JP2006284198A

JP2006284198A - 抵抗器ならびにそれを用いた電流測定装置および方法

Info

Publication number: JP2006284198A
Application number: JP2005100756A
Authority: JP
Inventors: Yoshiyuki Bessho; 嘉行別所; Shinichi Tanida; 眞一谷田
Original assignee: Agilent Technologies Inc
Current assignee: Agilent Technologies Inc
Priority date: 2005-03-31
Filing date: 2005-03-31
Publication date: 2006-10-19
Also published as: TW200636763A; US20060220740A1

Abstract

【課題】微小電流量を迅速に測定する電流測定器、および該測定器に利用する電流検出用抵抗器を提供する。
【解決手段】上記課題は、第１の抵抗体と、前記第１の抵抗体の両端に設けられた第１の電極と、前記第１の抵抗体の周囲に配設された絶縁体と、前記絶縁体の周囲に配設された第２の抵抗体と、前記第２の抵抗体の両端に設けられた第２の電極とを備えたことを特徴とする抵抗器を利用した電流測定装置により解決される。
【選択図】図１

Description

本発明は、抵抗器ならびにそれを用いた電流測定装置および方法に関し、特にガード部材を備えた微小電流検出用抵抗器ならびにそれを用いた電流測定装置および方法に関する。

被測定回路に流れる電流を測定する方法のひとつに、該電流を電流検出用抵抗器に流し、抵抗器による電圧降下を測定して電流量を算出する方法がある。この測定方法で微小電流を測定する場合、測定可能な電圧降下を得るため、大きな抵抗値をもつ電流検出用抵抗器を利用する必要がある。しかし、高抵抗の抵抗器は、抵抗器の周囲から混入するのノイズ成分も相当の電圧に変換してしまう。このため、高精度の測定を行うためには、抵抗器の周囲に外部ノイズを低減するためのガード部材を設置する必要がある。

図２は、ガード部材２２を用いた電流測定装置２０の概略構成図である。電流測定装置２０は、可変電圧源１７で設定した電圧を、被測定回路１８に印加したときに流れる電流量を測定する回路である。オペアンプ１５から供給された電流は、抵抗器２１を経由して被測定回路１８に供給される。抵抗器２１の両端はオペアンプ１３に接続され、抵抗器２１の電圧降下に応じた電圧が出力される。オペアンプ１３の出力は、電圧測定・電流量変換回路１４に供給され、電圧を測定するとともに、測定された電圧を電流量に変換することによって、抵抗器２１に流れる電流量を測定する。

抵抗器２１は、抵抗体１１とガード部材２２により構成されている。ガード部材２２は、抵抗体１１の周囲ほぼ覆う金属部材で構成されている。ガード部材２２は、一般に筒状の形状を有するが、抵抗体１１と並行して配設された板状の形状をもつ部材であってもよい。抵抗体１１と非接触状態で保持されており、抵抗体１１とガード部材２２の間には空気層が存在する。ガード部材２２には、バッファ１６を介して抵抗体１１の終端電圧と同じ電圧が印加されてアクティブ・ガードが施されている。このため、抵抗体１１の周囲の電位を、抵抗体１１の出力端の電圧と同電位に安定させることができ、測定精度に悪影響を及ぼす外部ノイズを大幅に低減することが可能となる。

特開平９−７２９４１号公報

抵抗器２１を分布定数線路とみると、等価回路は図３（ａ)のように表すことができる。すなわち、抵抗体１１は直列接続された微小抵抗３０の集合体と表され、抵抗体１１とガード部材２２の間の絶縁体（空気層）は、微小抵抗３０と並列に接続された微小容量３１の集合体と表すことができる。このような線路に信号を伝播させると、微小抵抗３０と微小容量３１の積に比例する時定数と、微小容量３１の両端の電位差とに比例した信号伝播遅延（入力端に印加した電圧に対応する出力電圧が安定するまでの時間的ずれ）が生ずる。このため、測定を行う抵抗体１１の両端電圧が安定するまでに、遅延量に比例した時間がかかる。この遅延量の大小が、測定に必要な時間を決定する要因となる。

