JP2006324389A - 半導体ウエハ急速加熱装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】半導体ウエハ急速加熱装置は、複数本配列されたフラッシュランプ5と、該フラッシュランプ5から放射される光を被加熱物側に反射する反射板6と、からなる光源部2、半導体ウエハWを支持する支持用台10を配置した加熱処理チャンバ3、を具備し、前記支持用台10は、該支持用台上に凹部が設けられ、該凹部を覆うように該半導体ウエハWを配置した場合に、該支持用台10と該半導体ウエハWとの間に空間が形成される。
【選択図】図1
Description
2 光源部
3 加熱処理チャンバ部
4 予備加熱機構部
5 フラッシュランプ
6 反射ミラー
7 光透過性窓部
8 半導体ウエハ出入口
9 雰囲気ガス導入口
10 支持用台
W 半導体ウエハ
11 窓部
12 伝熱部
13 ハロゲンランプ
14 反射板
20 凹部
41 光加熱装置
42A 雰囲気ガス導入口
42B 排出口
44 チャンバー
45 支持用台
46 平板
47 透光部材
48 フラッシュランプ
49 ハロゲンヒータランプ
50 チャンバー制御回路
51 反射鏡
52 ケーシング
53 給電装置
Claims (4)
- 複数本配列されたフラッシュランプと、該フラッシュランプから放射される光を被加熱物側に反射する反射板と、からなる光源部、半導体ウエハを支持する支持用台を配置した加熱処理チャンバ、を具備し、該フラッシュランプの光によって半導体ウエハを急速加熱処理する半導体ウエハ急速加熱装置において、
前記支持用台は、該支持用台上に凹部が設けられ、該凹部を覆うように該半導体ウエハを配置した場合に、該支持用台と該半導体ウエハとの間に空間が形成されていることを特徴とする半導体ウエハ急速加熱装置。 - 前記支持用台は、該凹部の形状が、該半導体ウエハの直径よりやや小さな略円形であり、且つ、その断面は略長方形であることを特徴とする請求項1に記載の半導体ウエハ急速加熱装置。
- 前記支持用台は、該凹部の深さが0.05mm乃至0.3mmであることを特徴とする請求項2に記載の半導体ウエハ急速加熱装置。
- 前記支持用台は、該支持用台上に配置する該半導体ウエハの直径に対する該凹部の直径の比が、40%乃至90%であることを特徴とする請求項2に記載の半導体ウエハ急速加熱装置。
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Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008186940A (ja) * | 2007-01-29 | 2008-08-14 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 熱処理用サセプタおよび熱処理装置 |
JP2010003801A (ja) * | 2008-06-19 | 2010-01-07 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 熱処理装置 |
CN101866801A (zh) * | 2009-03-31 | 2010-10-20 | 朗姆研究公司 | 等离子避电器插件 |
KR20220008221A (ko) | 2020-07-13 | 2022-01-20 | 우시오덴키 가부시키가이샤 | 광 가열 장치 |
Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2001196322A (ja) * | 2000-01-11 | 2001-07-19 | Nippon Steel Corp | 補助加熱板 |
JP2004247340A (ja) * | 2003-02-10 | 2004-09-02 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 熱処理装置および熱処理方法 |
JP2005101215A (ja) * | 2003-09-24 | 2005-04-14 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 熱処理装置 |
JP2005116812A (ja) * | 2003-10-08 | 2005-04-28 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 熱処理方法および熱処理装置 |
WO2005059991A1 (en) * | 2003-12-19 | 2005-06-30 | Mattson Technology Canada Inc. | Apparatuses and methods for suppressing thermally induced motion of a workpiece |
JP2006060117A (ja) * | 2004-08-23 | 2006-03-02 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 熱処理装置 |
-
2005
- 2005-05-18 JP JP2005145200A patent/JP4862280B2/ja active Active
Patent Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2001196322A (ja) * | 2000-01-11 | 2001-07-19 | Nippon Steel Corp | 補助加熱板 |
JP2004247340A (ja) * | 2003-02-10 | 2004-09-02 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 熱処理装置および熱処理方法 |
JP2005101215A (ja) * | 2003-09-24 | 2005-04-14 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 熱処理装置 |
JP2005116812A (ja) * | 2003-10-08 | 2005-04-28 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 熱処理方法および熱処理装置 |
WO2005059991A1 (en) * | 2003-12-19 | 2005-06-30 | Mattson Technology Canada Inc. | Apparatuses and methods for suppressing thermally induced motion of a workpiece |
JP2006060117A (ja) * | 2004-08-23 | 2006-03-02 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 熱処理装置 |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008186940A (ja) * | 2007-01-29 | 2008-08-14 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 熱処理用サセプタおよび熱処理装置 |
JP2010003801A (ja) * | 2008-06-19 | 2010-01-07 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 熱処理装置 |
CN101866801A (zh) * | 2009-03-31 | 2010-10-20 | 朗姆研究公司 | 等离子避电器插件 |
CN101866801B (zh) * | 2009-03-31 | 2012-11-28 | 朗姆研究公司 | 等离子避电器插件 |
KR20220008221A (ko) | 2020-07-13 | 2022-01-20 | 우시오덴키 가부시키가이샤 | 광 가열 장치 |
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