部分の面積は制限される傾向にある。ダミー配線パターンの占有面積が不十分な場合、プラズマチャージ捕集効果が期待できないことが考えられる。つまり、ダミー配線パターンのサイズを大きくしなければ、特性劣化を招く素子が多くなるという懸念があった。
本発明は上記のような事情を考慮してなされたもので、占有面積を抑えた簡便な形態でプラズマ処理に伴うチャージダメージを抑える半導体装置及びその製造方法を提供しようとするものである。
本発明に係る半導体装置は、半導体基板上に設けられた複数の素子と、前記素子に関係する配線パターンを有する配線層と、前記素子または前記配線パターンを覆う前記配線層間の絶縁層と、前記絶縁層を貫通し、前記素子と前記配線パターンの各接続部分を結ぶ配線プラグ部材と、最上端部が実質電気的にオープンで最下端部が前記半導体基板へ電荷を逃がすノードに接続されたダミープラグ部材と、を具備する。
上記本発明に係る半導体装置によれば、ダミープラグ部材は、その最下端部が半導体基板へ電荷を逃がすノードに接続されている。配線層において配線パターンを形成するエッチング加工ではプラズマを伴う。このエッチング加工では、配線層はエッチングで失われる直前まで連続しており、ダミープラグ部材に電気的に接続される。このエッチングで失われる配線層をアンテナにすることでプラズマチャージを捕集する。配線パターン形成後は、チャージ捕集用のアンテナ構造は見かけ上無くすることもできる。従って、実質的な回路集積への影響は極めて少ないものとなる。
上記本発明に係る半導体装置において、次のいずれかの特徴を有することにより、プラズマチャージ捕集性能の向上、よりいっそう集積性に富むと共に信頼性ある半導体集積回路構成が期待できる。
前記ダミープラグ部材は、前記配線パターンのうち隣り合う配線パターン間においてその下方の前記絶縁層を貫通して設けられることを特徴とする。
前記ダミープラグ部材は、前記配線プラグ部材の一つと同じ工程で形成される埋め込み金属で構成されていることを特徴とする。
前記ダミープラグ部材は、前記配線層のパターンを挟んで2個以上ストレートビア状に接続されていることを特徴とする。
前記素子は、絶縁ゲート型の素子を含むことを特徴とする。
前記素子はMOSFETを含み、前記配線プラグ部材の一つが前記MOSFETのゲート電極との接続を有することを特徴とする。
前記ダミープラグ部材の最上端部は、前記絶縁層と接触していることを特徴とする。
前記ダミープラグ部材の最下端部は、前記半導体基板に設けられた不純物拡散層と接触していることを特徴とする。
前記ダミープラグ部材は、前記配線パターンのうち隣り合う配線パターン間においてその下方の前記絶縁層を貫通して設けられることを特徴とする。
前記ダミープラグ部材は、前記配線プラグ部材の一つと同じ工程で形成される埋め込み金属で構成されていることを特徴とする。
前記ダミープラグ部材は、前記配線層のパターンを挟んで2個以上ストレートビア状に接続されていることを特徴とする。
前記素子は、絶縁ゲート型の素子を含むことを特徴とする。
前記素子はMOSFETを含み、前記配線プラグ部材の一つが前記MOSFETのゲート電極との接続を有することを特徴とする。
前記ダミープラグ部材の最上端部は、前記絶縁層と接触していることを特徴とする。
前記ダミープラグ部材の最下端部は、前記半導体基板に設けられた不純物拡散層と接触していることを特徴とする。
本発明に係るより好ましい半導体装置は、半導体基板上の分離用絶縁膜と、前記分離用絶縁膜に囲まれた前記半導体基板上にゲート絶縁膜を介して形成されたゲート電極と、前記ゲート電極を隔てて両側の前記半導体基板表面に形成されたソース/ドレイン領域と、前記ゲート電極及び前記ソース/ドレイン領域上を覆う絶縁層と、前記絶縁層を貫通し、前記ゲート電極に接続される配線プラグ部材と、前記絶縁層上に設けられる配線層で、前記配線プラグ部材と接続される配線パターンと、前記配線パターン上を覆う次層の絶縁層と、前記配線パターン近傍下方の前記絶縁層を貫通し、最上端部が実質電気的にオープンで、最下端部が前記半導体基板へ電荷を逃がすノードに接続されたダミープラグ部材と、
