JP2006272614A

JP2006272614A - インクジェット記録ヘッド

Info

Publication number: JP2006272614A
Application number: JP2005091679A
Authority: JP
Inventors: Kiyomi Aono; 清美青野; Torachika Osada; 虎近長田
Original assignee: Canon Inc
Current assignee: Canon Inc
Priority date: 2005-03-28
Filing date: 2005-03-28
Publication date: 2006-10-12
Anticipated expiration: 2025-03-28
Also published as: JP4646665B2

Abstract

【課題】記録動作初期にインクの不吐出や着弾よれが生じることを抑え、記録ヘッドによる記録動作のスループットを向上させる。
【解決手段】記録ヘッドは、インクを吐出する複数の吐出口Ｈ２５０４，Ｈ２５０５と、複数の吐出口のそれぞれに対応して設けられた複数の電気熱変換素子（不図示）と、複数の吐出口に連通し、複数の電気熱変換素子のそれぞれに対応して設けられた複数のインク流路Ｈ２５０１，Ｈ２５０２と、複数のインク流路にインクを供給する共通液室Ｈ１１０２とを有している。複数のインク流路には、大径吐出口Ｈ２５０４に連通した第１インク流路Ｈ２５０１と小径吐出口Ｈ２５０５に連通した第２インク流路Ｈ２５０２とが含まれ、第１及び第２インク流路Ｈ２５０１，Ｈ２５０２は互いに隣り合うように交互に配置されている。第１インク流路Ｈ２５０１と第２インク流路Ｈ２５０２とは第３インク流路Ｈ２５０３を介して互いに連通している。
【選択図】図１１Ａ

Description

本発明は、インク等の液体を吐出口から吐出することで液滴を形成して記録動作を行う記録装置に用いられるインクジェット記録ヘッドに関する。

なお、本発明のインクジェット記録ヘッドは、一般的なプリント装置のほか、複写機、通信システムを有するファクシミリ、プリント部を有するワードプロセッサ等の装置、更には各種処理装置と複合的に組み合わされた産業用記録装置に適用することができる。

インクジェット記録装置は、いわゆるノンインパクト記録方式の記録装置であり、高速な記録と様々な記録媒体に対して記録することが可能であって、記録における騒音が殆ど生じないと言った特徴を持つ。このようなことから、インクジェット記録装置は、プリンタ、複写機、ファクシミリ、ワードプロセッサ等の記録機構を担う装置として、広く採用されている。

このようなインクジェット記録装置に搭載される記録ヘッドにおける代表的なインク吐出方式としては、ピエゾ素子などの電気機械変換体を用いたもの、レーザーなどの電磁波を照射して発熱させ、この発熱による作用でインク滴を吐出させるもの、あるいは発熱抵抗体を有する電気熱変換素子によってインクを加熱し、膜沸騰の作用によりインク滴を吐出させるものなどが知られている。

電気熱変換素子を用いたインクジェット記録ヘッドは、電気熱変換素子を記録液室内に設け、これに記録信号となる電気パルスを供給して発熱させることによりインクに熱エネルギーを与え、そのときの記録液の相変化により生じる記録液の発泡時（沸騰時）の気泡圧力を利用して、微小な吐出口から微小なインク滴を吐出させて、記録媒体に対し記録を行うものであり、一般に、インク滴を吐出するためのインクジェット記録ノズルと、このノズルにインクを供給する供給系とを有している。

近年では、インクジェット記録装置は高解像度化しており、特に画質を形成する為に使用するインクジェット記録ヘッドにおいても、個々の液滴を吐出する吐出口配列の解像度が高解像度化し、更に画像を形成する吐出インク滴の大きさも５ｐｌや２ｐｌと小液滴化する傾向にある。

更に階調性に富んだ画像の実現のために、インクジェット記録ヘッドにおいては同一色で異なるインク滴サイズを吐出させることが行われている。例えば、特許文献１に開示されているように、インクを供給するインク供給口（共通液室）を挟んで、比較的大きなインク滴を吐出する複数の大径吐出口列と、比較的小さなインク滴を吐出する複数の小径吐出口列とを形成し、大径吐出口及び小径吐出口からそれぞれ大小のインク滴を吐出することによって記録媒体上にインクの大ドット及び小ドットを形成することが行われている（図１４参照）。さらに、大径吐出口と小径吐出口とを交互に配置させて、大ドット及び小ドットの形成を低コストで可能にする構成も考案されている（図１５参照）。

また、耐光性や耐水性等の耐候性を向上させるために、顔料インクが使用されることもある。

インクは時間が経つと水分が蒸発して粘度が高くなるため、記録ヘッドを記録動作を行わずに長い時間放置したり、また記録動作を行う場合でも長い時間使用されないノズルがあったりする場合などは、いざ記録動作を行おうとしたときに、不吐出や着弾よれ等の吐出不良を生じさせてしまうことがある（特許文献２参照）。特に、吐出口の口径が小さくなるほど、そのような吐出不良が顕著に表れる傾向がある。そのため、記録動作前に予備吐出を行ったり（特許文献３参照）、温度調節を行って記録ヘッドを暖めたりして（特許文献４参照）、正常に記録動作が行われるようにしている。
特開２００３−３１１９６５号公報特開平９−２２６１２５号公報特開２００３−３１２０２５号公報特開２００２−２４０２５２号公報

近年ではこのように小液滴化のために吐出口の口径を小さくする傾向があるため、粘度が高くなったインクを使用した場合には、記録動作初期にインクの不吐出や着弾よれがより顕著に生じる傾向にある。そのため、記録動作前に予備吐出を行ったり、温度調節を行って記録ヘッドを暖めたりすることを、それらの程度を高めて行わなければならず、予備吐出用に消費されるインク量が増えたり、記録動作開始までの時間が長くなってしまう。

本発明は、上記問題点に鑑みてなされたものであり、粘度が高くなったインクを比較的小径の吐出口から吐出する場合でも、記録動作初期にインクの不吐出や着弾よれが生じることを抑え、また、予備吐出用に消費されるインク量や記録動作開始までの時間を少なくすることができるインクジェット記録ヘッドを提供することを目的とする。

上記目的を達成するため、本発明のインクジェット記録ヘッドは、インクを吐出する複数の吐出口と、該複数の吐出口のそれぞれに対応して設けられ、該複数の吐出口から前記インクを吐出するために利用されるエネルギーを発生する複数の記録素子と、前記複数の吐出口に連通し、前記複数の記録素子のそれぞれに対応して設けられた複数のインク流路と、該複数のインク流路に前記インクを供給する共通液室とを有し、前記複数の吐出口に連通した前記複数のインク流路は、比較的大径の吐出口に連通した第１インク流路と比較的小径の吐出口に連通した第２インク流路とを含んでおり、前記第１インク流路と前記第２インク流路とが互いに隣り合うように交互に配置されているインクジェット記録ヘッドにおいて、前記第１インク流路と前記第２インク流路とを互いに連通させる第３インク流路をさらに有していることを特徴とする。

