JP2006510187A - プラズマ反応器及びそれに利用される電極プレート - Google Patents

Abstract

プラズマ反応器は、誘電体と誘電体によって保護された内部電極からなり、片側に通電結合孔を他側に非通電結合孔を具備して、前記通電結合孔は内径変化による係止ショルダー部を具備して前記係止ショルダー部上に電極が露出するように形成して、隣接するもの同士、所定の間隙を維持して前記通電結合孔及び前記非通電結合孔が交互に配列するように積層する、電極プレートと、前記電極プレートの間に具備するスペーサーと、前記通電結合孔及び前記非通電結合孔を貫通して前記電極プレート相互間を結合し、前記電極プレートの係止ショルダー部上に係止接触して前記電極と通電する伝導結合具からなり、前記伝導結合具を通じて前記電極に電源を印加してプラズマ放電を発生させる。

Description

本発明は、プラズマ反応器及びそれに利用される電極プレートに関するものである。より詳細には、優秀な通電性能、耐久性及び電力消費効率を有するだけでなく、組み立て及び分解が容易で量産性に優れたプラズマ反応器及びそれに利用される電極プレートに関するものである。

プラズマ反応器は、プラントから排出されるＮＯｘ、ＳＯｘの除去手段である。１９８０年代の初めからアメリカ、日本、ロシア、イタリア等地で既存の排出ガスの後処理浄化装置より低い設置費、２次汚染の抑制、悪臭及び有害有機物除去などの長所のため、活発に研究されて現在実用化段階にある。

現在プラズマ反応器は、集塵機と脱臭装置、表面改質、汚水処理、空気清浄機、オゾン発生器などに応用されている。特に、車の排出ガスの後処理と関連して、プラズマ反応器は、ＮＯｘと粒子状物質（Ｄｉｅｓｅｌ Ｐａｒｔｉｃｕｌａｔｅ Ｍａｔｔｅｒ）を同時に低減することができる技術として認められている。

このようなプラズマ反応器の従来技術を詳しく見てみれば下記のようである。
まず、アメリカのデルピー「Ｄｅｌｐｈｉ」社の特許文献１（発明の名称：Ｎｏｎ−Ｔｈｅｒｍａｌ Ｐｌａｓｍａ Ｅｘｈａｕｓｔ ＮＯｘ Ｒｅａｃｔｏｒ）が挙げられる。しかし、これは電極プレート間の間隙調節が不可能だった。組み立て及び分解が難しくて維持及び補修管理に問題点があった。また電極に電源を供給するコンダクター（Ｃｏｎｄｕｃｔｏｒ）が外部に露出する構造になっていて、外部への放電損失の問題点があった。

このような問題点を相当部分解消したのが、図１６の特許文献２（発明の名称：Ｐｌａｓｍａ ｒｅａｃｔｏｒ、ｐｒｏｄｕｃｔｉｏｎ ｍｅｔｈｏｄ ｔｈｅｒｅｏｆ、ａｎｄ ｅｍｉｓｓｉｏｎ ｃｏｎｔｒｏｌ ａｐｐａｒａｔｕｓ ｏｆ ａ ｖｅｈｉｃｌｅ）である。前記の特許文献２は、本発明の最先優先日以後に出願公開された。

図示したように、図１６のプラズマ反応器は、第１誘電体６２１と、該第１誘電体６２１と対向するように設置される第２誘電体６２２と、この第１誘電体６２１及び第２誘電体６２２の間にプラズマ領域Ｐが形成されるように第１誘電体６２１及び第２誘電体６２２の間に設置されたギャップスペーサー（ｇａｐ ｓｐａｃｅｒ）６２３と、前記第１誘電体６２１及び第２誘電体６２２の間のプラズマ領域Ｐでコロナ放電を発生させるためにお互いに対向して、第１誘電体６２１及び第２誘電体６２２の長さ方向にそろって並ぶように設置された電極部材６２４及び接地部材６２５と、この電極部材６２４及び接地部材６２５に電気を供給するために電極部材６２４及び接地部材６２５に接して第１誘電体６２１及び第２誘電体６２２に設置されたリードライン部材７６１、７６２からなり、このように構成された単層のプラズマ反応器６２０を多数積層させて、多層のプラズマ反応器を製作する。

第１誘電体６２１及び第２誘電体６２２とギャップスペーサー６２３には、リードライン部材７６１、７６２が結合するように結合ホール７７１、７７２が形成される。

リードライン部材７６１、７６２は、インキングライン（ｉｎｋｉｎｇ ｌｉｎｅ）またはボルトのいずれか一つによってなされる。

高電圧プラグ６４０とリードライン部材７６１との接触安全性のために、プラズマ反応器６２０に一定の深さに形成されたホーム６２９に、球形状の金属網（ｗｉｒｅ ｍｅｓｈ）７８１を具備する。金属網７８１の代りにスプリングを使用することもできる。

図面符号６４５は、高電圧プラグ６４０の電極部を、７１１及び７２１は凹凸を現わしている。

図１７は、図１６のプラズマ反応器の電極構造を示した斜視図である。
図示したように、リードライン部材７６２が挿着される結合ホール７７２の外縁部を含んで全体的に長方形の電極が形成されている。

前記図１６のプラズマ反応器は、誘電体６２１、６２２間の間隙調整とプラズマ反応器の組み立て及び分解が相対的に容易であるという長所を有し、電極６２４、６２５が外部に露出しないので外部放電損失の問題点を相当部分解決することができる利点を有している。

しかし、前記図１６のプラズマ反応器は、リードライン部材７６１、７６２と電極部材６２４及び接地部材６２５の間の接触性が極めて不良であるという致命的な問題点を有している。即ち、電極部材６２４及び接地部材６２５は、誘電体薄板の片面にＡｇ、Ｃｕ、Ａｇ−Ｃｕ合金のコーティングで形なして、そのように製作された誘電体薄板を接合して第１誘電体６２１及び第２誘電体６２２を製作する。

したがって、理想的な場合、電極部材６２４及び接地部材６２５は、結合ホール７７１、７７２の円周に沿ってリードライン部材７６１、７６２と線接触をするようになる。しかし、実際には、電極部材６２４及び接地部材６２５のコーティング品質不良、リードライン部材７６１、７６２と結合ホール７７１、７７２に存在する公差等によって電極部材６２４及び接地部材６２５とリードライン部材７６１、７６２の間の接触不良が生じる。勿論、精密加工を通じて接触性能の向上を期することはできるが、これは工程費用及び労力負担を要求し、また他の問題点につながる。