を具備する。
を具備する。
上記本発明に係る半導体装置によれば、ダミープラグ部材は、その最下端部が半導体基板へ電荷を逃がすノードに接続されている。ゲート絶縁膜につながる配線層において配線パターンを形成するエッチング加工ではプラズマを伴う。このエッチング加工では、配線層はエッチングで失われる直前まで連続しており、ダミープラグ部材に電気的に接続される。このエッチングで失われる配線層をアンテナにすることでプラズマチャージを捕集し、ゲート絶縁膜へのダメージを軽減する。配線パターン形成後は、チャージ捕集用のアンテナ構造は見かけ上無くすることもできる。従って、実質的な回路集積への影響は極めて少ないものとなる。
上記本発明に係る半導体装置において、次のいずれかの特徴を有することにより、プラズマチャージ捕集性能の向上、よりいっそう集積性に富むと共に信頼性ある半導体集積回路構成が期待できる。
前記配線パターンは、隣り合う配線パターンとの間が0.3μm以下の領域があり、前記ダミープラグ部材は、前記隣り合う配線パターン間においてその下方に設けられることを特徴とする。
前記ダミープラグ部材は、その最上端部が前記次層の絶縁層で覆われていることを特徴とする。
前記ダミープラグ部材と前記配線プラグ部材は、タングステンを含む埋め込み金属で構成されていることを特徴とする。
前記ダミープラグ部材は、前記配線層のパターンを挟んで2個以上ストレートビア状に接続されていることを特徴とする。
前記配線パターンは、隣り合う配線パターンとの間が0.3μm以下の領域があり、前記ダミープラグ部材は、前記隣り合う配線パターン間においてその下方に設けられることを特徴とする。
前記ダミープラグ部材は、その最上端部が前記次層の絶縁層で覆われていることを特徴とする。
前記ダミープラグ部材と前記配線プラグ部材は、タングステンを含む埋め込み金属で構成されていることを特徴とする。
前記ダミープラグ部材は、前記配線層のパターンを挟んで2個以上ストレートビア状に接続されていることを特徴とする。
本発明に係る半導体装置の製造方法は、半導体基板上に複数の素子を形成する工程と、前記素子上を覆う絶縁層を形成する工程と、前記絶縁層を選択的に貫通し、前記素子に関係する接続部分を露出させる配線用ホール及び前記半導体基板への放電経路を確保するためのダミー用ホールを形成する工程と、前記配線用ホール及びダミー用ホールに金属を埋め込み、それぞれ配線プラグ部材及びダミープラグ部材を形成する工程と、配線プラグ部材及びダミープラグ部材上を含んで前記絶縁層上に配線部材を形成する工程と、前記配線部材上にエッチングマスクを形成する工程と、前記エッチングマスクに従って前記配線部材を、前記ダミープラグ部材への接触を保ちながらドライエッチングし、前記ダミープラグ部材への接触を断って前記配線プラグ部材に接続部分を有する配線パターンを形成する工程と、を含む。
上記本発明に係る半導体装置の製造方法によれば、ダミー用ホールの形成及びダミープラグ部材の形成により、半導体基板へ電荷を逃がす放電経路が確保される。配線パターンを形成する際における配線部材のドライエッチングではプラズマを伴う。配線部材のドライエッチング中、ダミープラグ部材によって半導体基板への放電経路が保たれる。すなわち、配線部材はエッチングで失われる直前まで連続しており、ゲート電極に接続される配線パターンのチャージもダミープラグ部材を介して放電されている。つまり、エッチングで失われる配線部材をチャージ捕集用のアンテナにすることでゲート絶縁膜へのプラズマチャージの影響を軽減する。配線パターン形成後は、チャージ捕集用のアンテナ構造は見かけ上無くすることもできる。従って、実質的な回路集積への影響は極めて少ないものとなる。
なお、上記本発明に係る半導体装置の製造方法において、次のいずれかの特徴を有することにより、プラズマチャージ捕集性能の向上、よりいっそう集積性に富むと共に信頼性ある半導体集積回路構成が期待できる。
前記ダミープラグ部材上の前記配線部材は、前記ドライエッチングにより最終的に除去されることを特徴とする。