抵抗体１１の抵抗値が小さい場合には、時定数が小さいため、抵抗体１１の両端電圧が安定するまでの時間は実用上無視できるほど小さい。しかし、微小電流に対する感度を高めるために抵抗体１１の抵抗値を大きくすると、遅延量が増大し、測定に多くの時間が必要となる。例えば、抵抗体１１が１テラオーム、微小容量３１の総和が０．１ピコファラドとすると、最終値の９９％までに容量が充電されるまで４．６秒待つ必要がある。

上述した課題は、第１の抵抗体と前記第１の抵抗体の両端に設けられた第１の電極と前記第１の抵抗体の周囲に配設された絶縁体と前記絶縁体の周囲に配設された第２の抵抗体と前記第２の抵抗体の両端に設けられた第２の電極とを備えたことを特徴とする抵抗器と、前記第２の電極のそれぞれに対向する前記第１電極と同じ電位を与える電位付与手段と、前記第１の電極間の電位差を測定する電位測定手段と、前記電位差を前記抵抗器に流れる電流量に変換するする変換手段とを備えた電流測定装置等より解決される。

外部ノイズの影響を小さくして高い測定精度を維持しつつ、微小容量３１の両端子間の電位差を小さくして信号伝播遅延量を減らし、迅速な測定が可能となる。

以下、図面参照下に、本発明の代表的な実施例を示す。
図１は本発明に係る電流測定装置１０の概略構成図である。電流測定装置１０は、被測定回路１８に所定の電圧を印加したときに、被測定回路１８に流れる電流量を測定する装置である。電流測定装置１０は、抵抗体１１とその周囲を覆うガード部材１２を含む抵抗器１９と、反転入力端が抵抗体１１の出力端に接続され、出力端が抵抗体１１の入力端に接続されたオペアンプ１５と、オペアンプ１５の非反転入力端に接続された可変電圧源１７と、入力端が抵抗体１１の出力端に接続され、出力端がガード部材１２に接続されたバッファ１６と、反転および非反転入力端がそれぞれ抵抗体１１の出力端および入力端に接続されたオペアンプ１３と、オペアンプ１３の出力端に接続された電圧測定・電流量変換回路１４により構成されている。ガード部材１２の一端はオペアンプ１５の出力端に接続され、他端はバッファ１６の出力端に接続されている。また、被測定回路１８は、抵抗体１１の出力端に接続される。

図５に、抵抗器１９のさらに詳細な構造を示す。抵抗器１９は、抵抗体１１と、抵抗体１１両端に接続された電極５０、５１と、抵抗体１１の周囲を覆う絶縁体５２と、絶縁体５２の周囲を覆うガード部材１２により構成されている。本実施例の抵抗体１１の素材は、カーボン、樹脂等の混合物を固めたソリッド抵抗材料（電極５０、５１間の抵抗値は１テラオーム）であるが、酸化金属やサーメット材料など市販されている抵抗器の抵抗体として広く使用されている他の素材を用いてもよい。また、本実施例の絶縁体５２の素材はエポキシ樹脂であるが、ポリイミド樹脂やセラミックなど市販されている抵抗器で外装材料として広く使用されている他の素材を利用してもよい。また、抵抗体１１とガード部材１２の間に空気層を設けて、空気を絶縁体５２として利用してもよい。

ここで、図５の抵抗器を図１の電流測定装置１０に接続したときの、各電極５０、５１、５３、５４の接続関係を簡単に説明する。電極５０と電極５３は、オペアンプ１５の出力端子に接続されている。電極５１は、バッファ１６の入力端子とオペアンプ１５の反転入力端子に接続されている。電極５４は、バッファ１６の出力端子に接続され、抵抗体１１の出力電圧（Ａ点の電圧）と同じ電位が付与されている。

