WO2005066535A1

WO2005066535A1 - 流体継手及び継手一体型集積ユニット

Info

Publication number: WO2005066535A1
Application number: PCT/JP2005/000098
Authority: WO
Inventors: Kazuhiro Sugata; Hiroshi Tomita
Original assignee: Ckd Corporation
Priority date: 2004-01-07
Filing date: 2005-01-07
Publication date: 2005-07-21
Also published as: KR20060133572A; JP4167204B2; JP2005221070A

Abstract

　複数の流体をタンクの内外において出し入れするために使用する簡素化した構成の継手一体型集積ユニットを提供するために、複数の流体をタンク１の内外において出し入れするためにタンク１の開口部２に装着され、タンク内とタンク外の複数の流体ラインとをつなぐ継手一体型集積ユニット１０に、タンク１の開口部２に固定可能なブロック体にタンクの内と外とをつなぐ複数の流路１５，１６が形成された流体継手１１と、その流体継手１１に形成された各流路の外側開口部に固定され、流体ラインに接続される流体機器１２，１３，１４とを一体に設ける。

Description

明細書

流体継手及び継手一体型集積ユニット

技術分野

[0001] 本発明は、例えば液体を充填したタンク内を空気や N2ガスを封入して加圧し、その液体をユースポイントへ送り出すなど、タンクの内と外とで複数の流体を出し入れするために用いられるタンクの開口部に取り付けられる流体継手及び継手一体型集積ユニットに関する。背景技術

[0002] 半導体や液晶などを製造する工場では、複数の装置へひとつの薬液供給源から分岐配管を使って薬液が供給されて、る。複数ある中の一つ A装置へ薬液を供給する場合、工場力くるそのままの圧力で薬液の供給をコントロールしょうとしても他の装置の使用状況によってライン内の圧力や流量が変動してしま、、 A装置に供給される薬液の流量や圧力が一定にならない。そのため、従来から各装置内には薬液を蓄えるタンクが設置され、工場力供給された薬液をタンク内へいったん貯めて力ユースポイントへ所定の圧力や流量で送ることが行われて、る。タンク力ユースポイントへの供給は気体による加圧やポンプによる吸引などによって行われる。

[0003] ここで図 14は、タンクを用いた液体供給調整システムを示した概念図である。また、図 15は、流体継手が装着されたタンクを示した外観斜視図である。タンク 100には、その開口に蓋 101が設けられ、そこに突設して流体継手 201, 202, 203, 204が形成されている。そして、その流体継手 201— 204に 4本のラインが接続されている。液供給ライン 110は、タンク 100内に薬液を供給するためのものであり、途中に開閉弁 111が設けられている。ガス供給ライン 120は、薬液を加圧するためのガスを供給するためのものであり、減圧弁 121、圧力計 122及び開閉弁 123が配管されている。ガス排気ライン 130は、タンク 100内のガスを排気するためのものであり、途中に開閉弁 131が配管されている。そして、 4本目の吐出ライン 140は、タンク 100内においては底部にまでのび、タンク 100外では薬液をユースポイントへと接続されている。

特許文献 1：実開平 5-57588号公報発明の開示

発明が解決しょうとする課題

[0004] ところで、 4本のライン 110— 140とタンク 100とを接続する従来の流体継手 201— 204は、それぞれのライン 110— 140毎にタンク開口部の蓋 101に取り付けられている。従って、従来の流体継手 201— 204はタンク 100に対して組み付け数が多いため、それだけ液体やガスの漏れに対するリスクが高い構成になっていた。そして、その組み付けに溶接が使用されるような場合には加工費が高くなつてしまっていた。

[0005] また、図 14及び図 15に示す従来例の場合、流体継手 201— 204にパイプが接続されて構成されたライン 110, 120, 130上に開閉弁 111, 123, 131が配管され、ライン 120上にはその他にも減圧弁 121や圧力計 122が配管されている。そのため、タンク 100の周りの回路部分が煩雑になってしまい、メンテナンスが大変であった。更に、扱う薬液によって例えば四フッ化工チレン榭脂（PTFE, PFA)を用いる必要があるが、蓋 101に対して 4箇所もの流体継手 201— 204を取り付けようとすると、複雑形状の製作が困難で材質が比較的高価でもある四フッ化工チレン榭脂ではタンク 100が高価なものとなってしまつていた。

[0006] そこで、本発明は、力かる課題を解決すベぐ複数の流体をタンクの内外において出し入れするために使用する簡素化した構成の流体継手及び継手一体型集積ュ- ットを提供することを目的とする。

