JP2006317306A - 重ね合わせ測定装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 基板11の異なる層に形成された第1マークと第2マークの画像を測定波長域の光によって取り込み、該測定波長域での画像に基づいて、第1マークと第2マークとの重ね合わせずれ量を求める第1計測手段(13〜27)と、第1マークと第2マークの画像を測定波長域とは異なる評価波長域の光によって取り込み、該評価波長域での画像に基づいて、第1マークと第2マークとの重ね合わせずれ量を求める第2計測手段(13〜27)と、第1計測手段が測定波長域で求めた重ね合わせずれ量と、第2計測手段が評価波長域で求めた重ね合わせずれ量とに基づいて、測定波長域での重ね合わせずれ量の信頼性に関わる指標を算出する算出手段27とを備える。
【選択図】 図1
Description
また、前記算出手段は、前記第1計測手段および前記第2計測手段が求めた重ね合わせずれ量のうち最大値と最小値との差を前記指標として算出することが好ましい。
本実施形態の重ね合わせ測定装置10(図1)は、半導体素子や液晶表示素子などの製造工程において、基板11のレジストパターンの重ね合わせ検査を行う装置である。基板11は、半導体ウエハや液晶基板などであり、レジスト層に対する露光・現像後で、所定の材料膜に対する加工(エッチング処理)前の状態にある。基板11には重ね合わせ検査のために多数の測定点が用意され、各測定点には図2に示す重ね合わせマーク11Aが形成されている。図2(a)は平面図、図2(b)は断面図である。
波長切替機構3Bの光学フィルタを切り替えて照明光路に挿入することで、光源3Aから射出された広帯域波長の光のうち、光学フィルタの透過特性に応じた所定の波長域の光を選択することができる。波長切替機構3Bの光学フィルタを透過した後の光(所定の波長域の光)は、レンズ3Cとライトガイドファイバ3Dとを介して、開口絞り14に導かれる。
CCDカメラ26は、その撮像面が結像光学系(19〜25)の像面と一致するように配置される。CCDカメラ26は、複数の画素が2次元配列されたエリアセンサであり、基板11上の重ね合わせマーク11Aの光学像を撮像して、画像信号を制御部27に出力する。画像信号は、CCDカメラ26の撮像面における光学像の各画素ごとの輝度値に関する分布(輝度分布)を表している。
重ね合わせ測定装置10の制御部17は、まず(ステップS1)、ステージ12を制御して、視野領域内に基板11の1つの重ね合わせマーク11Aを位置決めする。次に(ステップS2)、波長切替機構3Bを制御して、基板11への落斜照明光の波長域を“測定波長域α”に設定する。測定波長域αは、例えば上記の光学フィルタ(3)を照明光路に挿入した場合、その透過波長域に対応して530nm〜700nmとなる。
2回目のステップS3では、測定波長域αとは異なる評価波長域βの光によって、重ね合わせマーク11Aの画像を取り込み、この評価波長域βでの画像における信号強度のプロファイルを用いて、同様の重ね合わせ相関の演算を行い、レジストマーク31と下地マーク32との重ね合わせずれ量Δβを求める。
3回目のステップS3でも、同様に、2つ目の評価波長域γの光によって、重ね合わせマーク11Aの画像を取り込み、この評価波長域γでの画像における信号強度のプロファイルを用いて、同様の重ね合わせ相関の演算を行い、レジストマーク31と下地マーク32との重ね合わせずれ量Δγを求める。
ここで、重ね合わせずれ量Δα,Δβ,Δγのばらつき具合は、重ね合わせマーク11Aの画像における信号強度のプロファイルのエッジ波形32L,32R(図2(c),図3(b),図4(b))の対称性が、落斜照明光の波長域によって変化するか否かに関係している。定性的には、落斜照明光の波長域を変化させたときに、エッジ波形32L,32Rの対称性が大きく変化すれば、重ね合わせずれ量Δα,Δβ,Δγのばらつき具合も大きくなる。
エッジの高さが空気媒質中換算で照明波長の1/4倍,3/4倍,5/4倍,…のときには、エッジの上側での反射光L1と下側での反射光L2(図6)が反対位相となるため、両者が混じり合うエッジ近傍において最も大きい消光比を得ることができ、エッジ波形32L,32Rにはコントラストの大きなピーク構造が現れる。