ガード部材１２は、抵抗体２２とその両端に設けられた電極５３、５４により構成されている。本実施例の抵抗体２２はポリオレフェン混合物で構成された半導電性熱収縮性チューブ（体積抵抗率１０^５オーム・ｃｍ）で構成されているが、抵抗体１１より抵抗率が小さい他の抵抗材料で構成してもよいし、ＥＭＣコーティング剤などの導電性塗料を絶縁体５２上に塗布して構成してもよい。電極５３、５４は金箔であるが、他の金属薄膜や導電性材料を利用してもよい。なお、本実施例の抵抗器１９は、抵抗体１１、絶縁体５２、ガード部材１２の各構成要素がすべて筒状部材をしているが、四角柱などの他の形状でもよいし、各構成要素ごとに形状が異なっていてもよい。

次に、電流測定装置１０の動作を図１の概略構成図および図４のフローチャートを参照しながら説明する。まず、可変電圧源１７の出力電圧を被測定回路１８に印加する電圧に設定する（ステップ４０）。すると、Ａ点の電位と可変電圧源１７の出力電圧が等しくなるように、オペアンプ１５の出力電圧が設定される。オペアンプ１５の出力は、抵抗体１１に入力されるとともに、抵抗体１１の入力端と対向するガード部材１２の電極５３（Ｃ点）に供給される。また、抵抗器１９の出力端と対向するガード部材１２の電極５４（Ｂ点）には、抵抗体１１の出力電圧（Ａ点の電圧）と同電位がバッファ１６を介して付与される（ステップ４１）。

このとき、オペアンプ１３の出力には、抵抗体１１の両端の電位差が出力される。ここで、抵抗器１９は、図３(ｂ)のような等価回路で表すことができる。図において、抵抗体１１は微小抵抗３０の集合体で、ガード部材１２の抵抗体２２は微小抵抗３２の集合体として表される。また、絶縁体５２は微小抵抗３０、３２の間に接続された微小容量３１として機能する。前述したように、このような分布定数線路を信号が伝播すると遅延が生ずるため、電圧測定・電流量変換回路１４は、オペアンプ１３の出力電圧が安定するまで（すなわち、抵抗体１１の両端の電位差が安定するまで）待機して（ステップ４２）、安定した後に電圧測定を行う（ステップ４３）。

最後に、変換回路１４は、測定電圧値を抵抗体１１の抵抗値で割って抵抗体１１の電流量、すなわち被測定回路１８に流入する電流量を算出する（ステップ４４）。電流測定装置１０は、変換回路１４内部にアナログ・ディジタル変換器（ＤＡＣ）と情報処理装置（ＭＰＵ）を装備しており、測定電圧値をアナログ・ディジタル変換したディジタル値を演算処理して電流量を求めているが、変換方法はこれに限られるものではなく、例えば、電流量の目盛りをふった文字盤を装着したアナログ指示電圧計で測定結果を表示することによって変換をおこなう方法など他の様々な変換方法を適用することができる。

ここで、バッファ１６の機能について簡単に説明する。背景技術で説明した電流測定装置２０は、抵抗体２２には、外部ノイズにより発生する電流しか流れない。従って、バッファ１６を流れる電流量はゼロに近い。これに対して、電流測定装置１０の抵抗体１２には、抵抗体１２の両電極間電圧を抵抗値で除した量の電流が流れる。従って、抵抗体１１の出力端側の電極５１と抵抗体１２の出力端側の電極５４を同電位にするために、両者を直接接続すると、抵抗体１２を流れた電流が被測定回路１８に流れ込み、抵抗体１１の両端電位差を測定することによって、被測定回路１８に流れる電流を測定することができない。このため、本実施例では、電極５１と電極５４の間にバッファ１６を介することによって、オペアンプ１５から抵抗体１２を流れた電流をバッファ１６で吸収して、被測定回路１８への流入を防止している。すなわち、バッファ１６は、抵抗体１１の出力端側の電極５１と抵抗体１２の出力端側の電極５４とを同電位にする機能と、抵抗体１２を流れる電流が被測定回路１８に流入することを防止する機能とを有する。

