JP4032272B2 - 走査型プローブ顕微鏡 - Google Patents
走査型プローブ顕微鏡 Download PDFInfo
- Publication number
- JP4032272B2 JP4032272B2 JP14434899A JP14434899A JP4032272B2 JP 4032272 B2 JP4032272 B2 JP 4032272B2 JP 14434899 A JP14434899 A JP 14434899A JP 14434899 A JP14434899 A JP 14434899A JP 4032272 B2 JP4032272 B2 JP 4032272B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- sample
- microscope
- optical path
- optical
- cantilever
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01Q—SCANNING-PROBE TECHNIQUES OR APPARATUS; APPLICATIONS OF SCANNING-PROBE TECHNIQUES, e.g. SCANNING PROBE MICROSCOPY [SPM]
- G01Q30/00—Auxiliary means serving to assist or improve the scanning probe techniques or apparatus, e.g. display or data processing devices
- G01Q30/02—Non-SPM analysing devices, e.g. SEM [Scanning Electron Microscope], spectrometer or optical microscope
- G01Q30/025—Optical microscopes coupled with SPM
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01Q—SCANNING-PROBE TECHNIQUES OR APPARATUS; APPLICATIONS OF SCANNING-PROBE TECHNIQUES, e.g. SCANNING PROBE MICROSCOPY [SPM]
- G01Q20/00—Monitoring the movement or position of the probe
- G01Q20/02—Monitoring the movement or position of the probe by optical means
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Nuclear Medicine, Radiotherapy & Molecular Imaging (AREA)
- Radiology & Medical Imaging (AREA)
- Measurement Of Length, Angles, Or The Like Using Electric Or Magnetic Means (AREA)
- Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)
Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、走査型プローブ顕微鏡に関する。
【0002】
【従来の技術】
金属,半導体,セラミック,樹脂等の表面観察やあらさの測定、液晶,高分子,蒸着膜などの薄膜の観察等のために表面観察が行われる。試料の微細な表面形状を検査する装置として、探針(プローブ)と試料表面間に働く原子間力を測定する原子間力顕微鏡(AFM)による走査型プローブ顕微鏡(SPM)が知られている。
【0003】
原子間力顕微鏡(AFM)は、探針及び探針を支持するカンチレバーと、このカンチレバーの曲がりを検出する変位検出系とを備え、探針と試料との間の原子間力(引力または斥力)を検出し、この原子間力が一定となるように制御することによって、試料表面の形状を観察するものであり、生物,有機分子,絶縁物等の非導電物質の観察を行うことができる。
【0004】
図7は走査型プローブ顕微鏡(SPM)の一構成例を説明するための概略図である。レーザーダイオード8の出力光をレンズ9aやミラー9b等の光学系9及びビームスプリッター4を介してカンチレバー3に照射し、その反射光を受光するフォトダイオード10と、試料Sを支持し走査するスキャナー(ピエゾチューブ)21を備え、フォトダイオード10及びスキャナー21によって試料S上に配置したカンチレバー3の変位を検出して、試料Sの表面形状を観察する。また、試料S上の分析点の位置決め等を行うために観察窓(図示していない)を介して光学顕微鏡30やCCDなどが設けられ、観察窓側へのレーザー光の入射を防止するために、レーザー光を低減する青色フィルター5が設けられている。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】
従来の走査型プローブ顕微鏡(SPM)は、カンチレバー変位測定用のレーザー光と光学顕微鏡用の光路とを分離するビームスプリッター及びレーザー光を低減する青色フィルターが、試料と光学顕微鏡とを結ぶ光路上に固定された構成であるため、試料の光学顕微鏡によって観察する場合に視認性の点で問題がある。
【0006】