前記配線部材上を覆う次層の絶縁層を前記ダミープラグ部材の放電経路とのつながりを持ったまま形成する工程をさらに含むことを特徴とする。
前記ダミープラグ部材上の前記配線部材は、さらに上層のダミープラグ部材形成時の放電経路接続部として残し、最終的に放電経路を保持しているダミープラグ部材の最上端部は次層の絶縁層で覆われるようにすることを特徴とする。
前記ダミープラグ部材上の前記配線部材は、前記ドライエッチングにより最終的に除去されることを特徴とする。
前記配線部材上を覆う次層の絶縁層を前記ダミープラグ部材の放電経路とのつながりを持ったまま形成する工程をさらに含むことを特徴とする。
前記ダミープラグ部材上の前記配線部材は、さらに上層のダミープラグ部材形成時の放電経路接続部として残し、最終的に放電経路を保持しているダミープラグ部材の最上端部は次層の絶縁層で覆われるようにすることを特徴とする。
図1は、本発明の第1実施形態に係る半導体装置の要部を示す断面図である。一導電型の半導体基板10上に素子分離絶縁膜11が形成され、複数の素子が形成されているが、ここではそのうちの一素子であるMOSFET Q1を示す。ここで示す半導体基板10は、半導体基板10と同じ導電型または逆導電型のウェル領域であることも考えられる。素子分離絶縁膜11は、例えばSTI(shallow trench isolation)技術を用いて形成されたトレンチ素子分離膜である。MOSFET Q1は、薄い酸化膜であるゲート絶縁膜13を介してゲート電極14が形成され、サイドウォール15が形成されている。ゲート電極14を隔てて両側の半導体基板10表面には、この断面では示されないソース/ドレイン領域(破線16)が形成されている。なお、図示しないが、MOSFET Q1は、サリサイドプロセスを経て、ゲート電極14及びソース/ドレイン領域の上部がシリサイド化されていてもよい。
層間の絶縁層17はMOSFET Q1を覆い、所定部が貫通されホール18t,18dが形成されている。ホール18tは、配線用ホールである。配線プラグ部材19tは、ホール18t内を埋め込み、下端部はゲート電極14に接続されている。複数の配線パターン21の一つは、配線プラグ部材19tの上端部と接続されている。配線パターン21は、絶縁層17上の配線層M1(破線)を、プラズマの伴うドライエッチングでパターニングしたものである。
ホール18dは、ダミー用ホールとして設けられている。ダミープラグ部材19dは、ホール19d内を埋め込み、下端部は半導体基板10の基板コンタクト領域12に接続されている。基板コンタクト領域12は、半導体基板10と逆導電型の不純物拡散領域を有する。ダミープラグ部材19dは、半導体基板10にダイオード接続されている。なお、基板コンタクト領域12は、基板と導通が取れていればよく、半導体基板10と逆導電型の不純物拡散領域の他、半導体基板10と同一導電型の不純物拡散領域としてもよい。
上記実施形態によれば、ダミープラグ部材19dは、その最上端部が実質電気的にオープンで、その最下端部が半導体基板10へ電荷を逃がすノード(12)に接続されている。配線パターン21は、破線の配線層M1を、プラズマの伴うドライエッチングで選択的にエッチングし、パターニングしたものである。従って、配線層M1は、不要部分がエッチングで失われる直前まで連続しており、ダミープラグ部材19dに電気的に接続される。このエッチングで失われる部分を含んだ配線層M1は、配線パターン21が個々に形成されるまでプラズマチャージを捕集するアンテナとなる。配線パターン21形成後は、チャージ捕集用のアンテナ構造は見かけ上無くすることもできる。例えば配線パターン21間のスペース下の絶縁層17を貫通するダミープラグ部材19dを形成するようにすればよい。従って、実質的な回路集積または回路設計への影響は極めて少ないものとなる。
図9(a),(b)は、それぞれウェハ上に構成した実験回路を示す概略平面図である。また、図10は、上記実験回路における配線パターンのエッチング工程途中の要部を示す概略断面図である。
