JPH09264896A

JPH09264896A - 走査型力顕微鏡の変位検出装置

Info

Publication number: JPH09264896A
Application number: JP8099292A
Authority: JP
Inventors: Takashi Morimoto; 高史森本
Original assignee: Hitachi Construction Machinery Co Ltd
Current assignee: Hitachi Construction Machinery Co Ltd
Priority date: 1996-03-28
Filing date: 1996-03-28
Publication date: 1997-10-07

Abstract

(57)【要約】【課題】光てこ式の走査型力顕微鏡の変位検出装置
で、構造を簡単化し、高倍率対物レンズを用いて試料面
とカンチレバーを同時に観察する。【解決手段】探針18を備えたカンチレバー12と、カン
チレバーを保持する保持部11と、カンチレバーにレーザ
光を照射するレーザ光源13と、反射されたレーザ光を受
光する光検出器14と、試料面とカンチレバーの背面を上
方から観察できる光学顕微鏡を備える。探針は測定すべ
き表面に臨む。当該構成で、保持部におけるカンチレバ
ー側に位置する面11a に鏡面が形成される。レーザ光源
からのレーザ光は最初に保持部の鏡面で反射され、その
後カンチレバーの背面に形成された反射面に照射され、
ここで再び反射されて光検出器に入射する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、走査型力顕微鏡の
変位検出装置に関し、特に、光てこ方式の変位検出光学
系でカンチレバーの変位を検出するようにした走査型力
顕微鏡の変位検出装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】プローブ顕微鏡は、先端が尖った探針を
試料（プローブともいう）に対してナノメータ(nm)のオ
ーダで接近させ、そのとき探針と試料との間に生じる物
理的な力を測定することにより、試料表面の形状等を原
子的な寸法レベルで計測できる装置である。物理的な力
は、例えば原子間力である。プローブ顕微鏡の中には走
査型力顕微鏡が含まれる。走査型力顕微鏡の代表的なも
のは走査型原子間力顕微鏡（以下「ＡＦＭ」という）で
ある。ＡＦＭは、カンチレバーと呼ばれる非常にバネ定
数の低いレバーを備え、カンチレバーの先端に設けられ
た探針と試料の表面の間に作用する原子力によるカンチ
レバーのたわみ量（変位量）を検出し、試料表面の形状
を測定する。走査型の装置であることから、測定時には
探針を試料表面に沿って走査させる機能を有する。

【０００３】カンチレバーのたわみ量を測定する手段と
して、一般的に光てこ方式と呼ばれる検出光学系が使用
される。従来の光てこ方式検出光学系の代表的な構成を
図５に示す。

【０００４】図５において、保持部１１の先部にカンチ
レバー１２が取り付けられ、カンチレバー１２の上方位
置に、カンチレバー１２の長手方向に沿ってレーザ光源
１３と光検出器１４が配置される。光検出器１４は、例
えば２分割フォトダイオードである。レーザ光源１３と
光検出器１４は、レーザ光源１３から出たレーザ光１５
がカンチレバー１２の背面で反射し、光検出器１４に入
射するように配置される。２分割フォトダイオードで作
られた光検出器１４は、２つの受光領域１４ａ，１４ｂ
を有する。カンチレバー１２が基準位置にあるとき、反
射光は２つの受光領域１４ａ，１４ｂの境界に照射され
るように設定される。カンチレバー１２が原子間力の作
用を受けて、例えば破線１６で示されるように変形し、
たわみ量が生じると、反射光は破線１７で示すように、
光検出器１４の受光領域１４ａの側に移動する。そのた
め、２つの受光領域１４ａ，１４ｂは受光した光の強度
に応じた電圧信号を出力する。２つの受光領域１４ａ，
１４ｂの出力信号の間には差が生じているので、その出
力差を求めることにより、カンチレバー１２のたわみ量
を測定できる。

【０００５】光てこ方式の検出光学系による変位拡大率
Ｓは、光検出器１４上での検出光の変位量をＤ、カンチ
レバー１２の長さをＫ（通常１００〜２００μｍ）、反
射光の光路の長さ（カンチレバー１２から光検出器１４
までの距離）をＬ、カンチレバー１２の先端（探針）の
変位量をΔとするとき、次式で与えられる。

【０００６】

【数１】Ｓ＝Ｄ／Δ＝２Ｌ／Ｋ

【０００７】ここで例えばＬ＝５０ｍｍ、Ｋ＝１００μ
ｍとすると、Ｓ＝１０³となる。このように、光てこ方
式の検出光学系を使用すれば、簡単な構成で非常に感度
の高い変位検出を行うことができる。

【０００８】ところで、ＡＦＭの測定範囲は最大でも数
十μｍ程度であり、極めて小さい範囲であるので、試料
表面において観察位置を同定することが難しいという問
題がある。そこで、従来、相対的に観察範囲が広い光学
顕微鏡等の観察手段を組み合わせ、観察位置を同定する
ように構成したＡＦＭが存在する。この構成では、光学
顕微鏡のレボルバ機構に対物レンズとＡＦＭの機構とを
設け、最初に光学顕微鏡の対物レンズを用いて目的の観
察領域を光学顕微鏡の視野中心に合わせ、その後、レボ
ルバを回転して対物レンズとＡＦＭの機構とを切り替
え、光学顕微鏡で設定した上記視野中心にＡＦＭの探針
を配置する。しかしながら、この構成によれば、レボル
バにおける機械的な誤差によって切り替え精度が１μｍ
程度で限界になり、そのため探針を観察領域に正確に配
置できるとは限らないという不具合がある。

