WO2006120943A1

WO2006120943A1 - 粘性流体塗布装置

Info

Publication number: WO2006120943A1
Application number: PCT/JP2006/308991
Authority: WO
Inventors: Hachiro Nakatsuji; Akira Iizuka; Akira Kabeshita
Original assignee: Matsushita Electric Industrial Co., Ltd.
Priority date: 2005-05-10
Filing date: 2006-04-28
Publication date: 2006-11-16

Abstract

　ペースト供給体（１１０）と塗布部（２０）とを接続する管部（１２０）に設けられたバルブユニット（５０）を、可動部（６２）を備えた本体部（６０）と、本体部（６０）を着脱自在に装着するホルダ（８０）と、可動部（６２）を作動させて粘性流体流路の開閉を行うアクチュエータ（５１）とより構成することにより、粘性流体塗布装置の洗浄の際のバルブユニット（５０）の分解や組立てを簡単に行うことができるようにしている。

Description

粘性流体塗布装置

技術分野

[0001] 本発明は、リードフレームや基板等の被塗布体に接着用の粘性流体を塗布する粘性流体塗布装置に関するものである。

背景技術

[0002] 半導体装置製造のダイボンディング工程では、リードフレームや基板等の被塗布体に半導体チップを接着するためのペースト等の粘性流体を塗布する粘性流体塗布装置が広く使用されている。粘性流体塗布装置には、粘性流体を基板等に塗布する塗布部や、塗布部に粘性流体を供給する粘性流体貯溜容器等の粘性流体供給部が設けられており、主として空圧により粘性流体の供給が行われる。粘性流体供給部力塗布部への粘性流体の供給は、両者の間に介在させたバルブユニットにより流量等を制御して行われる（例えば特許文献 1参照)。

[0003] 特許文献 1：特開 2000— 117171号公報

発明の開示

発明が解決しょうとする課題

[0004] 一般に、ペースト等の粘性流体は短時間で変質する性質を有して、るので、粘性流体塗布装置を、適宜、洗浄することが要求される。また、粘性流体塗布装置において使用される粘性流体は多品種あり、粘性流体の品種を変更する場合も洗浄を行う必要がある。従って、粘性流体塗布装置の洗浄の際には、粘性流体の流路を備えるバルブユニットを分解して洗净する作業が頻繁に発生する。

[0005] し力しながら、バルブユニットが塗布部に組み込まれて、ると、塗布部からバルブュニットを脱着して分解する作業や、洗浄後にバルブユニットを組立てて塗布部に装着するという作業が必要となる。このような作業には工具や熟練した技術を必要とするため、多大な時間や労力を要し、効率的な作業ができないという問題があった。

[0006] そこで本発明は、粘性流体塗布装置の洗浄の際のノレブユニットの分解や組立てを簡単に行うことができる粘性流体塗布装置を提供することを目的とする。課題を解決するための手段

[0007] 本発明は、前記目的を達成するため、以下のように構成している。

[0008] 本発明の第 1態様によれば、粘性流体を供給する粘性流体供給部と、

前記粘性流体供給部より供給された前記粘性流体を被塗布体に塗布する塗布部と、

前記粘性流体を被塗布体に塗布するとき前記塗布部を横方向に移動させる横移動装置と、

前記粘性流体供給部と前記塗布部とを接続して前記粘性流体供給部より前記塗布部に前記粘性流体を供給する管路を内部に形成する管部と、

前記管部の途中に設けられて前記管部の前記管路に連通する流路を開閉して前記粘性流体供給部より前記塗布部への前記粘性流体の供給を制御するバルブュニットとを備え、

前記バノレブュニットが、

前記管部の前記管路に連通する前記流路が形成され且つ前記流路を開閉する可動部を備えた本体部と、

前記本体部を着脱自在に装着するホルダと、

前記可動部を作動させて前記流路の開閉を行うァクチユエータとより構成し、前記本体部が被係合子を備え、また前記ホルダが、前記被係合子と係脱自在に係合する係合部を有する係合体を備え、前記係合部を前記被係合子に係合させることにより前記本体部を前記ホルダに装着し、前記被係合子から離脱させることにより前記本体部を前記ホルダから離脱する粘性流体塗布装置を提供する。

[0009] 本発明の第 2態様によれば、被塗布体を位置決めする位置決め部と、

粘性流体を供給する粘性流体供給部と、

前記粘性流体供給部より供給された前記粘性流体を、前記位置決め部に位置決めされた前記被塗布体に塗布する塗布部と、

前記粘性流体を前記被塗布体に塗布するとき前記塗布部と前記被塗布体とを相対的に横方向に移動させる横方向移動装置と、

前記バノレブュニットが、

前記本体部を着脱自在に装着するホルダと、

前記可動部を作動させて前記流路の開閉を行うァクチユエータとより構成し、前記本体部が被係合子を備え、また前記ホルダが前記被係合子と係脱自在に係合する係合部を有する係合体を備え、前記係合部を前記被係合子に係合させることにより前記本体部を前記ホルダに装着する位置と、前記被係合子力離脱させることにより前記本体部を前記ホルダから離脱する位置に選択的に前記係合体を移動自在とする粘性流体塗布装置を提供する。

[0010] 本発明の第 3態様によれば、前記被係合子が、小径部と前記小径部より先端側に設けられた大径部とを有する突起体より構成し、且つ前記係合部が、前記被係合子が係入する係合孔であり、前記係合孔に係入された前記被係合子の前記小径部に前記係合孔を係合させることにより前記本体部を前記ホルダに装着する第 1の態様に記載の粘性流体塗布装置を提供する。

[0011] 本発明の第 4態様によれば、前記被係合子が、小径部と前記小径部より先端側に設けられた大径部とを有する突起体より構成し、且つ前記係合部が、前記被係合子が係入する係合孔であり、前記係合孔に係入された前記被係合子の前記小径部に前記係合孔を係合させることにより前記本体部を前記ホルダに装着する第 2の態様に記載の粘性流体塗布装置を提供する。