課題を解決するための手段

[0007] 本発明の流体継手は、複数の流体をタンクの内外において出し入れするためにタンクの開口部に装着され、タンク内とタンク外の複数の流体ラインとをつなぐものであつて、前記タンクの開口部に固定可能なブロック体であって、そのブロック体にタンクの内と外とをつなぐ複数の流路が形成されたものであるものであることを特徴とする。また、本発明の流体継手は、前記ブロック体に前記タンクの円筒形状の開口部にシ一ル部材を保持して気密に挿入可能な円柱状の挿入部と、その上方に環状に形成された横溝とが形成され、その横溝に引っかけたロックナットを前記タンクの開口部外側に螺設することによってタンクに装着するようにしたものであることを特徴とする。

[0008] 一方、本発明の継手一体型集積ユニットは、複数の流体をタンクの内外において出し入れするためにタンクの開口部に装着され、タンク内とタンク外の複数の流体ラインとをつなぐものであって、前記タンクの開口部に固定可能なブロック体にタンクの内と外とをつなぐ複数の流路が形成された流体継手と、その流体継手に形成された各流路の外側開口部に固定され、前記流体ラインに接続される流体機器とがー体に設けられたものであることを特徴とする。

[0009] また、本発明の継手一体型集積ユニットは、前記流体継手には、液体をタンク内に供給する液流路と、タンク外に開口したガス供給流路及びガス排気流路がタンク内に開口したガス給排気流路に接続された流路とが形成され、その流体継手の液流路、ガス供給流路及びガス排気流路のタンク外開口部にそれぞれ固定された流体機器が開閉弁であることを特徴とする。

また、本発明の継手一体型集積ユニットは、前記流体継手には、液体をタンク内に供給する液流路と、タンク外に開口したガス供給流路及びガス排気流路がタンク内に開口したガス給排気流路に接続された流路と、タンク内の液体を外部に吐出すベくタンク内に挿入されたパイプに連結された吐出流路とが形成され、その流体継手の液流路、ガス供給流路及びガス排気流路のタンク外開口部にそれぞれ固定された流体機器が開閉弁であることを特徴とする。

[0010] また、本発明の継手一体型集積ユニットは、吐出流路とガス給排気流路とが 2重に形成されて、ることを特徴とする。

また、本発明の継手一体型集積ユニットは、流体継手に螺合するロックナットと、流体継手の内周面に形成されたテーパに接合する楔部を備えるフエルールとを有し、ロックナットがフエルールを介して流体継手に締め込まれていることを特徴とする。発明の効果

[0011] よって、本発明は、タンクの開口部に固定可能なブロック体にタンクの内と外とをつなぐ複数の流路を形成した構成としたので、一つの継手で複数の流体をタンク内と外とで出し入れする簡素化した構成の流体継手を提供することができる。

し力も、本発明は、タンクの筒形状の開口部にブロック体に挿入部を入れ、その横溝に引っかけたロックナットをタンクの開口部外側に螺設してタンクに装着する構成としたので、組み付けが非常に簡単なものとなった。 [0012] また、本発明は、タンクの開口部に固定可能なブロック体にタンクの内と外とをつなぐ複数の流路が形成された流体継手と、その流体継手に形成した各流路の外側開口部に固定して流体ラインに接続する流体機器とを一体にした構成としたので、ライン上の流体機器を一体にしてタンク周りの回路を簡素化した構成とすることができる。

[0013] しカゝも、本発明は、吐出流路とガス給排気流路とを 2重に構成したので、流路構成や加工数などを減らし、小型化及び低廉ィ匕を図ることができる。

また、本発明は、ロックナットをフエルールを介して流体継手に締め込むときに、フエルールが流体継手に押し込まれてパイプに食、込むので、パイプの抜けを防止できるとともに、タンク内の気密性を確保することができる。

図面の簡単な説明

[0014] [図 1]第 1実施形態の流体継手及び継手一体型集積ユニットを装着したタンクを示した外観斜視図である。

[図 2]第 1実施形態の流体継手及び継手一体型集積ユニットを示した図 1の A— A断面図である。

[図 3]第 1実施形態の流体継手及び継手一体型集積ユニットを示した図 1の B— B断面図である。

[図 4]タンクに継手一体型集積ユニットを介して流体ラインが接続された状態を示したブロック図である。

[図 5]第 2実施形態の流体継手及び継手一体型集積ユニットを装着したタンクを示した外観斜視図である。

[図 6]第 2実施形態の流体継手及び継手一体型集積ユニットを示した図 5の C-C断面図である。

[図 7]第 3実施形態の流体継手及び継手一体型集積ユニットを装着したタンクを示した外観斜視図である。

[図 8]第 3実施形態の流体継手及び継手一体型集積ユニットを示した図 7の D-D断面図である。

[図 9]第 4実施形態のタンクに継手一体型集積ユニットを介して流体ラインが接続された状態を示したブロック図である。 [図 10]第 5実施形態の流体継手及び継手一体型集積ユニットを装着したタンクを示した外観斜視図である。

