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Families Citing this family (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US11481995B2 (en) * 2019-01-11 2022-10-25 Hewlett-Packard Development Company, L.P. Detecting streaks in printed documents using blocks
JP7699950B2 (ja) * 2021-04-05 2025-06-30 キヤノン株式会社 画像処理装置および画像処理方法、プログラム
US11665303B2 (en) * 2021-05-31 2023-05-30 Canon Kabushiki Kaisha Image processing apparatus, method, and product for inspecting a target image by correcting a partial region adjacent another partial region based on differences between a reference image and the target image
US11750747B2 (en) * 2021-08-27 2023-09-05 Canon Kabushiki Kaisha Inspection apparatus capable of preventing lowering of position matching accuracy, method of controlling same, and storage medium

Family Cites Families (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2002277410A (ja) * 2001-03-16 2002-09-25 Olympus Optical Co Ltd 外観検査方法
JP2009126058A (ja) 2007-11-22 2009-06-11 Olympus Corp 画像記録装置及び記録不良検出方法
JP5678595B2 (ja) * 2010-11-15 2015-03-04 株式会社リコー 検査装置、検査方法、検査プログラム、及びそのプログラムを記録した記録媒体
US8855400B2 (en) * 2012-03-08 2014-10-07 Kla-Tencor Corporation Detection of thin lines for selective sensitivity during reticle inspection using processed images
JP6007690B2 (ja) * 2012-09-12 2016-10-12 株式会社リコー 画像検査装置、画像処理システム及び画像検査方法
US10657635B2 (en) * 2017-03-16 2020-05-19 Ricoh Company, Ltd. Inspection apparatus, inspection method and storage medium
JP7206595B2 (ja) 2017-03-16 2023-01-18 株式会社リコー 検査装置、検査システム、検査方法及びプログラム
JP2019084743A (ja) * 2017-11-07 2019-06-06 コニカミノルタ株式会社 画像形成システム、画像形成装置及びプログラム
JP7271873B2 (ja) 2018-08-20 2023-05-12 コニカミノルタ株式会社 検査装置、画像形成装置及び検査方法

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