上記本発明のインクジェット記録ヘッドによれば、粘度が高くなったインクを比較的小径の吐出口から吐出する場合でも、記録動作初期にインクの不吐出や着弾よれが生じることを抑え、また、予備吐出用に消費されるインク量や記録動作開始までの時間を少なくすることができる。

次に、本発明の実施形態について図面を参照して説明する。

図１〜６は本発明が実施もしくは適用される好適なヘッドカートリッジ、記録ヘッド、インクタンクのそれぞれの構成及びそれぞれの関係を説明する図である。以下、これらの図面を参照して各構成要素の説明を行う。

本実施形態の記録ヘッド（インクジェット記録ヘッド）Ｈ１００１は、図１（ａ）および図１（ｂ）の斜視図からわかるように、記録ヘッドカートリッジＨ１０００を構成する一構成要素であり、記録ヘッドカートリッジＨ１０００は、記録ヘッドＨ１００１と、記録ヘッドＨ１００１に着脱自在に設けられたインクタンクＨ１９００（Ｈ１９０１〜Ｈ１９０４）とで構成されている。

記録ヘッドＨ１００１は、インクタンクＨ１９００から供給されるインク（記録液）を、記録情報に応じて吐出口から吐出する。この記録ヘッドカートリッジＨ１０００は、インクジェット記録装置本体に備えられているキャリッジ（不図示）に対して着脱可能となっている。

それぞれ、インクタンクＨ１９０１はブラックのインク用、インクタンクＨ１９０２はシアンのインク用、インクタンクＨ１９０３はマゼンタのインク用、インクタンクＨ１９０４はイエローのインク用のインクタンクである。インクタンクＨ１９０１，Ｈ１９０２，Ｈ１９０３，Ｈ１９０４のそれぞれが記録ヘッドＨ１００１のシールゴムＨ１８００側に対して着脱自在であり、このようにそれぞれのインクタンクが交換可能となっていることにより、インクジェット記録装置によって各色毎に異なる消費量に応じて各色のインクタンクを個別に交換することができる。

次に、記録ヘッドＨ１００１を構成しているそれぞれの構成要素毎に順を追ってさらに詳しく説明する。
（１）記録ヘッド
記録ヘッドＨ１００１は、電気信号に応じてインクに対して膜沸騰を生じさせるための熱エネルギーを生成する電気熱変換体（記録素子）を用いて記録を行う、バブルジェット（登録商標）方式のサイドシューター型の記録ヘッドである。

記録ヘッドＨ１００１は、図２の分解斜視図に示すように、記録素子ユニットＨ１００２とインク供給ユニットＨ１００３とタンクホルダーＨ２０００で構成されている。さらに、記録素子ユニットＨ１００２は、図３の分解斜視図に示すように、第１の記録素子基板Ｈ１１００、第２の記録素子基板Ｈ１１０１、第１のプレート（第１の支持部材）Ｈ１２００、電気配線テープＨ１３００、電気コンタクト基板Ｈ２２００、第２のプレート（第２の支持部材）Ｈ１４００で構成されており、またインク供給ユニットＨ１００３は、インク供給部材Ｈ１５００、流路形成部材Ｈ１６００、ジョイントシール部材Ｈ２３００、フィルターＨ１７００、シールゴムＨ１８００で構成されている。
（１−１）記録素子ユニット
図４は第１の記録素子基板Ｈ１１００の構成を説明する部分分解斜視図である。

第１の記録素子基板Ｈ１１００は厚さ０．５〜１ｍｍのＳｉ基板Ｈ１１１０の片面に、インクを吐出するための複数の記録素子（電気熱変換素子）Ｈ１１０３と、各電気熱変換素子Ｈ１１０３に電力を供給するＡｌ等の電気配線が、成膜技術により形成されている。そして、この電気熱変換素子Ｈ１１０３に対応する複数のインク流路と複数の吐出口Ｈ１１０７とがフォトリソグラフィ技術により形成されるとともに、複数のインク流路にインクを供給するためのインク供給口（共通液室）Ｈ１１０２が反対側の面（裏面）に開口するように形成されている。また、記録素子基板Ｈ１１００は第１のプレートＨ１２００（図３参照）に接着によって固定されており、これにより共通液室Ｈ１１０２が形成されている。

ここで図３を参照すると、第１のプレートＨ１２００には、開口部を有する第２のプレートＨ１４００が接着によって固定されており、この第２のプレートＨ１４００を介して、電気配線テープＨ１３００が記録素子基板Ｈ１１００に対して電気的に接続されるように保持されている。この電気配線テープＨ１３００は、記録素子基板Ｈ１１００にインクを吐出するための電気信号を印加するためのものであり、記録素子基板Ｈ１１００に対応する電気配線と、この電気配線部に位置し記録装置本体からの電気信号を受け取る外部信号入力端子Ｈ１３０１とを有し、この外部信号入力端子Ｈ１３０１は、インク供給部材Ｈ１５００の背面側に位置決めされて固定されている。

図４を参照すると、共通液室Ｈ１１０２は、Ｓｉの結晶方位を利用した異方性エッチングやサンドブラストなどの方法で形成されている。すなわち、Ｓｉ基板Ｈ１１１０がウェハー面方向に＜１００＞、厚さ方向に＜１１１＞の結晶方位を持つ場合、アルカリ系（ＫＯＨ、ＴＭＡＨ、ヒドラジン等）による異方性エッチングで、約５４．７度の角度でエッチングを進行させる。これにより所望の深さにエッチングを行い、長溝状の貫通口からなる共通液室Ｈ１１０２を形成する。共通液室Ｈ１１０２を挟んで両側に電気熱変換素子Ｈ１１０３がそれぞれ１列ずつ千鳥状に配列されている。

電気熱変換素子Ｈ１１０３に電力を供給するＡｌ等の電気配線（不図示）は、成膜技術により形成されている。さらに、電気配線に電力を供給する電極Ｈ１１０４が電気熱変換素子Ｈ１１０３の両外側に配列されており、電極Ｈ１１０４にはＡｕ等のバンプＨ１１０５が熱超音波圧着法で形成されている。そして、Ｓｉ基板Ｈ１１１０上には、電気熱変換素子Ｈ１１０３に対応したインク流路を形成するためのインク流路壁Ｈ１１０６と吐出口Ｈ１１０７とが樹脂材料でフォトリソグラフィ技術により形成され、吐出口群Ｈ１１０８が形成されている。電気熱変換素子Ｈ１１０３に対向して吐出口Ｈ１１０７が設けられているため、共通液室Ｈ１１０２から供給されたインクは電気熱変換素子Ｈ１１０３の発熱作用により発生した気泡により吐出口Ｈ１１０７から吐出される。