[図 11]第 5実施形態の流体継手及び継手一体型集積ユニットを示した図 10の E-E 断面図である。

[図 12]第 5実施形態の流体継手及び継手一体型集積ユニットを示した図 10の F-F 断面図である。

[図 13]第 5実施形態の流体継手及び継手一体型集積ユニットを示した図 10の G-G 断面図である。

[図 14]タンクを用いた液体供給調整システムを示した概念図である。

[図 15]従来の流体継手が装着されたタンクを示した外観斜視図である。

符号の説明

[0015] 1 タンク

2 開口部

4 ロックナツ卜

10 継手一体型集積ユニット

11 流体継手

12, 13, 14 開閉弁

15 液供給流路

16 ガス給排気流路

16a ガス供給流路

16b ガス排気流路

発明を実施するための最良の形態

[0016] 次に、本発明に係る流体継手及び継手一体型集積ユニットの一実施形態を図面を参照しながら以下に説明する。図 1は、第 1実施形態の流体継手及び継手一体型集積ユニットを装着したタンクを示した外観斜視図である。このタンク 1は、上端に開口部 2が形成され、底部にはユースポイントへとラインを接続する吐出ポート 3が形成されている。そして、その開口部 2には、図示するように流体継手 11をベースブロックにした継手一体型集積ユニット 10が装着されている。流体継手 11は、薬液供給、ガス供給及びガス排気を行うための流路が形成されたブロックであり、ロックナット 4によつて開口部 2に固定されている。そして、その流体継手 11には流体機器として開閉弁 1 2, 13, 14がー体に固定され、継手一体型集積ユニット 10が構成されている。ここで図 4は、タンク 1に継手一体型集積ユニット 10を介して流体ラインが接続された状態を示したブロック図である。

[0017] タンク 1の開口部 2には波線で示す流体継手 11が装着され、その流体継手 11には、薬液をタンク 1内へ供給するための液供給流路 15と、タンク 1内の薬液を圧送するためのエアや N2ガスを供給するガス供給流路 16a、及びタンク 1内のエアや N2ガスを外へ排気するためのガス排気流路 16bとが分岐したガス給排気流路 16が形成されている。そして、その流体継手 11に形成された流路 15, 16a, 16bには開閉弁 12 , 13, 14が連結され継手一体型集積ユニット 10が構成されている。そして、この継手一体型集積ユニット 10には、従来例と同様に開閉弁 12に液供給ライン 110、開閉弁 13にはガス供給ライン 120、及び開閉弁 14にはガス排気ライン 130が接続されている。そして、ガス供給ライン 120には減圧弁 121、圧力計 122が配管されている。

[0018] 次に、図 2及び図 3は、こうした流体継手 11及び継手一体型集積ユニット 10を具体的に示した図 1の A— A断面図と B— B断面図である。流体継手 11は、図 1に示すように角柱状のブロックであって、図 2に示すように、タンク 1の円筒形状の開口部 2に揷入可能な円柱状の揷入部 11aと、テーパ l ibを介してロックナット 4が引っかけられる環状の横溝 11cが形成されている。そうした流体継手 11は、横溝 11cにロックナット 4 が嵌め込まれ、開口部 2内に Oリングを保持した挿入部 11aが入れられる。そして、口ックナット 4を開口部 2外側に形成された雄ネジに螺合させ、締め込みによって流体継手 11の挿入部 1 laが開口部 2内に気密に押し込まれるようになって、る。

[0019] 流体継手 11には図 2に示すように、液供給流路 15とガス給排気流路 16とが底面に開口した縦孔が形成され、液供給流路 15は、その縦孔に横孔がー方に連通して形成されている力ガス給排気流路 16には、図 3に示すように左右に分岐したガス供給流路 16aとガス排気流路 16bとが連通して形成されて、る。そして流体継手 11には、そのブロック側面にぁ、た液供給流路 15の横孔開口部やガス供給流路 16a及びガス排気流路 16bの開口部に、同じ構造の開閉弁 12, 13, 14がそれぞれ固定され、継手一体型集積ユニット 10が構成されている。この開閉弁はスプール弁であり、圧縮エアによってスプールを動作させることで開閉を行うものである。

