JP2008311412A - 固体撮像素子 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】半導体基板の受光領域に二次元アレイ状に形成された複数の光電変換素子13と、各光電変換素子13毎に形成され各光電変換素子13に至る光路が中心部の高屈折率材料でなるコア層16及び該コア層16の外周部に設けられた低屈折率材料でなるクラッド層15で構成される光導波路とを備える固体撮像素子において、光導波路のクラッド層15の厚さが光電変換素子13毎に形成される。好適には、光導波路のうち入射光が全反射しない側のクラッド層15の膜厚を全反射する側のクラッド層15の膜厚より薄く形成する。
【選択図】図4
Description
λ:入射光の波長
n1:コア層の屈折率
n2:クラッド層の屈折率
φ:コア層からクラッド層への入射角
としたとき、
d=λ/4π〔n1 2・sin2φ−n2 2〕1/2
但し、φ>φ0。ここで臨界角φ0=Sin−1(n2/n1)
となる。
11a 中央部の画素
11b 右側周辺部の画素
11c 左側周辺部の画素
12 シリコン基板
13 n領域(フォトダイオード)
14 遮光膜
14a 遮光膜開口
15 クラッド層
16 コア層
18 オンチップマイクロレンズ
A マイクロレンズのズラシ量
Claims (4)
- 半導体基板の受光領域に二次元アレイ状に形成された複数の光電変換素子と、各光電変換素子毎に形成され各光電変換素子に至る光路が中心部の高屈折率材料でなるコア層及び該コア層の外周部に設けられた低屈折率材料でなるクラッド層で構成される光導波路とを備える固体撮像素子において、前記光導波路のクラッド層の厚さが前記光電変換素子毎に形成されていることを特徴とする固体撮像素子。
- 前記受光領域の中央部から離れた前記光電変換素子ほど前記クラッド層の厚さを厚くしたことを特徴とする請求項1に記載の固体撮像素子。
- 各光導波路毎にオンチップマイクロレンズを備えると共に、前記受光領域の中央部から離れた該オンチップマイクロレンズほど前記中央部の方向にずらして該オンチップマイクロレンズが形成されていることを特徴とする請求項1または請求項2に記載の固体撮像素子。
- 前記光導波路のうち入射光が全反射しない側の前記クラッド層の膜厚を全反射する側の前記クラッド層の膜厚より薄く形成したことを特徴とする請求項1乃至請求項3のいずれかに記載の固体撮像素子。
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Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2010239074A (ja) * | 2009-03-31 | 2010-10-21 | Sony Corp | 固体撮像素子、撮像装置 |
JP2012124377A (ja) * | 2010-12-09 | 2012-06-28 | Sony Corp | 固体撮像装置とその製造方法、及び電子機器 |
JP2013089880A (ja) * | 2011-10-20 | 2013-05-13 | Canon Inc | 固体撮像装置およびカメラ |
RU2497234C2 (ru) * | 2011-02-09 | 2013-10-27 | Кэнон Кабусики Кайся | Фотоэлектрический преобразующий элемент, фотоэлектрическое преобразующее устройство и система для считывания изображений |
JP2014056067A (ja) * | 2012-09-12 | 2014-03-27 | Canon Inc | 撮像素子及びそれを用いた測距装置 |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2002118245A (ja) * | 2000-10-11 | 2002-04-19 | Sharp Corp | 固体撮像素子およびその製造方法 |
JP2003224249A (ja) * | 2002-01-28 | 2003-08-08 | Sony Corp | 半導体撮像装置及びその製造方法 |
JP2005019699A (ja) * | 2003-06-26 | 2005-01-20 | Fuji Photo Film Co Ltd | 固体撮像素子 |
JP2005259824A (ja) * | 2004-03-09 | 2005-09-22 | Canon Inc | 固体撮像素子及び非対称光導波路の形成方法 |
JP2006190766A (ja) * | 2005-01-05 | 2006-07-20 | Sony Corp | 固体撮像素子 |
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2007
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Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2002118245A (ja) * | 2000-10-11 | 2002-04-19 | Sharp Corp | 固体撮像素子およびその製造方法 |
JP2003224249A (ja) * | 2002-01-28 | 2003-08-08 | Sony Corp | 半導体撮像装置及びその製造方法 |
JP2005019699A (ja) * | 2003-06-26 | 2005-01-20 | Fuji Photo Film Co Ltd | 固体撮像素子 |
JP2005259824A (ja) * | 2004-03-09 | 2005-09-22 | Canon Inc | 固体撮像素子及び非対称光導波路の形成方法 |
JP2006190766A (ja) * | 2005-01-05 | 2006-07-20 | Sony Corp | 固体撮像素子 |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2010239074A (ja) * | 2009-03-31 | 2010-10-21 | Sony Corp | 固体撮像素子、撮像装置 |
JP2012124377A (ja) * | 2010-12-09 | 2012-06-28 | Sony Corp | 固体撮像装置とその製造方法、及び電子機器 |
RU2497234C2 (ru) * | 2011-02-09 | 2013-10-27 | Кэнон Кабусики Кайся | Фотоэлектрический преобразующий элемент, фотоэлектрическое преобразующее устройство и система для считывания изображений |
JP2013089880A (ja) * | 2011-10-20 | 2013-05-13 | Canon Inc | 固体撮像装置およびカメラ |
JP2014056067A (ja) * | 2012-09-12 | 2014-03-27 | Canon Inc | 撮像素子及びそれを用いた測距装置 |
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