ところで、抵抗器１９の等価回路である図３(ｂ)の線路は、前述した図３(ａ)の線路と同様に、微小抵抗３０、３２と微小容量３１によって定まる時定数と、微小容量３１の両端の電位差とに比例した信号伝播遅延が生ずる。このうち、時定数については、抵抗体１１（微小抵抗３０）の抵抗値は抵抗体２２（微小抵抗３２）の抵抗値と比べて格段に大きいため、図３(ａ)の場合と大きな差はない。しかし、電流測定装置１０の抵抗体２２の両端にはそれぞれ抵抗体１１の両端と同電位が印加されているため、微小容量３１の両端電位差は小さくなる。すなわち、両抵抗体の両端間における電圧勾配がそれぞれ一定であるとすれば、電流測定装置１０の微小容量３１の両端電位差は、理論上は両端電位差はゼロとなるはずである。実際の装置では、抵抗体１１と抵抗体２２の長さを完全に一致するよう抵抗器１９を製造することが難しいことや、抵抗体１１、２２の抵抗材料を完全に均一に分布させることは物理的に不可能なことから完全にゼロにはならないが、電流測定装置１０は、電流測定装置２０に比べて、微小容量３１の両端電位差が格段に小さくなるため、信号伝播遅延量が少なくなり、高速に微小電流量の測定を行うことができる。すなわち、所望の測定電流値を得るためにオペアンプ１５の出力を変化させる電圧変移を信号と見たとき、抵抗器１９の信号伝播遅延量は見かけ上小さくなり、オペアンプ１３の出力電圧の安定に要する時間は、短くなる。

図６に本発明に係る抵抗器の別の実施態様を示す。図６の抵抗器６０と前述した抵抗器１９とは、抵抗体１１、絶縁体５２、電極５０、５１の素材・構成は同じだが、抵抗器６０のガード部材６７は板状部材で構成されている点が異なる。ガード部材６７は電流測定装置の回路基板６６の一部に形成されており、回路基板６６上の抵抗体１１と対向する位置に黒鉛を溶剤に溶かした導電性塗料を薄く塗布した抵抗体６３と、抵抗体６３の両端に金箔を貼り付けた電極６１、６２により形成されている。抵抗体６３は、ニッケルなどの他の導電性塗料を基板６６上に塗布してもよいし、ポリオレフィン混合物などの半導電性シートを基板６６上に貼り付けて製造してもよい。また、電極６１、６２は、金箔以外の金属薄膜で構成してもよいし、抵抗体６３に利用している導電性塗料を厚く塗布して導電性を高めたものでもよい。電極５０、５１は、４フッ化エチレン樹脂樹脂で構成された絶縁性のスタット６４、６５により基板６６上に離間支持されている。スタット６４、６５は、両端にはんだ接合面が設けられており、電極５０、５１と、基板６６にはんだ付けされている。

抵抗器１９と抵抗器６０との各部材の関係を対比させて説明すると、抵抗体１１、絶縁体５２、電極５０、５１は共通の機能を有する。抵抗体６３は抵抗体２２と、電極６１、６２は電極５３、５４と、それぞれ同じ機能を有する。従って、図１の抵抗器１９を、抵抗器６０に置き換えることによって、抵抗器６０を用いた電流測定回路が実現可能であり、測定手順は前述した図４のフローチャートと同じである。

