JP2006329927A - 流量測定装置 - Google Patents

Abstract

【課題】 精度の高い測定結果を安定して得られる流量測定装置を提供する。
【解決手段】 流体が流れる第１流路を形成する第１流路部１５と、第１流路内に設けられる流量センサ２１と、第１流路の上流に設けられる整流部材１８であって、上流側から見ると当該整流部材１８によって第１流路の入口が隠れている整流部材１８と、を備え、流体が整流部材１８のほぼ全周から第１流路に流入する。第１流路内の偏流を防止できるとともに、第１流路に空気を広い範囲から満遍なく流入させることができる。また、第１流路へのダストの流入を低減できる。従って、精度の高い測定結果を安定して得られる。
【選択図】 図１

Description

本発明は、特に内燃機関の燃焼室に連通する吸気ポートを流れる空気の流量を測定する熱式の流量測定装置に関する。

流量センサを発熱させ、流量センサから流体に放熱される放熱量を検出することによって流量を測定する熱式の流量測定装置が知られている（例えば特許文献１〜５参照。）。しかしながら、上述した特許文献に記載された流量測定装置にはそれぞれ次のような問題がある。
特許文献１に記載の装置は、測定通路が湾曲しているので、測定通路内に偏流が生じ、測定結果が不安定になる。

また、特許文献２に記載の流量測定装置は、障害部材が円柱状に形成されており、センサ流路には障害部材の軸方向の狭い範囲の空気が合流して流入する。合流した空気が流入するのでセンサ流路内に偏流は生じないものの、流入する空気の範囲が狭いので、流入する空気の流速は吸気ポート全体の平均流速に相関したものになり難い。このため、精度の高い測定結果を得られない。

また、特許文献３に記載の熱線式空気流量測定装置は、入口部が上流側に向かって開口しているので、ダストが流入し易い。ダストが流入すると流量センサに付着し、測定結果が不安定になる。
また、特許文献４のＦＩＧ２６に記載のエアフローメータは、ディフレクタが開口より小さいので、上流から流れてきたダストがバイパス流路に流入し易く、それにより測定結果が不安定になる。

また、特許文献５に記載の空気流量計は、入口部が上流側に向かって開口しているので、ダストが流入し易い。従って、測定結果が不安定になる。
また、熱式の流量測定装置は、流量センサを支持している部材を伝って逃げる熱による熱損失によって検出精度が低下するという問題がある。特にアイドル運転時のように吸気ポートを流れる空気の流速が低いときは空気に放熱される熱の割合が減って熱損失の割合が相対的に増え、検出精度が大きく低下する。

特許文献３および５に記載の流量測定装置は、中央部材（第１流路部）を大きくして主通路を絞ることによって主通路を流れる流体の流速を増加させるとともに、下流コアや中央部材の下流側の部位によってバイパス通路（第１流路）の出口部を絞り、主通路を流れる流体によって生じる負圧によってバイパス通路を流れる流体の流速を増加させている。流速を増加させると空気に逃げる熱の割合が高くなるので、検出精度を向上させることができる。しかしながら、特許文献３および５に記載の流量測定装置の主通路は吸気ポートの一部を形成するものであり、主通路を絞るためには中央部材の外壁面が吸気ポートの内壁面に近づくように中央部材を大きくしなければならない。すなわち、特許文献３および５に記載の流量測定装置によると、検出精度を向上させるには中央部材を大きくしなければならないという問題がある。

特開２００４−５３６００号公報 特開２００３−２１４９１５号公報 特許第３２４０７８２号明細書 米国特許第４７０９５８１号明細書 特開平５−１６４５８５号公報

本発明は、上述の問題に鑑みて創作されたものであって、精度の高い測定結果を安定して得られる流量測定装置を提供することを目的とする。
また、本発明の別の目的は、流量センサが設けられる流路を形成する流路部を大きくすることなく検出精度を向上させる流量測定装置を提供することを目的とする。