従来の走査型プローブ顕微鏡(SPM)において、試料を光学顕微鏡で観察し、探針の位置を位置決めして走査領域や設定する場合、(a)試料を斜め方向から観察したり、(b)試料を上方からビームスプリッターや青色フィルターを通して観察したり、あるいは(c)探針及び変位検出系と共にビームスプリッターや青色フィルターが固定されたヘッドを移動する等によって観察している。
【0007】
しかしながら、上記(a),(b),(c)の各観察は、光学顕微鏡の視認性の点で以下に示すような問題がある。図8は従来の走査型プローブ顕微鏡の光学顕微鏡観察における問題を説明するための図である。図8(d)は走査型プローブ顕微鏡による測定状態を示しており、カンチレバー3で反射されたレーザー光をフォトダイオード10で検出することによって試料Sの表面形状を測定する。
【0008】
図8(a)に示すように、試料を斜め方向の視点Oから観察すると、試料上の点はカンチレバー3の探針の先端位置Pからずれた位置Qとなり、正確な位置決めがむずかしいという問題がある。また、図8(b)に示すように、試料を上方からビームスプリッターや青色フィルターを通して観察すると、試料の光像はビームスプリッター及び青色フィルターを通過する間に光量が減少して光学顕微鏡の集光量が不足がちになり、素通しの状態で光学顕微鏡観察を行う場合に比べて視認性が劣るという問題がある。
【0009】
また、図8(c)に示すように、ヘッドを移動した場合には、ビームスプリッターや青色フィルターを通すことなく試料を観察することができるが、探針も移動するため、観察によって定めた位置と探針位置との間に位置ずれが生じるという問題がある。
【0010】
そこで、本発明は前記した従来の走査型プローブ顕微鏡の問題点を解決し、高い視認性で光学顕微鏡観察による位置決めを行うことができる走査型プローブ顕微鏡を提供することを目的とする。
【0011】
【課題を解決するための手段】
本発明の走査型プローブ顕微鏡は、探針を備えるカンチレバーと、試料を探針に対して少なくとも2次元の方向に走査するスキャナーと、カンチレバーの変位を検出する変位検出系とを備える走査型プローブ顕微鏡であって、試料に対してカンチレバーの位置関係を固定した状態において、変位検出系のレーザー光測定光路と試料を観察する光学顕微鏡光路とを分離するビームスプリッターとレーザー光保護用のフィルターの少なくともいずれか一方を、光学顕微鏡光路から退避させる移動機構を備える。
【0012】
ビームスプリッターはレーザー光測定光路と光学顕微鏡光路上に配置することによって、レーザー光源から出力されたレーザー光を試料側に導くレーザー光測定光路と、試料の光学像を光学顕微鏡に導く光学顕微鏡光路とを、レーザー光が光学顕微鏡に向かわないように分離して形成するものである。また、レーザー光保護用のフィルターはレーザー光を低減するフィルターであって、光学顕微鏡光路上にレーザー光が存在する場合であっても、該レーザー光を低減して光学顕微鏡に対する安全を図るものである。ビームスプリッター及びレーザー光保護用のフィルターは、何れも光学顕微鏡光路上にある場合、光学顕微鏡への光学像の光量を減少させる要因となる。
【0013】
本発明の移動機構は、ビームスプリッターと光保護用のフィルターの両方あるいは一方を光学顕微鏡光路から退避させる移動を行うものであり、この退避移動によって、光学顕微鏡光路から光学像の光量を減少させる要因を除去し、光学顕微鏡による観察において光量の低減を抑制して視認性を高める。ビームスプリッターと光保護用のフィルターの一方を光学顕微鏡光路から退避させる場合よりも、両方を退避させる場合の方が視認性をより高めることができるが、一方のみを退避させる場合であっても、従来の走査型プローブ顕微鏡と比較して視認性を高めることができる。
【0014】
また、本発明の移動機構は、試料に対してカンチレバーの位置関係を固定した状態で退避移動を行うことによって、光学顕微鏡観察とレーザー光測定とにおいて試料とカンチレバーとの位置関係は不変であるため、光学顕微鏡観察による位置決めで定めた位置と探針位置との間に位置ずれを起こすことなく測定を行うことができる。
【0015】
また、移動機構は、退避させたビームスプリッター及び光保護用のフィルターを光学顕微鏡光路上に戻し、これによってレーザー光測定を行うことができる。移動機構は、ビームスプリッター及び又はレーザー光保護用フィルターを光学顕微鏡光路に対して移動させる形態として、測定部のヘッドに対するスライドあるいは引き出す形態、測定部のヘッドに対して跳ね上げる形態、測定部のヘッドして回転させる形態等を採用することができる。
【0016】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態を図を参照しながら詳細に説明する。図1,2は、本発明の走査型プローブ顕微鏡の概略を説明するためのブロック図であり、図2は本発明の移動機構によってビームスプリッターとレーザー光保護用フィルターをヘッドに装着した状態を示している。なお、図1,2は走査型プローブ顕微鏡が備える測定部を示し、走査部については一部のみ示している。
【0017】
走査型プローブ顕微鏡は測定部1と走査部(図1,2ではスキャナー2のみ示している)を備え、探針を備えるカンチレバー6と、試料(図2中のS)を探針に対して少なくとも2次元の方向に走査するスキャナー2と、カンチレバー6の変位を検出する変位検出系を備える。
【0018】
変位検出系は、レーザー光を出力するレーザーダイオードや、レーザー光を試料Sに導くレンズやミラー等の光学系、ビームスプリッターや、カンチレバーの反射光を受光するフォトディテクター等を備え、測定部1のヘッド11内に収納される。ヘッド11には、各構成要素の位置調整を行うために、フォトディテクター位置調整つまみ14、レーザーダイオード位置調整つまみ15、ミラー調整つまみ16等が設けられ、さらに、試料Sの交換を容易に行うためにヘッド11をステージ20に対して移動させるレバー13を備える。カンチレバー6はホルダ7を利用してヘッド11の取り付けられる。また、ヘッド11には観察窓12が設けられ、該観察窓12を通して光学顕微鏡等によって試料を観察することができる。