図７に、さらに別の抵抗器７０の実施態様を示す。抵抗器７０は、基板７９上に作成された抵抗器である。抵抗体７１は、電流を検知する板状の抵抗体である。本実施例の抵抗体７１は金属とセラミックを混合したサーメット材料で形成されているが、他の抵抗材料やシリコンなどの半導体で構成してもよい。抵抗体７１の両端には、電極７２、７３が設けられている。本実施例の電極７２、７３は、抵抗体７１上に金箔を貼り付けて構成されているが、回路基板７９表層の銅をエッチングせずに残しておいてもよい。抵抗体７１の周囲には絶縁体７４が設けられている。本実施例の絶縁体７４は、回路基板７９表層の銅をエッチングして、基板材料であるエポキシ樹脂だけ残すことにより形成されているが、基板をロの字形に穴をあけて絶縁するなど他の方法で形成してもよい。絶縁体７４の周囲には、ガード部材７８が形成されている。ガード部材７８は、抵抗体７１の両側に並行して形成された抵抗体７５と、抵抗体７５の両端に設けられた電極７６、７７により形成されている。本実施例の抵抗体７５は、基板７９表層の銅の一部をエッチングして薄層化することによって形成されているが、導電性塗料の塗布などで形成してもよい。電極７６、７７は、基板７９表層の銅をエッチングせずに残すことにより形成しているが、導電性シート部材を貼り付ける等の他の方法によって形成してもよい。

抵抗器１９と抵抗器７０との各部材の関係を対比させて説明すると、抵抗体１１は抵抗体７１と、絶縁体５２は絶縁体７４と、電極５０は電極７２と、電極５１は電極７３と、電極５３は電極７６と、電極５４は電極７７と、それぞれ同じ機能を有する。従って、図１の抵抗器１９を、抵抗器７０に置き換えることによって、抵抗器７０を用いた電流測定回路が実現可能であり、測定手順は前述した図４のフローチャートと同じである。

図８に、さらに異なる抵抗器の実施態様を示す。図８の抵抗器８０と図５の抵抗器１９とは、抵抗体１１、絶縁体５２、電極５０、５１、５３、５４の素材や構成は同じだが、ガード部材８４の抵抗体８３が、抵抗体１１に沿って導電体８２と抵抗体８１が交互に配列されて構成されている、いいかえれば、互いに非接続状態に配置された隣合う導電体８２どうしが、抵抗体８１により電気的に接続されている点が異なる。このうち、導体８２は電極５３、５４と同じ材料で構成されている。また、本実施例の抵抗体８１はポリオレフェン混合物で構成された半導電性チューブで構成されているが、他の抵抗材料や導電性塗料を利用して形成することも可能である。なお、図１の抵抗器１９を抵抗器８０に置き換えることによって、抵抗器８０を用いた電流測定回路が実現可能であり、測定手順は前述した図４のフローチャートと同じである。

抵抗器１９と抵抗器８０との各部材の関係を対比させて説明すると、抵抗体１１、絶縁体５２、電極５０、５１、５３、５４は共通の機能を有する。抵抗体２２は抵抗体８３と同じ機能を有する。従って、図１の抵抗器１９を、抵抗器８０に置き換えることによって、抵抗器８０を用いた電流測定回路が実現可能であり、測定手順は前述した図４のフローチャートと同じである。ただし、抵抗器８０の抵抗体８３は、抵抗体２２のように均一な抵抗体ではなく、抵抗体８１と導電体８２との組み合わせであるため、抵抗体８１の部分は図３（ｂ）のような分布定数線路となるが、導電体８２の部分は図３（ａ）のような分布定数線路となる。このため、電極５０と電極５３、および電極５１と電極５４にそれぞれ同一の電圧を印加しても、微小容量３１の両端間電圧がほぼゼロとならない部分が生ずる。このため、抵抗器８０を用いた電流測定回路は、他の実施態様に比べて信号伝播遅延時間が大きくなる。導電体８２と抵抗体８１をできるだけきめ細かく交互に配置することにより、抵抗体８３全体が、図３（ｂ）の分布定数線路に近づくため、遅延時間を小さくすることができる。

以上、本発明に係る技術的思想を特定の実施例を参照しつつ詳細にわたり説明したが、本発明の属する分野における当業者には、請求項の趣旨及び範囲から離れることなく様々な変更及び改変を加えることが出来ることは明らかである。例えば、電流検出用の抵抗体は一体である必要は無く、ガード部材を有する複数の抵抗器を縦列に接続して構成してもよい。