請求項１〜８に記載の発明によると、流体が整流部材のほぼ全周から第１流路に流入するので、整流部材のほぼ全周に沿った広い範囲から流体を流入させることができる。広い範囲から流体が流入するので、流入した流体の流速と吸気ポート全体を流れる流体の平均流速との相関が高くなり、より精度の高い測定結果を得られる。また、全周から流れてくる流体が合流して均一化されて流入するので、第１流路に偏流が生じず、測定結果が安定する。また、流量センサが設けられる第１流路の入口は上流側から見ると整流部材によって隠れているので、ダストが第１流路に流入し難い。これにより流量センサへのダストの付着を低減でき、測定結果がより安定する。よって、精度の高い測定結果を安定して得られる。

請求項２及び１０に記載の発明によると、第１流路が所定の主流路の流れ方向、具体的には例えば吸気ポートの流れ方向に直線状に延びるように取り付けられるので、流体の流速の損失が少なく、検出精度が向上する。
請求項３に記載の発明によると、第１流路部が第２流路に収容されるので、第１流路の出口周辺の流速が全周にわたって安定する。

請求項４に記載の発明によると、下流側部材によって出口が絞られるので、出口周辺の流速が高くなり、負圧が生じる。この負圧によって第１流路を流れる流体の流速が増加するので、流量センサの検出精度が向上する。
請求項５、６及び７に記載の発明によると、整流部材の上流から流れてきた流体が整流部材でスムーズに逃がされるとともに、整流部材の下流側に渦が生じないので、流速の損失を低減できる。

請求項８に記載の発明によると、第１流路部から上流に向かって延びる腕部によって整流部材を支持するので、第１流路部に対する整流部材の位置精度が向上する。これにより第１流路に流入する流量の精度が向上するので、測定結果の精度がより向上する。
請求項９に記載の発明によると、下流側部材によって出口が絞られるので、出口周辺の流速が高くなり、負圧が生じる。この負圧によって第１流路を流れる流体の流速が増加するので、流量センサの検出精度が向上する。また、請求項９に記載の発明によると、第１流路部及び整流部材が第２流路に収容されるので、第１流路の出口周辺の流速が全周にわたって安定する。更に、第２流路部を小さくすることにより、第１流路部の外壁面と第２流路部の内壁面とで形成される流路を流れる流体の流速を増加できるので、第１流路部を大きくすることなく検出精度を向上できる。

請求項１１に記載の発明によると、下流側部材によって第１流路部の出口が隠れるので、流体が吸気ポートを逆流したとき、ダストが第１流路に流入し難い。これにより、逆流したダストが付着することによる流量センサの検出精度の低下を防止でき、測定結果がより安定する。
請求項１２に記載の発明によると、下流側部材によって第１流路部の下流側の端面が隠れるので、流体が吸気ポートを逆流したとき、ダストが端面に沿って第１流路に流入し難い。これにより、逆流したダストが付着することによる流量センサの検出精度の低下を防止でき、測定結果がより安定する。

請求項１３に記載の発明によると、第１流路部の下流側の端面が、第２流路部の内壁に近づくにつれて第２流路の上流側に傾くように傾斜しているので、流体が吸気ポートを逆流したとき、ダストが第１流路に流入し難い。これにより、逆流したダストが付着することによる流量センサの検出精度の低下を防止でき、測定結果がより安定する。

以下、本発明の複数の実施形態を図面に基づいて説明する。
（第一実施形態）
図１（Ａ）は本発明の第一実施形態に係る流量測定装置１０を示す斜視図、図１（Ｂ）は流量測定装置１０の部分断面図、図２は吸気ポート１１に固定されている状態の流量測定装置１０の流れ方向の断面図である。図３（Ａ）は流量測定装置１０を上流側から見た正面図、図３（Ｂ）は流量測定装置１０を下流側から見た背面図である。なお、図２では図１に示す腕部１９、図３に示す腕部１２および腕部１３を省略して示している。