また、図１６のプラズマ反応器では、リードライン部材７６１、７６２として、例えば、ボルトを利用して誘電体６２１、６２２とネジ結合して誘電体６２１、６２２を積層結合できるようになっている。したがって、ボルトを最上段誘電体６２１、６２２の結合ホール７７１、７７２から最下段の誘電体６２１、６２２の結合ホール７７１、７７２まで螺旋移動させて結合させなければならない。ボルトの多回転は、ボルトと接触しなければならない電極部材６２４及び接地部材６２５の摩耗を引き起こし、リードライン部材７６１、７６２と電極部材６２４及び接地部材６２５の通電不良の危険性をさらに高めることになる。

また、このようにボルト結合だけで積層された誘電体６２１、６２２とスペーサー間には隙間の発生する危険性が大きい。これを防止するために、通常的にボルトと共にナットが使用される。しかし、この場合、ナットが締められた最上段または最下段の誘電体６２１、６２２には圧縮応力が集中して耐久性の低下をもたらす一方、中段の誘電体６２１、６２２は緩く締めつけられる。それによって、電極部材６２４及び接地部材６２５の間の間隙を意図する間隙値に維持することが難しく、その緩く開いた隙間を通じて外部放電損失が発生する。特に、多数の誘電体６２１、６２２を積層して形成されるプラズマ反応器では、深刻な問題点として指摘することができる。

また、図１７に図示したように、図１６のプラズマ反応器は、放電領域に対する考慮なしに単純に電極が四角形形状に設計されていて、外部電力損失が惹起される問題点があった。即ち、電極設計において、プラズマ放電領域に対応する部位には大きい面積を割り当て、最大の放電効果を得ることができるようにする一方、そこまで電流が供給されるように単純に電流が流れる通路の役目をする部位には、なるべく小さな面積を割り当てて外部電力損失の原因を最小化しなければならないのである。しかし、図１６のプラズマ反応器では、これに対する技術的考慮なしに電極が設計されることにより、外部電力損失が発生する問題点があった。

一方、従来のプラズマ反応器では、通常セラミック材質の誘電体を使う。セラミック部材は、材質の特性上その外表面に微細な気孔が多数存在する。このような微細な気孔に微細な煤が付着して汚染される。そのため、従来のプラズマ反応器は、煤（ｓｏｏｔ）に非常に脆弱な問題点を持っていた。

従来の車の排気ガスの後処理に使われるプラズマ反応器において、排気ガスに含まれた煤による平板電極の汚染は、非常に致命的な問題点として指摘されて来た。煤が、車の排気ガスの後処理分野でプラズマ反応器の実用化を阻む主な要因中の一つに認識されて来たことを勘案する時、前記の煤による汚染問題は見過ごすことができないのである。
米国特許第６、４６４、９４５号 米国公開特許第２００３−０１８０１９９号

本発明は、前記の問題点を解決するために案出されたものである。本発明の目的は、外部から供給された電源が短絡したり損失したりすることなしにそのまま電極にまで供給されるプラズマ反応器構造を提供することにある。即ち、本発明では電極と伝導結合具が線接触ではなく面接触するようにすることで、電源が円滑に電極にまで供給されるようにすることにその目的がある。そのために、本発明では電極プレートに係止ショルダー部を提供して、前記目的を達成する。

また、本発明は、電極プレートの積層の作業性を改善して、電極プレート間の間隙調整が非常に容易なプラズマ反応器構造を提供することに、また他の目的がある。

また、本発明は、電極プレート相互間の結合による圧縮応力を各電極プレートに均等に分散させて電極及び電極プレートの耐久性を向上させ、同時に電極プレート間の堅固な結合を可能にするプラズマ反応器構造を提供することに、また他の目的がある。これを通じて、各電極プレート間の間隙を一定の設計値に維持することにより、最大の放電効率を得ることができる。

また、本発明は、電極プレートの煤汚染による反応器性能低下を最小化させることができるプラズマ反応器を提供することに、また他の目的がある。

前記の目的を達成するために本発明は、誘電体と該誘電体によって放電空間から保護される電極からなり、隣接するもの同士、所定の間隙を持ち、前記電極が交互に電源の両端子に接続するように積層配列して、前記所定の間隙が放電空間をなし、放電空間に露出する誘電体の外表面に気孔度低減物質をコーティングしたことを特徴とする、プラズマ反応器用電極プレートを提供する。

好ましくは、前記電極プレートは、相互対向面中の一つ以上の面に電極を具備する複数個の誘電体薄板を相互接合して成り立ち、前記誘電体薄板の接合は、気孔度低減物質を接合剤に利用してなされる。

また、本発明は、誘電体と誘電体によって放電空間から保護される電極からなり、片側に通電結合孔を他側に非通電結合孔を具備して、前記電極は、前記通電結合孔と接してその外縁部でわくを成す孔わく部と、前記放電空間に対応する領域で広い幅に形成された放電部と、前記孔わく部と前記放電部をつなぐ小幅に形成された連結首部を具備し、隣接するもの同士、所定の間隙を維持して前記通電結合孔及び前記非通電結合孔が交互に配列するように積層して、交互に配列した前記通電結合孔及び前記非通電結合孔を貫通して伝導結合具を挿設し、前記伝導結合具を通じて前記電極に電源を印加してプラズマ放電を発生させることを特徴とする電極プレートを提供する。

また本発明は、誘電体と誘電体によって保護される内部電極からなり、片側に通電結合孔を他側に非通電結合孔を具備して、前記通電結合孔は係止ショルダー部を具備して前記係止ショルダー部上に電極が露出するように形成して、隣接するもの同士、所定の間隙を持って前記通電結合孔及び前記非通電結合孔が交互に配列するように積層する電極プレートと、前記電極プレートの間に具備されたスペーサーと、前記通電結合孔及び前記非通電結合孔を貫通して前記電極プレート相互間を結合して、前記電極プレートの係止ショルダー部上に係止接触して前記電極と通電する伝導結合具からなり、前記伝導結合具を通じて前記電極に電源を印加してプラズマ放電を発生させることを特徴とするプラズマ反応器を提供する。

前記伝導結合具は、前記電極プレートの係止ショルダー部に係止接触が可能な限り、多様な構造を有することができる。例えば、前記通電結合孔及び前記非通電結合孔の軸方向に沿って複数個の同一な伝導結合具要素を繰り返し組み立てて使用したり、一体に形成された結合軸が軸方向に沿って位置し、その外周に係止ウイングを結合して形成したり、一体に形成された結合軸が軸方向に沿って位置しその外周に伝導媒体が通電接触するように構成する等、多様な実施例が可能である。

また、本発明は、電極プレートと、相互に離隔して積層されるように前記電極プレートを着脱可能に支持するガイド構造からなり、離隔するように配列した前記電極プレートの前記電極に交互に電源の両端子に接続して電源を印加することにより、前記電極プレート間の間隙でプラズマ放電が発生するようにすることを特徴とするプラズマ反応器を提供する。

