JP2006302783A - 多相交流プラズマ発生装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】装置本体4の中に、チャンバ10と電源装置14等を備えいる。チャンバ10の開口部6が位置した側には、本体4に対して上下にスライド自在に設けられた扉16が取り付けられている。扉16の外側から内側に貫通して環状に複数配置されたコンタクトプローブ22が取り付けられている。多孔円筒金属籠26と、それを同心状に囲む複数の分割電極30を一体的に備えて成る放電ユニット32が設けられている。複数の分割電極30の扉側端部には、扉16のコンタクトプローブ22の端子用接点12と当接可能に、分割電極端子である給電子34が固定されている。各分割電極30は、多孔円筒金属籠26の外周に位置して、支持部材36により多孔円筒金属籠26に固定されている。
【選択図】図1
Description
また、各分割電極間の絶縁性を保つために上記のような電極形状にすると、電極の加工や取り付けが複雑になり、製造コストがアップするという問題があった。
また、n枚の分割電極を絶縁シート等に張り付けて支持するのではなく、n組の支持部材で空中に浮かせて支持するので、従来のように電極間の絶縁シート上にスパッタ粒子が付着堆積して絶縁性が失われるようなことがなくなる。
このコンタクトプローブ22は、電気的絶縁材により扉16の周辺導体部と絶縁され、扉16の外側に突出した部分には、電源装置14からの電線24が接続されている。
また、環状に配置したコンタクトプローブ22のやや内側に、コンタクトプローブ22と同様の構造で、基準電位に接続された中性電極の1個のコンタクトプローブ23が設けられ、電源装置14に接続されている。また、コンタクトプローブ22、23の扉裏面側に露出した端子用接点12、13は、図示しないコイルバネにより扉内側面から突出する方向に付勢され、後述する給電子34、35に当接するとバネ圧に抵抗して後退するように設けられている。
複数の分割電極30の扉側端部には、扉16のコンタクトプローブ22の端子用接点12と当接可能に、分割電極端子である給電子34が固定されている。また、多孔円筒金属籠26の扉側端部にも、扉16の基準電位のコンタクトプローブ23の端子用接点13と当接可能に、中性電極端子である1個の給電子35が固定されている。
次に、図示しない真空ポンプ等により、排気口8からチャンバ10内の空気を抜き取り、チャンバ20内部を所定の低圧または真空状態にし、プラズマを発生させる気体を所定の気圧になるようにチャンバ10内に入れる。そして、電源装置14から電力を供給することにより、多孔円筒金属籠26と分割電極30の間に放電が発生し、プラズマが生成される。
その他、複数の分割電極30が多孔円筒金属籠26と一体設にけられ、放電ユニット32として構成されているため、放電ユニット32として一度にチャンバ10に対して出し入れが可能となり、作業性が良くなる。
また、金属製のチャンバを使用する場合に、多孔円筒金属籠とその外周表面に絶縁層を形成し、多孔円筒金属籠と絶縁層を挟んで、スパッタリングされ難い材質の分割電極の層を持つ電極ユニットをチャンバ内に設置し、チャンバと分割電極層との間にてプラズマを生成することも可能である。また、各分割電極及び中性電極への給電をするための端子用接点を、チャンバ内部に設け、給電ユニット収納時に電気的接続状態を成すようにしてもよい。
そのほか、金属籠の形状は円筒状以外の形状でも良く、分割電極の素材はスパッタリングされ難い素材であれば適宜選択可能である。さらに、金属籠の孔形状や種類は適宜変更可能である。
4 本体
6 開口部
8 排気口
10 チャンバ
12、13 端子用接点
14 電源装置
16 扉
18 縁
20 パッキン
22、23 コンタクトプローブ
24 電線
26 多孔円筒金属籠
28 間隙
30 分割電極
30a 折り線
32 放電ユニット
34、35 給電子
36 支持部材
38 ボルト
38a 頭部
40 ナット
42 スペーサ
42a 段付き部材
44 インバータ
46 テフロン(商品名)ワッシャ
Claims (5)
- 入口を密閉する扉の付いたチャンバと、
このチャンバ内に格納する被処理材料を入れるための導体籠と、
この導体籠の外周に放射状に取り付けたn組の支持部材と、
このn組の支持部材に支持されて前記導体籠の外周を僅かな間隙を設けて同心状に囲む板状に形成したn枚の分割電極と、
このn枚の分割電極と導体籠の入口側端部に取り付けたn+1個の受電端子と、
前記扉の裏側に取り付けて扉の閉鎖時にn+1個の受電端子と1対1に結合するn+1個の給電端子と、
このn+1個の給電端子に各相成分と中性点を接続する多相交流電源と、
を備えてなることを特徴とする多相交流プラズマ発生装置。 - 前記扉が上下に移動して前記チャンバの入口を開閉することを特徴とする請求項1記載の多相交流プラズマ発生装置。
- 前記導体籠とn枚の分割電極がn組の支持部材を介して一体に組み立てられ、出し入れ自在に前記チャンバ内に格納されることを特徴とする請求項1記載の多相交流プラズマ発生装置。
- 前記支持部材が大小2つの径を持つ絶縁性の段付き円板を同軸に重ねたものであることを特徴とする請求項1記載の多相交流プラズマ発生装置。
- 前記分割電極が長さ方向の2本の平行な折り線に沿って山折りし、側面視台形状に形成されたものであることを特徴とする請求項1記載の多相交流プラズマ発生装置。
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