図２に示すように、流量測定装置１０は、第１流路としてのセンサ流路１４を形成する第１流路部１５（以下「センサ流路部」という）、第２流路としてのバイパス流路１６を形成する第２流路部１７（以下「バイパス流路部」という）、整流部材としての整流コア１８、下流側部材としての下流コア２２、センサ部２０、および支持部２４を備えている。流量測定装置１０が取り付けられている吸気ポート１１の上流側はエアクリーナに接続されており、下流側はスロットルバルブを介して内燃機関の燃焼室に連通している。

バイパス流路部１７は、略円筒状に形成されている。
センサ流路部１５は、バイパス流路部１７の内壁から延びる４本の腕部１２（図３（Ａ）参照）によってバイパス流路１６内に支持されている。センサ流路部１５には上流側から下流側に向かって貫通するセンサ流路１４が形成されている。センサ流路１４は流れ方向の断面が略糸巻き状に形成されており、流れ方向に垂直な断面の面積は上流側の入口１４ａで最も広く、下流側にいくにつれて徐々に狭くなり、流れ方向の中央より下流側を境に下流側にいくにつれて徐々に広くなっている。センサ流路部１５をバイパス流路部１７に収容すると、センサ流路１４の出口周辺の流速が全周にわたって安定する。

センサ流路部１５の外壁は上流側から下流側に向かって外径が緩やかに大きくなる形状に形成されている。センサ流路部１５の外壁面１５ａと内壁面１５ｂとは上流側で鋭角に交差するように連なっており、バイパス流路１６を流れる空気はセンサ流路部１５の上流側でセンサ流路１４内を流れる空気とセンサ流路１４外を流れる空気とにスムーズに分離される。センサ流路部１５の下流側を向く端面１５ｃは下流側にいくほど外径が小さくなる円錐面状に形成されている。

また、図示するように流量測定装置１０はバイパス流路１６およびセンサ流路１４が吸気ポート１１の流れ方向に直線状に延びるように取り付けられるので、吸気ポート１１を流れる空気はバイパス流路１６およびセンサ流路１４に流入する際に大きく方向を変える必要がない。このため空気の流速の損失が少ない。
整流コア１８は、センサ流路部１５から上流に向かって延びる４本の腕部１９（図１参照）によってセンサ流路１４より上流に支持されている。整流コア１８は略球形に形成されており、より具体的には球形をベースに下流側の先端部が下流側に向かって円錐状に延びる形状に形成されている。図３（Ａ）に示すように整流コア１８は流れ方向の上流側から見るとセンサ流路１４の入口１４ａが整流コア１８によって隠れる大きさに形成されている。また、図２に示すように整流コア１８は上流側がバイパス流路１６より上流側にはみ出るように設けられている。また、前述したように整流コア１８はセンサ流路部１５によって支持されている。センサ流路部１５によって整流コア１８を支持すると、センサ流路部１５に対する整流コア１８の位置精度が向上し、その結果、センサ流路１４に流入する流量の精度が向上するので、測定結果の精度がより向上する。なお、整流コアの形状は球形であってもよいし、例えば図４（Ａ）に示す整流コア４０や図４（Ｂ）に示す整流コア４１のような流線型であってよい。また、整流コア１８の上流側をバイパス流路１６からはみ出させず、整流コア１８全体をバイパス流路１６内に収容してもよい。

センサ部２０は、流量センサとしての流速測定用抵抗体２１、図示しない温度補償抵抗体、および図示しない制御回路を備える。流速測定用抵抗体２１はセンサ流路１４内に設けられており、制御回路によって空気の温度に対して一定温度加熱される。制御回路は流速測定用抵抗体２１から流速測定用抵抗体２１周りを流れる空気に放熱された放熱量を電気信号として出力する。この電気信号に基づいて所定の制御用コンピュータで流量や流速が特定される。