[0012] 本発明の第 5態様によれば、前記被係合子が、前記小径部と前記大径部の間に前記小径部から前記大径部に向けて直径が漸増するテーパ部を備え、且つ前記ホルダが、前記本体部を前記ホルダに装着する位置に前記係合体を付勢する付勢部材を備え、前記付勢部材の付勢力により前記係合孔の縁部に前記テーパ部を押接させることにより前記本体部を前記ホルダに装着する第 3の態様に記載の粘性流体塗布装置を提供する。

[0013] 本発明の第 6態様によれば、前記被係合子が、前記小径部と前記大径部の間に前記小径部から前記大径部に向けて直径が漸増するテーパ部を備え、且つ前記ホルダが、前記本体部を前記ホルダに装着する位置に前記係合体を付勢する付勢部材を備え、前記付勢部材の付勢力により前記係合孔の縁部に前記テーパ部を押接させることにより前記本体部を前記ホルダに装着する第 4の態様に記載の粘性流体塗布装置を提供する。

[0014] 本発明の第 7態様によれば、前記バルブユニットに形成された前記流路と前記塗布部側の前記管部の前記管路とを接続し、かつ、前記流路に連通して外周に外ねじ部が形成された内管と、前記塗布部側の前記管部の前記管路に連通して内周に前記外ねじ部に螺合する内ねじ部が形成された外管とより構成される連結部と、前記外管の内部に内挿され、かつ、前記外管の内部に内挿された状態で前記内管の前記外ねじ部と前記外管の前記内ねじ部を螺着することにより一端面が前記内管の端面により押圧されて密着されるとともに他端面が前記外管の受け面に押接されて密着される弾性筒とを備える第 1の態様に記載の粘性流体塗布装置を提供する

[0015] 本発明の第 8態様によれば、前記バルブユニットに形成された 65流路と前記塗布部側の前記管部の前記管路とを接続し、かつ、前記流路に連通して外周に外ねじ部が形成された内管と、前記塗布部側の前記管部の前記管路に連通して内周に前記外ねじ部に螺合する内ねじ部が形成された外管とより構成される連結部と、

前記外管の内部に内挿され、かつ、前記外管の内部に内挿された状態で前記内管の前記外ねじ部と前記外管の前記内ねじ部を螺着することにより一端面が前記内管の端面により押圧されて密着されるとともに他端面が前記外管の受け面に押接されて密着される弾性筒とを備える第 2の態様に記載の粘性流体塗布装置を提供する

[0016] 本発明の第 9態様によれば、前記弾性筒の前記他端面がテーパ面であり、且つ前記外管の前記受け面が前記テーパ面が当接するテーパ面であり、前記テーパ面同士を押接させて密着される第 7の態様に記載の粘性流体塗布装置を提供する。

[0017] 本発明の第 10態様によれば、前記弾性筒の前記他端面がテーパ面であり、且つ前記外管の前記受け面が前記テーパ面が当接するテーパ面であり、前記テーパ面同士を押接させて密着される第 8の態様に記載の粘性流体塗布装置を提供する。発明の効果

[0018] 本発明の第 1〜6態様によれば、バルブユニットを本体部とこの本体部を着脱自在に装着するホルダで構成してヽるので、粘性流体塗布装置の洗浄の際のバルブュニットの分解や組立てを簡単に行うことができる。従って、作業に要する時間や労力が軽減され、粘性流体塗布装置の稼働率の向上を図ることができる。

[0019] また、本発明の第 7〜10態様によれば、バルブユニットど塗布部側の前記管部の管路との連結部を、互いに螺合する内管と外管と、その間に挿入される弾性筒とにより構成しているので、内管と外管との螺合又は螺合解除によりバルブユニットど塗布部側の前記管部の管路との接離を容易に行うことができる。また、弾性筒を外管に内挿した状態で内管と外管を螺着して、内管と弾性筒とを密着させかつ外管と弾性筒とを密着させるので、弾性筒が、連結部のシーリングの役目を果たすとともに連結部内の段差をなくして、連結部内を流れる粘性流体の供給量を安定させる。従って、バルブユニットから塗布部への粘性流体供給が安定し、塗布部から被塗布体への粘性流体塗布量が安定するので、塗布精度の悪ィ匕を防止することができる。

図面の簡単な説明

[0020] 本発明のこれらと他の目的と特徴は、添付された図面についての好ましい実施形態に関連した次の記述から明らかになる。この図面においては、

[図 1]図 1は、本発明の第 1実施形態における粘性流体塗布装置の側面図であり、 [図 2]図 2は、本発明の第 1実施形態における粘性流体塗布装置のバルブユニットの斜視図であり、

[図 3]図 3は、本発明の第 1実施形態における粘性流体塗布装置のバルブユニットの本体部とホルダの分離状態の分解斜視図であり、

[図 4]図 4は、本発明の第 1実施形態における粘性流体塗布装置のバルブユニットの本体部とホルダの分離状態の部分分解斜視図であり、 [図 5A]図 5Aは、本発明の第 1実施形態における粘性流体塗布装置のノレブュ-ットの側面図であり、

[図 5B]図 5Bは、本発明の第 1実施形態における粘性流体塗布装置のバルブュ-ットの側面図であり、

[図 6A]図 6Aは、本発明の第 1実施形態における粘性流体塗布装置のノレブュ-ットの側面図であり、

[図 6B]図 6Bは、本発明の第 1実施形態における粘性流体塗布装置のバルブュ-ットの側面図であり、

[図 7]図 7は、本発明の第 1実施形態における粘性流体塗布装置のバルブユニットの部分拡大図であり、

[図 8]図 8は、本発明の第 2実施形態における粘性流体塗布装置のバルブユニットの部分拡大図であり、

[図 9]図 9は、本発明の第 3実施形態における粘性流体塗布装置のバルブユニットの部分拡大図であり、

[図 10]図 10は、本発明の第 4実施形態における粘性流体塗布装置の連結部の分離状態の側断面図であり、

[図 11]図 11は、本発明の第 4実施形態における粘性流体塗布装置の連結部の連結状態の側断面図である。

発明を実施するための最良の形態

[0021] 本発明の記述を続ける前に、添付図面において同じ部品については同じ参照符号を付している。

[0022] 以下、図面を参照して本発明における第 1実施形態を詳細に説明する。

[0023] (第 1実施形態）

以下、本発明の第 1実施形態について図面を参照して説明する。図 1は本発明の第 1実施形態における粘性流体塗布装置の側面図、図 2は本発明の第 1実施形態における粘性流体塗布装置のバルブユニットの斜視図、図 3は本発明の第 1実施形態における粘性流体塗布装置のバルブユニットの本体部とホルダの分離状態の分解斜視図、図 4は本発明の第 1実施形態における粘性流体塗布装置のバルブュ-ットの本体部とホルダの分離状態の部分分解斜視図、図 5A、図 5B、図 6A、図 6Bはそれぞれ本発明の第 1実施形態における粘性流体塗布装置のバルブユニットの側面図、図 7は本発明の第 1実施形態における粘性流体塗布装置のバルブユニットの部分拡大図である。