[0020] 開閉弁 12 (開閉弁 13, 14も同じ)は、薬液ラインやガスラインと接続するポート

31と、スプール 34を動作させる圧縮エアを給排気するエアポート 32, 33とが設けられた各ブロックが一体に組まれてボディ 35が形成されている。そのボディ 35内には、エアポート 32, 33からの圧縮エアによって可動するスプール 34が摺動可能に装填され、スプール 34の先端に装着された弁体 36が流路 37の開口を閉弁し、ポート 31との連通を遮断するように構成されている。ボディ 35は、図 1に示すように流体継手 11 に対してボルトによってネジ止めされ、流路 37と液供給流路 15やガス供給流路 16a あるいはガス排気流路 16bとは、接続部に図 2及び図 3に示す断面 H型のシール部材 38によって気密にシールされて!/、る。

[0021] 続いて、この流体継手 11及び継手一体型集積ユニット 10を装着したタンク 1での作用について説明する。

先ず、タンク 1内に充填された薬液をユースポイントへ送る場合、開閉弁 12, 14が閉じられて開閉弁 13が開けられる。開閉弁 12, 14, 13は、エアポート 33へ作動エアが供給されるとスプール 34が流体継手 11側へ摺動し、先端の弁体 36が流路 37の開口に形成された弁座に当接して閉弁する。従って、流体継手 11の液供給流路 15 やガス給排気流路 16と、液供給ライン 110などが接続されるポート 31との間が遮断される。一方、エアポート 32へ作動エアが供給された場合には、スプール 34が流体継手 11から離れる方向へ摺動し、先端の弁体 36が流路 37の開口に形成された弁座力も離間して開弁する。従って、流体継手 11の液供給流路 15やガス給排気流路 16 とポート 31との間が連通する。

[0022] そこで、ガス供給ライン 120から加圧された N 2ガス（あるいはエア）が流体継手 11 のガス供給流路 16a及びガス給排気流路 16を介してタンク 1内送り込まれる。このとき四フッ化工チレン榭脂（PTFE, PFA)で形成されたタンク 1は強度が弱いため、減圧弁 121によって所定圧以上にならな!/、ようになって!/、る。タンク 1内では供給された N2ガスによってガス層の圧力が高くなり、液層の薬液が上から加圧される。そのため、タンク 1の底部に形成された吐出ポート 3から薬液が吐出され、ユースポイントへと供給される。このとき圧力計 122によってタンク 1内の薬液への加圧力を計測しながら供給ガスの圧力を調節することにより、吐出ポート 3からユースポイントへ送り出される薬液の圧力や流量の調整が行われる。

[0023] 次に、タンク 1内へ薬液を充填する場合には、開閉弁 13が閉じられて開閉弁 12, 1 4が開けられる。そこで、液供給ライン 110を流れて送られた薬液は、開けられた開閉弁 12を通り、流体継手 11の液供給流路 15を流れてタンク 1内に供給される。タンク 1 内では薬液の供給によって液層の液面が上昇し、上方のガス層の容積が縮小することによってタンク 1内の N2ガスが加圧される。そのためタンク 1内の N2ガスは流体継手 11のガス給排気流路 16へと流れ、開閉弁 13が閉じて、るためガス供給流路 16a へは流れずにガス排気流路 16b側へと流れ、更に開閉弁 14を通ってガス排気ライン 130から排出される。こうしてタンク 1内には N2ガスを排出しながら薬液が充填される

[0024] よって、本実施形態によれば、タンク 1の開口部 2に装着するブロック体に液供給流路 15やガス給排気流路 16などを形成して流体継手 11として構成したので、簡素な構成の流体継手とすることができ、し力も開口部 2に層入部 11aを入れ、ロックナット 4 を螺設させることによって装着することができる極めて取り扱いが簡単なものである。そして、簡単な取り付けによって溶接などを行っていた従来に比べて加工費を格段に低減させることができた。また、開口部 2では流体継手 11を装着するだけでよいため、従来のように複数の継手を取り付けるものに比べて液漏れやガス漏れに対する管理が容易となった。

一方、流体継手 11に開閉弁 12, 13, 14を一体にした継手一体型集積ユニット 10 では、煩雑だったタンク周りを簡素化することができ、ライン 110, 120, 130によって構成される流体回路のスペースを縮小させることができた。そして、集積化したことによって、一箇所に開閉弁 12, 13, 14が集中して交換などが容易になってメンテナンス性が向上した。

[0025] 次に、本発明に係る流体継手及び継手一体型集積ユニットの第 2実施形態にっヽて説明する。図 5は、第 2実施形態の流体継手及び継手一体型集積ユニットを装着したタンクを示した外観斜視図であり、図 6は、流体継手及び継手一体型集積ュ-ットを具体的に示した図 5の C C断面図である。なお、前記第 1実施形態と同様の構成については同じ符号を付して説明する。

