JP2021158583A5 - - Google Patents
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- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 21
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 claims description 21
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- 238000007689 inspection Methods 0.000 claims 2
- 238000003672 processing method Methods 0.000 claims 1
Priority Applications (5)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2020058462A JP7527822B2 (ja) | 2020-03-27 | 2020-03-27 | 画像処理装置、画像処理方法及びプログラム |
| US17/211,353 US11790522B2 (en) | 2020-03-27 | 2021-03-24 | Detection sensitivity for a defect corresponding to a predetermined local pattern |
| EP21164677.3A EP3886042A1 (en) | 2020-03-27 | 2021-03-24 | Image processing apparatus, image processing method, and non-transitory computer-readable storage medium |
| US18/467,615 US12086977B2 (en) | 2020-03-27 | 2023-09-14 | Image processing apparatus, image processing method, and non-transitory computer-readable storage medium |
| JP2024119347A JP7739549B2 (ja) | 2020-03-27 | 2024-07-25 | 画像処理装置、画像処理方法及びプログラム |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2020058462A JP7527822B2 (ja) | 2020-03-27 | 2020-03-27 | 画像処理装置、画像処理方法及びプログラム |
Related Child Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2024119347A Division JP7739549B2 (ja) | 2020-03-27 | 2024-07-25 | 画像処理装置、画像処理方法及びプログラム |
Publications (3)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2021158583A JP2021158583A (ja) | 2021-10-07 |
| JP2021158583A5 true JP2021158583A5 (enExample) | 2023-04-04 |
| JP7527822B2 JP7527822B2 (ja) | 2024-08-05 |
Family
ID=75223055
Family Applications (2)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2020058462A Active JP7527822B2 (ja) | 2020-03-27 | 2020-03-27 | 画像処理装置、画像処理方法及びプログラム |
| JP2024119347A Active JP7739549B2 (ja) | 2020-03-27 | 2024-07-25 | 画像処理装置、画像処理方法及びプログラム |
Family Applications After (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2024119347A Active JP7739549B2 (ja) | 2020-03-27 | 2024-07-25 | 画像処理装置、画像処理方法及びプログラム |
Country Status (3)
| Country | Link |
|---|---|
| US (2) | US11790522B2 (enExample) |
| EP (1) | EP3886042A1 (enExample) |
| JP (2) | JP7527822B2 (enExample) |
Families Citing this family (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US11481995B2 (en) * | 2019-01-11 | 2022-10-25 | Hewlett-Packard Development Company, L.P. | Detecting streaks in printed documents using blocks |
| JP7699950B2 (ja) * | 2021-04-05 | 2025-06-30 | キヤノン株式会社 | 画像処理装置および画像処理方法、プログラム |
| US11665303B2 (en) * | 2021-05-31 | 2023-05-30 | Canon Kabushiki Kaisha | Image processing apparatus, method, and product for inspecting a target image by correcting a partial region adjacent another partial region based on differences between a reference image and the target image |
| US11750747B2 (en) * | 2021-08-27 | 2023-09-05 | Canon Kabushiki Kaisha | Inspection apparatus capable of preventing lowering of position matching accuracy, method of controlling same, and storage medium |
Family Cites Families (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002277410A (ja) * | 2001-03-16 | 2002-09-25 | Olympus Optical Co Ltd | 外観検査方法 |
| JP2009126058A (ja) | 2007-11-22 | 2009-06-11 | Olympus Corp | 画像記録装置及び記録不良検出方法 |
| JP5678595B2 (ja) * | 2010-11-15 | 2015-03-04 | 株式会社リコー | 検査装置、検査方法、検査プログラム、及びそのプログラムを記録した記録媒体 |
| US8855400B2 (en) * | 2012-03-08 | 2014-10-07 | Kla-Tencor Corporation | Detection of thin lines for selective sensitivity during reticle inspection using processed images |
| JP6007690B2 (ja) * | 2012-09-12 | 2016-10-12 | 株式会社リコー | 画像検査装置、画像処理システム及び画像検査方法 |
| US10657635B2 (en) * | 2017-03-16 | 2020-05-19 | Ricoh Company, Ltd. | Inspection apparatus, inspection method and storage medium |
| JP7206595B2 (ja) | 2017-03-16 | 2023-01-18 | 株式会社リコー | 検査装置、検査システム、検査方法及びプログラム |
| JP2019084743A (ja) * | 2017-11-07 | 2019-06-06 | コニカミノルタ株式会社 | 画像形成システム、画像形成装置及びプログラム |
| JP7271873B2 (ja) | 2018-08-20 | 2023-05-12 | コニカミノルタ株式会社 | 検査装置、画像形成装置及び検査方法 |
-
2020
- 2020-03-27 JP JP2020058462A patent/JP7527822B2/ja active Active
-
2021
- 2021-03-24 US US17/211,353 patent/US11790522B2/en active Active
- 2021-03-24 EP EP21164677.3A patent/EP3886042A1/en active Pending
-
2023
- 2023-09-14 US US18/467,615 patent/US12086977B2/en active Active
-
2024
- 2024-07-25 JP JP2024119347A patent/JP7739549B2/ja active Active
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