【0019】
本発明の走査型プローブ顕微鏡は、変位検出系のレーザー光測定光路と試料を観察する光学顕微鏡光路とを分離するビームスプリッター4と、レーザー光保護用のフィルター5とをヘッド11に対して移動して、光学顕微鏡光路から退避させる移動機構を備える。図1,2は引き出し式にスライド移動させる移動機構3aの例を示している。移動機構3aは青色フィルター等のレーザー光保護用フィルター5にビームスプリッター4を接着したものを、ヘッド11の形成した案内溝に沿って導出入させる構成である。
【0020】
ヘッド11内において、試料Sと観察窓12とを結ぶ光路によって光学顕微鏡光路が形成されている。移動機構3aは、その導出動作によって、ビームスプリッター4及びレーザー光保護用フィルター5を光学顕微鏡光路から退避させる。この退避動作によって、ビームスプリッター4及びレーザー光保護用フィルター5は光学顕微鏡光路上には存在しなくなり、試料S及びカンチレバー6の探針の光学像は、ビームスプリッター4及びレーザー光保護用フィルター5を通ることなく光学顕微鏡側に導かれる。
【0021】
また、移動機構3aは、その導入動作によって、ビームスプリッター4及びレーザー光保護用フィルター5を光学顕微鏡光路上に復帰させる。この復帰動作によって、ビームスプリッター4及びレーザー光保護用フィルター5は光学顕微鏡光路上に位置し、ビームスプリッター4によってレーザー光測定光路が形成され、レーザー光保護用フィルター5によって光学顕微鏡側に対するレーザー光の保護を行う。
【0022】
なお、図1,2の構成例による移動機構3aは、ビームスプリッター4及びレーザー光保護用フィルター5をヘッド11から引き出し式に取り外すことができる構成としているが、ヘッド11に対して単にスライド移動可能な構成とすることもできる。
【0023】
試料Sの取付けは、図2に示すようにヘッド11をステージ20に対して移動させ、ステージ20に切り欠き部21に設置したスキャナー2を露出させ、該スキャナー2上に試料Sを配置することによって行う。なお、この試料取付けの際には、ヘッド11を移動させることによって、試料Sは光学顕微鏡光路からずれるが、ヘッド11を元の位置に戻すことによって、試料Sは光学顕微鏡光路上に位置することになる。この試料Sを光学顕微鏡光路上に戻した段階で、移動機構によってビームスプリッター4及びレーザー光保護用フィルター5を光学顕微鏡光路から退避させることによって、高い視認性で位置決めを行うことができる。
【0024】
図3,4は本発明の移動機構の動作を説明するための光路とを示す概略図である。図3(a)はビームスプリッター4及びレーザー光保護用フィルター5を光学顕微鏡光路Aから退避させた状態を示し、図3(b)はビームスプリッター4及びレーザー光保護用フィルター5を光学顕微鏡光路A上の復帰させた状態を示している。
【0025】
図3(a)において、移動機構によってビームスプリッター4及びレーザー光保護用フィルター5を光学顕微鏡光路Aから退避させると、光学顕微鏡30は試料Sを直接に見通すことができ、試料S及びカンチレバー3の探針の光学像を少ない光量減少で観察することができる。
【0026】
なお、このとき、レーザーダイオード8から出力されたレーザー光は、ビームスプリッター4が退避しているため、光学顕微鏡光路Aと無関係となり、光学顕微鏡30に対する影響を全く回避することができる。
【0027】
図4はこの時のレーザー光の光路状態を示している。光学顕微鏡は試料Sの測定点Pをビームスプリッター4及びレーザー光保護用フィルター5を通すことなく直接に観察することができ、レーザー光も光学顕微鏡光路に無関係とすることができる。
【0028】
図3(b)において、移動機構によってビームスプリッター4及びレーザー光保護用フィルター5を光学顕微鏡光路Aに復帰させることによって、レーザー光ダイオード8と試料Sとを結ぶレーザー光測定光路Bを形成することができ、カンチレバー3の変位検出を行うことができる。
【0029】
このとき、本発明の移動機構において、ビームスプリッター4の移動方向をビームスプリッター4の反射面4aと平行とすることによって、ビームスプリッター4の位置合わせが容易となるという効果を奏することができる。図3(b)中のC及びDは、ビームスプリッター4を復帰させたときの位置を示している。ビームスプリッター4をビームスプリッター4の反射面4aと平行に移動させると、レーザー光と反射面4aとの角度関係は、ビームスプリッター4の位置にかかわらず一定となる。したがって、ビームスプリッター4を高い位置決め精度で行う必要がなく、位置合わせを容易とすることができる。
【0030】
図5,6は本発明の他の移動機構3a及び移動機構3bを説明するための図である。
図5に示す移動機構3b、ビームスプリッター4及びレーザー光保護用フィルター5を跳ね上げ動作で退避させる機構例である。移動機構3bはヘッド11に対してヒンジ機構等によって回動させ、跳ね上げ動作によってビームスプリッター4及びレーザー光保護用フィルター5を光学顕微鏡光路から退避させる。この退避動作によって、観察窓12を通して試料Sを直接に観察することができる。
【0031】
図6に示す移動機構3cは、ビームスプリッター4及びレーザー光保護用フィルター5を回転動作で退避させる機構例である。移動機構3cはヘッド11に対して軸機構等によって回転させてビームスプリッター4及びレーザー光保護用フィルター5を光学顕微鏡光路から退避させる。この退避動作によって、観察窓12を通して試料Sを直接に観察することができる。