以下、添付図面を参照しながら本発明の好ましい実施例を詳しく説明する。しかし、これは例示的なものに過ぎず、当該技術分野で通常の知識を有する者なら今後多様な変形及び均等な実施例が可能であることは勿論である。本発明の真正な保護範囲は、添付した特許請求の範囲によってのみ定められる。

図１は、本発明の好ましい実施例による誘電体薄板１０、２０の構造を示した斜視図である。

図示したように、電極プレート１は、誘電体薄板１０、２０と電極１６とからなる。電極１６は、誘電体によって放電空間５０から保護される。図１では誘電体薄板１０、２０によって保護される内部電極１６を示している。誘電体薄板１０、２０には、例えばセラミック薄板が使用される。

第１誘電体薄板１０は、片側に小径の通電結合孔１２を他側に小径の非通電結合孔１４を具備する。電極１６は、第１誘電体薄板１０の片面に形成し、小径の通電結合孔１２に接するように形成する。

第２誘電体薄板２０は、片側に大径の通電結合孔２２を他側に小径の非通電結合孔２４を具備する。

第１誘電体薄板１０の電極１６を形成した面と第２誘電体薄板２０は、通電結合孔１２、２２同士そして非通電結合孔１４、２４同士、その軸が一致するように接合する。接合物質には、セラミックペーストが使用できるが、ガラスペーストのような気孔度低減物質２６を使用することが好ましい。

二枚のセラミック薄板にセラミックペーストを塗布して接合する場合、セラミックペーストは微細気孔が比較的大きい方なので、電極に電流印加時この微細気孔を通じて外部への放電が惹起されて電力損失が発生する。

したがって、ガラスペーストのような気孔度低減物質２６を利用して接着をすることが好ましく、二枚の誘電体薄板１０、２０の接着面に存在する微細気孔を最小化して、電極１６から外部への放電現象を減らすことができる。

しかし、本発明は、接合物質としてセラミックペーストの使用を排除するものではない。セラミックペーストは、それなりの有用性を持っていて、誘電体薄板１０、２０の接合物質として使用できる。

電極１６は、孔わく部１６ａ、連結首部１６ｂ及び放電部１６ｃからなる。孔わく部１６ａは、通電結合孔１２と接してその外縁部でわくをなす。孔わく部１６ａは係止ショルダー部７上に露出して伝導結合具４０と接触する。孔わく部１６ａは、電極プレート１の係止ショルダー部上に露出する程度のわく幅を有することが好ましい。即ち、伝導結合具４０と接触する位だけ、そのわく幅を有するのである。

連結首部１６ｂは、孔わく部１６ａと放電部１６ｃをつなぐ。連結首部１６ｂは、電力の外部損失を最小化するために小幅に形成する。

放電部１６ｃは、放電空間に対応する領域に形成し、最大のプラズマ放電が発生するように広幅に形成する。電極プレート１の交互積層にもかかわらず、隣接する電極１６の放電部１６ｃ同士は、相互に重なるようにに設計することが好ましい。

伝導結合具４０を通じて供給される電源は、孔わく部１６ａを通じて引き入れられて、連結首部１６ｂを経て放電部１６ｃに伝達されることにより初めてプラズマ放電が発生される。

図２及び図３は、各々図１の誘電体薄板１０、２０を接合して形成される電極プレート１の平面斜視図及び底面斜視図である。

誘電体薄板の接合によって製作される電極プレート１の通電結合孔は、第１誘電体薄板１０の小径の通電結合孔１２と第２誘電体薄板２０の大径の通電結合孔１２が連通して構成されるので、接合状態で通電結合孔には係止ショルダー部７が具備される。図示した実施例において、係止ショルダー部７は、通電結合孔の内径変化によって形成される円形段突起である。

内部電極１６は、係止ショルダー部７上で露出する。

電極プレート１で放電空間５０に露出する外表面には、ガラスペーストのような気孔度低減物質３をコーティングする。

誘電体薄板１０、２０には、通常セラミック材質の薄板が使われる。この場合材質の特性上その外表面には微細気孔が多数存在する。したがって、この微細気孔に微細な煤が付着して、付着した煤は結局電極のような役目をしてセラミック薄板に塗布された電極１６から煤への放電現象が誘発される危険性が存在する。

したがって、本発明では放電空間５０に露出する誘電体薄板１０、２０の外表面に気孔度低減物質３を塗布して表面の気孔度を低めて作動流体（例えば、排気ガス）に含まれた煤などの異物が表面に付着することを最小化した。

図４は、図２、３の電極プレート１を製作する工程を示した工程手順図である。
まず、第１誘電体薄板１０の片面を洗浄した後、スクリーン印刷を通じて電極形成用金属ペーストを塗布する。それから、金属ペーストを乾燥及び焼成して電極１６を形成する。

金属ペーストを塗布した第１誘電体薄板１０は、二つの小孔を具備する。第１誘電体薄板１０に塗布する金属ペーストは、一方の小孔を取り囲みながら塗布するが、他の小孔には接しないように塗布する。金属のペーストに取り囲まれた小孔は、通電結合孔１２になる。通電結合孔１２には、その後伝導結合具４０を組み立てて通電可能に構成する。金属ペーストと距離をおいて離れた小孔は、非通電結合孔１４になる。

続いて、第２誘電体薄板２０の一方の面を洗浄した後、スクリーン印刷を通じて気孔度低減物質２６であるガラスペーストを塗布する。第２誘電体薄板２０は、一つの大径の通電結合孔２２と一つの小径の非通電結合孔２４を具備する。

第２誘電体薄板２０のどの面にも電極を形成する必要がないので、電極形成用金属ペーストの塗布過程は必要ない。第２誘電体薄板２０の大径の通電結合孔２２は、第１誘電体薄板１０の電極１６で取り囲まれた小径の通電結合孔１２と重ねて接合する。伝導結合具４０を組み立てる小径の通電結合孔１２周囲の電極１６部位に気孔度低減物質２６が塗布されると、気孔度低減物質２６による通電障害が発生するので、気を付けなければならない。

第１誘電体薄板１０の金属ペーストを塗布した面と第２誘電体薄板２０の気孔度低減物質２６を塗布した面を対面するように重ねる。ここで、通電結合孔１２、２２同士そして非通電結合孔１４、２４同士、各々その軸が一致するように重ねなければならない。

それから、重ねた誘電体薄板１０、２０の間に存在する気孔度低減物質２６を乾燥及び焼成させて誘電体薄板１０、２０の接合を完了する。

それから、作動流体（例えば、排気ガス）と触れ合うことになる、接合された二枚の誘電体薄板１０、２０の外表面に、異物による汚染を防止するために気孔度低減物質３のガラスペーストを塗布した後、乾燥及び焼成して電極プレート１の製作を完了する。