図５は第２の記録素子基板Ｈ１１０１の構成を説明する部分分解斜視図である。

第２の記録素子基板Ｈ１１０１は３色のインクを吐出させるための記録素子基板であり、３個の共通液室Ｈ１１０２が並列して形成されており、それぞれの共通液室Ｈ１１０２を挟んだ両側に電気熱変換素子Ｈ１１０３と吐出口Ｈ１１０７が形成されている。この共通液室Ｈ１１０２は３つとは限らず、同じ３色のインクが用いられるものである場合に、イエローインク用の共通液室Ｈ１１０２を真中にしてその両側にマゼンタインク用の共通液室Ｈ１１０２とシアンインク用の共通液室Ｈ１１０２が対向する５つの構成であってもよい。

第１の記録素子基板Ｈ１１００と同じように、Ｓｉ基板Ｈ１１１０に共通液室Ｈ１１０２や電気熱変換素子Ｈ１１０３、電気配線（不図示）、電極Ｈ１１０４などが形成されており、その上に樹脂材料でフォトリソグラフィ技術によりインク流路壁Ｈ１１０６やインク吐出口Ｈ１１０７が形成されている。そして、第１の記録素子基板Ｈ１１００と同様に、電気配線に電力を供給する電極Ｈ１１０４にはＡｕ等のバンプＨ１１０５が形成されている。

次に、第１のプレートＨ１２００（図３等参照）は、例えば厚さ０．５〜１０ｍｍのアルミナ（Ａｌ₂Ｏ₃）材料で形成されている。なお、第１のプレートＨ１２００の材料はアルミナに限られず、記録素子基板Ｈ１１００の材料の線膨張率と同等の線膨張率を有し、かつ、記録素子基板Ｈ１１００の材料の熱伝導率と同等もしくは同等以上の熱伝導率を有する材料で作られてもよい。第１のプレートＨ１２００の材料は、例えば、シリコーン（Ｓｉ）、窒化アルミニウム（ＡｌＮ）、ジルコニア、窒化珪素（Ｓｉ₃Ｎ₄）、炭化珪素（ＳｉＣ）、モリブデン（Ｍｏ）、タングステン（Ｗ）のうちのいずれかであってもよい。

第１のプレートＨ１２００には、第１の記録素子基板Ｈ１１００にブラックのインクを供給するインク供給口Ｈ１２０１と、第２の記録素子基板Ｈ１１０１にシアン、マゼンタ、イエローのインクを供給するインク供給口Ｈ１２０１とが形成されており、各記録素子基板Ｈ１１００，Ｈ１０１のインク供給口Ｈ１１０２が第１のプレートＨ１２００のインク供給口Ｈ１２０１にそれぞれ対応している。第１の記録素子基板Ｈ１１００と第２の記録素子基板Ｈ１１０１とは、それぞれ第１のプレートＨ１２００に対して位置精度よく接着固定されている。その接着に用いられる第１の接着剤は、低粘度で硬化温度が低く、短時間で硬化し、硬化後比較的高い硬度を有し、かつ、耐インク性のあるものが望ましい。その第１の接着剤は、例えば、エポキシ樹脂を主成分とした熱硬化接着剤であり、図７に示す第１の接着層Ｈ１２０２の厚みは５０μｍ以下であることが望ましい。

図３および図７を参照すると、電気配線テープＨ１３００は、インクを吐出させるための電気信号を第１の記録素子基板Ｈ１１００および第２の記録素子基板Ｈ１１０１に印加するものである。この電気配線テープＨ１３００は、それぞれの記録素子基板Ｈ１１００，Ｈ１１０１を組み込むための複数の開口部Ｈ１，Ｈ２と、それぞれの記録素子基板Ｈ１１００，Ｈ１１０１の電極Ｈ１１０４に対応する電極端子Ｈ１３０２と、この電気配線テープＨ１３００の端部に位置し、記録装置本体からの電気信号を受け取るための外部信号入力端子Ｈ１３０１を有する電気コンタクト基板Ｈ２２００と電気的接続を行うための電極端子部（不図示）とを有しており、この電極端子部と電極リードＨ１３０２とは連続した銅箔の配線パターンでつながっている。この電気配線テープＨ１３００は、例えば、配線が２層構造を成し、表層がレジストフィルムによって覆われているフレキシブル配線基板からなる。

この場合、電気コンタクト基板Ｈ２２００の外部信号入力端子Ｈ１３０１の裏面側（外面側）には補強版が接着され、平面性の向上が図られている。補強版としては、例えば０．５〜２ｍｍのガラスエポキシ、アルミニウム等の耐熱性を有する材料が使用される。電気配線テープＨ１３００と第１の記録素子基板Ｈ１１００と第２の記録素子基板Ｈ１１０１とは、それぞれ電気的に接続されており、その接続手法としては、例えば、記録素子基板の電極Ｈ１１０４上のバンプＨ１１０５と、電気配線テープＨ１３００の電極リードＨ１３０２とを、熱超音波圧着法により電気的に接合することが可能である。

第２のプレートＨ１４００は、例えば、厚さ０．５〜１ｍｍの一枚の板状部材であり、例えばアルミナ（Ａｌ₂Ｏ₃）等のセラミックや、Ａｌ、ＳＵＳなどの金属材料で形成されている。ただし、第２のプレートＨ１４００の材料は、これらに限定されるものではなく、記録素子基板Ｈ１１００，Ｈ１１０１および第１のプレートＨ１２００と同等の線膨張率を有し、かつそれらの熱伝導率と同等以上の熱伝導率を有する材料であってもよい。第２のプレートＨ１４００は、第１のプレートＨ１２００に接着固定された第１の記録素子基板Ｈ１１００および第２の記録素子基板Ｈ１１０１の外形寸法よりも大きな開口部をそれぞれ有している。また、第２のプレートＨ１４００の裏面は第１のプレートＨ１２００に第２の接着層Ｈ１２０３によって接着され、第２のプレートＨ１４００の表面には電気配線テープＨ１３００の裏面が第３の接着層Ｈ１３０６によって固定される。

