JP2006250649A - 走査型プローブ顕微鏡 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 探針13をX−Y−Z軸方向に移動させる探針側スキャナ10と試料12をX−Y−Z軸方向に移動させる試料側スキャナ11の2つのスキャナを設ける。探針側スキャナ10として最大走査範囲の小さいスキャナ、試料側スキャナ11として最大走査範囲の大きいスキャナを使用し、観察対象や観察目的に応じて両者を切り替えて使用する。あるいは、探針側スキャナ10で微小領域の走査を行うと共に、試料側スキャナ11によって観察視野を移動させる。
【選択図】 図1
Description
a)探針をX−Y−Z軸方向に移動させる探針移動機構と、
b)試料をX−Y−Z軸方向に移動させる試料移動機構と、
を有することを特徴とする。
c)上記探針移動機構を用いて試料表面のデータを取得する微小領域観察手段と、
d)上記試料移動機構を用いて試料表面のデータを取得する広域観察手段と、
を有し、前記微小領域観察手段と前記広域観察手段とを切り替えることにより、観察視野の広さを変化させることを特徴とする。
c)上記探針移動機構を用いて試料表面のデータを取得する微小領域観察手段と、
d)上記試料移動機構を用いて観察視野を移動させる観察視野移動手段と、
を有し、前記観察視野移動手段によって観察視野を移動させながら、前記微小領域観察手段による試料表面のデータの取得を行うことを特徴とする。
e)上記試料移動機構の位置を検出する位置センサと、
f)前記位置センサによって検出された前記試料移動機構の位置情報に基づいて該試料移動機構の非線形性を補正する非線形性補正手段と、
を有することを特徴とする。
g)熱ドリフトによる観察視野の移動方向及び移動量を検出するドリフト検出手段と、
h)前記ドリフト検出手段によって検出された観察視野の移動方向及び移動量に基づいて上記試料移動機構を制御することにより、熱ドリフトを補正するドリフト補正手段と、
を有することを特徴とする。
図1に、本発明の走査型プローブ顕微鏡の一実施例である原子間力顕微鏡の概略構成を示す。本実施例の原子間力顕微鏡は、上面に試料12を保持し、該試料12をX−Y軸方向に走査すると共にZ軸方向に変位させることのできる試料側スキャナ11と、探針13を備えたカンチレバー14に装着され、探針13をX−Y軸方向に走査すると共にZ軸方向に変位させることのできる探針側スキャナ10とを備えている。
本実施例の原子間力顕微鏡は、上記実施例1の原子間力顕微鏡に試料側スキャナ11の位置を検出するための位置センサ24を設けたものである。このような構成とすることにより、位置センサ24からの信号をスキャナ制御部20にフィードバックして、圧電素子の非線形性に起因するスケール誤差を補償することができる。したがって、本実施例の原子間力顕微鏡によれば、上述のように試料側スキャナ11と探針側スキャナ10を併用して、高解像度で広範囲の観察を行うような場合にも、線形性を保ったまま試料12を広範囲で移動させることができ、従来困難であった試料の正確な位置決めと高分解能観察とを両立させることが可能となる。
10a,11a…圧電素子
11…試料側スキャナ
12、32…試料
13、33…探針
14、34…カンチレバー
15、35…レーザー光源
16、36…光検出器
17…探針側スキャナ駆動部
18…試料側スキャナ駆動部
19…変位量算出部
20…スキャナ制御部
21…制御/処理部
22…モニタ
23…入力部
24…位置センサ
Claims (6)
- 微小な探針によって試料の表面を走査することにより、試料表面の3次元形状や物理量を検出する走査型プローブ顕微鏡において、
a)探針をX−Y−Z軸方向に移動させる探針移動機構と、
b)試料をX−Y−Z軸方向に移動させる試料移動機構と、
を有することを特徴とする走査型プローブ顕微鏡。 - 上記試料移動機構のX−Y軸方向の可動範囲が、上記探針移動機構のX−Y軸方向の可動範囲よりも大きいことを特徴とする請求項1に記載の走査型プローブ顕微鏡。
- 更に、
c)上記探針移動機構を用いて試料表面のデータを取得する微小領域観察手段と、
d)上記試料移動機構を用いて試料表面のデータを取得する広域観察手段と、
を有し、前記微小領域観察手段と前記広域観察手段とを切り替えることにより、観察視野の広さを変化させることを特徴とする請求項2に記載の走査型プローブ顕微鏡。 - 更に、
c)上記探針移動機構を用いて試料表面のデータを取得する微小領域観察手段と、
d)上記試料移動機構を用いて観察視野を移動させる観察視野移動手段と、
を有し、前記観察視野移動手段によって観察視野を移動させながら、前記微小領域観察手段による試料表面のデータの取得を行うことを特徴とする請求項2に記載の走査型プローブ顕微鏡。 - 更に、
e)上記試料移動機構の位置を検出する位置センサと、
f)前記位置センサによって検出された前記試料移動機構の位置情報に基づいて該試料移動機構の非線形性を補正する非線形性補正手段と、
を有することを特徴とする請求項3又は4に記載の走査型プローブ顕微鏡。 - 更に、
g)熱ドリフトによる観察視野の移動方向及び移動量を検出するドリフト検出手段と、
h)前記ドリフト検出手段によって検出された観察視野の移動方向及び移動量に基づいて上記試料移動機構を制御することにより、熱ドリフトを補正するドリフト補正手段と、
を有することを特徴とする請求項3〜5のいずれかに記載の走査型プローブ顕微鏡。
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