【0032】
上記した各移動機構では、ビームスプリッター及びレーザー光保護用フィルターと共に移動する構成例としているが、いずれか一方のみを移動可能とし、他方を固定する構成とすることもできる。
【0033】
【発明の効果】
以上説明したように、走査型プローブ顕微鏡によれば、視認性を高め、光学顕微鏡観察による位置決めを容易とすることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の走査型プローブ顕微鏡の概略を説明するためのブロック図である。
【図2】本発明の走査型プローブ顕微鏡の概略を説明するためのブロック図である。
【図3】本発明の移動機構の動作を説明するための光路とを示す概略図である。
【図4】本発明の移動機構の動作を説明するための光路とを示す概略図である。
【図5】本発明の他の移動機構を説明するための図である。
【図6】本発明の他の移動機構を説明するための図である。
【図7】走査型プローブ顕微鏡(SPM)の一構成例を説明するための概略図である。
【図8】従来の走査型プローブ顕微鏡の光学顕微鏡観察における問題を説明するための図である。
【符号の説明】
1…測定部、2…スキャナー(走査部)、3…移動機構、4…ビームスプリッター、4a…反射面、5…レーザー光保護用フィルター、6…カンチレバー、7…ホルダ、8…レーザーダイオード、9…光学系、10…フォトダイオード、11…ヘッド、12…観察窓、13…レバー、14…フォトディクター位置調整つまみ、15…レーザーダイオード位置調整つまみ、16…ミラー調整つまみ、20…ステージ、21…切り欠き部、30…光学顕微鏡、S…試料。
Claims (3)
- 探針を備えるカンチレバーと、試料を探針に対して少なくとも2次元の方向に走査するスキャナと、カンチレバーの変位を検出する変位検出系とを備える走査型プローブ顕微鏡であって、
試料に対してカンチレバーの位置関係を固定した状態において、変位検出系のレーザー光測定光路と試料を観察する光学顕微鏡光路とを分離するビームスプリッターとレーザー光保護用のフィルターを、ビームスプリッターの反射面に平行に移動して光学顕微鏡光路から退避させる移動機構を備える、走査型プローブ顕微鏡。 - 探針を備えるカンチレバーと、試料を探針に対して少なくとも2次元の方向に走査するスキャナと、カンチレバーの変位を検出する変位検出系とを備える走査型プローブ顕微鏡であって、
試料に対してカンチレバーの位置関係を固定した状態において、変位検出系のレーザー光測定光路と試料を観察する光学顕微鏡光路とを分離するビームスプリッターとレーザー光保護用のフィルターを、ヒンジ機構の回動による跳ね上げ動作によって光学顕微鏡光路から退避させる移動機構を備える、走査型プローブ顕微鏡。 - 探針を備えるカンチレバーと、試料を探針に対して少なくとも2次元の方向に走査するスキャナと、カンチレバーの変位を検出する変位検出系とを備える走査型プローブ顕微鏡であって、
試料に対してカンチレバーの位置関係を固定した状態において、変位検出系のレーザー光測定光路と試料を観察する光学顕微鏡光路とを分離するビームスプリッターとレーザー光保護用のフィルターを、軸機構の回転によって光学顕微鏡光路から退避させる移動機構を備える、走査型プローブ顕微鏡。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP14434899A JP4032272B2 (ja) | 1999-05-25 | 1999-05-25 | 走査型プローブ顕微鏡 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP14434899A JP4032272B2 (ja) | 1999-05-25 | 1999-05-25 | 走査型プローブ顕微鏡 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2000338027A JP2000338027A (ja) | 2000-12-08 |
JP4032272B2 true JP4032272B2 (ja) | 2008-01-16 |
Family
ID=15360023
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP14434899A Expired - Lifetime JP4032272B2 (ja) | 1999-05-25 | 1999-05-25 | 走査型プローブ顕微鏡 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4032272B2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US10088499B2 (en) | 2016-10-19 | 2018-10-02 | Shimadzu Corporation | Scanning probe microscope |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN1322322C (zh) * | 2004-12-02 | 2007-06-20 | 中国科学院上海光学精密机械研究所 | 量子相干显微探测装置 |
JP4432806B2 (ja) | 2005-03-09 | 2010-03-17 | 株式会社島津製作所 | 走査型プローブ顕微鏡 |
-
1999