第１の記録素子基板Ｈ１１００および第２の記録素子基板Ｈ１１０１と電気配線テープＨ１３００との電気接続部分は、第１の封止剤（不図示）および第２の封止剤（不図示）によって封止されており、これにより電気接続部分をインクによる腐食や外的衝撃から保護している。

第１の封止剤は、主に電気配線テープの電極端子Ｈ１３０２と記録素子基板のバンプＨ１１０５との接続部の裏面側および記録素子基板の外周部分を封止し、第２の封止剤はその接続部の表側を封止している。さらに、記録装置本体からの電気信号を受け取るための外部信号入力端子Ｈ１３０１を有する電気コンタクト基板Ｈ２２００が、電気配線テープＨ１３００の端部に異方性導電フィルム等を用いて熱圧着されて電気的に接続されている。そして、電気配線テープＨ１３００は、第２のプレートＨ１４００に接着されるとともに、第１のプレートＨ１２００および第２のプレートＨ１４００の一側面に沿って折り曲げられ、第１のプレートＨ１２００の側面に第３の接着層Ｈ１３０６によって接着される。

第２の接着層Ｈ１２０３には、粘度が低く、第１のプレートＨ１２００上に薄く第２の接着層Ｈ１２０３を形成し得るとともに、耐インク性を有する接着剤を用いることが好ましい。また、第３の接着層Ｈ１３０６には、例えば、エポキシ樹脂を主成分とした厚さ１００μｍ以下の熱硬化接着剤を用いることが好ましい。
（１−２）インク供給ユニット
図３を参照すると、インク供給部材Ｈ１５００は、例えば、樹脂成形によって形成されている。その樹脂材料には、形状的剛性を向上させるためにガラスフィラーを５〜４０％混入した樹脂材料を使用することが望ましい。

図３および図６に示すように、インクタンクＨ１９００を着脱自在に保持するインク供給部材Ｈ１５００は、インクタンクＨ１９００から記録素子ユニットＨ１００２にインクを導くインク供給ユニットＨ１００３の一構成部品であり、流路形成部材Ｈ１６００が超音波溶着されて、インクタンクＨ１９００から第１のプレートＨ１２００に至るインク流路Ｈ１５０１が形成されている。

インクタンクＨ１９００と係合するジョイント部Ｈ１５２０には、外部からのゴミの進入を防ぐフィルターＨ１７００が溶着によって接合されており、さらに、ジョイント部Ｈ１５２０からのインクの蒸発を防止するためにシールゴムＨ１８００が装着されている。

また、インク供給部材Ｈ１５００は、着脱自在のインクタンクＨ１９００を保持する機能も有しており、インクタンクＨ１９００の爪Ｈ１９１０が係合される穴Ｈ１５０３を有している。

さらに、インク供給部材Ｈ１５００には、記録ヘッドカートリッジをヘッドセットレバーによりキャリッジに装着固定するための係合部、キャリッジの所定の装着位置に位置決めするためのＸ方向（キャリッジスキャン方向）の突き当て部Ｈ１５０９、Ｙ方向（記録メディア搬送方向）の突き当て部Ｈ１５１０、およびＺ方向（インク吐出方向）の突き当て部Ｈ１５１１が形成されている。さらには、インク供給部材Ｈ１５００には、記録ヘッドカートリッジＨ１０００をインクジェット記録装置本体のキャリッジに装着位置に案内するための装着ガイドＨ１６０１が取り付けられる。また、インク供給部材Ｈ１５００は、記録素子ユニットＨ１００２の電気コンタクト基板Ｈ２２００を位置決め固定する端子固定部Ｈ１５１２を有し、端子固定部Ｈ１５１２およびその周囲には複数のリブが設けられ、端子固定部Ｈ１５１２を有する面の剛性を高めている。
（１−３）記録ヘッドユニットとインク供給ユニットとの結合
図２に示したように、記録ヘッドＨ１００１は、記録素子ユニットＨ１００２をインク供給ユニットＨ１００３に結合し、さらにこれをタンクホルダーＨ２０００と結合することによって完成する。これらの結合は以下のように行われる。

記録素子ユニットＨ１００２のインク連通口（第１のプレートＨ１２００のインク供給口Ｈ１２０１）とインク供給ユニットＨ１００３のインク連通口（流路形成部材Ｈ１６００のインク連通口Ｈ１６０２）とを、インクが漏れないように互いに連通させるために、ジョイントシール部材Ｈ２３００を介してそれぞれの部材を互いに圧着させるようにしてビスＨ２４００で固定する。

この時、記録素子ユニットＨ１００２はインク供給ユニットＨ１００３のＸ方向、Ｙ方向、Ｚ方向の基準位置（各突き当て部Ｈ１５０９，Ｈ１５１０，Ｈ１５１１）に対して正確に位置決めされ固定される。

記録素子ユニットＨ１００２の電気コンタクト基板Ｈ２２００はインク供給部材Ｈ１５００の一側面に、端子位置決めピンＨ１５１５（２ヶ所）と端子位置決め穴Ｈ１３０９（２ヶ所）により位置決めされ、固定される。その固定は、例えば、インク供給部材Ｈ１５００に設けられた端子位置決めピンＨ１５１５をかしめることによって行われるが、その他の固定手段を用いて固定してもよい。図１０に、これらを結合した状態を示す。

さらに、インク供給部材Ｈ１５００のタンクホルダーとの結合穴及び結合部をタンクホルダーＨ２０００に嵌合させて結合させることにより、記録ヘッドＨ１００１が完成する。

このように、インク供給部材Ｈ１５００、流路形成部材Ｈ１６００、フィルターＨ１７００、シールゴムＨ１８００から構成されるタンクホルダー部と、記録素子基板Ｈ１１００，Ｈ１１０１、第１のプレートＨ１２００、配線基板Ｈ１３００、第２のプレートＨ１４００から構成される記録素子部とを接着等で結合することにより、記録ヘッドＨ１００１が構成されている。その完成図を図９に示す。
（２）記録ヘッドカートリッジの説明
図１（ａ），（ｂ）を参照して、記録ヘッドカートリッジＨ１０００を構成する記録ヘッドＨ１００１に対するインクタンクＨ１９０１，Ｈ１９０２，Ｈ１９０３，Ｈ１９０４の装着を説明する。

なお、各インクタンクＨ１９０１，Ｈ１９０２，Ｈ１９０３，Ｈ１９０４の内部にはそれぞれ異なる色のインクが収容されている。また、図６に示すように、それぞれのインクタンクには、インクタンク内のインクを記録ヘッドＨ１００１に供給するためのインク連通口Ｈ１９０７が形成されている。