下流コア２２は、バイパス流路部１７の内壁から延びる４本の腕部１３（図３（Ｂ）参照）によってセンサ流路１４の出口近傍に支持されている。下流コア２２の上流側を向く面２２ａは凹面として形成されており、また、下流コア２２の下流側を向く面２２ｂは凹面２２ａの外周から下流側に向かって張り出す凸面として形成されている。下流コア２２はセンサ流路部１５の下流にセンサ流路部１５との間に所定の空間をおいて支持されている。センサ流路部１５の円錐面１５ｃと下流コア２２の凹面２２ａとによって、バイパス流路部１７の内壁１７ａに近づくにつれてバイパス流路１６の上流側に傾くように傾斜し環状に拡がる下流側センサ流路２３が形成されている。また、下流コア２２の外径はセンサ流路１４の出口より大きく、且つセンサ流路部１５の外径より小さく形成されている。従って図３（Ｂ）に示すように下流側から見るとセンサ流路１４の出口は下流コア２２によって隠れており、円錐面１５ｃの外周側が見えている。また、図２に示すように下流コア２２は下流側がバイパス流路１６からはみ出るように設けられている。

支持部２４は筒部２４ａとフランジ部２４ｂとで構成されており、バイパス流路部１７と一体に形成されている。筒部２４ａの内部には制御用コンピュータと制御回路とを接続するケーブルが配設される。図１（Ａ）に示すようにフランジ部２４ｂには流量測定装置１０を吸気ポート１１の内壁に締結固定するためのボルト穴２４ｃが形成されている。

次に、吸気ポート１１内に生じる偏流および脈流について説明する。
図５は、吸気ポート１１内に生じる偏流の概略を示す模式図である。図５は曲管の吸気ポート１１に生じた偏流の一例を概略で示すものであり、細かな部分は省略しており、流量測定装置１０の内部についても省略している。吸気ポート１１を曲げると、曲がり部分において図示するように内側６１と外側６２とに流速の差が生じ、それにより曲がり部分より下流側に偏流が生じている。なお、ここでは曲がりのある吸気ポート１１を例に説明したが、曲がりのない直管の吸気ポートであっても偏流は生じる。例えば吸気ポートの上流側に接続されているエアクリーナのフィルタエレメントに目詰まりが生じると、フィルタエレメントに空気が流れ易い部分と流れ難い部分とが生じるので、直管の吸気ポートであっても偏流が生じる。流速測定用抵抗体２１の面積はセンサ流路１４の流路面積に比べて小さいので、偏流が生じると流速測定用抵抗体２１周りを流れる空気の流速が安定せず、測定結果が不安定になる。

図６は、偏流が生じている場合における脈流の影響を示す模式図である。図６は吸気ポート１１内を流れる空気の流速の分布を示しており、内側の線で囲まれる領域ほど流速が速いことを示している。図６は曲管の吸気ポート１１に偏流のない空気を流し、曲がり部分より下流側の偏流が生じている位置、具体的には図５で示す位置Ａで流速を測定したものである。吸気ポート１１内の空気には内燃機関の燃焼周期に対応して脈流が生じる。脈流が生じると、脈流に対応して図６に示すように偏流の生じ方が周期的に変化し、それによって流速測定用抵抗体２１周りを流れる空気の流速が周期的に変化するので、測定結果が更に不安定になる。

次に、整流コア１８の作動について説明する。
始めに、整流コア１８が全周からセンサ流路１４の入口１４ａに空気を流入させる作動について説明する。
図７は、空気の流れを示す模式図である。吸気ポート１１の中央付近を流れる空気は、整流コア１８まで流れてくると整流コア１８の上流側の面に沿って流れることにより、上流側から見て径方向外側に向かって３６０°拡がるように逃がされる。逃がされた空気の一部は整流コア１８の下流側の面に沿って流れ、整流コア１８の下流側で合流して均一化され、入口１４ａからセンサ流路１４に流入する。均一化された空気をセンサ流路１４に流入させると、センサ流路１４内における空気の偏流をほとんどなくすことができる。偏流がなくなると流速測定用抵抗体２１周りを流れる空気の流速が安定するとともに、偏流がなくなることで脈流の影響が低減されるので、測定結果が安定する。