タンク 1の開口部 2には、前記第 1実施形態と同様にして、流体継手 51をベースブロックにした継手一体型集積ユニット 50が装着されている。そして、本実施形態では、ユースポイントへタンク 1内の薬液を供給する吐出ポート 52が継手一体型集積ュ- ット 50に形成されている。

[0026] 図 6に示すように、流体継手 51には液供給流路 15やガス給排気流路 16などの他に、上下に貫いた貫通孔 53が穿設され、そこに吐出パイプ 54が差し込まれている。吐出パイプ 54は、貫通孔 53内に差し込まれ、それに重ねるようにして貫通孔 53の上端開口部に保持パイプ 55が螺合され、その保持パイプ 55にロックナット 56を螺合させる。これにより、保持パイプ 55がロックナット 56によって吐出パイプ 54に締め込まれる。そして、この吐出パイプ 54は流体継手 51から上方に突き出し、タンク 1内では底部にまでのびている。

[0027] そこで、本実施形態では、タンク 1内に充填された薬液をユースポイントへ送る場合には、開閉弁 12, 14が閉じられて開閉弁 13が開けられる。ガス供給ライン 120からガス給排気流路 16を介してタンク 1内に N2ガスが送り込まれ、供給ガスによって液層が加圧されて薬液がタンク 1の底部から吐出パイプ 54に流入してユースポイントへと送り出される。この場合も、圧力計 122によってタンク 1内の薬液への加圧力を計測しながら供給ガスの圧力を調節することにより、吐出ポート 3からユースポイントへ送り出される薬液の圧力や流量の調整が行われる。

[0028] 一方、タンク 1内へ薬液を充填する場合には、開閉弁 13が閉じられて開閉弁 12, 1 4が開けられる。そこで、液供給ライン 110を流れて送られた薬液は、開けられた開閉弁 12を通り液供給流路 15を流れてタンク 1内に供給される。タンク 1内では薬液の供給により液層の液面が上昇し、上方のガス層の容積が縮小することによってタンク 1 内の N2ガスが加圧される。そのためタンク 1内の N2ガスはガス給排気流路 16へと流れ、開閉弁 14を通ってガス排気ライン 130から排出される。こうしてタンク 1内には N2 ガスを排出しながら薬液が充填される。

[0029] よって、本実施形態でも前記第 1実施形態と同様に、タンク 1の開口部 2に装着するブロック体に液供給流路 15やガス給排気流路 16などの他、貫通孔 53を形成して吐出パイプ 54を差し込むようにした簡素な構成の流体継手 51とすることができ、ロックナット 4によって装着する極めて取り扱いが簡単なものである。そして、こうした簡単な取り付けによって加工費を格段に低減させることができ、タンク 1に対して 1箇所で装着するため液漏れやガス漏れに対する管理が容易となった。

一方、流体継手 51に開閉弁 12, 13, 14を一体にした継手一体型集積ユニット 50 では、煩雑だったタンク周りを簡素化することができ、ライン 110, 120, 130によって構成される流体回路のスペースを縮小させることができた。そして、集積化したことによって、一箇所に開閉弁 12, 13, 14が集中して交換などが容易になってメンテナンス性が向上した。

[0030] 次に、本発明に係る流体継手及び継手一体型集積ユニットの第 3実施形態にっ、て説明する。図 7は、第 3実施形態の流体継手及び継手一体型集積ユニットを装着したタンクを示した外観斜視図であり、図 8は、流体継手及び継手一体型集積ュ-ットを具体的に示した図 7の D— D断面図である。なお、前記第 1実施形態と同様の構成については同じ符号を付して説明する。

タンク 1の開口部 2には、前記第 1実施形態と同様にして、流体継手 61をベースブロックにした継手一体型集積ユニット 60が装着されている。そして、本実施形態では、ユースポイントへタンク 1内の薬液を供給する吐出ポート 62が継手一体型集積ュ- ット 60に形成されている。

[0031] 図 8に示すように、流体継手 61には液供給流路 15やガス給排気流路 16などの他に、液供給流路 15と同様に縦孔と横孔とからなる吐出流路 63が穿設され、気液分離手段 61に突設された吐出流路 63の開口部に吐出パイプ 65, 66が継手 67, 68によつて連結されている。そして、この吐出パイプ 65はタンク 1内で底部にまでのび、吐出パイプ 66は流体継手 61から横向きに突き出している。