[0024] まず、粘性流体塗布装置の全体構成について説明する。図 1において、基台 1上には位置決め部 2が配設されて、る。位置決め部 2は被塗布体の一例としての基板 Pの搬送機構を具備しており、基板 Pを搬送して所定位置に位置決めする。なお、この第 1実施形態では、位置決め部 2による基板 Pの搬送方向を X方向とし、これに直交する方向を Y方向とする。位置決め部 2の上方には、粘性流体の一例としてのぺ一ストを基板 Pに塗布する塗布部 20が配設されている。

[0025] 塗布部 20は、 Xテーブル 11と Yテーブル 12で移動可能に配置されて!、る。 Yテーブル 12の下部に Xテーブル 11が配置されている。 Xテーブル 11の下部には Zテーブル 13が設けられている。 Zテーブル 13には、ブラケット 14を介して塗布部 20が装着され、 Xテーブル 11には粘性流体供給部の一例としてペースト供給体 110が装着されている。ペースト供給体 110と塗布部 20は管部 120の管路により接続されており、ペースト供給体 110内に貯溜されたペーストは、前記管部 120の管路を経て塗布部 20に供給される。なお、前記管部 120は、後述するノレブユニット 50により、管路 120cが内部に形成されたペースト供給体 110側の管部 120aと、管路 120dが内部に形成された塗布部 20側の管部 120bとに 2分割されている（図 5A、図 11参照)。

[0026] Xテーブル 11、 Yテーブル 12、 Zテーブル 13には各々の駆動部として Xモータ MX 、 Yモータ MY、 Zモータ MZが備えられており、各モータ MX、 MY、 MZの駆動により、塗布部 20が X、 Y、 Ζの各方向に移動する。これにより、塗布部 20は基板 Ρ上を X テーブル 11、 Υテーブル 12、 Ζテーブル 13で移動しつつ、ペースト供給体 110から前記管部 120の管路を経て塗布部 20に供給されるペーストを、塗布部 20の下端のノズル 19から吐出することにより、所定の描画パターンで基板 Ρに塗布する。 Xテーブル 11と Υテーブル 12は、塗布部 20を基板 Ρに対して相対的に横方向（X方向及び Υ方向）に（例えば水平方向に)移動させる横移動装置 9を構成して、る。

[0027] Ζテーブル 13の下端にはセンサ 100が装着されている。センサ 100は、ノズル 19の先端部と基板 Pとの距離を検知するとともに、基板 Pに設けられた認識マーク Mを認識してノズル 19の横方向（例えば水平方向）の位置を検知する。

[0028] 前記管部 120の中間部には、バルブユニット 50が連結部 90、 130により接続されている。バルブユニット 50は棒状の可動部 62を備えており（図 5A参照）、可動部 62 の移動 (矢印 aの方向の移動）により前記管部 120の管路と連通する流路 65を開閉し、ペースト供給体 110から塗布部 20へのペースト供給の制御を行う。

[0029] 次に、バルブユニット 50について説明する。図 2、図 3において、バルブユニット 50 は、本体部 60と、本体部 60を着脱自在に装着するホルダ 80とより構成されている。図 2は本体部 60がホルダ 80に装着された状態を示しており、図 3は本体部 60がホルダ 80と分離された状態を示してヽる。

[0030] 本体部 60は、箱形の本体 61と、本体 61内の貫通穴 6 laを、流路 65と直交する方向である長手方向（図 2の矢印 aの方向）に摺動する可動部 62と、前記長手方向と直交する流路 65沿いの本体 61の対向する面にそれぞれ設けられた流入管 63と流出管 64とより構成している（以上、図 5Aも参照)。

[0031] 図 4において、本体 61の一側面には一対の被係合子 70が突設されている。各被係合子 70は、本体 61の一側面に装着された円柱状の基部 70aと、基部 70aに連続する小径部 70bと、小径部 70bより先端側に設けられかつ先端にテーパ面を有する大径部 70cとを有する突起体で構成している。小径部 70bと基部 70aは、小径部 70b 力も基部 70aに向けて直径が漸増するテーパ部 70gにより連続するように連結されている。小径部 70bと大径部 70cは、小径部 70bから大径部 70cに向けて直径が漸増するテーパ部 70dにより連続するように連結されている（図 6A、図 6Bも参照)。

[0032] 図 3において、ホルダ 80は、長板状のフレーム 81より構成し、その背面側には係合体 82が装着されている。フレーム 81の本体部 60の装着側には、側板 81a、 81bと端板 81cが設けられている。側板 81a、 81bの間は溝部 83になっている。フレーム 81には、本体部 60をホルダ 80に装着する際に本体 61の一側面に突設された被係合子 7 0を挿入する挿入孔 8 Idが 2個開孔されてヽる。フレーム 81の背面側に装着された係合体 82は、長板状に形成されており、フレーム 81の背面に設けられた凹部 81hと側板 81a、 81bと一対のガイド 85との間で移動自在に保持されている。係合体 82の端部は屈曲されて、操作部 82aになっている。

[0033] 図 4において、操作部 82aに近接配置された一方のガイド 85と操作部 82aの間には、係合体 82の付勢部材の一例としてパネ 86が設けられており、操作部 82aがフレーム 81から離間する方向（矢印 b方向）へ係合体 82を常時付勢している。係合体 82 には係合部の一例としての一対の係合孔 82bが開孔されており、操作部 82aをパネ 86の付勢力に抗して指先等により矢印 c方向（矢印 b方向とは逆方向であって、図 6 B参照）へ移動させると、フレーム 81の一対の挿入孔 81dとそれぞれ合致する位置に移動する。