また、逃がされた空気の一部が整流コア１８の下流側の面に沿って流れてくるとき、逃がされた空気の一部は整流コア１８の全周から流れてくる。整流コア１８の全周から空気が流れてくると、空気が整流コア１８の全周に沿った広い範囲から満遍なくセンサ流路１４に流入する。センサ流路１４に空気が広い範囲から満遍なく流入すると、センサ流路１４を流れる空気の流速はバイパス流路１６に流入する空気の平均流速に相関したものになる。結果として、吸気ポート１１全体の平均流速との相関も高くなる。これにより、精度の高い測定結果を得られる。

次に、整流コア１８がダストを除去する作動について説明する。
一般に１００μｍ程度より小さいダスト２７はエアクリーナのフィルタエレメントを通過してしまい、空気に含まれて吸気ポート１１の上流から図７に示すように流れてくる。吸気ポート１１の中央付近を流れる空気に含まれるダスト２７は、整流コア１８まで流れてくると整流コア１８によって径方向外側にはじかれる。このとき、前述したようにセンサ流路１４の入口１４ａは整流コア１８によって隠されているので、多くのダスト２７はセンサ流路１４に流入することなくそのままセンサ流路１４外を下流に向かって流される。これによりセンサ流路１４に流入するダスト２７を低減でき、ダスト２７の付着による流速測定用抵抗体２１の検出精度の悪化を低減できる。

次に、下流コア２２の作動について説明する。
始めに、下流コア２２がセンサ流路１４内を流れる空気の流速を増加させる作動について説明する。
図７に示すように、センサ流路１４を流れてきた空気は、センサ流路部１５と下流コア２２とで形成されている下流側センサ流路２３を流れて流れ出る。下流コア２２を設けることによってセンサ流路１４の出口が絞られるので、出口部の流速が高くなり、負圧が生じる。この負圧によってセンサ流路１４内の空気が引き出され、センサ流路１４内を流れる空気の流速が増加するので、熱損失の割合が低くなり、検出精度を向上させることができる。

また、この検出精度の向上において、流量測定装置１０はバイパス流路部１７を備えているので、バイパス流路部１７を小さくすることにより、センサ流路部１５の外壁面１５ａとバイパス流路部１７の内壁面１７ａとで形成される流路を狭くできる。当該流路が狭くなると当該流路を流れる空気の流速が増加するので、負圧がより大きくなり、センサ流路１４を流れる空気の流速がより増加する。これにより検出精度がより向上する。すなわち流量測定装置１０によると、センサ流路部１５を大きくすることなく検出精度を向上できる。

次に、下流コア２２が逆流したダストの流入を防止する作動について説明する。
図８は、流量の時間的変化を示すグラフである。グラフにおいて線３０はスロットルバルブが相対的に閉じているときの流量の時間的変化、線３１は相対的に開いているときの流量の時間的変化を示している。前述したように吸気ポート１１内の空気には脈流が生じ、スロットルバルブの開度がある程度以上になると空気の一部が吸気ポート１１を逆流する。図８において平行斜線で示す領域３２は空気が逆流する期間および逆流する流量を示している。

図９は、逆流する空気の流れを示す模式図である。前述したようにセンサ流路１４の出口は下流コア２２によって隠れているので、下流コア２２によって径方向外側にはじかれたダスト２７がセンサ流路１４に流入し難い。また、前述したようにセンサ流路部１５の下流側の端面１５ｃはバイパス流路部１７の内壁面１７ａに近づくにつれてバイパス流路１６の上流側に傾くように傾斜している。仮にセンサ流路部１５の下流側の端面がバイパス流路部１７の内壁面１７ａに近づくにつれてバイパス流路１６の下流側に傾くように傾斜していると、空気が逆流したとき、ダスト２７が下流側の端面に沿ってセンサ流路１４内に導かれてしまう。これに対し、流量測定装置１０は下流側の端面１５ｃが上流側に傾くように傾斜しているので、ダスト２７がセンサ流路１４により流入し難い。これにより、ダスト２７が逆流して流速測定用抵抗体２１に付着することを低減できる。