例えば、ブラックインクを収容したインクタンクＨ１９０１が記録ヘッドＨ１００１に装着されると、インクタンクＨ１９０１のインク連通口Ｈ１９０７が記録ヘッドＨ１００１のジョイント部Ｈ１５２０に設けられたフィルターＨ１７００に圧接され、インクタンクＨ１９０１内のブラックインクがインク連通口Ｈ１９０７から記録ヘッドＨ１００１のインク流路Ｈ１５０１を介して第１のプレートＨ１２００を通り、第１の記録素子基板Ｈ１１００に供給される。そして、電気熱変換素子Ｈ１１０３と吐出口Ｈ１１０７のある発泡室に供給されたインクは、電気熱変換素子Ｈ１１０３に与えられる熱エネルギーによって記録媒体である記録用紙に向けて吐出口Ｈ１１０７から吐出される。

図７は記録素子ユニットＨ１００２の要部分解模式断面図であり、図１０は記録素子ユニットＨ１００２の要部模式断面図である。図７に示すように、電気配線テープＨ１３００はボンディング部周辺が３層構造になっており、表側にポリイミドのベースフィルムＨ１３００ａ、中間に銅箔Ｈ１３００ｂ、裏側にソルダーレジストＨ１３００ｃが配置されている。

この電気配線テープＨ１３００には、第１の記録素子基板Ｈ１１００が挿入される開口部Ｈ１と、第２の記録素子基板Ｈ１１０１が挿入される開口部Ｈ２とが形成され、記録素子基板Ｈ１１００，Ｈ１１０１のバンプＨ１００５に接続される電極リードＨ１３０２が金メッキされた状態で露出している。

記録素子ユニットＨ１００２を作製する際には、まず、第２のプレートＨ１４００を第２の接着層Ｈ１２０３によって第１のプレートＨ１２００に接着する。第２の接着層Ｈ１２０３の厚さは、第１の記録素子基板Ｈ１１００および第２の記録素子基板Ｈ１１０１と電気配線テープＨ１３００とを平面的に電気接続できるようにするため、０．０６ｍｍ以下に抑えることが好ましい。なお、第１のプレートＨ１２００への第２のプレートＨ１４００の接着は、第１のプレートＨ１２００に対して記録素子基板Ｈ１１００，Ｈ１１０１を接着する前でもした後でもかまわない。

次に、第１のプレートＨ１２００に第１の記録素子基板Ｈ１１００と第２の記録素子基板Ｈ１１０１を接着する第１の接着層Ｈ１２０２を塗布した後、記録素子基板Ｈ１１００，Ｈ１１０１を記録液を吐出する複数の電気熱変換素子Ｈ１１０３またはそれぞれの吐出口Ｈ１１０７の配線面方向の相対位置関係を合わせて押圧固定する。

その後、第２のプレートＨ１４００上に電気配線テープＨ１３００を接着する第３の接着層Ｈ１３０６を塗布し、第１の記録素子基板Ｈ１１００と第２の記録素子基板Ｈ１１０１の電極Ｈ１１０４と電気配線テープＨ１３００の電極リードＨ１３０２との位置合わせをした後、第２のプレートＨ１４００上に電気配線テープＨ１３００を押圧固定する。そして、記録素子基板の電極Ｈ１１０４上のバンプＨ１１０５と電気配線テープＨ１３００の電極リードＨ１３０２とを一箇所ずつ熱超音波圧着法によって電気的に接合する。このようにして、記録素子ユニットＨ１００２が作製される（図７Ａ参照）。
（３）本実施形態の特徴的な構成の説明
以下、本実施形態の特徴的な構成について、詳しく説明する。

図１１Ａは本発明の一実施形態に係る記録ヘッドＨ１００１の吐出口形成面を示す平面図である。なお、図中における破線は、記録ヘッドＨ１００１の内部のインク流路等を示している。

図１１Ａに示すように、記録ヘッドＨ１００１には、大径吐出口Ｈ２５０４に連通する第１インク流路Ｈ２５０１と、小径吐出口Ｈ２５０５に連通する第２インク流路Ｈ２５０２と、第１インク流路Ｈ２５０１と第２インク流路Ｈ２５０２との間を連通させる第３インク流路Ｈ２５０３と、第１インク流路Ｈ２５０１と第２インク流路Ｈ２５０２とに連通している共通液室Ｈ１１０２とを有している。

大径吐出口Ｈ２５０４に連通する第１インク流路Ｈ２５０１と小径吐出口Ｈ２５０５に連通する第２インク流路Ｈ２５０２とは、共通液室Ｈ１１０２の両側にその延長方向に沿って隣り合うように交互に配列されている。共通液室Ｈ１１０２の一方の側に配列されたインク流路Ｈ２５０１，Ｈ２５０２は第１のインク流路列を成し、共通液室Ｈ１１０２の他方の側に配列されたインク流路Ｈ２５０１，Ｈ２５０２は第２のインク流路列を成している。第１のインク流路列と第２のインク流路列とでは、図１１Ａに示す共通液室Ｈ１１０２の延長方向に対して垂直に交わる方向に関して、第１インク流路Ｈ２５０１と第２インク流路Ｈ２５０２とが交互に互い違いに配置されている。各インク流路列において、大径吐出口Ｈ２５０４と小径吐出口Ｈ２５０５とは互いのピッチが６００ｄｐｉ(dot per inch)に交互に配置されている。大径吐出口Ｈ２５０４だけに着目するとそのピッチは３００ｄｐｉであり、同様に小径吐出口Ｈ２５０５だけに着目するとそのピッチは３００ｄｐｉである。

このように大径吐出口Ｈ２５０４と小径吐出口Ｈ２５０５とが混在する構成の記録ヘッドＨ１００１では、通常の記録動作を行う場合、大径吐出口Ｈ２５０４から吐出される大液滴の方が小径吐出口Ｈ２５０５から吐出され小液滴よりも多く、小液滴は大液滴に比べて吐出される頻度が少ない。また、小径吐出口Ｈ２５０５は吐出口径が小さいため、吐出口近傍でインク中の溶媒である水分が蒸発して増粘した場合、その増粘により最初の数ドットが正常に吐出しないという現象（以下、「発一性」という。）が大径吐出口Ｈ２５０４に比べて顕著に起こりやすい。このように、大径吐出口Ｈ２５０４に比べて発一性が悪い小径吐出口Ｈ２５０５は、更なる小液滴化を図るために吐出口径を更に小さくしたり、長時間放置されて溶媒が蒸発して粘度が高くなったインクを吐出したりする場合に、更に悪化する傾向がある。