[0034] 図 3において、フレーム 81の端板 81cの略中央には貫通孔 81eが開孔されている。

端板 81 cの外側にはァクチユエータ 51が設けられて!/、る。ァクチユエータ 51のロッド 51aの先端にはジョイント部 52が設けられており、ジョイント部 52は、貫通孔 81eを通つて端板 81cの内側（ホルダ装着側）に突出している。ァクチユエータ 51の駆動によりロッド 51aは進退動作し、ジョイント部 52は矢印 h方向に移動する。このジョイント部 52は、一対の大径円板部 52aを小径円板部 52bで連結して大略 H形状の側面を有するように構成されている。

[0035] 図 4及び図 6A及び図 6Bにおいて、可動部 62の軸部 62dの一端部はジョイント部 6 2bとなっており、本体部 60をホルダ 80に装着した際にこのジョイント部 62bがァクチユエータ 51のジョイント部 52と容易に係合するように構成している。より詳細には、可動部 62の一端部のジョイント部 62bは、ジョイント部 62bの軸方向と直交する方向沿いのジョイント部 52の挿入側に開口を有してジョイント部 52の一対の大径円板部 52a をそれぞれ挿入係合可能な一対の第 1凹部 62eと、前記ジョイント部 52の挿入側に開口を有してジョイント部 52の小径円板部 52bを挿入係合可能でかつ一対の凹部 6 2eを互いに連通させる第 2凹部 62fとを備えている。よって、ジョイント部 62bは、第 1 凹部 62eと第 2凹部 62fと第 1凹部 62eとで構成されて大略 H形状の開口を、ジョイント部 62bの軸方向と直交する方向沿いのジョイント部 52の挿入側に有するように構成されている。一対の被係合子 70を一対の揷入孔 8 Id及び一対の係合孔 82bに挿入するとき、このジョイント部 62bの大略 H形状の開口には、大径円板部 52aと小径円板部 52bと大径円板部 52aとで構成されて大略 H形状の側面を有するジョイント部 5 2が容易に挿入されるようにしている。その結果、大径円板部 52aと小径円板部 52b と大径円板部 52aが、それぞれ、第 1凹部 62eと第 2凹部 62fと第 1凹部 62eとに挿入係合されて、軸方向に移動不可に、かつ、大略 H形状の開口側 (被係合子 70が挿入孔 81d及び係合孔 82bに挿入される方向とは逆方向）には抜き差し可能に確実に係合されることになる。なお、可動部 62の軸部 62dの他端部には、本体 61の貫通穴 61内で摺動する軸部 62dより大径の抜止め部 62cが形成されて、抜止め部 62cが本体 61の貫通穴 61から突出した抜止め部 62cが本体 61と係止することにより、ァクチユエータ 51側に対して抜け止めとなっている。従って、このような構造において、ァクチユエータ 51のロッド 51aが進退動作をすることにより、可動部 62は、本体 61の貫通穴 61内を流路 65と直交する方向である矢印 a方向に摺動する（図 5A参照)。

[0036] 次に、本体 61の内部について説明する。図 5A及び図 5Bにおいて、本体部 60はホルダ 80に装着されている。本体 61内には、流入管 63と流出管 64とに連通する流路 65力可動部 62の軸方向と直交して形成されている。可動部 62には孔部 62aが径方向（可動部 62の軸方向と直交する方向）に貫通して形成されている。孔部 62a は、可動部 62の矢印 a方向への移動に伴って矢印 a方向へ移動し、図 5Aに示すように流路 65と連通して流路 65を開いたり、図 5Bに示すように流路 65を遮断して流路 6 5を閉じたりする。

[0037] 流入管 63は、第 1の連結部 130を介してペースト供給体 110側の管部 120aの管路 120cと接続される。また、流出管 64は第 2の連結部 90を介して塗布部 20側の管部 120bの管路 120dと接続される。従って、可動部 62の移動による流路 65の開閉動作により、ペースト供給体 110に貯溜されたペーストの塗布部 20への供給の制御が行われる（図 1も参照)。

[0038] 次に、本体部 60のホルダ 80に対する着脱について説明する。図 6A及び図 6B及び図 7において、本体部 60はホルダ 80に装着された状態を示している。図 6Aは、一対の被係合子 70と一対の係合孔 82bが係合し、本体部 60がホルダ 80に装着された状態を示している。また図 6Bは、操作部 82aを指先 F等で押すことにより、一対の係合体 82を矢印 c方向へ移動させて一対の被係合子 70がー対の係合孔 82bから離脱可能となり、本体部 60がホルダ 80に対し離脱可能となった状態を示して、る。 [0039] 図 6A、図 6Bにおいて、指先 F等により操作部 82aをパネ 86の付勢力に抗して強制的に矢印 c方向へ押し動かし、一対の係合孔 82bがー対の挿入孔 8 Idと合致する位置まで移動させる。これにより、一対の被係合子 70と一対の係合孔 82bの係合状態が解除されるので、一対の被係合子 70を一対の係合孔 82bと一対の挿入孔 81d 力も離脱させると同時的に、可動部 62のジョイント部 62bをァクチユエータ 51のジョイント部 52から離脱させて、本体部 60をホルダ 80から離脱して分離することができる。

[0040] 本体部 60をホルダ 80に装着する場合についても、同様に操作部 82aをパネ 86の付勢力に抗して矢印 c方向へ押し動かし、一対の係合孔 82bがー対の挿入孔 81dと合致する位置まで移動させる。この状態において、一対の係合孔 82b及び一対の挿入孔 81dに一対の被係合子 70を挿入するとともに本体部 60側の可動部 62のジョイント部 62bをホルダ 80側のァクチユエータ 51のジョイント部 52に係合させ、本体 61を溝部 83に嵌入させる。この状態で操作部 82aから指先 Fを離すと、図 6Aに示すように、パネ 86の付勢力により係合体 82はフレーム 81から離間する方向（図 7における矢印 b方向）へ移動して、一対の係合孔 82bがー対の被係合子 70に係合し、本体部 60力 Sホノレダ 80に装着される。