また、抵抗性のガード部材の両端の電極に、対向する電流検出用の抵抗体に接続された電極と同電位を印加する技術は、周囲からのノイズに強く、かつ、信号遅延量の小さな信号伝送路に応用することができる。例えば、図９のように、本発明に係る抵抗器１９の抵抗体１１の入力端と、抵抗体１１の入力端に対向する抵抗体１２の入力端（Ｃ点）を同電位とし、かつ、抵抗体１１の出力端と、抵抗体１１の出力端に対向する抵抗体１２の出力端（Ｄ点）を同電位とすることによって、シールド効果をもち、かつ、信号伝播遅延量の小さな、信号伝送路を実現することができる。図９の信号伝送路はＸからＹへの信号伝送路である。抵抗体１１と抵抗体１２を同電位にする方法は、直接接続してもよいし、バッファ１６を介して接続してもよいが、前述した電流測定装置２０のように抵抗体１１に流れる電流量を保存して信号伝送したい場合には、抵抗体１１の出力端側はバッファ１６を介して抵抗体１２の電極に接続する必要がある。

さらに、本発明は、一般の電子回路中における微小電流が流れる抵抗器のガード方法にも応用することができる。すなわち、当該抵抗器の周囲に抵抗性のガード部材を設け、当該ガード部材の入力端に、対向する当該抵抗器の入力端電圧を印加し、かつ、当該ガード部材の出力端に、対向する当該抵抗器の出力電圧を印加することにより、シールド効果をもち、かつ、信号伝播遅延量の小さなガード方法を実現することができる。

本発明の実施例で示した電流測定装置の概略構成図である。従来の電流測定装置の概略構成図の一例である。従来例と本発明の実施例で示した抵抗器の等価回路である。本発明の実施例で示した電流測定装置の動作フローチャートである。本発明の実施例で示した抵抗器の構成である。本発明の実施例で示した抵抗器の構成である。本発明の実施例で示した抵抗器の構成である。本発明の実施例で示した抵抗器の構成である。本発明の実施例で示した信号伝送路の構成である。

符号の説明

１０電流測定装置
１１、２２、６３、７１、７５、８１、８３抵抗体
１２、６７、８４ガード部材
１４電圧測定・電流量変換回路
１７可変電圧源
１９、２１、６０、７０、８０抵抗器
５０、５１、５３、５４、６１、６２、７２、７３、７６、７７電極
５２絶縁体