[0032] そこで、本実施形態では、タンク 1内に充填された薬液をユースポイントへ送る場合には、開閉弁 12, 14が閉じられて開閉弁 13が開けられる。ガス供給ライン 120からガス給排気流路 16を介してタンク 1内に N2ガスが送り込まれ、供給ガスによって液層が加圧されて薬液がタンク 1の底部から吐出パイプ 65に流入し、流体継手 61の吐出流路 63を通り、吐出ノイブ 66を経てユースポイントへと送り出される。この場合も、圧力計 122によってタンク 1内の薬液への加圧力を計測しながら供給ガスの圧力を調節することにより、吐出ポート 3からユースポイントへ送り出される薬液の圧力や流量の調整が行われる。

[0033] 一方、タンク 1内へ薬液を充填する場合には、開閉弁 13が閉じられて開閉弁 12, 1 4が開けられる。そこで、液供給ライン 110を流れて送られた薬液は、開けられた開閉弁 12を通り液供給流路 15を流れてタンク 1内に供給される。タンク 1内では薬液の供給により液層の液面が上昇し、上方のガス層の容積が縮小することによってタンク 1 内の N2ガスが加圧される。そのためタンク 1内の N2ガスはガス給排気流路 16へと流れ、開閉弁 14を通ってガス排気ライン 130から排出される。こうしてタンク 1内には N2 ガスを排出しながら薬液が充填される。

[0034] よって、本実施形態でも前記第 1実施形態と同様に、タンク 1の開口部 2に装着するブロック体に液供給流路 15やガス給排気流路 16などの他、吐出流路 63を形成した簡素な構成の流体継手 61とすることができ、ロックナット 4によって装着する極めて取り扱いが簡単なものである。そして、こうした簡単な取り付けによって加工費を格段に低減させることができ、タンク 1に対して 1箇所で装着するため液漏れやガス漏れに対する管理が容易となった。

一方、流体継手 61に開閉弁 12, 13, 14を一体にした継手一体型集積ユニット 60 では、煩雑だったタンク周りを簡素化することができ、ライン 110, 120, 130によって構成される流体回路のスペースを縮小させることができた。そして、集積ィ匕したことによって、一箇所に開閉弁 12, 13, 14が集中して交換などが容易になってメンテナンス性が向上した。

[0035] 次に、本発明に係る流体継手及び継手一体型集積ユニットの第 4実施形態にっヽて説明する。図 9は、第 4実施形態の流体継手及び継手一体型集積ユニットを装着したタンクを示したブロック図である。

タンク 5の開口部 6には、前記第 1実施形態と同様にして、流体継手 71をベースブロックにした継手一体型集積ユニット 70が装着されている。そして、本実施形態では、タンク 5内の薬液を継手一体型集積ユニット 70からユースポイントへ供給するようにしたものであり、ポンプ 72が使用される。

[0036] 即ち、本実施形態ではタンク 5内の薬液をガスなどで加圧するのではなぐポンプ 7 2を使用してタンク 5内の薬液を吸、上げてユースポイントへと送り出すようにしたものである。そのため、継手一体型ユニット 70は、ブロックの流体継手 71にポンプ 72が一体に組み付けられている。そして、流体継手 71には、吸気流路 73と吐出流路 74とが穿設され、タンク 5内には吐出流路 74に接続されたパイプ 75が底部にまで延びている。

[0037] そこで、タンク 5内に予め充填された薬液をユースポイントへ送る場合には、ポンプ 72を駆動させる。それによつてタンク 5内の薬液はパイプ 75を介して吐出流路 74を流れてユースポイントへと送り出される。このときタンク 5内が減圧するため、吸気流路 73を通って外気が流入する。

よって、本実施形態でも前記第 1乃至第 3実施形態と同様に、タンク 5の開口部 6に装着するブロック体に吸気流路 73と吐出流路 74とを形成した簡素な構成の流体継手 71とすることができ、極めて取り扱いが簡単なものである。そして、簡単な取り付けによって加工費を格段に低減させることができ、タンク 5に対して 1箇所で装着するため液漏れやガス漏れに対する管理が容易となった。また、流体継手 71にポンプ 75を一体にした継手一体型集積ユニット 70では、煩雑だったタンク周りを簡素化することができ、集積ィ匕によってメンテナンス性が向上した。

[0038] 次に、本発明に係る流体継手及び継手一体型集積ユニットの第 5実施形態にっヽて説明する。図 10は、第 5実施形態の流体継手及び継手一体型集積ユニットを装着したタンクを示した外観斜視図であり、図 11は、流体継手及び継手一体型集積ュ- ットを具体的に示した図 10の E-E断面図である。図 12は、流体継手及び継手一体型集積ユニットを具体的に示した図 10の F— F断面図である。なお、前記第 1実施形態と同様の構成については同じ符号を付して説明する。図 13は、流体継手及び継手一体型集積ユニットを具体的に示した図 10の G-G断面図である。