図9(a)では、くし形構造のアンテナ配線パターンP1が、検出部DETであるMOSFETのゲート電極Gに接続されている。図9(b)は、図9(a)と同様構成であるが、上記くし形構造の相互接続線101,102を除いた配線パターンP2を準備する。これら各配線パターンP1,P2は、図示のように、配線長(L1=L2)、配線幅(W1=W2)、配線間隔(S1=S2)、総合的本数Nが等しくなるよう形成され、検出部DETに比較して所定数倍(二千〜三千倍の間)の面積を有する。
図9(a),(b)両パターン形成後に捕集されるチャージダメージは、検出部DETに接続されたパターン部分に限定される。従って、図9(a)は、くし型構造全域がアンテナ回路となってチャージダメージが捕集され、検出部DET(MOSFETのゲート絶縁膜)に影響する。これに対し、図9(b)は、中央部の直線パターン103のみがアンテナ回路となってチャージダメージが捕集され検出部DETに影響するので、前者よりチャージダメージが小さいことは自明である。
しかしながら、実際にドライエッチング技術を用いて図9(a)、図9(b)の各構成をそれぞれのウェハ上に複数形成すると、検出部DET(MOSFET)の不良率は、両者とも大差のない結果となった。その理由は、図10に示すように、配線パターンの形成過程において、図9(a)、図9(b)両パターンいずれも配線層が連続している状態が続くことにある。つまり、回路設計上、検出部DETにつながらない配線層部分もプラズマチャージに大きな影響を及ぼしていることがわかる。
上記実験結果により、配線密度が高く、プラズマチャージ捕集のためのダミー配線が配置できない場合、本発明の構成が効果を発揮する。すなわち、ダミープラグ部材は、配線パターンのうち隣り合う配線パターン間においてその下方の絶縁層を貫通して設けられるようにすれば、なるべく集積度に影響を与えずにプラズマチャージ捕集のための回路を組み込むことができる。これにより、素子へのダメージを回避することができる。
図2〜図4は、それぞれ本発明の第2実施形態に係る半導体装置の製造方法の要部を工程順に示す断面図である。第1実施形態と同様の箇所には同一の符号を付して説明する。
図2に示すように、一導電型の半導体基板10上にSTI技術による素子分離絶縁膜11が形成され、複数の素子が形成される。そのうちの一素子であるMOSFET Q1は、薄い酸化膜であるゲート絶縁膜13を介してゲート電極14が形成される。ゲート電極14にはサイドウォール15が形成される。ゲート電極14を隔てて両側の半導体基板10表面には、この断面では示されないソース/ドレイン領域(破線16)が形成されている。また、半導体基板10の所定領域には半導体基板10と逆導電型の基板コンタクト領域12が形成される。なお、基板コンタクト領域12は、基板と導通が取れていればよく、半導体基板10と逆導電型の不純物拡散領域の他、半導体基板10と同一導電型の不純物拡散領域としてもよい。
図2に示すように、一導電型の半導体基板10上にSTI技術による素子分離絶縁膜11が形成され、複数の素子が形成される。そのうちの一素子であるMOSFET Q1は、薄い酸化膜であるゲート絶縁膜13を介してゲート電極14が形成される。ゲート電極14にはサイドウォール15が形成される。ゲート電極14を隔てて両側の半導体基板10表面には、この断面では示されないソース/ドレイン領域(破線16)が形成されている。また、半導体基板10の所定領域には半導体基板10と逆導電型の基板コンタクト領域12が形成される。なお、基板コンタクト領域12は、基板と導通が取れていればよく、半導体基板10と逆導電型の不純物拡散領域の他、半導体基板10と同一導電型の不純物拡散領域としてもよい。
