JP2006285011A5 - - Google Patents

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  1. 格子面及び垂直面を持つ回折格子を有する回折光学素子であって、
    前記回折格子は、前記格子面と垂直面の間に格子頂点形状面を有し、前記格子頂点形状面は、光軸と垂直方向に１０μｍ以下の幅で、前記格子面に対して１０°以下の角度をなす平面であることを特徴とする回折光学素子。
  2. 複数の回折光学素子を積層した回折光学素子において、前記複数の回折光学素子の各々が請求項１に記載の回折光学素子によって構成されていることを特徴とする回折光学素子。
  3. 格子面及び垂直面を持つ回折格子を有する回折光学素子を切削工具を用いて切削加工する回折光学素子の製造方法であって、
    格子面を加工する工程と、
    垂直面を荒加工する工程と、
    前記格子面に対して１０°以下の角度をなすように前記切削工具を前記格子面側から垂直面側に移動して、格子頂点形状面を加工する工程と、
    前記垂直面を仕上げ面形状に加工する工程と、
    を有することを特徴とする回折光学素子の製造方法。
  4. 格子面及び垂直面を持つ回折格子を有する回折光学素子の成形をする回折光学素子成形用金型を、切削工具を用いて切削加工する回折光学素子成形用金型の製造方法であって、
    格子面を加工する工程と、
    垂直面を荒加工する工程と、
    前記格子面に対して１０°以下の角度をなすように前記切削工具を前記格子面側から垂直面側に移動して、格子頂点形状面を加工する工程と、
    前記垂直面を仕上げ面形状に加工する工程と、
    を有することを特徴とする回折光学素子成形用金型の製造方法。
  5. 前記回折光学素子成形用金型は、母材としてプラスチック金型用鋼材が用いられることを特徴とする請求項４に記載の回折光学素子成形用金型の製造方法。
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