このように、エッジ波形32L,32Rに現れるピーク構造のコントラストは、下地マーク32のエッジの高さと照明波長との関係に依存して変化する。したがって、図3(a)のように下地マーク32のエッジの高さが左右で不均一となっている場合には、左右のエッジごとに、ピーク構造のコントラストの照明波長による変化が異なり、エッジ波形32L,32Rの対称性が照明波長に依存して変化することになる。
また、重ね合わせずれ量Δα,Δβ,Δγのばらつきが小さい場合には、上記した下地マーク32のエッジの左右均一(図2(b))に起因してエッジ波形32L,32Rが左右対称となるため(図2(c))、測定波長域αでの重ね合わせずれ量Δαを正しい測定結果と考えることができる。
比較の結果、指標が閾値より小さいときには(ステップS6がYes)、重ね合わせずれ量Δα,Δβ,Δγのばらつきが小さいため、測定波長域αでの重ね合わせずれ量Δαを正しい測定結果として採用する(ステップS7)。逆に、指標が閾値以上の場合には(ステップS6がNo)、重ね合わせずれ量Δα,Δβ,Δγのばらつきが大きいため、測定波長域αでの重ね合わせずれ量Δαを正しい測定結果として採用せずに、図5の処理を終了する。
(変形例)
なお、上記した実施形態では、測定波長域αの中の短波側と長波側に評価波長域β,γを設定したが、本発明はこれに限定されない。評価波長域β,γの全体が測定波長域αの中に含まれる場合に限らず、評価波長域β,γを測定波長域αの内外に渡って設定する場合でも、測定波長域β,γを測定波長域αの外に設定する場合でも、本発明を適用して同様の効果を得ることができる。
さらに、上記した実施形態では、重ね合わせずれ量Δα,Δβ,Δγから求めた指標に基づいて、測定波長域αでの重ね合わせずれ量Δαが正しいか否かを判断する例で説明したが、本発明はこれに限定されない。上記の説明で分かるように、重ね合わせずれ量Δα,Δβ,Δγから求めた指標は、下地マーク32のエッジ形状を反映しているため、間接的に、下地層のパターンのエッジ形状をモニタすることができる。すなわち、重ね合わせずれ量Δα,Δβ,Δγから求めた指標に基づいて、基板11のパターンの欠陥検査を行うこともできる。
11 基板
13〜19 照明光学系
3B 波長切替機構
19〜25 結像光学系
26 CCDカメラ
27 制御部
31 レジストマーク
32 下地マーク
Claims (4)
- 基板の異なる層に形成された第1マークと第2マークの画像を測定波長域の光によって取り込み、該測定波長域での画像に基づいて、前記第1マークと前記第2マークとの重ね合わせずれ量を求める第1計測手段と、
前記第1マークと前記第2マークの画像を前記測定波長域とは異なる評価波長域の光によって取り込み、該評価波長域での画像に基づいて、前記第1マークと前記第2マークとの重ね合わせずれ量を求める第2計測手段と、
前記第1計測手段が前記測定波長域で求めた重ね合わせずれ量と、前記第2計測手段が前記評価波長域で求めた重ね合わせずれ量とに基づいて、前記測定波長域での重ね合わせずれ量の信頼性に関わる指標を算出する算出手段とを備えた
ことを特徴とする重ね合わせ測定装置。 - 請求項1に記載の重ね合わせ測定装置において、
前記第2計測手段は、前記評価波長域を前記測定波長域の短波側と長波側の双方に各々設定し、各々の前記評価波長域で重ね合わせずれ量を求め、
前記算出手段は、前記測定波長域での重ね合わせずれ量と、複数の前記評価波長域での各々の重ね合わせずれ量とに基づいて、前記指標を算出する
ことを特徴とする重ね合わせ測定装置。 - 請求項1または請求項2に記載の重ね合わせ測定装置において、
前記算出手段は、前記第1計測手段および前記第2計測手段が求めた重ね合わせずれ量のうち最大値と最小値との差を前記指標として算出する
ことを特徴とする重ね合わせ測定装置。 - 請求項1または請求項2に記載の重ね合わせ測定装置において、
前記算出手段は、前記第1計測手段および前記第2計測手段が求めた重ね合わせずれ量の標準偏差を前記指標として算出する
ことを特徴とする重ね合わせ測定装置。
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