図５は、本発明の好ましい実施例によって図２、３の電極プレート１を使用して製作したプラズマ反応器の構造を示した断面図である。

図示したように、図５のプラズマ反応器は、電極プレート１とスペーサー３２、３４と伝導結合具４０とからなる。これ以外に電極ネジ棒８２、８４、絶縁キャップ７２、７８、ナット７４、ワッシャー７６を具備する。

電極プレート１は、隣接するもの同士、所定の間隙を有するように積層配列する。前記所定の間隙は、プラズマ放電空間５０をなす。

電極プレート１は、通電結合孔及び非通電結合孔が交互に列をなして配列するように積層する。したがって、電極プレート１の電極１６は、交互に電源の両端子に接続するようになる。

スペーサー３２、３４は、電極プレート１の間に組み立てて電極プレート１の間の間隙を調節及び維持する機能を果たす。電極プレート１間の間隙の大きさは、プラズマ反応器の性能を左右する非常に重要な要素である。電極プレート１間の間隙の大きさと誘電体薄板１０、２０の厚さは、プラズマの安全性、入力電力、周波数及び装置用途などによって多様に変化することができる。本発明では、非常に簡単に組み立て及び分解可能なスペーサー３２、３４及びその組み立て構造を採用して、電極プレート１間の間隙を容易に調節できるようにした。電極プレート１間の間隙を調節しようとすれば、それに適合した厚みのスペーサー３２、３４に入れ替えて組み立てれば良い。

スペーサー３２、３４は、貫通孔を具備し、その貫通孔に伝導結合具４０を挿入する。したがって、スペーサー３２、３４が伝導結合具４０を外周で包む構造になっている。

スペーサーは、第１スペーサー３２と第２スペーサー３４に分けられる。第１スペーサー３２は、電極プレート１の通電結合孔の上部の間隙で伝導結合具要素４１の通電部４２の外周に挟まれる。

第２スペーサー３４は、電極プレート１の非通電結合孔の上部の間隙で伝導結合具要素４１の非通電部４４の外周に挟まれる。非通電結合孔の内径に比べて、ここに挿入される伝導結合具要素４１の非通電部４４の外径は、小さい。第２スペーサー３４は、その間隙に挿入されるブッシュ３４ａを突き出るように具備する。しかし、実施例によっては非通電結合孔の内径とここに挿入される伝導結合具要素４１の非通電部４４の外径を等しくすることもできる。この場合、第２スペーサー３４のブッシュ３４ａは必要ではなくなる。

スペーサー３２、３４には、ガラスファイバー系マットを使うこともできるが、セラミックスペーサーを使うことが好ましい。ガラスファイバー系マットは、特性上、水分吸収率が高いので水分による絶縁効果低下現象が発生する危険性がある。また、ガラスファイバー系マットは、圧縮されてもある程度の気孔を維持するため、そのような気孔を通じた外部放電可能性が存在し、それによって本来の役目である外部絶縁性能が低下することがあるからである。また、初期に圧縮されたガラスファイバー系マットは、継続する熱応力によってその弾性を失ったりファイバー間の締結力が減少したりして、流動衝撃によってガラスファイバー系マットのファイバー成分が流出することにより、スペーサーとしての役目を果たすことができなくなる危険性も存在する。

したがって、ガラスファイバー系マットに比べて気孔が少なくて耐久性がすぐれたセラミックスペーサー３２、３４を使用することが好ましく、優秀な通電密着性及び絶縁維持性を確保することができるようにする。

伝導結合具４０は、通電結合孔及び非通電結合孔を貫通して電極プレート１相互間を結合する機能を遂行する。

伝導結合具要素４０は、電極プレート１の通電結合孔に形成された係止ショルダー部７に対応する係止ショルダー部４７を具備し、通電結合孔の係止ショルダー部７に係止接触して電極１６と通電する。したがって、電極１６と伝導結合具４０が直接面接触をするようになり、確かな通電性能を保障することができるようになる。

また、各伝導結合具要素４１が各電極プレート間の締結力を負担するので、圧縮応力集中による耐久性低下を防止するだけではなく、電極プレート間の堅固な締結が可能になる。

片側（図５では左側）の結合孔列に貫通設置された伝導結合具４０の外部に露出する部位には絶縁キャップ７２、７８をかぶせて、伝導結合具４０の絶縁と位置固定をするようにする。これに反して、他側（図５では右側）の結合孔列に貫通設置された伝導結合具４０は、接地する。

外部電源８６から電極ネジ棒８２、８４及び伝導結合具４０を通じて電極１６に電源を印加すれと、放電空間５０でプラズマが発生する。したがって、スペーサー３２、３４が形成する空間である放電空間５０に浄化処理対象ガスを通過させて所望する形態で処理するようになる。即ち、電極１６に電源を印加すれば、分極現象及び電子雪崩を経て放電空間５０でコロナ放電が発生する。コロナに存在する電子は、エネルギーが高くて、対象ガス中の酸素、窒素、水蒸気等と衝突して各種のラジカルを形成して、このように形成されたラジカルは有害物質と反応して有害物質を変化させるのである。

プラズマ反応器を自動車の排出ガス処理と関連させて詳しくみれば、プラズマは自動車の排出ガスＮＯｘ成分の中でＮＯをＮＯ_２に変化させることによって、煤（ｓｏｏｔ）を酸化させることができ、またＮＯ_２に活性を有する触媒を装着した場合、脱窒化（ＤｅＮＯｘ）効果を得ることができる。

図６は、図５のプラズマ反応器で使用される伝導結合具４０を構成する伝導結合具要素４１の構造を示した拡大断面図である。

図示したように、伝導結合具要素４１は、通電部４２と非通電部４４と連結部４６に分けられる。

通電部４２は、電極プレート１の通電結合孔及びその上部の間隙に組み立てられる。通電部４２は、通電結合孔の係止ショルダー部７に対応する部位に係止ショルダー部４７を具備する。通電部４２には、メスネジ穴４８を形成する。

非通電部４４は、電極プレート１の非通電結合孔及びその上部の間隙に挿入される。ここで、非通電結合孔には第２スペーサー３４を媒介して挿入される。

連結部４６は、２個以上の電極プレート１が積層できるように各伝導結合具要素４１を相互連結する機能を果たす。連結部４６には、雄ネジ山が形成され、前記通電部４２のメスネジ穴４８に挿入締結される。

伝導結合具要素４１は、通電部４２、非通電部４４及び連結部４６の順序で漸次小さくなる外径の大きさを有することで、伝導結合具要素４１を電極プレート１の上から挟みこんで組み立てるようになっている。実施例によっては、非通電部４４と連結部４６の外径が等しい実施例も可能である。また、連結部４６が非通電部４４ではない通電部４２の上部に形成される実施例も可能である。勿論、この場合、雌ネジ孔は非通電部４４の下端に形成する。また、各伝導結合具要素４１の連結方式も、図示したネジ結合方式の他に多様な実施例が可能であることは、当業者には自明なことである。