タンク 1の開口部 2には、前記第 1実施形態と同様にして、流体継手 81をベースブロックにした継手一体型集積ユニット 80が装着されている。そして、本実施形態では、ユースポイントへタンク 1内の薬液が流れる吐出流路 89と、タンク 1内の N2ガスを給排気するガス給排気流路 88とを 2重に形成し、ユースポイントへタンク 1内の薬液を供給する吐出ポート 82が継手一体型集積ユニット 80に形成されている。

[0039] 図 11及び図 12に示すように、流体継手 81には液供給流路 15の他に、上下に貫いた貫通孔 83が穿設されている。貫通孔 83の上端開口部には継手部 85が同軸上に突設され、吐出パイプ 84が継手部 85から貫通孔 83内へと差し込まれている。継手部 85の外周面には、雄ネジが形成され、吐出パイプ 84に装着したフェルール 86 を介してロックナット 87を螺合させている。継手部 85の開口部内周には、テーパが形成され、フエルール 86が断面楔型の先端部を継手部 85のテーパに重ね合わせるように係合している。そのため、ロックナット 87を継手部 85に締め込むときに、フェルール 86が継手部 85内に押し込まれて吐出パイプ 84に食い込み、吐出パイプ 84の抜けを防止するとともに、吐出パイプ 84と貫通孔 83との間をシールする。

[0040] この吐出パイプ 84は流体継手 81から上方に突き出す一方、タンク 1内では底部にまでのび、タンク 1内の薬液をユースポイントへ供給する吐出流路 89を形成している。流体継手 81は、貫通孔 83より大径の有底孔がガス供給流路 16aとガス排気流路 1 6bに連通するようにタンク 1側の側面から貫通孔 83に重ねて穿設され、図 13に示すように、吐出パイプ 84の周りにガス給排気流路 88が設けられている。つまり、流体継手 81は、吐出流路 89とガス給排気流路 88とが 2重に構成されて、る。

[0041] そこで、本実施形態では、タンク 1内に充填された薬液をユースポイントへ送る場合には、開閉弁 12, 14が閉じられて開閉弁 13が開けられる。ガス供給ライン 120からガス供給流路 16a、ガス給排気流路 88を介してタンク 1内に N2ガスが送り込まれ、供給ガスによって液層が加圧されて薬液がタンク 1の底部から吐出パイプ 84に流入してユースポイントへと送り出される。この場合も、圧力計 122によってタンク 1内の薬液への加圧力を計測しながら供給ガスの圧力を調節することにより、吐出ポート 82からユースポイントへ送り出される薬液の圧力や流量の調整が行われる。

[0042] 一方、タンク 1内へ薬液を充填する場合には、開閉弁 13が閉じられて開閉弁 12, 1 4が開けられる。そこで、液供給ライン 110を流れて送られた薬液は、開けられた開閉弁 12を通り液供給流路 15を流れてタンク 1内に供給される。タンク 1内では薬液の供給により液層の液面が上昇し、上方のガス層の容積が縮小することによってタンク 1 内の N2ガスが加圧される。そのためタンク 1内の N2ガスはガス給排気流路 88からガス排気流路 16bへと流れ、開閉弁 14を通ってガス排気ライン 130から排出される。こうしてタンク 1内には N2ガスを排出しながら薬液が充填される。

[0043] ところで、本実施形態では、吐出パイプ 84を貫通孔 83に貫き通している力継手部 85の開口部と吐出パイプ 84との間をフェルール 86がシールしてタンク 1内外の気密性を保持している。そのため、薬液と N2ガスとの置換が効率的に行われる。また、吐出流路 89がガス給排気流路 88の内側に設けられているので、例えば、ガス給排気流路 88内で吐出ノイブ 84に亀裂などが入ったとしても薬液が外部に漏れず、安全性が高められる。

[0044] よって、本実施形態でも前記第 1実施形態と同様に、タンク 1の開口部 2に装着するブロック体に液供給流路 15の他、貫通孔 83を形成して吐出パイプ 84を差し込むようにした簡素な構成の流体継手 81とすることができ、ロックナット 4によって装着する極めて取り扱いが簡単なものである。し力も、 N2ガスのガス給排気流路 88と吐出流路 8 9とを 2重にしたことにより、流体継手 81の側面に開口する孔の数が減って開口面積が減少し、流体継手 81を構成する材料費や加工数が低減するとともに、流路構成が簡単になる。こうした簡単な取り付け及び流路構成、さらには材料費や加工数の低減によって加工費を格段に安くすることができ、小型化及び低廉ィ匕を図ることができた。また、タンク 1に対して 1箇所で装着するため液漏れやガス漏れに対する管理が容易となった。