[0041] 図 7において、ホルダ 80に装着された本体部 60は、各被係合子 70の基部 70aと各挿入孔 81 dの縁部 81 d— 1が当接するとともに各テーパ部 70dと各係合孔 82bの縁部 82b— 1が当接することにより、フレーム 81と係合体 82に挟持されて保持されて!ヽる。このとき、係合体 82はパネ 86の付勢力により矢印 b方向に付勢されているため、各テーパ部 70dは各係合孔 82bの縁部 82b— 1により矢印 d方向（図 7の横方向）に押圧された状態となる。各テーパ部 70dは、押圧力が作用する矢印 d方向に対して斜角をなして形成されているため、各テーパ部 70dには、矢印 e方向（図 7の縦方向）にも押圧力が作用する。これにより、本体部 60はホルダ 80側に押圧された状態となる（図 7の矢印 f方向に押圧された状態となる）。従って、本体部 60は、パネ 86の付勢力により、各被係合子 70がフレーム 81と係合体 82とに挟持されて保持されるとともにホルダ 80側に本体部 60が押圧された状態で、ホルダ 80に装着される。

[0042] このように構成される粘性流体塗布装置によれば、バルブユニット 50が、本体部 60 とこの本体部 60を着脱自在に装着するホルダ 80とより構成されるので、粘性流体塗布装置の洗浄の際のバルブユニット 50の分解や組立てを簡単に行うことができる。また、本体部 60をホルダ 80に着脱する際に、可動部 62の軸部 62dのジョイント部 62b がァクチユエータ 51のジョイント部 52と容易に係合及び係合解除できるように構成されて、るため、粘性流体塗布装置の洗浄の際のノレブユニット 50の分解や組立てをより簡単に行うことができる。また、粘性流体の流路となる本体部 60と駆動源であるァクチユエータ 51が分離されているので、本体部 60の洗浄が容易となる。また、パネ 86の付勢力により本体部 60をホルダ 80側に押圧した状態で装着するので、例えばボルト等により本体部 60をホルダ 80に締結した場合に比べ、ァクチユエータ 51の駆動等に起因する振動等によりボルトが緩む等の事故が発生することがなぐ粘性流体塗布装置の稼動中に本体部 60がホルダ 80から遊離したり離脱したりする事故を防止することができる。

[0043] (第 2実施形態）

次に、本発明の第 2実施形態について図 8を参照して説明する。図 8は本体部 60 がホルダ 80に装着された状態を示している。この第 2実施形態は、一対の被係合子 70を係合させる係合機構として、第 1実施形態のフレーム 81の係合体 82とは別の形態を示すものである。なお、以下の説明において、第 1実施形態と同一の構成部分については説明を省き、主として構成が異なる部分について説明を行う。

[0044] 図 8において、ホルダ 80のフレーム 81の背面には、係合体 82の代わりに、係合体 92が設けられている。係合体 92には、フレーム 81の一対の揷入孔 81dと連通する一対の係合孔 92aが開孔されており、本体部 60がホルダ 80に装着される際に一対の被係合子 70が挿入される。各係合孔 92aに連通する一対のポケット 93が形成されている。各ポケット 93内には、付勢部材の一例としてのパネ 94と、移動可能に収納されかつパネ 94に付勢されて係合孔 92aの内側に一部突出しかつ係合部の別の例として機能する球状の係合子 95とが設けられている。一対の係合子 95は、被係合子 7 0が係合孔 92aに挿入された状態において被係合子 70のテーパ部 70dに係合し、パネ 94の付勢力によりこれを係合方向に常時押圧する。

[0045] 本体部 60とホルダ 80の着脱は、一対の被係合子 70を一対の係合孔 92aに挿抜して行う。一対の被係合子 70を一対の係合孔 92aに挿入すると、一対の係合子 95がそれぞれのパネ 94に付勢されて被係合子 70のテーパ部 70dに押接し、一対の係合子 95とテーパ部 70dの接触点には矢印 d方向（図 8の横方向でかつ互いに接近する方向）と矢印 e方向（図 8の縦方向下向き）の力が作用するので、本体部 60はホルダ 8 0側に押圧された状態で装着される（図 8の矢印 f方向に押圧された状態で装着される)。

[0046] 一方、本体部 60をホルダ 80から離脱させるときは、一対の被係合子 70を一対の係合孔 92aから抜き出すように、図 8の矢印 f方向とは逆方向に本体部 60に力を作用させる。このようにすれば、一対の係合子 95とテーパ部 70dの接触点には矢印 d方向（図 8の横方向）とは逆方向の力と、矢印 e方向（図 8の縦方向）とは逆方向の力がそれぞれ作用することになる。この結果、パネ 94の付勢力に抗して一対の係合子 95がテーパ部 70dから一対の係合孔 92aに押し戻され、一対の被係合子 70がー対の係合孔 92aから抜け出させることができる。

[0047] このようにすれば、第 1実施形態のように指先 F等で係合体の操作部 82aを操作することなく、単に、本体咅 60をホノレダ 80に向けて挿人したり、本体咅 60をホノレダ 80 力も抜き出すようにするだけで、係合及び係合解除を容易にかつ確実に行うことができる。

[0048] (第 3実施形態）

次に、本発明の第 3実施形態について図 9を参照して説明する。本発明の第 3実施形態は、前記第 2実施形態の変形例を示すものである。図 9は本体部 6がホルダ 80 に装着された状態を示している。なお、以下の説明において、第 1実施形態と同一の構成部分については説明を省き、主として構成が異なる部分について説明を行う。

[0049] 図 9において、ホルダ 80のフレーム 81の背面には、係合体 92の代わりに、係合体 96が設けられている。係合体 96は、フレーム 81の一対の揷入孔 81dと連通する一対の係合孔 96aが開孔された保持体 97と、この保持体 97の外側に設けられたスライドカム 98とより構成している。保持体 97には、各係合孔 96aに連通する一対の貫通孔 97aが形成されており、この各貫通孔 97a内に、係合孔 96aの内側に一部突出しかつ係合部のさらに別の例として機能する球状の係合子 99が移動可能に収納されている。一対の係合子 99は、被係合子 70が係合孔 96aに挿入された状態において、被係合子 70のテーパ部 70dに係合する。