次に、図１１Ａに示した本実施形態の構成が、このような発一性をどのようにして改善しているのかについて説明する。

図１１Ａに示す記録ヘッドＨ１００１では、共通液室Ｈ１１０２から供給されたインクは、第１インク流路Ｈ２５０１および第２インク流路Ｈ２５０２にそれぞれ充填される。そして、各インク流路内の電気熱変換素子Ｈ１１０３（図４，５参照）が駆動させられると、大径吐出口Ｈ２５０４および小径吐出口Ｈ２５０５からそれぞれ大小のインク滴が吐出される。

ここで、大径吐出口Ｈ２５０４から大液滴が吐出された場合、吐出されたインク液の量だけ第１インク流路Ｈ２５０１にインクが再び供給（リフィル）される。そのインクの多くは共通液室Ｈ１１０２から供給されるが、本実施形態では第１インク流路Ｈ２５０１がその両隣の第２インク流路Ｈ２５０２に第３インク流路Ｈ２５０３を介して連通しているため、リフィルされるインクの一部はその両隣の第２インク流路Ｈ２５０２からも第３インク流路Ｈ２５０３を通って第１インク流路Ｈ２５０１に供給される。これにより、小径吐出口Ｈ２５０５自身がインク滴を吐出しなくても、その隣の大径吐出口Ｈ２５０４からインク滴が吐出されると、第２インク流路Ｈ２５０２内にインクの流れが生じる。特に、第２インク流路Ｈ２５０２の両側に第１インク流路Ｈ２５０１を配置することで、少なくともどちらか一方の第１インク流路Ｈ２５０１の大径吐出口Ｈ２５０４からインク滴が吐出されれば、第２インク流路Ｈ２５０２内にインクの流れが生じる。

このように第２インク流路Ｈ２５０２内にインクの流れが生じさせることにより、小径吐出口Ｈ２５０５から長時間にわたってインク滴が吐出されない場合であっても、第２インク流路Ｈ２５０２内のインクの溶媒が蒸発して粘度が高くなることを抑えることができるので、小径吐出口Ｈ２５０５の発一性を改善することが可能である。さらに、更なる小液滴化を図るために小径吐出口Ｈ２５０５の吐出口径を更に小さくした場合であっても発一性が悪化することを防ぐことができる。

第３インク流路Ｈ２５０３は、第１インク流路Ｈ２５０１側よりも第２インク流路Ｈ２５０２側の方が断面積が大きく、第１インク流路Ｈ２５０１側に向かって断面積が徐々に小さくなるようなテーパー形状を有している。このように第１インク流路Ｈ２５０１側の第３インク流路Ｈ２５０３の断面積を小さくすることで、インク滴を吐出させるために第１インク流路Ｈ２５０１内に気泡を発泡させた際に生じた振動（圧力波）が、第３インク流路Ｈ２５０３を通って第２インク流路Ｈ２５０２に伝わりにくくなる。逆に、第３インク流路Ｈ２５０３の第２インク流路Ｈ２５０２側の断面積は大きくなっているので、インクは第２インク流路Ｈ２５０２から第３インク流路Ｈ２５０３を通って第１インク流路Ｈ２５０１内へスムーズに流入する。これに伴って共通液室Ｈ１１０２から第２インク流路Ｈ２５０２内にインクが供給されるため、第２インク流路Ｈ２５０２内にインクの流れが生じる。

図１２は、図１１Ａに示した構成の記録ヘッドＨ１００１における第１インク流路Ｈ２５０１、第２インク流路Ｈ２５０２、および第３インク流路Ｈ２５０３の流路幅を示す図である。図中、Ｗ１は第２インク流路Ｈ２５０２の流路幅を示しており、本実施形態ではその流路幅は２８μｍである。また、Ｗ２は第１インク流路Ｈ２５０１の流路幅を示しており、本実施形態ではその流路幅は３２μｍである。Ｗ３は第３インク流路Ｈ２５０３の流路幅を示しており、ここではその詳細な寸法は明記していないが、その流路幅は第１及び第２インク流路Ｈ２５０１，Ｈ２５０２のどちらよりも狭く、かつ第１インク流路Ｈ２５０１側より第２インク流路Ｈ２５０２側の方が広くなるように設定されている。なお、各インク流路の高さはいずれも１４μｍである。

前述したように、大径吐出口Ｈ２５０４から大液滴が吐出された場合、第１インク流路Ｈ２５０１へのインクのリフィルは、共通液室Ｈ１１０２から供給されるインクに加えて、その両隣の第２インク流路Ｈ２５０２から第３インク流路Ｈ２５０３を通って供給されるインクによって行われる。

また、本実施形態の構成では、第２インク流路Ｈ２５０２及び第３インク流路Ｈ２５０３の流路幅が第１インク流路Ｈ２５０１の流路幅より狭く、第２インク流路Ｈ２５０２と第３インク流路Ｈ２５０３との流路長さの和が第１インク流路Ｈ２５０１の流路長さよりも長くなっているため、第２インク流路Ｈ２５０２と第３インク流路Ｈ２５０３との流抵抗の和は第１インク流路Ｈ２５０１の流抵抗よりも大きくなっている。このように流抵抗差を設けることにより、第１インク流路Ｈ２５０１内で気泡を発泡させたときに生じる圧力が第３インク流路Ｈ２５０３側にはほとんど逃げないため、本実施形態のように第１インク流路Ｈ２５０１が第３インク流路Ｈ２５０３を介して第２インク流路Ｈ２５０２に連通している構成であっても、大径吐出口Ｈ２５０４からのインク滴の吐出に特段の影響は生じない。

図１１Ｂは図１１Ａに示した記録ヘッドの一変形例を示す図である。図１１Ｂに示すように第３インク流路Ｈ２５０３が共通液室Ｈ１１０２の延長方向に対して平行でなく斜めに傾いている構成では、第３インク流路Ｈ２５０３の長さは図１１Ａの構成に比べて長くなる。このような構成とする場合には、第３インク流路Ｈ２５０３の流路幅を図１１Ａに示す第３インク流路Ｈ２５０３よりも広くすることで、第３インク流路Ｈ２５０３の流抵抗を図１１Ａに示す構成と同等にすることができる。これにより、図１１Ｂに示す構成においても、図１１Ａに示す構成と同等に、第１インク流路Ｈ２５０１へのリフィル時に第２インク流路Ｈ２５０２から第３インク流路Ｈ２５０３を介して第１インク流路Ｈ２５０１内にインクが供給されるため、第２インク流路Ｈ２５０２内にインクの流れを生じさせることができる。

