JP2006314860A - 粘性流体塗布装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】バルブユニット50と管路71bを連結部90により接続し、この連結部90が、流路65と連通して外周に外ねじ部92が形成された内管91と、管路71bに連通して内周に外ねじ部92に螺合する内ねじ部96が形成された外管95とから成り、この外管95の内部に弾性筒30を内挿し、外ねじ部92と内ねじ部96を螺着することにより、内管91の端面bにより弾性筒30の一端面aを押圧して、弾性筒30の他端面cを外管95の受け部dに押接するようにした。
【選択図】図3
Description
前記バルブユニットに形成された流路と前記塗布部側の前記管路を連結部により接続し、この連結部が、前記流路に連通して外周に外ねじ部が形成された内管と、前記塗布部側の前記管路に連通して内周に前記外ねじ部に螺合する内ねじ部が形成された外管とから成り、この外管の内部に弾性筒を内挿し、前記内管の外ねじ部と前記外管の内ねじ部を螺着
することにより、前記内管の端面により前記弾性筒の一端面を押圧して、前記弾性筒の他端面を前記外管の受け面に押接するようにした。
前記バルブユニットに形成された流路と前記塗布部側の前記管路を連結部により接続し、この連結部が、前記流路に連通して外周に外ねじ部が形成された内管と、前記塗布部側の前記管路に連通して内周に前記外ねじ部に螺合する内ねじ部が形成された外管とから成り、この外管の内部に弾性筒を内挿し、前記内管の外ねじ部と前記外管の内ねじ部を螺着することにより、前記内管の端面により前記弾性筒の一端面を押圧して、前記弾性筒の他端面を前記外管の受け面に押接するようにした。
駆動により、塗布部20がX、Y、Zの各方向に移動する。これにより、ペースト供給体70から管路71を経て塗布部20に供給されるペーストを塗布部20下端のノズル19から吐出し、所定の描画パターンで基板Pに塗布する。Xテーブル11、Yテーブル12は、塗布部20を基板Pに対して相対的に水平移動させる水平移動手段となっている。
プを巻回する手間を省くことができる。また、連結部90内の流路の段差をなくし略均一な内径にしているので、連結部90内を流れるペーストの圧力損失を防止するとともに空気溜りの発生を防止し、連結部90内を流れるペーストの供給量が安定する。これにより、塗布部20から基板等へのペーストの塗布量や塗布速度等が安定して塗布精度の向上を期すことができる。
10 粘性流体塗布部
11 Xテーブル
12 Yテーブル
19 ノズル
20 塗布部
30 弾性筒
50 バルブユニット
65 流路
70 ペースト供給体
71 管路
90 連結部
91 内管
92 外ねじ部
95 外管
96 内ねじ部
P 基板
a 一端面
b 端面
c 他端面
d 受け面
Claims (3)
- 粘性流体を供給する粘性流体供給部と、この粘性流体供給部より粘性流体を供給され被塗布体に粘性流体を塗布する塗布部と、この塗布部を水平方向に移動させる水平移動手段と、前記粘性流体供給部と前記塗布部とを接続する管路と、この管路に設けられたバルブユニットとを備え、
前記バルブユニットに形成された流路と前記塗布部側の前記管路を連結部により接続し、この連結部が、前記流路に連通して外周に外ねじ部が形成された内管と、前記塗布部側の前記管路に連通して内周に前記外ねじ部に螺合する内ねじ部が形成された外管とから成り、この外管の内部に弾性筒を内挿し、前記内管の外ねじ部と前記外管の内ねじ部を螺着することにより、前記内管の端面により前記弾性筒の一端面を押圧して、前記弾性筒の他端面を前記外管の受け面に押接するようにしたことを特徴とする粘性流体塗布装置。 - 被塗布体を位置決めする位置決め部と、粘性流体を供給する粘性流体供給部と、この粘性流体供給部より粘性流体を供給され被塗布体に粘性流体を塗布する塗布部と、この塗布部を被塗布体と相対的に移動させる水平移動手段と、前記粘性流体供給部と前記塗布部とを接続する管路と、この管路に設けられたバルブユニットとを備え、
前記バルブユニットに形成された流路と前記塗布部側の前記管路を連結部により接続し、この連結部が、前記流路に連通して外周に外ねじ部が形成された内管と、前記塗布部側の前記管路に連通して内周に前記外ねじ部に螺合する内ねじ部が形成された外管とから成り、この外管の内部に弾性筒を内挿し、前記内管の外ねじ部と前記外管の内ねじ部を螺着することにより、前記内管の端面により前記弾性筒の一端面を押圧して、前記弾性筒の他端面を前記外管の受け面に押接するようにしたことを特徴とする粘性流体塗布装置。 - 前記弾性筒の前記他端面がテーパ面であり、且つ前記外管の前記受け面がこのテーパ面が当接するテーパ面であり、このテーパ面同士を押接させることを特徴とする請求項1又は2記載の粘性流体塗布装置。
Priority Applications (2)
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JP2005137037A JP2006314860A (ja) | 2005-05-10 | 2005-05-10 | 粘性流体塗布装置 |
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Applications Claiming Priority (1)
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JP2005137037A JP2006314860A (ja) | 2005-05-10 | 2005-05-10 | 粘性流体塗布装置 |
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JP2005137037A Pending JP2006314860A (ja) | 2005-05-10 | 2005-05-10 | 粘性流体塗布装置 |
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-
2005
- 2005-05-10 JP JP2005137037A patent/JP2006314860A/ja active Pending
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