次に、CVD法を利用して、MOSFET Q1を含む素子上を被うように層間の絶縁層17を形成する。その後、絶縁層17をCMP(化学的機械的研磨)またはエッチバックにより平坦化する。次に、フォトリソグラフィ技術、エッチング技術を利用して、素子の接続部へ至るホール18t、及び基板10への接続部(基板コンタクト領域12)に至るホール18dを同時に形成する。ホール18tは配線用ホール、ホール18dはダミー用ホールである。これらホール18t,18dに図示しないバリア膜の被覆後、熱CVD法によってW(タングステン)を埋め込み、CMP(またはエッチバック)により平坦化して、配線プラグ部材19t及びダミープラグ部材19dを形成する。次に、配線プラグ部材19t及びダミープラグ部材19d上を含む絶縁層17上にスパッタ法を用いて配線層M1を形成する。配線層M1は、図示しないTi/TiN積層膜等のバリア膜を下地に被覆し、主配線部材のアルミニウム合金、その上部に図示しないTiN膜等のキャップ膜を被覆する。
次に、図3に示すように、配線層M1に対し、フォトリソグラフィ工程等を経て、レジストやハードマスク等のエッチングマスク33を形成する。このエッチングマスク33に従って、ドライエッチングを実施する。このドライエッチング工程はプラズマを伴う。ドライエッチング工程中、配線層M1は連続しており、プラズマチャージの対象となる大きなアンテナ回路となっている。ダミープラグ部材19dは、最終的にエッチングで失われる配線パターン間の下方に存在する。従って、ドライエッチング工程中のプラズマチャージはダミープラグ部材19dを介して基板10へ放電される。
次に、図4に示すように、ドライエッチング工程が終了し、所望の配線パターン21が形成される。配線パターン21の一つは配線プラグ部材19tと接続される。ダミープラグ部材19dは、ドライエッチング工程が終了して配線パターン21が形成された後、配線パターン21とは電気的な関係が断たれる。次に、CVD法を利用して、配線パターン21上を被うように層間の絶縁層27を形成する。ダミープラグ部材19dは、この絶縁層27のCVD形成時によるチャージダメージを基板10へ逃がし、緩和する効果も期待できる。
上記実施形態によれば、ダミープラグ部材19dは、その最上端部が実質電気的にオープンで、その最下端部が半導体基板10へ電荷を逃がすノード(12)に接続される。配線パターン21の形成工程では、配線層M1を、プラズマの伴うドライエッチングで選択的にエッチングする。配線層M1は、不要部分がエッチングで失われる直前まで連続しており、ダミープラグ部材19dに電気的に接続される。すなわち、このエッチングで失われる部分を含んだ配線層M1は、配線パターン21が個々に形成されるまでプラズマチャージを捕集するアンテナとなる。
ダミープラグ部材19dは、配線パターン21間のスペース下の絶縁層17を貫通するよう配置する。配線パターン21の密な領域は、疎の領域よりも、エッチングで失われるべき領域が長く残留する。従って、ダミープラグ部材19dは、隣り合う配線パターンとの間が狭い、好ましくは隣り合う配線パターンとの間の距離Dが0.3μm以下の領域に関し、その下方に設けるといっそうディスチャージ効果が発揮される。素子(ゲート絶縁膜)に最も近い第1層目金属配線においてプラズマダメージを緩和することができれば、素子に対し相当の信頼性向上に寄与する。配線パターン21形成後は、チャージ捕集用のアンテナ構造は見かけ上無くすることができる。従って、実質的な回路集積または回路設計への影響は極めて少ないものとなる。
図5〜図7は、それぞれ本発明の第3実施形態に係る半導体装置の製造方法の要部を工程順に示す断面図である。第1実施形態と同様の箇所には同一の符号を付して説明する。
図5に示すように、半導体基板10上に図示しない前記第2実施形態と同様のMOSFET等を含む複数の素子が形成され、そのうちのMOSFET Q1を示す。半導体基板10の所定領域には半導体基板10と逆導電型の基板コンタクト領域12が形成される。なお、基板コンタクト領域12は、基板と導通が取れていればよく、半導体基板10と逆導電型の不純物拡散領域の他、半導体基板10と同一導電型の不純物拡散領域としてもよい。その後、層間の絶縁層17を形成し、平坦化する。次に、フォトリソグラフィ技術、エッチング技術を利用して、素子の接続部へ至るホール18t、及び基板10への接続部(基板コンタクト領域12)に至るホール18dを同時に形成する。ホール18tは配線用ホール、ホール18dはダミー用ホールである。これらホール18t,18dに図示しないバリア膜の被覆後、熱CVD法によってWを埋め込み、平坦化して、配線プラグ部材19t及びダミープラグ部材19dを形成する。