再び図１１Ａを参照すると、第１インク流路Ｈ２５０１と第２インク流路Ｈ２５０２とは、共通液室Ｈ１１０２を間に挟んで互いに対向している。第１のインク流路列における第１インク流路Ｈ２５０１同士の間隔および第２インク流路Ｈ２５０２同士の間隔はそれぞれ３００ｄｐｉであり、第１インク流路Ｈ２５０１と第２インク流路Ｈ２５０２との間隔は６００ｄｐｉとなっている。第１のインク流路列および第２のインク流路列における、共通液室Ｈ１１０２を間に挟んで互いに対向する吐出口Ｈ２５０４，Ｈ２５０５同士の位置関係は、第１のインク流路列の第１インク流路Ｈ２５０１の大径吐出口Ｈ２５０４の中心と、共通液室Ｈ１１０２を間に挟んでそれに対向する第２のインク流路列の第２インク流路Ｈ２５０２の小径吐出口Ｈ２５０４の中心とが、インク流路列の配列方向に対して直交する方向に同一直線上に配置された関係にあり、第１のインク流路列と第２のインク流路列とでは大径吐出口Ｈ２５０４と小径吐出口Ｈ２５０５とが互い違いにずれている。つまり、第１インク流路列は、共通液室Ｈ１１０２を間に挟んで平行に並んだ第２インク流路列に対して、インク流路列の配列方向に対して垂直な方向において互いの第１インク流路Ｈ２５０１と第２インク流路Ｈ２５０２とが対向するように配置されている。吐出口Ｈ２５０４，Ｈ２５０５をこのような配置にすることにより、記録装置内で記録ヘッドＨ１００１を搭載したキャリッジ（不図示）を図１１Ａのインク流路列の配列方向に直交する方向に走査させた場合に、大径吐出口Ｈ２５０４および小径吐出口Ｈ２５０５共に６００ｄｐｉの解像度でインク滴を吐出させることができる。

なお、本実施形態では、各インク流路列において、第１インク流路Ｈ２５０１同士および第２インク流路Ｈ２５０２同士を３００ｄｐｉの間隔で配置し、第１インク流路Ｈ２５０１と第２インク流路Ｈ２５０２とを６００ｄｐｉの間隔で配置したが、これらの間隔をさらに狭く設定して記録ヘッドＨ１００１の記録解像度を更に向上させることも可能である。

また、図１１Ａおよび図１１Ｂに示した構成では、大径吐出口Ｈ２５０４と小径吐出口Ｈ２５０５とが各インク流路列の配列方向において交互に配置され、大径吐出口Ｈ２５０４と小径吐出口Ｈ２５０５とはそれぞれの中心が各インク流路列の配列方向において同一直線上に配置されているが、図１１Ｃに示す他の変形例のように、各インク流路列の配列方向において、大径吐出口Ｈ２５０４のみからなる配列と小径吐出口Ｈ２５０５のみからなる配列とが互いにずれている構成としてもよい。

このように、各インク流路列の配列方向において大径吐出口Ｈ２５０４のみからなる配列と小径吐出口Ｈ２５０５のみからなる配列とが互いにずれている構成では、大径吐出口Ｈ２５０４と小径吐出口Ｈ２５０５の各々からインク液を吐出する際に生じる振動が第３インク流路Ｈ２５０３を通って互いに隣接するインク流路の吐出口付近に直接伝わりにくくなるため、インク滴の吐出動作をより安定して行うことが可能になる。

この構成では、第３インク流路Ｈ２５０３の第２インク流路Ｈ２５０２との連通部は、第２インク流路Ｈ２５０２の延長方向における小径吐出口Ｈ２５０５と同じ位置かそれよりも共通液室Ｈ１１０２から離れた位置に位置している。これにより、上述したように第１インク流路Ｈ２５０１内にインクがリフィルされる際に、第２インク流路Ｈ２５０２内の小径吐出口Ｈ２５０５付近のインクが第３インク流路Ｈ２５０３を通って第１インク流路Ｈ２５０１内に供給されることとなる。なお、第３インク流路Ｈ２５０３の第１インク流路Ｈ２５０１との連通部は、図１１Ａに示すように第１インク流路Ｈ２５０１の延長方向において大径吐出口Ｈ２５０４よりも共通液室Ｈ１１０２から離れた位置に位置していてもよく、あるいは、図１１Ｂに示すように第１インク流路Ｈ２５０１の延長方向における大径吐出口Ｈ２５０４と同じ位置に位置していてもよい。

図１３Ａは図１１Ａに示した記録ヘッドの変形例を示す図であり、図１３Ｂは図１１Ｂに示した記録ヘッドの変形例を示す図であり、図１３Ｃは図１１Ｃに示した記録ヘッドの変形例を示す図である。図１３Ａ〜図１３Ｃに示す各変形例では、図１１Ａ〜図１１Ｃに示した構成と異なり、各第２インク流路Ｈ２５０２は所定の一方の側に隣接する第１インク流路Ｈ２５０１にのみ第３インク流路Ｈ２５０３を介して連通した構成になっている。図１３Ａ〜図１３Ｃに示す各変形例のその他の構成は、図１１Ａ〜図１１Ｃに示した対応する各構成と同様である。

図１３Ａ〜図１３Ｃに示す各変形例においても、第２インク流路Ｈ２５０２が第３インク流路Ｈ２５０３を介して連通した第１インク流路Ｈ２５０１の大径吐出口Ｈ２５０４からインク滴が吐出された際には、その第２インク流路Ｈ２５０２内のインクが第３インク流路Ｈ２５０３を通って第１インク流路Ｈ２５０１内にリフィルされるため、第２インク流路Ｈ２５０２の小径吐出口Ｈ２５０５から長時間にわたってインクが吐出されないような場合であっても、第２インク流路Ｈ２５０２内のインクが増粘して発一性が損なわれるのを抑えることができる。

以上のような本実施形態の構成によれば、小径吐出口Ｈ２５０５から長時間にわたってインクが吐出されないような場合であっても、比較的頻繁に使用される大径吐出口Ｈ２５０４からインク滴が吐出された後に第１インク流路Ｈ２５０１内にインクのリフィルが行われる際に、第２インク流路Ｈ２５０２内のインクが第３インク流路Ｈ２５０３を通って第１インク流路Ｈ２５０１内に供給される。その結果、第２インク流路Ｈ２５０２内にインクの流れが生じることから、第２インク流路Ｈ２５０２内に充填されたインクをフレッシュな状態に維持することができるため、小径吐出口Ｈ２５０５からインク滴を吐出する際の発一性が良好になる。そのため、記録ヘッドの記録動作前に予備吐出を行ったり、記録ヘッドを加熱保温したりする必要がなくなるので、記録ヘッドによる記録動作のスループットを向上させることができる。