[0050] スライドカム 98は、保持体 97の外側を図 9の上下方向（矢印 g方向）にスライド自在に取り付けられており、付勢部材の一例としてのパネ 170により下端部を弹持されて（スライドカム 98の下端部と保持体 97の抜け止めリング 97rとの間にパネ 170が挿入されて）、スライドカム 98が保持体 97に対して上方に常時付勢されている。スライドカム 98の上部の内側にはポケット 98aが形成されており、スライドカム 98をパネ 170の付勢力に抗して下方にスライドさせたときに、各係合子 99の一部がこのポケット 98aに納まるようになつている。各係合子 99の一部がポケット 98aに納まった状態においては、各係合子 99が係合孔 96aの内側に突出しない。スライドカム 98は、通常状態においてはパネ 170の付勢力により保持体 97に対して上方の位置にスライドしており、このとき、各係合子 99は係合孔 96aの内側に一部突出する。

[0051] 本体部 60をホルダ 80に装着する際には、スライドカム 98を指などにより保持体 97 に対して下方にスライドさせ、各係合子 99が係合孔 96aの内側に突出しない状態にして、一対の被係合子 70を一対の係合孔 96aに挿入する。挿入後、スライドカム 98 力も指を離すと、スライドカム 98はパネ 170の付勢力により保持体 97に対して上方の位置までスライドして、各係合子 99が係合孔 96aの内側に一部突出し、各係合子 99 の突出した一部が各被係合子 70のテーパ部 70dに押接して、テーパ部 70dを一対の係合子 99で挟持する。一対の係合子 99とテーパ部 70dの接触点には、図 9の矢印 d方向（図 9の横方向でかつ互いに接近する方向）と矢印 e方向（図 9の縦方向下向き）の力が作用するので、本体部 60はホルダ 80側に押圧された状態で装着される (図 9の矢印 f方向に押圧された状態で装着される)。

[0052] 一方、本体部 60をホルダ 80からの離脱する際には、装着の際と同様にスライドカム 98を下方にスライドさせ、一対の係合子 99が係合孔 96aの内側に突出しない状態にして、一対の被係合子 70を一対の係合孔 96aから抜き出して行う。

[0053] このようにすれば、本体部 60にホルダ 80から何らかの力が作用して、誤って、一対の被係合子 70がー対の係合孔 96aから抜け出ようとしても、スライドカム 98により一対の係合子 99が係合孔 96aの内側に突出した状態に保持されているため、一対の被係合子 70がー対の係合孔 96aから抜け出ることができず、本体部 60とホルダ 80との係合状態を、第 2実施形態よりも、より確実に保持することができる。

[0054] (第 4実施形態）

以下、本発明の第 4実施形態を説明するにあたり、問題点を説明する。

[0055] 先に述べたように、洗浄の際にバルブユニットを粘性流体塗布装置に対し脱着し、分解'組立作業を頻繁に行う必要があるため、バルブユニットだけではなぐバルブユニットに連結される管路を含む管部も容易に接離できるようにすることが、さらに求められている。

[0056] し力しながら、バルブユニットと管路を含む管部との連結部においては、雄ねじと雌ねじを螺合させることにより両者の接続がなされ、雄ねじにはペースト等の漏れを防止するシールテープが卷回される。このシールテープは接続の度に新たなものに卷き直す必要があるため、接離作業上の大きな手間となっていた。

[0057] 一方、バルブユニットから塗布部に至る管路において断面積が急激に変化すると、圧力損失が発生し、また断面積が増大した箇所に空気溜りが生じて粘性流体に混入し、塗布部への粘性流体供給の安定性が損なわれる。これにより、塗布部から基板等へのペーストの塗布量や塗布速度等が不安定となって塗布精度が悪化するという問題が発生する。

[0058] そこで、本発明の第 4実施形態では、バルブユニットと管路を容易に接離することができるとともに、バルブユニットから塗布部への粘性流体供給を安定させることができる粘性流体塗布装置を提供するものである。

[0059] 以下、本発明の第 4実施形態を図面を参照して説明する。本発明の第 4実施形態における粘性流体塗布装置の側面図としては、本発明の第 1実施形態における粘性流体塗布装置の側面図と同様であるため、図 1を兼用する。図 10は本発明の第 4実施形態における粘性流体塗布装置の連結部の分離状態の側断面図、図 11は本発明の第 4実施形態における粘性流体塗布装置の連結部の連結状態の側断面図である。なお、以下の説明において、第 1実施形態と同一の構成部分については説明を省き、主として構成が異なる部分について説明を行う。

[0060] 第 4実施形態にかかる粘性流体塗布装置の連結部 90について説明する。図 10及び図 11において、連結部 90は、バルブユニット 50の塗布部 20側でバルブユニット 5 0と管部 120bとを連結するものであって、内管 91と外管 95と弾性筒 30とより大略構成されている。内管 91の一端部はバルブユニット 50に取り付けられており、流路 65と連通している。内管 91の他端部力も一端部側にかけての外周には外ねじ部 92が形成されている。外管 95には、一方の端部の内周に外ねじ部 92と螺合する内ねじ部 9 6が設けられ、他方の端部に塗布部 20側の前記管部 120bの管路 120dと接続する接続管 98が設けられている。外管 95の他方の端部には、外管 95の中心側にやや突出した受け部 97が形成されており、その上面である受け面 95dは、外管 95の内周面と接続管 98の内周面をなだらかに連続させるテーパ面に形成されている。

[0061] 図 11は、内管 91の外ねじ部 92と外管 95の内ねじ部 96が螺着して内管 91と外管 9 5が接続された状態を示している。この状態において、図 1に示すペースト供給体 11 0に貯留されたペーストは、前記管部 120aの管路 120cから連結部 130を経てバルブユニット 50に流入し、バルブユニット 50の流路 65の開動作により連結部 90へ流出し、連結部 90からさらに前記管部 120bの管路 120dを経て、シリンジなどの塗布部 2 0 (図 1参照）に供給される。