図5に示すように、半導体基板10上に図示しない前記第2実施形態と同様のMOSFET等を含む複数の素子が形成され、そのうちのMOSFET Q1を示す。半導体基板10の所定領域には半導体基板10と逆導電型の基板コンタクト領域12が形成される。なお、基板コンタクト領域12は、基板と導通が取れていればよく、半導体基板10と逆導電型の不純物拡散領域の他、半導体基板10と同一導電型の不純物拡散領域としてもよい。その後、層間の絶縁層17を形成し、平坦化する。次に、フォトリソグラフィ技術、エッチング技術を利用して、素子の接続部へ至るホール18t、及び基板10への接続部(基板コンタクト領域12)に至るホール18dを同時に形成する。ホール18tは配線用ホール、ホール18dはダミー用ホールである。これらホール18t,18dに図示しないバリア膜の被覆後、熱CVD法によってWを埋め込み、平坦化して、配線プラグ部材19t及びダミープラグ部材19dを形成する。
次に、配線プラグ部材19t及びダミープラグ部材19d上を含む絶縁層17上にスパッタ法を用いて配線層M1を形成する。配線層M1は、図示しないTi/TiN積層膜等のバリア膜を下地に被覆し、主配線部材のアルミニウム合金、その上部に図示しないTiN膜等のキャップ膜を被覆する。
次に、図6に示すように、配線層M1に対し、図示しないレジストマスクを形成し、ドライエッチングを実施する。このドライエッチング工程はプラズマを伴う。ドライエッチング工程中、配線層M1は破線のごとく連続しており、プラズマチャージの対象となる大きなアンテナ回路となっている。この配線層M1では、所定の配線プラグ部材19tと接続される配線パターン21の形成と共にダミービアパターン21dの形成も含まれる。ダミービアパターン21dは、ダミープラグ部材19dと接続するためのビアパターンである。ドライエッチング工程中のプラズマチャージはダミープラグ部材19dを介して基板10へ放電される。
次に、図7に示すように、ドライエッチング工程が終了して所望の配線パターン21、ダミービアパターン21dが形成される。ダミープラグ部材19dは、ドライエッチング工程が終了して配線パターン21が形成された後、配線パターン21とは電気的な関係が断たれるが、ダミービアパターン21dと接続されている。次に、CVD法を利用して、配線パターン21、ダミービアパターン21d上を被うように層間の絶縁層27を形成する。ダミープラグ部材19dは、この絶縁層27のCVD形成時によるチャージダメージを基板10へ逃がし、緩和する効果も期待できる。その後、層間の絶縁層27を形成し、平坦化する。
次に、フォトリソグラフィ技術、エッチング技術を利用して、所定の配線パターン21、ダミービアパターン21dに至るホール28t,28dを同時に形成する。ホール28tは配線用ホール、ホール28dはダミー用ホールである。これらホール28t,28dに図示しないバリア膜の被覆後、熱CVD法によってWを埋め込み、平坦化して、配線プラグ部材29t及びダミープラグ部材29dを形成する。
次に、配線プラグ部材29t及びダミープラグ部材29d上を含む絶縁層27上にスパッタ法を用いて配線層M2を形成する。配線層M2は、図示しないTi/TiN積層膜等のバリア膜を下地に被覆し、主配線部材のアルミニウム合金、その上部に図示しないTiN膜等のキャップ膜を被覆する。
次に、図8に示すように、配線層M2に対し、図示しないエッチングマスクを形成し、プラズマを伴うドライエッチングを実施する。ドライエッチング工程の最中、配線層M2は破線のごとく連続しており、プラズマチャージの対象となる大きなアンテナ回路となっている。ダミープラグ部材29dは、最終的にエッチングで失われる配線パターン間の下方に存在する。従って、ドライエッチング工程中のプラズマチャージは、ダミープラグ部材29d、ダミービアパターン21d、ダミープラグ部材19dを介して基板10へ放電される。このように、ドライエッチング工程が終了して所定の配線プラグ部材29tと接続される配線パターン31が形成される。ダミープラグ部材29dは、ドライエッチング工程が終了して配線パターン31が形成された後、配線パターン31とは電気的な関係が断たれる。次層の層間の絶縁層37は、配線パターン31、ダミープラグ部材29d上を覆う。