なお、記録ヘッドＨ１００１の大径吐出口Ｈ２５０４に対応して配置された記録素子（本実施形態では、図４，５に示した電気熱変換素子Ｈ１１０３）と、小径吐出口Ｈ２５０５に対応して配置された記録素子とが、それらに接続された信号線の一部が共通化されているなどの理由で同時に駆動されないような構成となっている場合（すなわち、記録ヘッドＨ１００１が大径吐出口Ｈ２５０４のみからの吐出モードと小径吐出口Ｈ２５０５のみからの吐出モードしか有していない構成の場合）であっても、本実施形態の構成によれば、第１インク流路Ｈ２５０１と第２インク流路Ｈ２５０２とが第３インク流路Ｈ２５０３を介して連通しているので、仮に第２インク流路Ｈ２５０２の入口（共通液室Ｈ１１０２側の端部）がゴミなどで詰まったとしても、第１インク流路Ｈ２５０１及び第３インク流路Ｈ２５０３を介して第２インク流路Ｈ２５０２内にインクを供給することが可能であり、小径吐出口Ｈ２５０５からインク滴を吐出することができる。このことは、上述した駆動方法を採用する記録ヘッドの信頼性を向上させることができることを意味している。

本実施形態の構成では、第１及び第２インク流路Ｈ２５０１，Ｈ２５０２の共通液室Ｈ１１０２側の端部にフィルタを設けてもよく、それらのフィルタの径は各インク流路に設けられた吐出口Ｈ２５０４，Ｈ２５０５の径と同じかそれよりも若干小さくすることが好ましい。この場合、第２インク流路Ｈ２５０２に設けられるフィルタの径は第１インク流路Ｈ２５０１に設けられるフィルタの径に比べて小さくなるため、その大きさによってはフィルタを通じた第２インク流路Ｈ２５０２へのリフィル速度が遅くなる恐れがある。しかし、たとえ第２インク流路Ｈ２５０２の端部からのリフィル速度が遅くなったとしても、第１インク流路Ｈ２５０１及び第３インク流路Ｈ２５０３を介しても第２インク流路Ｈ２５０２内にインクが供給されるので、その影響を僅かに抑えることが可能である。

本発明の一実施形態における記録ヘッドカートリッジを示す斜視図である。図１に示した記録ヘッドの構成を示す分解斜視図である。図２に示した記録ヘッドを更に細かく分解した状態を示す分解斜視図である。本発明の一実施形態における記録素子基板の構成を、一部を切り欠いた状態で示す斜視図である。本発明の一実施形態における他の記録素子基板の構成を、一部を切り欠いた状態で示す斜視図である。本発明の一実施形態における記録ヘッドカートリッジの要部断面図である。本発明の一実施形態における記録素子ユニットの要部を分解した状態で模式的に示す断面図である。本発明の一実施形態における記録素子ユニットの要部を模式的に示す断面図である。本発明の一実施形態における記録素子ユニットとインク供給ユニットとを組み立てた状態で示す斜視図である。本発明の一実施形態における記録ヘッドの底面側を示す斜視図である。本発明の一実施形態における記録素子ユニットの要部の拡大断面図である。本発明の一実施形態に係る記録ヘッドの吐出口形成面を示す平面図である。本発明の一実施形態に係る記録ヘッドの変形例の吐出口形成面を示す平面図である。本発明の一実施形態に係る記録ヘッドの他の変形例の吐出口形成面を示す平面図である。図１１Ａに示した構成の記録ヘッドにおける第１インク流路、第２インク流路、および第３インク流路の流路幅を示す図である。図１１Ａに示した記録ヘッドの変形例の吐出口形成面を示す平面図である。図１１Ｂに示した記録ヘッドの変形例の吐出口形成面を示す平面図である。図１１Ｃに示した記録ヘッドの変形例の吐出口形成面を示す平面図である。従来の記録ヘッドの吐出口形成面を示す平面図である。従来の他の記録ヘッドの吐出口形成面を示す平面図である。

符号の説明

Ｈ１１０２共通液室
Ｈ１１０３電気熱変換素子
Ｈ２５０１第１インク流路
Ｈ２５０２第２インク流路
Ｈ２５０３第３インク流路
Ｈ２５０４大径吐出口
Ｈ２５０５小径吐出口

Claims

インクを吐出する複数の吐出口と、該複数の吐出口のそれぞれに対応して設けられ、該複数の吐出口から前記インクを吐出するために利用されるエネルギーを発生する複数の記録素子と、前記複数の吐出口に連通し、前記複数の記録素子のそれぞれに対応して設けられた複数のインク流路と、該複数のインク流路に前記インクを供給する共通液室とを有し、
前記複数のインク流路には比較的大径の吐出口に連通した第１インク流路と比較的小径の吐出口に連通した第２インク流路とが含まれており、前記第１インク流路と前記第２インク流路とが互いに隣り合うように交互に配置されているインクジェット記録ヘッドにおいて、
前記第１インク流路と前記第２インク流路とを互いに連通させる第３インク流路をさらに有していることを特徴とするインクジェット記録ヘッド。
前記第１インク流路と前記第２インク流路は、前記共通液室を間に挟んで前記共通液室の両側に平行に並んだインク流路列を成しており、
一方の前記インク流路列は、前記共通液室を間に挟んで平行に並んだ他方の前記インク流路列に対して、前記インク流路列の配列方向に対して垂直な方向において互いの前記第１インク流路と前記第２インク流路とが対向するように配置されている、請求項１に記載のインクジェット記録ヘッド。
前記第１および第２インク流路はそれぞれ前記インク流路列の配列方向に対して垂直な方向に延びており、
前記第３インク流路の前記第２インク流路との連通部は、前記第２インク流路の延長方向における前記比較的小径の吐出口と同じ位置かそれよりも前記共通液室から離れた位置に位置している、請求項２に記載のインクジェット記録ヘッド。
前記第２インク流路と前記第３インク流路との流抵抗の和が前記第１インク流路の流抵抗より大きい、請求項１から３のいずれか１項に記載のインクジェット記録ヘッド。
前記第３インク流路は、前記第２インク流路との連通部から前記第１インク流路との連通部に向かって断面積が徐々に小さくなる形状を有している、請求項１から４のいずれか１項に記載のインクジェット記録ヘッド。
前記第２インク流路は、前記第２インク流路の両側に隣接する前記第１インク流路に前記第３インク流路を介して連通している、請求項１から５のいずれか１項に記載のインクジェット記録ヘッド。
前記第２インク流路は、前記第２インク流路の所定の一方の側に隣接する前記第１インク流路に前記第３インク流路を介して連通している、請求項１から５のいずれか１項に記載のインクジェット記録ヘッド。