JP2006278894A5 - - Google Patents

Claims (6)

1. 基板に複数の斜面が並列して形成され、これら斜面に巨大磁気抵抗素子が設けられた磁気センサであって、
   これら斜面の長手方向の先端側が平面視にて半円形状とされていることを特徴とする磁気センサ。
2. 前記基板の平坦面には、複数の巨大磁気抵抗素子が設けられ、これら巨大磁気抵抗素子は、基板の平坦面に平行なＸ軸方向に感知軸を有するＸ軸センサおよび基板の平坦面に平行なＹ軸方向に感知軸を有するＹ軸センサを構成し、前記基板の斜面に設けられた前記巨大磁気抵抗素子は、基板の平坦面に垂直なＺ軸方向の磁界の強さを感知し得るＺ軸センサを構成することを特徴とする請求項１に記載の磁気センサ。
3. 前記斜面が、基板上の厚膜に形成された溝の斜面であることを特徴とする請求項１又は２に記載の磁気センサ。
4. 前記斜面が、基板上に形成された略直線の稜線を有する突起部の斜面であることを特徴とする請求項１又は２に記載の磁気センサ。
5. 基板に複数の斜面が並列して形成され、これら斜面に巨大磁気抵抗素子が設けられた磁気センサの製造方法であって、
   隣接して対向する斜面が、これらの長手方向先端で、平面視にて半円形状となる曲斜面を介して連続している溝を形成するように、基板の厚膜上にレジストパターンを形成する工程と、
   前記レジストパターンを加熱処理する工程と、
   加熱処理後の前記レジストパターン及び厚膜をエッチングして、厚膜に前記溝を形成する工程と、
   前記溝の斜面に巨大磁気抵抗素子を設ける工程と、
   を有することを特徴とする磁気センサの製造方法。
6. 基板に複数の斜面が並列して形成され、これら斜面に巨大磁気抵抗素子が設けられた磁気センサの製造方法であって、
   隣接して対向する斜面が、これらの長手方向先端で、平面視にて半円形状となる曲斜面を介して連続している溝を形成するように、基板の厚膜上にレジストパターンを形成する工程と、
   前記レジストパターンを加熱処理する工程と、
   加熱処理後の前記レジストパターン及び厚膜をエッチングして、厚膜に前記溝を形成するとともに、該溝を形成する領域以外の領域に対しても、表面が平坦となるようにエッチングして厚膜を除去することで、略直線の稜線と斜面を有する突起部を形成する工程と、
   前記突起部の斜面に巨大磁気抵抗素子を設ける工程と、
   を有することを特徴とする磁気センサの製造方法。