伝導結合具要素４１は、金属材質が通常的であるが、炭素材質の結合具も可能である。

図７は、図５のプラズマ反応器を製作する工程を示した工程手順図である。

まず、電極プレート１の通電結合孔に伝導結合具要素４１及び第１スペーサー３２を組み立てて、非通電結合孔に第２スペーサー３４を組み立てる。通電結合孔に締結される伝導結合具要素４１は、電極１６と直接接触して通電する。ここで、伝導結合具要素４１及び第２スペーサー３４は、電極プレート１積層時の組み立て位置を定める役目もする。

前述したように、スペーサー３２、３４としてセラミック材質のスペーサーを使用する場合、ガラスファイバー系スペーサーに比べて寸法変化がほとんどなく、したがって相対的に均一な積層間隙を得ることができる。

第１スペーサー３２は、伝導結合具４０に印加される電流が外部に放電することを防止して通電密着及び外部との絶縁の役目をする。第１スペーサー３２及び第２スペーサー３４は、電極プレート１間の間隙を調節する役目をする。ここで、伝導結合具要素４１の通電部４２の高さは第１スペーサー３２より小さくして電極プレート１間の間隙調節と無関係に設定するのが好ましい。

それから、第１スペーサー３２及び第２スペーサー３４上に通電結合孔及び非通電結合孔が交互に配列するように新しい電極プレート１を乗せる。即ち、一つの伝導結合具４０の組み立て軸でみると、非通電結合孔はすぐ下の電極プレート１の通電結合孔上に、反対に通電結合孔はすぐ下の電極プレート１の非通電結合孔の上へ来るように電極プレート１を積層する。このように電極プレート１の電極１６を互い違いに積層して隣接する電極プレート１の極性が相異するように誘導することにより、プラズマ放電がそれぞれの電極プレート１の間隙ごとに発生するようにする。

それから、最下段部の電極プレート１の通電結合孔の下に突出した伝導結合具要素４１に第２スペーサー３４を組み立てた後、ワッシャー７６を介してナット７４で締結してケース（未図示）等に接地させる。また、最下段部電極プレート１の非通電結合孔の下に突出した伝導結合具要素４１にナット７４が組み立てられた絶縁キャップ７２を被せて固定する。

それから、上端の電極プレート１の非通電結合孔に第２スペーサー３４を組み立てて、通電結合孔に伝導結合具要素４１及び第１スペーサー３２を組み立てる。そして、第１スペーサー３２及び第２スペーサー３４上にも通電結合孔及び非通電結合孔が交互に配列されるように新しい電極プレート１を乗せる。この過程を必要な積層回数だけ繰り返す。

伝導結合具要素４０の連結部４６の雄ネジ山は、すぐ下にある伝導結合具４０の通電部４２のメスネジ穴４８と締結されて、伝導結合具要素４１が通電結合孔内に露出する電極１６と直接触れるまで締めつけられ、全体的な電極プレート１の積層構造をしっかりと固定させる役目をする。

また、電極プレート１の積層構造に対する支持は、各々の電極プレート１に組み立てられる伝導結合具要素４１の組み立てによるものなので、組み立て時積層構造に適用される圧縮応力を各々の電極プレート１に均一に分散させることができる。

それから、最上段部の電極プレート１の通電結合孔に伝導結合具要素４１を組み立てて、非通電結合孔に第２スペーサー３４及び伝導結合具要素４１を組み立てる。

それから、通電密着及び絶縁性のために最上段部の電極プレート１の非通電結合孔の上に突出した伝導結合具要素４１に絶縁キャップ７８を被せる。そして、電源を印加するために電極ネジ棒８２、８４を伝導結合具４０に組み立ててプラズマ反応器を完成する。

図８は、本発明のまた他の実施例によって図２、３の電極プレートを使用して製作したプラズマ反応器の構造を示した断面図である。

図示したように、電極プレート１の係止ショルダー部７と伝導結合具４０の係止ショルダー部４７の間にワッシャー３７を介在設置した実施例を図示している。図５とまったく同じサイズの構成部品をそのまま使用して図７のプラズマ反応器を構成する場合には、電極プレート１の係止ショルダー部７と伝導結合具４０の係止ショルダー部４７の間のワッシャー３７設置に対応するように、電極プレート１の非通電結合孔の外縁部と第２スペーサー３４間にもやはりワッシャー３７を介在設置する。

しかし、図８の実施例は、ワッシャー３７が本発明のプラズマ反応器の必須構成要素として使用しなければならないことを意味するものではない。ワッシャー３７を使用しなくても、図５のプラズマ反応器は優秀な通電性能を示すことが確認できた。

図９は、本発明のまた他の実施例によって図２、３の電極プレートを使用して製作したプラズマ反応器の構造を示した断面図である。

図示したように、図８のプラズマ反応器において、電極プレート１の非通電結合孔の外縁部と第２スペーサー３４間に設置したワッシャー３７を省略して構成した実施例を示している。やはり、図５とまったく同じサイズの構成部品をそのまま使用して図８のプラズマ反応器を構成しようとする場合には、ワッシャー３７の厚みに対応するように第２スペーサー３４の厚みも厚くしなければならない。

図１０は、本発明のまた他の実施例によるプラズマ反応器の構造を示した図面である。

前述したように、本発明の特徴は、伝導結合具が電極プレートの係止部に係止接触して円滑な通電性能を有するところにあり、これを果たす限りにおいて、伝導結合具は多様な構造を有することができる。そのまた他の一実施例を図１０に見ることができる。

図示したように、伝導結合具の構造が変化したことを除き、図９のプラズマ反応器と類似の構造を有している。

図９のプラズマ反応器は、電極プレート１を積層する度に、電極プレート１の中心を合わせてやらなければならない不便さがある。このような不便さは、図１０の伝導結合具９０の構造を使用することで解決することができる。このことにより、微小ではあるけれどプラズマ反応器の全体組み立て時間を減らすことができる利点がある。

図１１は、図１０のプラズマ反応器の結合軸９３と係止ウイング９５の結合関係を示した図面である。

図示したように、図１０の伝導結合具９０は、結合軸９３と係止ウイング９５からなっている。

結合軸９３は、一体に形成する。結合軸９３は、大径部９３ａと小径部９３ｂを具備する。大径部９３ａには、係止ウイング９５が外周に結合される。大径部９３ａは、その外周に雄ネジ山を具備する。

係止ウイング９５は、その中心に結合軸９３の外周が挿入結合される貫通穴を具備する。また、半径方向に開いている横開口部９５ｂを具備する。係止ウイング９５は、その内周に雌ネジ山を具備して、大径部９３ａの雄ネジ山とネジ結合される。

