JP2006306653A - 窒化アルミニウム焼結体及びその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 平均結晶粒径が15〜30μmであり、酸素濃度が0.1質量%〜0.6質量%、金属不純物量が100ppm以下であることを特徴とする窒化アルミニウム焼結体であって、かかる窒化アルミニウム焼結体は、室温における体積抵抗率が1.0×108Ωcm以下である。また、上記焼結体は、平均粒子径0.1〜20μmの窒化アルミニウム粉末、及び、該窒化アルミニウム粉末に対して焼結助剤を0〜0.1質量部含有する成形体を、中性又は還元雰囲気下で、平均結晶粒径が15〜30μmに到達するまで焼結することによって得られる。
【選択図】 なし
Description
本発明の窒化アルミニウム焼結体は、平均結晶粒径が15〜30μm、特に、17〜25μmであり、酸素濃度が0.1質量%〜0.6質量%、特に0.2質量%〜0.5質量%、金属不純物量が100ppm以下、特に、50ppmであることを特徴とする。
本発明の窒化アルミニウム焼結体を製造する方法は特に制限されるものではないが、好適な方法として、以下に示す方法を挙げることができる。
金属不純物濃度は、窒化アルミニウム焼結体を粉砕し粉末状にした後、アルカリ溶融後、酸で中和し、島津製作所製「ICP−1000」を使用して溶液のICP発光分析により定量した。
酸素濃度は、窒化アルミニウム焼結体を粉砕し粉末状にした後、堀場製作所製「EMGA−2800」を使用して、グラファイトるつぼ中での高温熱分解法により発生したCO、CO2ガス量から求めた。
焼結体破断面の倍率1500倍のSEM写真より、コード法を用いて求めた。
理学電気(株)製の熱定数測定装置PS−7を使用して、レーザーフラッシュ法より測定した。厚み補正は検量線により行った。
体積抵抗率は、JIS2141に基づいて測定した。
内容積が2.4Lのナイロン製ポットに、鉄芯をナイロンで被覆した、直径15mmのナイロンボール(表面硬度100kgf/mm2以下、密度3.5g/cm3)を入れ、次いで、平均粒径が1.3μm、比表面積3.4m2/g、酸素濃度0.8wt%、金属元素濃度35ppmの窒化アルミニウム粉末にエタノールを溶媒として40重量部を加えて湿式混合した。この時、前記ナイロンボールはポットの内容積の40%(見かけの体積)充填した。混合はポットの回転数70rpmで3時間行った。さらに得られたスラリーを乾燥して窒化アルミニウム粉末を得た。
焼成時間を30時間としたこと以外は、実施例1と同様の操作を行った。窒化アルミニウム焼結体の製造条件を表1に、得られた窒化アルミニウム焼結体の特性を表2にそれぞれ示した。
実施例1に用いた窒化アルミニウム粉末を100質量部としたときに、焼結助剤としてカルシウムアルミネート化合物を0.05質量部添加したこと以外は実施例1と同様の操作を行った。窒化アルミニウム焼結体の製造条件を表1に、得られた窒化アルミニウム焼結体の特性を表2にそれぞれ示した。
焼結助剤としてカルシウムアルミネート化合物を0.1質量部添加したこと以外は、実施例1と同様の操作を行った。窒化アルミニウム焼結体の製造条件を表1に、得られた窒化アルミニウム焼結体の特性を表2にそれぞれ示した。
焼結助剤として酸化イットリウムを0.5質量部添加したこと以外は、実施例1と同様の操作を行った。窒化アルミニウム焼結体の製造条件を表1に、得られた窒化アルミニウム焼結体の特性を表2にそれぞれ示した。
焼結助剤としてカルシウムアルミナート化合物を1質量部添加したこと以外は、実施例1と同様の操作を行った。窒化アルミニウム焼結体の製造条件を表1に、得られた窒化アルミニウム焼結体の特性を表2にそれぞれ示した。
焼結助剤としてカルシウムアルミネート化合物を2質量部添加したこと以外は、実施例1と同様の操作を行った。窒化アルミニウム焼結体の製造条件を表1に、得られた窒化アルミニウム焼結体の特性を表2にそれぞれ示した。
焼結助剤としてカルシウムアルミネート化合物を3質量部添加したこと以外は、実施例1と同様の操作を行った。窒化アルミニウム焼結体の製造条件を表1に、得られた窒化アルミニウム焼結体の特性を表2にそれぞれ示した。
焼結助剤としてカルシウムアルミネート化合物を5質量部添加したこと以外は、実施例1と同様の操作を行った。窒化アルミニウム焼結体の製造条件を表1に、得られた窒化アルミニウム焼結体の特性を表2にそれぞれ示した。
比較例6
焼結助剤として酸化イットリウムを5質量部添加し、焼成温度を1780℃、保持時間を5時間とし、中性雰囲気下で焼成したこと以外は、実施例1と同様の操作を行った。窒化アルミニウム焼結体の製造条件を表1に、得られた窒化アルミニウム焼結体の特性を表2にそれぞれ示した。
Claims (6)
- 平均結晶粒径が15〜30μmであり、酸素濃度が0.1質量%〜0.6質量%、金属不純物量が100ppm以下であることを特徴とする窒化アルミニウム焼結体。
- 室温における体積抵抗率が1.0×108Ωcm以下である請求項1記載の窒化アルミニウム焼結体。
- 平均粒子径0.1〜20μmの窒化アルミニウム粉末、及び、該窒化アルミニウム粉末に対して焼結助剤を0〜0.1質量部含有する成形体を、中性又は還元雰囲気下で、平均結晶粒径が15〜30μmに到達するまで焼結することを特徴とする窒化アルミニウム焼結体の製造方法。
- 焼結助剤が、アルカリ土類金属化合物である請求項3記載の窒化アルミニウム焼結体の製造方法。
- 前記焼結温度が1800〜1900℃である請求項3記載の窒化アルミニウム焼結体の製造方法。
- 焼結時間が20時間以上である請求項3記載の窒化アルミニウム焼結体の製造方法。
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