JP2006269957A - 圧電素子およびその製造方法、インクジェット式記録ヘッド、並びに、インクジェットプリンタ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 本発明に係る圧電素子10の製造方法は,
基板1の上方に第1電極4を形成する工程と、
第1電極4の上方に、ペロブスカイト構造を有する圧電体からなる圧電体層5を形成する工程と、
圧電体層5の上方に第2電極6を形成する工程と、を含み、
第1電極4を形成する工程は、
ニッケル含有層41を形成する工程と、
ニッケル含有層41の上方に、立方晶(100)に配向するようにニッケル酸ランタン層42を形成する工程と,を含む。
【選択図】 図1
Description
基板の上方に第1電極を形成する工程と、
前記第1電極の上方に、ペロブスカイト構造を有する圧電体からなる圧電体層を形成する工程と、
前記圧電体層の上方に第2電極を形成する工程と、を含み、
前記第1電極を形成する工程は、
ニッケル含有層を形成する工程と、
前記ニッケル含有層の上方に、立方晶(100)に配向するようにニッケル酸ランタン層を形成する工程と、を含む。
前記ニッケル含有層は、ニッケルおよび酸化ニッケルのうちの少なくとも一方を含むことができる。
前記ニッケル酸ランタン層を形成する工程中または該工程後に、前記ニッケル含有層から、ニッケルおよび酸化ニッケルのうちの少なくとも一方を、前記ニッケル酸ランタン層に拡散させることができる。
前記ニッケルおよび前記酸化ニッケルのうちの少なくとも一方の拡散は、熱処理により行われることができる。
前記ニッケル含有層と、前記ニッケル酸ランタン層とは、接するように形成されることができる。
前記第1電極を形成する工程は、ニッケル酸ランタンに比べ比抵抗が低い導電材からなる低抵抗層を形成する工程を有することができる。
前記導電材は、金属、該金属の酸化物、および該金属からなる合金のうちの少なくとも1種を含み、
前記金属は、Pt、Ir、Ru、Ag、Au、Cu、Al、およびNiのうちの少なくとも1種であることができる。
前記ニッケル酸ランタン層は、前記低抵抗層の上方に形成されることができる。
前記ニッケル酸ランタン層と前記圧電体層とは、接するように形成されることができる。
前記圧電体は、菱面体晶、または、正方晶と菱面体晶との混晶であり、かつ(100)に配向することができる。
基板と、
前記基板の上方に形成された第1電極と、
前記第1電極の上方に形成された、ペロブスカイト構造を有する圧電体からなる圧電体層と、
前記圧電体層の上方に形成された第2電極と、を含み、
前記第1電極は、
ニッケル含有層と、
前記ニッケル含有層の上方に形成された、立方晶(100)に配向しているニッケル酸ランタン層と、を含む。
前記ニッケル含有層は、ニッケルおよび酸化ニッケルのうちの少なくとも一方を含むことができる。
前記ニッケル含有層と、前記ニッケル酸ランタン層とは、接していることができる。
1−1. まず、第1の実施形態に係る圧電素子10について説明する。
2−1. 次に、第1の実施形態に係る圧電素子10を有するインクジェット式記録ヘッドの一実施形態について説明する。図7は、本実施形態に係るインクジェット式記録ヘッドの概略構成を示す側断面図であり、図8は、このインクジェット式記録ヘッドの分解斜視図である。なお、図8は、通常使用される状態とは上下逆に示したものである。
3−1. 次に、第2の実施形態に係るインクジェット式記録ヘッド50を有するインクジェットプリンタの一実施形態について説明する。図11は、本実施形態に係るインクジェットプリンタ600を示す概略構成図である。インクジェットプリンタ600は、紙などに印刷可能なプリンタとして機能することができる。なお、以下の説明では、図11中の上側を「上部」、下側を「下部」と言う。
Claims (16)
- 基板の上方に第1電極を形成する工程と、
前記第1電極の上方に、ペロブスカイト構造を有する圧電体からなる圧電体層を形成する工程と、
前記圧電体層の上方に第2電極を形成する工程と、を含み、
前記第1電極を形成する工程は、
ニッケル含有層を形成する工程と、
前記ニッケル含有層の上方に、立方晶(100)に配向するようにニッケル酸ランタン層を形成する工程と、を含む、圧電素子の製造方法。 - 請求項1において、
前記ニッケル含有層は、ニッケルおよび酸化ニッケルのうちの少なくとも一方を含む、圧電素子の製造方法。 - 請求項2において、
前記ニッケル酸ランタン層を形成する工程中または該工程後に、前記ニッケル含有層から、ニッケルおよび酸化ニッケルのうちの少なくとも一方を、前記ニッケル酸ランタン層に拡散させる、圧電素子の製造方法。 - 請求項3において、
前記ニッケルおよび前記酸化ニッケルのうちの少なくとも一方の拡散は、熱処理により行われる、圧電素子の製造方法。 - 請求項1〜4のいずれかにおいて、
前記ニッケル含有層と、前記ニッケル酸ランタン層とは、接するように形成される、圧電素子の製造方法。 - 請求項1〜5のいずれかにおいて、
前記第1電極を形成する工程は、ニッケル酸ランタンに比べ比抵抗が低い導電材からなる低抵抗層を形成する工程を有する、圧電素子の製造方法。 - 請求項6において、
前記導電材は、金属、該金属の酸化物、および該金属からなる合金のうちの少なくとも1種を含み、
前記金属は、Pt、Ir、Ru、Ag、Au、Cu、Al、およびNiのうちの少なくとも1種である、圧電素子の製造方法。 - 請求項6または7において、
前記ニッケル酸ランタン層は、前記低抵抗層の上方に形成される、圧電素子の製造方法。 - 請求項1〜8のいずれかにおいて、
前記ニッケル酸ランタン層と前記圧電体層とは、接するように形成される、圧電素子の製造方法。 - 請求項1〜9のいずれかにおいて、
前記圧電体は、菱面体晶、または、正方晶と菱面体晶との混晶であり、かつ(100)に配向する、圧電素子の製造方法。 - 請求項1〜10のいずれかに記載の圧電素子の製造方法により得られる圧電素子。
- 基板と、
前記基板の上方に形成された第1電極と、
前記第1電極の上方に形成された、ペロブスカイト構造を有する圧電体からなる圧電体層と、
前記圧電体層の上方に形成された第2電極と、を含み、
前記第1電極は、
ニッケル含有層と、
前記ニッケル含有層の上方に形成された、立方晶(100)に配向しているニッケル酸ランタン層と、を含む、圧電素子。 - 請求項12において、
前記ニッケル含有層は、ニッケルおよび酸化ニッケルのうちの少なくとも一方を含む、圧電素子。 - 請求項12または13において、
前記ニッケル含有層と、前記ニッケル酸ランタン層とは、接している、圧電素子。 - 請求項11〜14のいずれかに記載の圧電素子を有する、インクジェット式記録ヘッド。
- 請求項15に記載のインクジェット式記録ヘッドを有する、インクジェットプリンタ。
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