JP2006319037A5 - - Google Patents
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Claims (6)
- 入射光をその光量に応じて電気信号に変換する光電変換部と、
前記光電変換部に入射光を導くための金属酸化物で形成された光導波路と、
前記光導波路と前記光電変換部との間に配設された、透光特性を有する分離層と、
前記光導波路の周囲に配設された層間絶縁膜とを有し、
前記分離層は、前記光導波路を構成する金属酸化物が、前記光電変換部に拡散するのを防ぐと共に、前記光電変換部の感度が相対的に低い波長領域の光の反射を防止する厚さを有し、前記層間絶縁膜よりも高い屈折率の素材により形成され、前記光導波路に引き続く光導波路を構成することを特徴とする固体撮像素子。 - 前記金属酸化物は、チタニウム酸化物、ニオブ酸化物、タンタル酸化物を含むことを特徴とする請求項１に記載の固体撮像素子。
- 前記分離層の厚さは、約3000Åから約7000Åの間であることを特徴とする請求項１または２に記載の固体撮像素子。
- 前記分離層は、シリコン窒化物で形成されていることを特徴とする請求項１に記載の固体撮像素子。
- 前記分離層は、シリコン酸化物で形成されていることを特徴とする請求項１に記載の固体撮像素子。
- 入射光をその光量に応じて電気信号に変換する光電変換部と、
前記光電変換部に入射光を導くための金属酸化物で形成された光導波路と、
前記光導波路と前記光電変換部との間に配設された、透光特性を有する分離層と、
前記光導波路の周囲に配設された層間絶縁膜とを有し、
前記分離層は、前記光導波路を構成する金属酸化物が、前記光電変換部に拡散するのを防ぐと共に、前記光電変換部の感度が相対的に低い波長領域の光の反射を防止する厚さを有し、前記層間絶縁膜と同じ素材で形成され、前記光導波路に引き続く光導波路を構成することを特徴とする固体撮像素子。
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