小径部９３ｂは、係止ウイング９５の横開口部９５ｂの幅より小さな直径を有する。これは小径部９３ｂが、係止ウイング９５の横開口部９５ｂを通じて係止ウイング９５中心の貫通穴にはめることができるようにするためである。小径部９３ｂが存在しない伝導結合具も使用できる。しかし、この場合、係止ウイング９５を結合軸９３の上端から所定位置まで螺旋移動させなければならないので、組み立て時間及び労力面で好ましくないこともある。

結合軸９３と係止ウイング９５の結合過程を説明する。まず、横開口部９５ｂが小径部９３ｂに向いた状態で、係止ウイング９５を小径部９３ｂ方へ押し入れて、係止ウイング９５が小径部９３ｂにはまるようにする。それから、係止ウイング９５を回して、係止ウイング９５が大径部９３ａとネジ結合しながら下方移動するようにする。

係止ウイング９５は、係止ショルダー部９５ａを具備する。

再び、図１０を参照して説明する。
結合軸９３は、交互に配列された通電結合孔及び非通電結合孔を貫通して位置する。

結合軸９３の大径部９３ａは、通電結合孔及びその上部の電極プレート間の間隙の位置に位置する。結合軸９３の小径部９３ｂは、非通電結合孔及びその上部の電極プレート間の間隙の位置に位置する。

非通電結合孔の上部の電極プレート間の間隙に具備された第２スペーサー３４は、結合軸９３の大径部９３ａに比べて大きい直径の貫通孔を具備する。これは、結合軸９３の上端を通じて第２スペーサー３４を簡便にはめこむことができるようにするためである。

係止ウイング９５の係止ショルダー部９５ａは、電極プレート１の係止ショルダー部７に係止接触する。

図１２は、図１０の伝導結合具９０と図６の伝導結合具４０を比較説明するための図面である。

図６の伝導結合具４０は、伝導結合具４０ごとにハッチングを変えて区別した。図１０の伝導結合具９０は、太い実線を使った。

図示したように、図６の伝導結合具４０の通電部４２は、内側の結合軸９３と外側の係止ウイング９５に分割された。図６の伝導結合具４０の非通電部４４は、その直径を縮小して図１０の伝導結合具９０の小径部９３ｂをなすようにした。

即ち、基本的に図１０の伝導結合具９０は、図６の伝導結合具４０を他の方式で分割して構成したものであることが分かる。

図１３は、本発明のまた他の実施例によるプラズマ反応器の構造を示した図面である。

図示したように、図１３のプラズマ反応器は、電極プレート１０１とスペーサー１３２と伝導結合具１９０からなる。これ以外に、非伝導ブッシュ１９６、絶縁キャップ１７２、１７８）、ワッシャー３７を具備する。

伝導結合具１９０は、結合軸１９３と伝導媒体を含む。

結合軸１９３は、結合孔列毎に単一体に形成する。結合軸１９３は、交互に配列された通電結合孔と非通電結合孔を貫通して挟む。

伝導媒体は、結合軸１９３外周に通電接触される。また、電極プレート１０１の通電結合孔に形成された係止ショルダー部上に接触する。図１３では、伝導媒体として、伝導ブッシュ１９５を使用した実施例を図示している。伝導ブッシュ１９５は、真鍮のような金属材質を使用した伝導性を有するブッシュである。

非通電結合孔は、通電結合孔の係止ショルダー部と反対方向を向くように下方を向いた係止ショルダー部を具備する。非通電結合孔の係止ショルダー部には非伝導ブッシュ１９６が具備される。非伝導ブッシュ１９６の内周には伝導結合具１９０の結合軸１９３が挟まれて、非伝導ブッシュ１９６は結合軸１９３の外周に接触する。非伝導ブッシュ１９６には、例えば、セラミックブッシュが使用できる。

スペーサー１３２は、貫通孔を具備する。結合軸１９３は、スペーサー１３２の貫通孔に挿入する。したがって、結合軸１９３をスペーサー１３２が外周でつつむ構造になっている。スペーサー１３２は、電極プレート１０１の係止ショルダー部と対面する位置に収容ホームを具備する。伝導ブッシュ１９５及び非伝導ブッシュ１９６は、収容ホームと係止ショルダー部の間に挿入する。

伝導ブッシュ１９５と通電結合孔の係止ショルダー部間に、そして非伝導ブッシュ１９６と非通電結合孔の係止ショルダー部の間には、密着及び緩み防止のためにワッシャー３７が介在する。ワッシャー３７には、例えば、ウエーブワッシャーが使用できる。絶縁キャップ１７２、１７８には例えば、セラミック碍子が使用できる。

前記図１３のプラズマ反応器も基本的に伝導結合具１９０と電極１１６が面接触をするように構成する。したがって、外部電源８６から供給された電源が断電されることなしに電極１１６にまで円滑に印加され得る。

即ち、図１３のプラズマ反応器では、後述する図１４に示されたような大径と小孔を重ねて係止ショルダー部を有する電極プレート１０１を使用し、伝導結合具１９０と電極１１６が線接触ではなく面接触をするようにしたものである。これにより、通電不良率を大きく下げられる。また、結合軸１９３が電極１１６を摩耗させる心配がないので、通電性能の低下をきたらす危険性もないのである。

図１４は、図１３のプラズマ反応器の電極プレート１０１を形成する誘電体薄板１１０、１２０の構造を示した斜視図である。

図示したように、各々片面に電極１１６が形成された第１誘電体薄板１１０と第２誘電体薄板１２０を、電極１１６が形成された面が対向するように第１誘電体薄板１１０と第２誘電体薄板１２０を接合して電極プレート１０１を製作する。

電極１１６を形成する金属ペーストの面積及び塗布する厚みは、使用電圧、誘電体薄板１１０、１２０の厚さ、電極プレート１０１間の間隙及び周波数によって多様に変化させられる。

第１誘電体薄板１１０は、電極１１６と隣接する小径の通電結合孔１１２と電極１１６と接しない大径の非通電結合孔１１４を具備する。第２誘電体薄板１２０は、電極１１６と隣接する大径の通電結合孔１２２と電極１１６と接しない小径の非通電結合孔１２４を具備する。両誘電体薄板１１０、１２０の接合は、通電結合孔１１２、１２２同士、非通電結合孔１１４、１２４同士、その軸が各々一致するように形成する。