次に、流量測定装置１０の特性変化を比較例と対比した実験結果について説明する。ここで特性変化Ｓは以下の式で表される。
Ｓ＝（偏流がある場合の流速−偏流がない場合の流速）／偏流がない場合の流速
偏流がある場合の流速とは、曲管の吸気ポート１１に偏流のない空気を流し、曲がり部分より下流側の偏流が生じている位置、具体的には図５で示す位置Ａで流速を測定したものである。偏流がない場合の流速とは、直管の吸気ポートに偏流のない空気を流して測定したものである。偏流がない場合の流速は吸気ポート全体を流れる空気の平均流速にほぼ一致する。曲管の吸気ポート１１と直管の吸気ポートとには同じ流量の空気を流すので、特性変化が０％に近ければ、流量測定装置１０は曲管の吸気ポート１１全体を流れる空気の平均流速を正確に測定できていることになる。すなわち、偏流の影響が排除された精度の高い測定結果が得られることになる。

図１０は、流量測定装置１０の特性変化を比較例と対比した実験結果を示すグラフである。ここでは特許文献２に記載の流量測定装置を比較例として用いている。実験では流量を徐々に増やしながら流量測定装置１０および比較例について特性変化をそれぞれ求めた。グラフに示すように、流量測定装置１０はいずれの流量においても特性変化は０％近傍である。これに対し、比較例はいずれの流量においても特性変化はマイナス方向に偏っている。このことから明らかなように、流量測定装置１０は、吸気ポート１１内に偏流があるにもかかわらず吸気ポート１１全体を流れる空気の平均流速を正確に測定できている。すなわち、流量測定装置１０によると、精度の高い測定結果を得ることができる。

以上説明した第一実施形態に係る流量測定装置１０によると、センサ流路１４に整流コア１８の全周に沿った広い範囲から空気を流入させることができる。広い範囲から空気が流入するので、流入した空気の流速と吸気ポート全体を流れる空気の平均流速との相関が高くなり、より精度の高い測定結果を得られる。また、全周から流れてくる空気は整流コア１８の下流で合流し均一化して流入するので、センサ流路１４に偏流が生じず、測定結果が安定する。また、センサ流路１４の入口１４ａは上流側から見ると整流コア１８によって隠れているので、センサ流路１４にダスト２７が流入し難い。従って測定結果がより安定する。よって流量測定装置１０によると、精度の高い測定結果を安定して得られる。

（第二実施形態）
図１１は、第二実施形態に係る流量測定装置５０の断面図である。図示するように下流コア５１は下流側から見るとセンサ流路部１５の下流側の端面１５ａが隠れる大きさに形成されている。このため、空気が吸気ポート１１を逆流したとき、逆流したダスト２７が端面１５ａに沿って下流側センサ流路５２に流入し難くなる。これにより、測定結果が安定する。

なお、第二実施形態ではセンサ流路部１５の下流側の端面１５ａがバイパス流路部１７の内壁１７ａに近づくにつれてバイパス流路１６の上流側に傾くように傾斜している場合を例に説明したが、バイパス流路部１７の内壁壁１７ａに近づくにつれてバイパス流路１６の下流側に傾くように傾斜してもよい。この場合も、下流側の端面１５ａを下流コア５１で隠すことにより、逆流したダスト２７が付着することによる流速測定用抵抗体２１の検出精度の低下を防止できる。