Claims

第１の抵抗体と、
前記第１の抵抗体の両端に設けられた第１の電極と、
前記第１の抵抗体の周囲に配設された絶縁体と、
前記絶縁体の周囲に配設された第２の抵抗体と、
前記第２の抵抗体の両端に設けられた第２の電極とを備えたことを特徴とする抵抗器。
前記第２の抵抗体が、前記絶縁体の周囲を覆う筒状部材であることを特徴とする第１項記載の抵抗器。
前記第２の抵抗体が、半導電性チューブであることを特徴とする請求項２記載の抵抗器。
前記第２の抵抗体が、前記第１の抵抗体と対向するように配置された板状部材であることを特徴とする請求項１記載の抵抗器。
前記第２の抵抗体が、導電性塗料が塗布された部材であることを特徴とする請求項１から４のいずれかに記載の抵抗器。
前記第２の抵抗体が、
互いに電気的に非接続状態となるように配列された複数の導電体と、
隣合う前記導電体を電気的に接続する第３の抵抗体とを備えたことを特徴とする請求項１、２、４または５記載の抵抗器。
前記絶縁体の一部また全部が、空気により構成されていることを特徴とする請求項１から６のいずれかに記載の抵抗器。
抵抗体と、
前記抵抗体の両端に設けられた第１の電極と、
前記抵抗体と周囲に前記抵抗体と非接触状態となるように配設された抵抗性のガード部材と、
前記第２の抵抗体の両端に設けられた第２の電極とを備えたことを特徴とする抵抗器。
前記ガード部材が、前記抵抗体の周囲を覆う筒状部材であることを特徴とする第８項記載の抵抗器。
前記ガード部材が、半導電性チューブであることを特徴とする請求項９記載の抵抗器。
前記ガード部材が、前記第１の抵抗体と対向するように配置された板状部材であることを特徴とする請求項８記載の抵抗器。
前記ガード部材が、導電性塗料が塗布された部材であることを特徴とする請求項８から１１のいずれかに記載の抵抗器。
前記第２の抵抗体が、
互いに電気的に非接続状態となるように配列された複数の導電体と、
隣合う前記導電体を電気的に接続する第３の抵抗体とを備えたことを特徴とする請求項８、９、１１、または１２記載の抵抗器。
第１の抵抗体と、
前記第１の抵抗体の両端に設けられた第１の電極と、
前記第１の抵抗体の周囲に配設された絶縁体と、
前記絶縁体の周囲に配設された第２の抵抗体と、
前記第２の抵抗体の両端に設けられた第２の電極と、
前記第２の電極に、それぞれ対向する前記第１電極と同じ電位を与える電位付与手段と、
前記第１の電極間の電位差を測定する電位測定手段と、
前記電位差を、前記第１の抵抗体に流れる電流量に変換する変換手段とを備えたことを特徴とする電流測定装置。
抵抗体と、
前記抵抗体の両端に設けられた第１の電極と、
前記抵抗体と周囲に前記抵抗体と電気的に非導通状態となるように配設された抵抗性のガード部材と、
前記第２の抵抗体の両端に設けられた第２の電極と、
前記第２の電極に、それぞれ対向する前記第１電極と同じ電位を与える電位付与手段と、
前記第１の電極間の電位差を測定する電位測定手段と、
前記電位差を、前記第１の抵抗体に流れる電流量に変換する変換手段とを備えたことを特徴とする電流測定装置。
前記電位付与手段の一部または全部がバッファにより構成されていることを特徴とする請求項１４または１５記載の電流測定装置。
前記バッファが、前記第１の抵抗体の出力端と、前記出力端と対向する前記第２の抵抗の一端との間に接続されていることを特徴とする請求項１６記載の電流測定装置。
抵抗体とガード部材を備え、前記抵抗体を流れる電流量を測定する方法であって、
前記抵抗体の入力端と対向する前記ガード部材の一端に、前記入力端と同じ電位を与えるステップと、
前記抵抗器の出力端と対向する前記ガード部材の他端に、前記出力端と同じ電位を与えるステップと、
前記抵抗体の両端の電位差を測定するステップと、
前記電位差から前記電流量を求めるステップとを含む測定方法。
第１の抵抗体と、
前記第１の抵抗体の両端に設けられた第１の電極と、
前記第１の抵抗体の周囲に配設された絶縁体と、
前記絶縁体の周囲に配設された第２の抵抗体と、
前記第２の抵抗体の両端に設けられた第２の電極と、
前記第２の電極に、それぞれ対向する前記第１電極と同じ電位を与える電位付与手段とを備えたことを特徴とする信号伝送路。
抵抗体と、
前記抵抗体の両端に設けられた第１の電極と、
前記抵抗体と周囲に前記抵抗体と電気的に非導通状態となるように配設された抵抗性のガード部材と、
前記第２の抵抗体の両端に設けられた第２の電極と、
前記第２の電極に、それぞれ対向する前記第１電極と同じ電位を与える電位付与手段と備えたことを特徴とする信号伝送路。
第１の抵抗体の周囲に設けられた第２の抵抗体と、
前記第２の抵抗体の両端に設けられた電極とを有するガード部材と、
前記電極に、それぞれ対向する前記第１の抵抗体の両端の電圧と同じ電位を与える電位付与手段とを備えたことを特徴とするガード構造。