[0062] 図 11において、外管 95の内部には弾性筒 30が内挿されている。弾性筒 30は、その外径が外管 95の内径と同一若しくは略同一であって、弾性筒 30の内径が内管 91 の内径と同一若しくは略同一に形成されている。弾性筒 30の一端面（図 10、図 11において上端面） 30aは、内管 91の端面（図 10、図 11において下端面） 91bと当接可能としている。また、弾性筒 30の他端面（図 10、図 11において下端面） 30cは外側力も内側に向けて傾斜したテーパ面となっており、外管 95のテーパ面である受け面 9 5dと当接可能としている。これにより、内管 91と外管 95内に形成される流路には段差がなくなり、連結部 90内はその全体（内管 91と外管 95と弾性筒 30)が略均一の内径となる。弾性筒 30の一例としては、硬度 60程度のウレタンゴムが好ましい。この弹性筒 30の硬度は、後述するように、弾性筒 30が内管 91の端面 91bと外管 95の受け面 95dとの間で押圧された状態でしつ力り挟持されるとき、弾性筒 30の前記一端面 3 0aが内管 91の前記端面 91bに密着し、弾性筒 30の前記他端面 30cが外管 95の前記受け面 95dに密着して連結部 90内の水密性が確保できる程度の柔ら力さがあればよぐあまり柔ら力過ぎて内側にたわみ過ぎると、連結部 90内の流路が部分的に狭くなり、好ましくない。また、弾性筒 30を外管 95に内挿した後で内管 91の外ねじ部 9 2と外管 95の内ねじ部 96とが容易に螺着できるように、弾性筒 30の長さは外管 95より短くすることが好ましい。

[0063] 内管 91と外管 95の接続は、外管 95内に弾性筒 30を内挿した状態で、内管 91の外ねじ部 92と外管 95の内ねじ部 96を螺着して行う。外ねじ部 92と内ねじ部 96を螺着させると、内管 91は外管 95の内部に進入するため、弾性筒 30の端面 30aは内管 91の端面 91bに押されて密着され、これにより弾性筒 30の端面 30cは外管 95の受け部 97の受け面 95dにテーパ面同士で強く押接されて密着される。従って、弾性筒 30は、その両端部が端面 91bと受け面 95dの間で押圧されて密着された状態で、端面 91bと受け面 95dの間でしつ力り挟持される。このように、弾性筒 30の一端面 30a は内管 91の端面 91bに密着し、弾性筒 30の他端面 30cは外管 95の受け面 95dに密着して、連結部 90内の水密性が確保される。この場合、弾性筒 30の他端面 30cと外管 95の受け面 95dは互いにテーパ面で当接しているため、接触面積が大きくなつて水密性がより向上する。

[0064] このように、バルブユニット 50と塗布部 20側の前記管部 120bの管路 120dの接離を、内管 91と外管 95に設けられたねじ部 92、 96をねじ込むことにより取り付けを行うとともにねじを緩めることにより取り外しを行うことができるので、粘性流体塗布装置の洗浄等の際にバルブユニット 50と前記管部 120bの管路 120dとの接続及び離脱を容易に行うことができる。また、弾性筒 30を外管 95に内挿した状態で内管 91と外管 95を螺着して、内管 91と弾性筒 30とを密着させかつ外管 95と弾性筒 30とを密着させることにより、弾性筒 30が連結部 90のシーリングの役目を果たし、外ねじ部 92にシールテープを卷回する手間を省くことができる。また、連結部 90内の流路の段差をなくして略均一な内径にしているので、連結部 90内を流れるペーストの圧力損失を防止するとともに空気溜りの発生を防止し、連結部 90内を流れるペーストの供給量が安定する。これにより、塗布部 20から基板等へのペーストの塗布量や塗布速度等が安定して塗布精度の向上を期すことができる。

[0065] 従って、この第 4実施形態を第 1〜第 3実施形態の、ずれかと組み合わせて粘性流体塗布装置を構成することにより、粘性流体塗布装置の洗浄の際のバルブユニット 5 0及び連結部 90の分解や組立てをそれぞれ簡単に行うことができて、作業に要する時間や労力が軽減され、粘性流体塗布装置の稼働率の向上を図ることができる上に、ノレブユニット 50から塗布部 20への粘性流体供給が安定し、塗布部 20から基板 P への粘性流体塗布量が安定するので、塗布精度の悪ィ匕を防止することができる。

[0066] なお、前記様々な実施形態のうちの任意の実施形態を適宜組み合わせることにより、それぞれの有する効果を奏するようにすることができる。

産業上の利用可能性

[0067] 本発明の粘性流体塗布装置は、バルブユニットを本体部とこの本体部を着脱自在に装着するホルダで構成することにより、粘性流体塗布装置の洗浄の際のバルブュニットの分解や組立てを簡単に行うことができ、リードフレームや基板等の被塗布体に半導体チップ等を接着等するための粘性流体を塗布する分野において有用である。

[0068] 本発明の粘性流体塗布装置は、バルブユニットど塗布部側の前記管部の管路の接離が容易であり、外管に内挿した弾性筒が連結部のシーリングの役目を果たすとともに、連結部内の段差をなくし略均一な内径にして連結部内を流れる粘性流体の供給量を安定させることができると、う利点を有し、リードフレームや基板等の被塗布体に半導体チップ等を接着等するための粘性流体を塗布する分野において有用である。

[0069] 本発明は、添付図面を参照しながら好ましい実施形態に関連して充分に記載されているが、この技術の熟練した人々にとつては種々の変形や修正は明白である。そのような変形や修正は、添付した請求の範囲による本発明の範囲から外れない限りにおいて、その中に含まれると理解されるべきである。

Claims

請求の範囲

[1] 粘性流体を供給する粘性流体供給部（110)と、

前記粘性流体供給部より供給された前記粘性流体を被塗布体 (P)に塗布する塗布部（20)と、

前記粘性流体を被塗布体に塗布するとき前記塗布部を横方向に移動させる横移動装置 (9)と、

前記粘性流体供給部と前記塗布部とを接続して前記粘性流体供給部より前記塗布部に前記粘性流体を供給する管路（120c, 120d)を内部に形成する管部（120) と、