- 1999-05-25 JP JP14434899A patent/JP4032272B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US10088499B2 (en) | 2016-10-19 | 2018-10-02 | Shimadzu Corporation | Scanning probe microscope |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2000338027A (ja) | 2000-12-08 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5792792B2 (ja) | 試料表面を結像する装置 | |
US6998602B2 (en) | Method of and an apparatus for measuring a specimen by means of a scanning probe microscope | |
KR100192097B1 (ko) | 원자간력현미경 | |
JP3501605B2 (ja) | 干渉計及び形状測定装置 | |
US4959552A (en) | Microscope arranged for measuring microscopic structures | |
US7692138B1 (en) | Integrated scanning probe microscope and confocal microscope | |
JP2005517911A (ja) | 走査型プローブ顕微鏡 | |
JP4751156B2 (ja) | オートコリメータ及びそれを用いた角度測定装置 | |
JP4032272B2 (ja) | 走査型プローブ顕微鏡 | |
EP0652414B1 (en) | Scanning near-field optic/atomic force microscope | |
US8508748B1 (en) | Inspection system with fiber coupled OCT focusing | |
JP3101582B2 (ja) | 斜光軸光学系を用いた位置検出装置及び方法 | |
EP1879015B1 (en) | Heterodyne laser doppler probe and measurement system using the same | |
JP2001124688A (ja) | 走査形プローブ顕微鏡および走査形プローブ顕微鏡における光学像観察方法 | |
KR20080110229A (ko) | 원자 탐침 현미경의 헤드 모듈부 | |
US10564181B2 (en) | Atomic force microscope with optical guiding mechanism | |
EP3418678A1 (en) | Method and detector for imaging in correlation with interferometry | |
JP2004301728A (ja) | 顕微鏡対物レボルバ取付型走査型プローブユニット | |
JP4500033B2 (ja) | 近接場光学顕微鏡 | |
KR20220079877A (ko) | 스캐닝 프로브 현미경을 이용하여 표면을 이미징 하는 방법 | |
JPH06160077A (ja) | 走査型プローブ顕微鏡に組み込む観察光学系 | |
JPH07174768A (ja) | 走査型プローブ顕微鏡 | |
JP2004333441A (ja) | スキャナシステム、及びこれを用いた走査型プローブ顕微鏡 | |
JPH09264896A (ja) | 走査型力顕微鏡の変位検出装置 | |
JPH0626853A (ja) | 原子間力顕微鏡 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20050802 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20070412 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20070419 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20070614 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20070927 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20071010 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20101102 Year of fee payment: 3 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20111102 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20121102 Year of fee payment: 5 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20121102 Year of fee payment: 5 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20131102 Year of fee payment: 6 |
|
EXPY | Cancellation because of completion of term |