上記実施形態によれば、プラズマチャージの放電経路は、半導体基板10へ電荷を逃がすノード(12)に接続されるダミープラグ部材19d、ダミービアパターン21d、ダミープラグ部材29dで示すように、トレートビア状に設けることができる。このようなストレートビア状の構造にすれば、各配線層において、エッチングや層間の絶縁層の形成等で発生するプラズマチャージを緩和することができる。このストレートビア状の構造をユニット的なダミープラグ部材としてみた場合、やはり、最上端部が絶縁層で覆われるなどして実質電気的にオープンで、最下端部が半導体基板10へ電荷を逃がすノード(12)に接続される構成となる。ストレートビア状の構造は、第2実施形態に比べて、各配線層でストレートビア分のスペースが必要になるが、占有面積は僅かである。従って、実質的な回路集積または回路設計への影響は極めて少ないものと考えられる。
以上説明したように本発明によれば、ダミー用ホールの形成及びダミープラグ部材の形成により、半導体基板へ電荷を逃がす放電経路が確保される。すなわち、ダミープラグ部材は、その最下端部が半導体基板へ電荷を逃がすノードに接続されている。プラズマを伴う配線層のエッチング加工では、配線層はエッチングで失われる直前まで連続している。これに着目して、ダミープラグ部材をエッチングで失われる配線層領域に接続されるよう設ける。エッチングで失われる配線層をチャージ捕集用のアンテナにすることでゲート絶縁膜へのプラズマチャージの影響を軽減する。これにより、素子へのダメージを回避することができる。配線パターン形成後は、チャージ捕集用のアンテナ構造は見かけ上無くすることもできる。あるいは、ストレートビア状の構造物が残る。これらの残留構造は集積回路上、僅かな占有面積で済む。従って、実質的な回路集積への影響は極めて少ないものとなる。この結果、占有面積を抑えた簡便な形態でプラズマ処理に伴うチャージダメージを抑える半導体装置及びその製造方法を提供することができる。
なお、本発明は、上述した実施形態及び方法に限定されるものではなく、本発明の主旨を逸脱しない範囲内で種々の変更、応用を実施することが可能である。
10…半導体基板、11…素子分離絶縁膜、12…基板コンタクト領域、13…ゲート絶縁膜、14,G…ゲート電極、15…サイドウォール、16…ソース/ドレイン領域、17,27…層間の絶縁層、18t,28t…配線用ホール、18d,28d…ダミー用ホール、19t,29t…配線プラグ部材、19d,29d…ダミープラグ部材、21,31,P1,P2…配線パターン、21d…ダミービアパターン、33…エッチングマスク、101,102…相互接続線、103…直線パターン、Q1…MOSFET、M1,M2…配線層、DET…検出部。
Claims (17)
- 半導体基板上に設けられた複数の素子と、
前記素子に関係する配線パターンを有する配線層と、
前記素子または前記配線パターンを覆う前記配線層間の絶縁層と、
前記絶縁層を貫通し、前記素子と前記配線パターンの各接続部分を結ぶ配線プラグ部材と、
最上端部が実質電気的にオープンで最下端部が前記半導体基板へ電荷を逃がすノードに接続されたダミープラグ部材と、
を具備する半導体装置。 - 前記ダミープラグ部材は、前記配線パターンのうち隣り合う配線パターン間においてその下方の前記絶縁層を貫通して設けられる請求項1に記載の半導体装置。
- 前記ダミープラグ部材は、前記配線プラグ部材の一つと同じ工程で形成される埋め込み金属で構成されている請求項1または2に記載の半導体装置。
- 前記ダミープラグ部材は、前記配線層のパターンを挟んで2個以上ストレートビア状に接続されている請求項1〜3いずれか一つに記載の半導体装置。
- 前記素子は、絶縁ゲート型の素子を含む請求項1〜4いずれか一つに記載の半導体装置。
