JP2006292465A5 - - Google Patents

Download PDF

Info

Publication number
JP2006292465A5
JP2006292465A5 JP2005110815A JP2005110815A JP2006292465A5 JP 2006292465 A5 JP2006292465 A5 JP 2006292465A5 JP 2005110815 A JP2005110815 A JP 2005110815A JP 2005110815 A JP2005110815 A JP 2005110815A JP 2006292465 A5 JP2006292465 A5 JP 2006292465A5
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
inspection
ray
target product
information
substrate
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP2005110815A
Other languages
English (en)
Japanese (ja)
Other versions
JP2006292465A (ja
JP4580266B2 (ja
Filing date
Publication date
Application filed filed Critical
Priority to JP2005110815A priority Critical patent/JP4580266B2/ja
Priority claimed from JP2005110815A external-priority patent/JP4580266B2/ja
Publication of JP2006292465A publication Critical patent/JP2006292465A/ja
Publication of JP2006292465A5 publication Critical patent/JP2006292465A5/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP4580266B2 publication Critical patent/JP4580266B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Lifetime legal-status Critical Current

Links

JP2005110815A 2005-04-07 2005-04-07 X線検査装置、x線検査方法およびx線検査プログラム Expired - Lifetime JP4580266B2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2005110815A JP4580266B2 (ja) 2005-04-07 2005-04-07 X線検査装置、x線検査方法およびx線検査プログラム

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2005110815A JP4580266B2 (ja) 2005-04-07 2005-04-07 X線検査装置、x線検査方法およびx線検査プログラム

Related Child Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2007228918A Division JP4610590B2 (ja) 2007-09-04 2007-09-04 X線検査装置、x線検査方法およびx線検査プログラム

Publications (3)

Publication Number Publication Date
JP2006292465A JP2006292465A (ja) 2006-10-26
JP2006292465A5 true JP2006292465A5 (enExample) 2007-10-18
JP4580266B2 JP4580266B2 (ja) 2010-11-10

Family

ID=37413196

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2005110815A Expired - Lifetime JP4580266B2 (ja) 2005-04-07 2005-04-07 X線検査装置、x線検査方法およびx線検査プログラム

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP4580266B2 (enExample)

Families Citing this family (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP4650076B2 (ja) * 2005-04-20 2011-03-16 パナソニック株式会社 回路パターン検査装置及び回路パターン検査方法
JP5271514B2 (ja) * 2007-07-09 2013-08-21 名古屋電機工業株式会社 多層配線基板の放射線検査方法および放射線検査装置ならびに放射線検査方法を実現する放射線検査プログラム
JP5493360B2 (ja) * 2009-01-08 2014-05-14 オムロン株式会社 X線検査方法、x線検査装置およびx線検査プログラム
JP5444718B2 (ja) 2009-01-08 2014-03-19 オムロン株式会社 検査方法、検査装置および検査用プログラム
JP2011095227A (ja) * 2009-11-02 2011-05-12 Saki Corp:Kk 被検査体の放射線検査装置
JP5223876B2 (ja) * 2010-03-12 2013-06-26 オムロン株式会社 X線検査装置、x線検査方法、x線検査プログラムおよびx線検査システム
JP6946516B1 (ja) * 2020-05-22 2021-10-06 名古屋電機工業株式会社 X線検査装置、x線検査方法およびx線検査プログラム
JPWO2024117099A1 (enExample) * 2022-12-01 2024-06-06
JP2025074798A (ja) * 2023-10-30 2025-05-14 オムロン株式会社 検査システム、検査装置、検査方法及びプログラム

Family Cites Families (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP4591103B2 (ja) * 2005-02-08 2010-12-01 パナソニック株式会社 X線ct検査装置及びx線ct検査方法
JP4631460B2 (ja) * 2005-02-18 2011-02-16 パナソニック株式会社 X線検査方法
JP4910378B2 (ja) * 2005-03-01 2012-04-04 株式会社デンソー X線検査装置及びx線検査方法

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP6425755B2 (ja) 基板の異物質検査方法
JP2009532894A5 (enExample)
JP5441990B2 (ja) 検査方法
JP2011191085A (ja) X線検査装置、x線検査方法、x線検査プログラムおよびx線検査システム
JP2015527740A5 (enExample)
JP2021514461A (ja) 製造されたウェブを検査するための仮想カメラアレイ
JP2006292465A5 (enExample)
KR100522560B1 (ko) 수직 슬라이스 이미징을 이용한 검사 방법
JP4610590B2 (ja) X線検査装置、x線検査方法およびx線検査プログラム
JP2005286161A5 (enExample)
JP4631460B2 (ja) X線検査方法
Sankaran et al. Improvements to X-ray laminography for automated inspection of solder joints
JP2021158583A5 (enExample)
JP5863101B2 (ja) X線非破壊検査装置
KR20150121024A (ko) X선 비파괴 검사 장치
JP4906602B2 (ja) 多結晶シリコン基板の欠陥検査装置および欠陥検査方法
JP4580266B2 (ja) X線検査装置、x線検査方法およびx線検査プログラム
Roh et al. Correcting image distortion in the X-ray digital tomosynthesis system for PCB solder joint inspection
KR102888571B1 (ko) 엑스레이 검사 장비
DE102019201069A1 (de) Verfahren zum Ermitteln einer Prüflingsorientierung für eine 2D-Röntgenanlage
JP4356413B2 (ja) X線ct装置
Rehak et al. Acquisition trajectories for X-ray tomosynthesis applied to planar samples
WO2022196083A1 (ja) 検査システム、検査管理装置、検査プログラム作成方法、及びプログラム
JP2023112578A (ja) 検査システム、検査用情報処理端末及びプログラム
JP4728092B2 (ja) X線画像出力装置、x線画像出力方法およびx線画像出力プログラム