図１５は、本発明のまた他の実施例によるプラズマ反応器の構造を示した図面である。

図示したように、図１５のプラズマ反応器は、電極プレート２０１、ガイド構造２５５、および弾支手段２５９からなる。

ガイド構造２５５は、各々離隔するように配列したスライディングホーム２５７を具備する。電極プレート２０１は、スライディングホーム２５７に挿入することにより、相互離隔するように積層される。電極プレート２０１は、スライディングホーム２５７に沿って装着脱装が可能で、電極プレート２０１の組み立て及び分解が非常に容易になる。また、電極プレート２０１間の間隙を変更しようとする場合、それに対応するスライディングホーム２５７の離隔間隙を有するガイド構造２５５を使用して電極プレート２０１を組み立てれば良い。したがって、放電間隙を所望する大きさに変更することが容易になる。

弾支手段２５９には、例えば板バネが使用できる。弾支手段２５９は、電極プレート２０１の組み立て及び分解を容易にして、スライディングホーム２５７内面に電極プレート２０１を密着させて電極プレート２０１を固定可能にする機能を果たす。全体プラズマ反応器の大きさは、電極プレート２０１を積層することにより拡大することができる。

図１５のプラズマ反応器の製作過程を概略的に見てみると下記のようになる。

まず、誘電体薄板２１０、２２０の表面をエチルアルコールで洗浄する。そして、誘電体薄板２１０、２２０の一方の面をマスクで覆った後、電極形成用金属ペーストを塗布する。その後、マスクをとり除いた後、焼成して電極２１６を形成する。そして、電極２１６表面に電線を接着して、第１誘電体薄板２１０及び第２誘電体薄板２２０を電極が形成された面が対面するように重ねて接合する。接合された二枚の誘電体薄板２１０、２２０を乾燥後、焼成する。そして、スライディングホーム２５７に弾支手段２５９を挿入して、完成した電極プレート２０１を弾支手段２５９が挿入されているガイド構造２５５に挿入する。

本発明の好ましい実施例による誘電体薄板の構造を示した斜視図である。 図１の誘電体薄板を接合して形成される電極プレートの平面斜視図及び底面斜視図である。 図１の誘電体薄板を接合して形成される電極プレートの平面斜視図及び底面斜視図である。 図２、図３の電極プレートを製作する工程を示した工程手順図である。 本発明の一実施例によって図２、３の電極プレートを使用し製作されたプラズマ反応器の構造を示した断面図である。 図５のプラズマ反応器で使われる伝導結合具要素の構造を示した拡大断面図である。 図５のプラズマ反応器を製作する工程を示した工程手順図である。 本発明のまた他の実施例によって図２、３の電極プレートを使用し製作されたプラズマ反応器の構造を示した断面図である。 本発明のまた他の実施例によって図２、３の電極プレートを使用し製作されたプラズマ反応器の構造を示した断面図である。 本発明のまた他の実施例によるプラズマ反応器の構造を示した図面である。 図１０のプラズマ反応器の結合軸と係止ウイングの結合関係を示した図面である。 図１０の伝導結合具と図５の伝導結合具を対比して説明するための図面である。 本発明のまた他の実施例によるプラズマ反応器の構造を示した図面である。 図１３のプラズマ反応器の電極プレートを形成する誘電体薄板の構造を示した斜視図である。 本発明のまた他の実施例によるプラズマ反応器の構造を示した図面である。 従来のプラズマ反応器の構造を示した断面図である。 図１６のプラズマ反応器の電極の構造を示した斜視図である。

Claims (31)