（Ａ）は本発明の一実施形態に係る流量測定装置を示す斜視図、（Ｂ）は流量測定装置の部分断面図 本発明の一実施形態に係る流量測定装置の流れ方向の断面図。 （Ａ）は本発明の一実施形態に係る流量測定装置の正面図、（Ｂ）は背面図。 （Ａ）および（Ｂ）は本発明の一実施形態に係る整流部材の断面図。 主流路に生じている偏流の一例を示す模式図。 主流路に生じている脈流を示す模式図。 本発明の一実施形態に係る流量測定装置の空気の流れを示す模式図。 主流路を流れる流量の時間的変化を示すグラフ。 本発明の一実施形態に係る流量測定装置の空気の流れを示す模式図。 本発明の一実施形態に係る流量測定装置の特性変化を示すグラフ。 本発明の一実施形態に係る流量測定装置の流れ方向の断面図。

符号の説明

１０ 流量測定装置、１１ 吸気ポート（主流路）、１４ センサ流路（第１流路）、１４ａ 入口、１５ センサ流路部（第１流路部）、１６ バイパス流路（第２流路）、１７ バイパス流路部（第２流路部）、１８ 整流コア（整流部材）、２１ 流速測定用抵抗体（流量センサ）、２２ 下流コア（下流側部材）、２３ 下流側センサ流路、２４ 支持部、４０ 整流コア（整流部材）、４１ 整流コア（整流部材）、５０ 流量測定装置、５１ 下流コア（下流側部材）、５２ 下流側センサ流路

Claims (13)

1. 流体が流れる第１流路を形成する第１流路部と、
   前記第１流路内に設けられる流量センサと、
   前記第１流路の上流に設けられる整流部材であって、上流側から見ると当該整流部材によって前記第１流路の入口が隠れている整流部材と、
   を備え、前記流体が前記整流部材のほぼ全周から前記第１流路に流入することを特徴とする流量測定装置。
2. 前記第１流路は直線状に形成されており、
   当該流量測定装置を所定の主流路の内壁に取り付けるための支持部であって、前記第１流路が前記主流路の流れ方向に直線状に延びる姿勢で取り付けられる支持部を更に備えることを特徴とする請求項１に記載の流量測定装置。
3. 前記第１流路部及び前記整流部材を収容する第２流路を形成する第２流路部を更に備えることを特徴とする請求項１又は２に記載の流量測定装置。
4. 前記第１流路の出口近傍に設けられ、前記出口を絞る下流側部材を更に備えることを特徴とする請求項１、２又は３に記載の流量測定装置。
5. 前記整流部材は上流側が球形であり、下流側が下流に向かって円錐状に延びる形状であることを特徴とする請求項１〜４のいずれか一項に記載の流量測定装置。
6. 前記整流部材は球形であることを特徴とする請求項１〜４のいずれか一項に記載の流量測定装置。
7. 前記整流部材は流線型であることを特徴とする請求項１〜４のいずれか一項に記載の流量測定装置。
8. 前記整流部材は、前記第１流路部から上流に向かって延びる腕部によって支持されていることを特徴とする請求項１〜７のいずれか一項に記載の流量測定装置。
9. 流体が流れる第１流路を形成する第１流路部と、
   前記第１流路内に設けられる流量センサと、
   前記第１流路部を収容する第２流路を形成する第２流路部と、
   前記第１流路の出口近傍に設けられ、前記出口を絞る下流側部材と、
   を備えることを特徴とする流量測定装置。
10. 前記第１流路は直線状に形成されており、
    当該流量測定装置を所定の主流路の内壁に取り付けるための支持部であって、前記第１流路が前記主流路の流れ方向に直線状に延びる姿勢で取り付けられる支持部を更に備えることを特徴とする請求項９に記載の流量測定装置。
11. 下流側から見ると前記下流側部材によって前記第１流路部の出口が隠れていることを特徴とする請求項４、９又は１０に記載の流量測定装置。
12. 下流側から見ると前記下流側部材によって前記第１流路部の下流側の端面が隠れていることを特徴とする請求項１１に記載の流量測定装置。
13. 前記第１流路部の下流側の端面は、前記第２流路部の内壁に近づくにつれて前記第２流路の上流側に傾くように傾斜していることを特徴とする請求項１〜１２のいずれか一項に記載の流量測定装置。

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