前記管部の途中に設けられて前記管部の前記管路に連通する流路 (65)を開閉して前記粘性流体供給部より前記塗布部への前記粘性流体の供給を制御するバルブユニット（50)とを備え、

前記バノレブュニットが、

前記管部の前記管路に連通する前記流路が形成され且つ前記流路を開閉する可動部（62)を備えた本体部（60)と、

前記本体部を着脱自在に装着するホルダ (80)と、

前記可動部を作動させて前記流路の開閉を行うァクチユエータ（51)とより構成し、前記本体部が被係合子 (70)を備え、また前記ホルダが、前記被係合子と係脱自在に係合する係合部（82b, 95, 99)を有する係合体 (82, 92, 96)を備え、前記係合部を前記被係合子に係合させることにより前記本体部を前記ホルダに装着し、前記被係合子カゝら離脱させることにより前記本体部を前記ホルダカゝら離脱する粘性流体塗布装置。

[2] 被塗布体 (P)を位置決めする位置決め部 (2)と、

粘性流体を供給する粘性流体供給部（110)と、

前記粘性流体供給部より供給された前記粘性流体を、前記位置決め部に位置決めされた前記被塗布体に塗布する塗布部（10)と、

前記粘性流体を前記被塗布体に塗布するとき前記塗布部と前記被塗布体とを相対的に横方向に移動させる横方向移動装置 (9)と、前記粘性流体供給部と前記塗布部とを接続して前記粘性流体供給部より前記塗布部に前記粘性流体を供給する管路（120c, 120d)を内部に形成する管部（120) と、

前記バノレブュニットが、

前記本体部を着脱自在に装着するホルダ (80)と、

前記可動部を作動させて前記流路の開閉を行うァクチユエータ（51)とより構成し、前記本体部が被係合子 (70)を備え、また前記ホルダが前記被係合子と係脱自在に係合する係合部（82b, 95, 99)を有する係合体 (82, 92, 96)を備え、前記係合部を前記被係合子に係合させることにより前記本体部を前記ホルダに装着する位置と、前記被係合子力離脱させることにより前記本体部を前記ホルダ力離脱する位置に選択的に前記係合体を移動自在とする粘性流体塗布装置。

[3] 前記被係合子が、小径部 (70b)と前記小径部より先端側に設けられた大径部 (70 c)とを有する突起体より構成し、且つ前記係合部が、前記被係合子が係入する係合孔 (82b)であり、前記係合孔に係入された前記被係合子の前記小径部に前記係合孔を係合させることにより前記本体部を前記ホルダに装着する請求項 1に記載の粘性流体塗布装置。

[4] 前記被係合子が、小径部（70b)と前記小径部より先端側に設けられた大径部（70 c)とを有する突起体より構成し、且つ前記係合部が、前記被係合子が係入する係合孔 (82b)であり、前記係合孔に係入された前記被係合子の前記小径部に前記係合孔を係合させることにより前記本体部を前記ホルダに装着する請求項 2に記載の粘性流体塗布装置。

[5] 前記被係合子が、前記小径部と前記大径部の間に前記小径部から前記大径部に向けて直径が漸増するテーパ部（70d)を備え、且つ前記ホルダが、前記本体部を前記ホルダに装着する位置に前記係合体を付勢する付勢部材 (86)を備え、前記付勢部材の付勢力により前記係合孔の縁部（82b— 1)に前記テーパ部を押接させることにより前記本体部を前記ホルダに装着する請求項 3に記載の粘性流体塗布装置。

[6] 前記被係合子が、前記小径部と前記大径部の間に前記小径部から前記大径部に向けて直径が漸増するテーパ部（70d)を備え、且つ前記ホルダが、前記本体部を前記ホルダに装着する位置に前記係合体を付勢する付勢部材 (86)を備え、前記付勢部材の付勢力により前記係合孔の縁部（82b— 1)に前記テーパ部を押接させることにより前記本体部を前記ホルダに装着する請求項 4に記載の粘性流体塗布装置。

[7] 前記バルブユニットに形成された前記流路と前記塗布部側の前記管部の前記管路とを接続し、かつ、前記流路に連通して外周に外ねじ部（92)が形成された内管（91 )と、前記塗布部側の前記管部の前記管路に連通して内周に前記外ねじ部に螺合する内ねじ部（96)が形成された外管（95)とより構成される連結部（90)と、

前記外管の内部に内挿され、かつ、前記外管の内部に内挿された状態で前記内管の前記外ねじ部と前記外管の前記内ねじ部を螺着することにより一端面（30a)が前記内管の端面（91b)により押圧されて密着されるとともに他端面（30c)が前記外管の受け面 (95d)に押接されて密着される弾性筒 (30)とを備える請求項 1に記載の粘性流体塗布装置。

[8] 前記バルブユニットに形成された 65流路と前記塗布部側の前記管部の前記管路とを接続し、かつ、前記流路に連通して外周に外ねじ部（92)が形成された内管（91) と、前記塗布部側の前記管部の前記管路に連通して内周に前記外ねじ部に螺合する内ねじ部（96)が形成された外管（95)とより構成される連結部（90)と、

前記外管の内部に内挿され、かつ、前記外管の内部に内挿された状態で前記内管の前記外ねじ部と前記外管の前記内ねじ部を螺着することにより一端面（30a)が前記内管の端面（91b)により押圧されて密着されるとともに他端面（30c)が前記外管の受け面 (95d)に押接されて密着される弾性筒（30)とを備える請求項 2に記載の粘性流体塗布装置。

[9] 前記弾性筒の前記他端面がテーパ面であり、且つ前記外管の前記受け面が前記テーパ面が当接するテーパ面であり、前記テーパ面同士を押接させて密着される請求項 7に記載の粘性流体塗布装置。

前記弾性筒の前記他端面がテーパ面であり、且つ前記外管の前記受け面が前記テーパ面が当接するテーパ面であり、前記テーパ面同士を押接させて密着される請求項 8に記載の粘性流体塗布装置。