- 前記素子はMOSFETを含み、前記配線プラグ部材の一つが前記MOSFETのゲート電極との接続を有する請求項1〜4いずれか一つに記載の半導体装置。
- 前記ダミープラグ部材の最上端部は、前記絶縁層と接触している請求項1〜6いずれか一つに記載の半導体装置。
- 前記ダミープラグ部材の最下端部は、前記半導体基板に設けられた不純物拡散層と接触している請求項1〜7いずれか一つに記載の半導体装置。
- 半導体基板上の分離用絶縁膜と、
前記分離用絶縁膜に囲まれた前記半導体基板上にゲート絶縁膜を介して形成されたゲート電極と、
前記ゲート電極を隔てて両側の前記半導体基板表面に形成されたソース/ドレイン領域と、
前記ゲート電極及び前記ソース/ドレイン領域上を覆う絶縁層と、
前記絶縁層を貫通し、前記ゲート電極に接続される配線プラグ部材と、
前記絶縁層上に設けられる配線層で、前記配線プラグ部材と接続される配線パターンと、
前記配線パターン上を覆う次層の絶縁層と、
前記配線パターン近傍下方の前記絶縁層を貫通し、最上端部が実質電気的にオープンで、最下端部が前記半導体基板へ電荷を逃がすノードに接続されたダミープラグ部材と、
を具備する半導体装置。 - 前記配線パターンは、隣り合う配線パターンとの間が0.3μm以下の領域があり、前記ダミープラグ部材は、前記隣り合う配線パターン間においてその下方に設けられる請求項9に記載の半導体装置。
- 前記ダミープラグ部材は、その最上端部が前記次層の絶縁層で覆われている請求項9または10に記載の半導体装置。
- 前記ダミープラグ部材と前記配線プラグ部材は、タングステンを含む埋め込み金属で構成されている請求項9〜11いずれか一つに記載の半導体装置。
- 前記ダミープラグ部材は、前記配線層のパターンを挟んで2個以上ストレートビア状に接続されている請求項9〜12いずれか一つに記載の半導体装置。
- 半導体基板上に複数の素子を形成する工程と、
前記素子上を覆う絶縁層を形成する工程と、
前記絶縁層を選択的に貫通し、前記素子に関係する接続部分を露出させる配線用ホール及び前記半導体基板への放電経路を確保するためのダミー用ホールを形成する工程と、
前記配線用ホール及びダミー用ホールに金属を埋め込み、それぞれ配線プラグ部材及びダミープラグ部材を形成する工程と、
配線プラグ部材及びダミープラグ部材上を含んで前記絶縁層上に配線部材を形成する工程と、
前記配線部材上にエッチングマスクを形成する工程と、
前記エッチングマスクに従って前記配線部材を、前記ダミープラグ部材への接触を保ちながらドライエッチングし、前記ダミープラグ部材への接触を断って前記配線プラグ部材に接続部分を有する配線パターンを形成する工程と、
を含む半導体装置の製造方法。 - 前記ダミープラグ部材上の前記配線部材は、前記ドライエッチングにより最終的に除去される請求項14に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記配線部材上を覆う次層の絶縁層を前記ダミープラグ部材の放電経路とのつながりを持ったまま形成する工程をさらに含む請求項14または15に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記ダミープラグ部材上の前記配線部材は、さらに上層のダミープラグ部材形成時の放電経路接続部として残し、最終的に放電経路を保持しているダミープラグ部材の最上端部は次層の絶縁層で覆われるようにする請求項14〜16いずれか一つに記載の半導体装置の製造方法。
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-
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- 2005-06-09 JP JP2005169208A patent/JP2006344773A/ja not_active Withdrawn
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