[0045] 一方、流体継手 81に開閉弁 12, 13, 14を一体にした継手一体型集積ユニット 80 では、煩雑だったタンク周りを簡素化することができ、ライン 110, 120, 130によって構成される流体回路のスペースを縮小させることができた。特に、吐出流路 89とガス給排気流路 88を 2重にしたことにより流体継手 81がコンパクトかつ単純な流路構成になり、ユニットのサイズを小型にして流体回路のスペースをより一層縮小させることができるとともに、製造コストを低減することができた。そして、集積ィ匕したことによって、一箇所に開閉弁 12, 13, 14が集中して交換などが容易になってメンテナンス性が向上した。以上、本発明に係る流体継手及び継手一体型集積ユニットの実施形態につ!、て説明したが、本発明はこうした実施形態に限定されることなくその趣旨を逸脱しない範囲で様々な変更が可能である。

例えば、前記実施形態では、継手一体型集積ユニット 10などの一例として流体継手 11に開閉弁 12, 13, 14を一体に固定したものについて説明した力流体継手 11 に一体的に取り付けるものは、開閉弁以外の流量調整弁やオリフィスあるいは圧力計などでもよぐ特定の流体機器に限定するものではない。

また、例えば、前記第 1一第 3実施形態では、ガス供給流路 16aとガス排気流路 16 bとをガス給排気流路 16へ連結して一つの流路を分岐させていたが、ガス供給流路とガス排気流路とを別々にして二つの流路としてもよ、。

Claims

請求の範囲

[1] 複数の流体をタンクの内外において出し入れするためにタンクの開口部に装着され、タンク内とタンク外の複数の流体ラインとをつなぐのであって、

前記タンクの開口部に固定可能なブロック体であって、そのブロック体にタンクの內と外とをつなぐ複数の流路が形成されたものであることを特徴とする流体継手。

[2] 請求項 1に記載する流体継手において、

前記ブロック体には、前記タンクの円筒形状の開口部にシール部材を保持して気密に揷入可能な円柱状の挿入部と、その上方に環状に形成された横溝とが形成され、その横溝に引つ力けたロックナットを前記タンクの開口部外側に螺設することによつてタンクに装着するようにしたものであることを特徴とする流体継手。

[3] 複数の流体をタンクの内外において出し入れするためにタンクの開口部に装着され、タンク內とタンク外の複数の流体ラインとをつなぐのであって、

前記タンクの開口部に固定可能なブロック体にタンクの内と外とをつなぐ複数の流路が形成された流体継手と、その流体継手に形成された各流路の外側開口部に固定され、前記流体ラインに接続される流体機器とがー体に設けられたものであることを特徴とする継手一体型集積ユニット。

[4] 請求項 3に記載する継手一体型集積ユニットにおいて、

前記流体継手には、液体をタンク内に供給する液流路と、タンク外に開口したガス供給流路及びガス排気流路がタンク内に開口したガス給排気流路に接続された流路とが形成され、その流体継手の液流路、ガス供給流路及びガス排気流路のタンク外開口部にそれぞれ固定された流体機器が開閉弁であることを特徴とする継手一体型集積ユニット。

[5] 請求項 3に記載する継手一体型集積ユニットにおいて、

前記流体継手には、液体をタンク内に供給する液流路と、タンク外に開口したガス供給流路及びガス排気流路がタンク内に開口したガス給排気流路に接続された流路と、タンク内の液体を外部に吐出すべくタンク内に挿入されたパイプに連結された吐出流路とが形成され、その流体継手の液流路、ガス供給流路及びガス排気流路のタンク外開口部にそれぞれ固定された流器が開閉弁であることを特徴とする継手一体型集積ユニット。

[6] 請求項 5に記載する継手一体型集積ユニットにおいて、

前記吐出流路と前記ガス給排気流路とが 2重に形成されていることを特徴とする継手-体型集積ユニット。

[7] 請求項 5又は請求項 6に記載する継手一体型集積ユニットにおいて、

前記流体継手に螺合するロックナットと、

前記流体魔手の内周面に形成されたテーパに接合する楔部を備えるフェル一ルとを有し、

前記ロックナットが前記フエルールを介して前記流体継手に締め込まれていることを特徴とする継手一体型集積ユニット。