1. 誘電体と該誘電体によって放電空間から保護された電極からなり、隣接するもの同士、所定の間隙を持って前記電極が交互に電源の両端子に接続するように積層配列して、前記所定の間隙が放電空間をなし、放電空間に露出する誘電体の外表面に気孔度低減物質をコーティングしたことを特徴とするプラズマ反応器用電極プレート。
2. 前記電極プレートが、相互対向面中の一つ以上の面に電極を具備する複数個の誘電体薄板を相互接合して形成され、前記誘電体薄板の接合は気孔度低減物質を接合剤に利用して形成することを特徴とする、請求項１に記載のプラズマ反応器用電極プレート。
3. 前記気孔度低減物質が、ガラスペーストであることを特徴とする、請求項１または請求項２に記載のプラズマ反応器用電極プレート。
4. 誘電体と誘電体によって放電空間から保護された電極からなり、片側に通電結合孔を他側に非通電結合孔を具備して、前記電極は、前記通電結合孔と接してその外縁部でわくを成す孔わく部と、前記放電空間に対応する領域で広幅に形成される放電部と、前記孔わく部と前記放電部をつなぐ小幅に形成される連結首部を具備して、前記通電結合孔に伝導結合具が挿設され、前記伝導結合具を通じて前記電極に電源を印加してプラズマ放電を発生させることを特徴とする電極プレート。
5. 誘電体と誘電体によって放電空間から保護される電極を含んで成り立ち、片側に通電結合孔を他側に非通電結合孔を具備して、前記通電結合孔は係止ショルダー部を具備して前記係止ショルダー部上に前記電極が露出するように形成し、隣接するもの同士、所定の間隙を持って前記通電結合孔及び前記非通電結合孔が交互に配列するように積層される電極プレートと、前記電極プレートの間に具備するスペーサーと、交互に配列した前記通電結合孔及び前記非通電結合孔を貫通して前記電極プレート相互間を結合して前記電極プレートの係止ショルダー部上に接触して前記電極と通電する伝導結合具からなり、前記伝導結合具を通じて前記電極に電源を印加してプラズマ放電を発生させることを特徴とするプラズマ反応器。
6. 前記伝導結合具が、一体に形成される伝導結合具要素をその軸方向に沿って複数個繋いで形成することを特徴とする、請求項５に記載のプラズマ反応器。
7. 前記伝導結合具要素が、前記通電結合孔及びその上部の電極プレート間の間隙に挿入される通電部と、前記非通電結合孔及びその上部の電極プレート間の間隙に挿入される非通電部と、２個以上の電極プレートを積層することができるように各伝導結合具要素を相互連結する連結部を具備することを特徴とする、請求項６に記載のプラズマ反応器。
8. 前記伝導結合具要素が、前記通電部、前記非通電部及び前記連結部の順序で形成され、前記通電部は前記非通電部より大きい外径を持ち、前記非通電部は前記連結部より大きいか同じ外径を持ち、前記通電部は前記通電結合孔の係止ショルダー部に相対する係止ショルダー部を具備し、前記連結部は外周に雄ネジ山が形成され、それに対応するように前記通電部にはメスネジ穴が形成されて、前記連結部が隣接伝導結合具要素の通電部のメスネジ穴にネジ結合されることにより、伝導結合具要素が相互につながれることを特徴とする、請求項７に記載のプラズマ反応器。
9. 前記伝導結合具が、相互結合される結合軸と係止ウイングを具備し、前記結合軸は、一体に形成して、交互に配列された前記通電結合孔及び前記非通電結合孔を貫通して位置し、前記係止ウイングは、前記結合軸外周に結合して前記電極プレートの係止ショルダー部に接触することを特徴とする、請求項５に記載のプラズマ反応器。
10. 前記係止ウイングが、その中心に前記結合軸の外周が挿入結合される貫通穴を具備し、その半径方向に開いた横開口部を具備して、前記結合軸は、前記係止ウイングが外周に結合される大径部と、前記横開口部の幅より小さな直径の小径部を具備することを特徴とする、請求項９に記載のプラズマ反応器。
11. 前記結合軸が、前記通電結合孔及び該上部の電極プレート間の間隙に、前記大径部を具備し、前記非通電結合孔及び該上部の電極プレート間の間隙に、前記小径部を具備し、前記非通電結合孔の上部の電極プレート間の間隙に具備する前記スペーサーは、前記大径部に比べて大きい直径の貫通孔を具備することを特徴とする、請求項１０に記載のプラズマ反応器。
12. 前記結合軸の前記大径部が、その外周に雄ネジ山を具備し、前記係止ウイングは雌ネジ山を具備して、前記結合軸と前記係止ウイングがネジ結合されることを特徴とする、請求項１０に記載のプラズマ反応器。
13. 前記電極プレートが、片面に電極を形成した第１誘電体薄板と該第１誘電体薄板の前記電極を形成した面と接合される第２誘電体薄板からなり、前記第１誘電体薄板は前記電極と隣接する小径の通電結合孔と小径の非通電結合孔を具備し、前記第２誘電体薄板は大径の通電結合孔と小径の非通電結合孔を具備して、前記通電結合孔同士そして前記非通電結合孔同士その軸が各々一致するように前記第１誘電体薄板及び前記第２誘電体薄板を接合したことを特徴とする、請求項５に記載のプラズマ反応器。
14. 前記伝導結合具が、結合軸と伝導媒体を具備し、前記結合軸は一体に形成し、交互に配列された前記通電結合孔及び前記非通電結合孔を貫通して位置して、前記伝導媒体は、前記結合軸外周に通電接触すると同時に前記係止ショルダー部上に接触することを特徴とする、請求項５に記載のプラズマ反応器。
15. 前記電極プレートが、片面に電極を形成した第１誘電体薄板と該第１誘電体薄板の前記電極を形成した面と接合される第２誘電体薄板からなり、前記第１誘電体薄板は前記電極と隣接する小径の通電結合孔と大径の非通電結合孔を具備し、前記第２誘電体薄板は大径の通電結合孔と小径の非通電結合孔を具備して、前記通電結合孔同士そして前記非通電結合孔同士その軸が各々一致するように前記第１誘電体薄板及び前記第２誘電体薄板を接合したことを特徴とする、請求項１４に記載のプラズマ反応器。
16. 前記伝導媒体が、伝導ブッシュであることを特徴とする、請求項１４に記載のプラズマ反応器。
17. 前記非通電結合孔が、前記通電結合孔の係止ショルダー部と反対方向を向いた係止ショルダー部を具備することを特徴とする、請求項１４に記載のプラズマ反応器。
18. 前記非通電結合孔の係止ショルダー部に接触すると同時に前記結合軸の外周に接触する非伝導ブッシュを具備することを特徴とする、請求項１７に記載のプラズマ反応器。
19. 前記スペーサーが、貫通孔を具備し、該貫通孔に前記結合軸を挿入して該結合軸を前記スペーサーが外周でつつむように構成し、前記スペーサーは前記電極プレートの前記係止ショルダー部と対面する位置に収容ホームを具備して、前記収容ホームと前記係止ショルダー部の間に前記ブッシュを挿入することを特徴とする、請求項１６または請求項１８に記載のプラズマ反応器。
20. 前記係止ショルダー部が、前記結合孔の内径変化によって形成される円形ステップであることを特徴とする、請求項５から請求項１８のいずれか一項に記載のプラズマ反応器。
21. 前記電極プレートが、内部に電極が位置するように第１誘電体薄板と第２誘電体薄板を接合して形成し、前記第１誘電体薄板と前記第２誘電体薄板の接合はセラミックペーストを利用して形成することを特徴とする、請求項５から請求項１８のいずれか一項に記載のプラズマ反応器。
22. 前記スペーサーが、貫通孔を具備し、該貫通孔に前記伝導結合具を挿入し、前記伝導結合具を前記スペーサーが外周でつつむように構成することを特徴とする、請求項５から請求項１８のいずれか一項に記載のプラズマ反応器。
23. 前記スペーサーには、ガラスファイバー系マットが使用することを特徴とする、請求項５から請求項１８のいずれか一項に記載のプラズマ反応器。
24. 前記非通電結合孔に挿入する前記伝導結合具の外径が、前記非通電結合孔の内径より小さく、前記非通電結合孔と隣接するスペーサーは、前記非通電結合孔と前記伝導結合具の間の間隙に挿入されるブッシュを突出するように具備することを特徴とする、請求項５から請求項１８のいずれか一項に記載のプラズマ反応器。
25. 前記電極プレートの係止ショルダー部と前記伝導結合具の間には、ワッシャーが介在することを特徴とする、請求項５から請求項１８のいずれか一項に記載のプラズマ反応器。
26. 片側の結合孔列に貫通設置される伝導結合具の外部で露出する部位に絶縁キャップを被せて、前記伝導結合具の絶縁と位置固定をして、他側の結合孔列に貫通設置される伝導結合具は接地することを特徴とする、請求項５から請求項１８のいずれか一項に記載のプラズマ反応器。
27. 前記電極が、前記通電結合孔と接してその外縁部でわくをなす孔わく部と、前記放電空間に対応する領域で広幅に形成される放電部と、前記孔わく部と前記放電部をつなぐ小幅に形成される連結首部を具備して、前記孔わく部は前記電極プレートの係止ショルダー部上に露出する大きさのわく幅を有することを特徴とする、請求項５から請求項１８のいずれか一項に記載のプラズマ反応器。
28. 第５項において、前記電極プレートが、請求項１、請求項２及び請求項４の中のいずれか一項の電極プレートであることを特徴とする、請求項５に記載のプラズマ反応器。
29. 誘電体と誘電体によって保護された内部電極からなる電極プレートと、相互離隔するように積層されるように前記電極プレートを装着脱装可能に支持するガイド構造からなり、離隔するように配列された前記電極プレートの前記電極に交互に電源の両端子に接続して電源を印加することにより、前記電極プレート間の間隙でプラズマ放電が発生することを特徴とするプラズマ反応器。
30. 前記ガイド構造が、各々離隔するように配列されたスライディングホームを具備し、前記スライディングホームに前記電極プレートを挿入して積層することを特徴とする、請求項２９に記載のプラズマ反応器。
31. 前記電極プレートのスライディング面と前記スライディングホームの間には弾支手段を具備することを特徴とする、請求項３０に記載のプラズマ反応器。

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