【０００９】以上のことから、ＡＦＭと光学顕微鏡を組
み合わせた構成の場合、機械的な切り替え動作が介入し
ない構成が望ましい。例えば、試料の観察表面と、これ
に臨むＡＦＭのカンチレバーおよび探針とを、光学顕微
鏡によって同時に観察できるように構成されることが望
まれる。このような構成では、対物レンズを試料の表面
に対向させた状態で、対物レンズと試料の間にカンチレ
バーを配置することが必要となる。しかし、実際の問題
として、観察合焦時に対物レンズのレンズ面と試料面ま
での距離（以下「作動距離」という）は数ｍｍ〜数十ｍ
ｍ程度であり、この作動距離は対物レンズの倍率が高い
ほど小さくなるので、対物レンズと試料との間にカンチ
レバーを配置することは実際には難しい。また上記の光
学顕微鏡に代えて例えば電子顕微鏡で観察するようにし
た複合化装置等もあるが、いずれにしても、光てこ式観
察手段を図５に示したように配置することが難しい場合
がある。

【００１０】上記の問題を解決する従来技術として特開
平５−１０７０５０号公報に開示されるものがある。こ
の変位検出装置では、光ビームを偏向させてカンチレバ
ーの背面に照射されるように導き、カンチレバー背面か
らの反射光を再び光検出器に導くための偏向部材を、対
物レンズと試料との間に配置し、かつ光学的に透明な部
材で作られる開口部を形成することにより、光学顕微鏡
による試料の観察を行えるようにしている。

【００１１】

【発明が解決しようとする課題】上記の従来技術によれ
ば、対物レンズと試料の間に偏向部材を設けるようにし
たため、倍率がより高い対物レンズを使用したい場合、
すなわち作動距離がより小さい対物レンズを使用した場
合に、偏向部材が障害となって、これを使用することが
できないことが推察される。

【００１２】また他の解決策として、カンチレバーの背
面に照射される光ビームの入射角度を浅くすることによ
って、偏向部材の配置位置を対物レンズに干渉しない位
置とする可能性も考えられるが、以下に述べる理由に基
づき、光ビームの入射角度を浅くすることに限界がある
ので、実際には困難である。

【００１３】図６に示すように、カンチレバー１２は原
子間力という極微小な力を検出するものであるので、通
常、長さ（Ｋ）は１００〜２００μｍ程度、厚さ（Ｔ
１）は１μｍ程度の微細な形状を有するものが使用され
る。このような微細な形状は、シリコン等を用いて半導
体の製造プロセスを利用して作製される。カンチレバー
１２は保持部１１に固定される。図６で明らかなよう
に、微細なカンチレバー１２に対して保持部１１は数百
μｍの厚さ（Ｔ２）を必要とし、このため、光ビームの
入射角度を浅くすることには限界がある。

【００１４】なおカンチレバー１２のバネ定数は０．１
Ｎ／ｍ程度であり、先端の探針１８に１ｎＮの力を受け
ると、カンチレバー１２の先端部で１０ｎｍ程度のたわ
み変形が生じる。光てこ方式でたわみ変形量の検出を行
うと、光検出器上では１０³倍、すなわち１０μｍ程度
の光ビーム変位が得られる。

【００１５】本発明の目的は、上記の問題を解決するも
のであり、光てこ方式を使用し、簡単な構造で、高い倍
率の対物レンズを用いて試料表面とカンチレバーを同時
に観察することができ、さらに走査型力顕微鏡以外の部
分として付属される他の装置を避けてうまく配置するこ
とができる走査型力顕微鏡の変位検出装置を提供するこ
とにある。

【００１６】

【課題を解決するための手段および作用】本発明に係る
走査型力顕微鏡の変位検出装置は、上記目的を達成する
ため、次のように構成される。

【００１７】第１の変位検出装置（請求項１に対応）
は、先端に探針を備えたカンチレバーと、このカンチレ
バーを取り付け、これを保持する保持部と、カンチレバ
ーにレーザ光を与えるレーザ光源と、カンチレバーで反
射されたレーザ光を受光する光検出器と、さらに例え
ば、試料の表面とカンチレバーの背面を上方から観察で
きるように設けられた光学顕微鏡を備えている。カンチ
レバーの先端に設けられた探針は、試料ステージ上の試
料の測定すべき表面に臨んでいる。かかる構成におい
て、保持部におけるカンチレバー側に位置する面に、レ
ーザ光を反射するための反射面すなわち鏡面が形成され
る。かかる構成によって、レーザ光源から出射されたレ
ーザ光は、好ましくは最初に保持部の反射面で反射さ
れ、その後に、カンチレバーの背面に形成された反射面
に照射され、ここで再び反射されて上記光検出器に入射
する。

【００１８】かかる構成によれば、レーザ光源と光検出
器からなる検出光学系は、カンチレバーと保持部を基準
としたときに、それらの前方位置に配置される。試料表
面とこれに臨むカンチレバーの背面を観察可能な光学顕
微鏡を備え、カンチレバーのたわみ変形に伴う変位検出
に光てこ方式を用いたＡＦＭにおいて、保持部の前方に
形成された空いたスペースを利用して検出光学系を配置
することにより、検出用レーザ光を偏向するための偏向
部材を使用することなく、光学顕微鏡の対物レンズに干
渉されない入反射光路を確保できる。保持部の壁面を入
反射光路の一部として利用するため、カンチレバーの保
持部が、レーザ光の入反射光路の障害になることはな
い。

【００１９】第２の変位検出装置（請求項２に対応）
は、上記の構成において、レーザ光源と光検出器が、保
持部の前方方向に配置されるように構成される。レーザ
光源と光検出器からなる光学検出装置を、光学顕微鏡の
周辺のスペースを有効に使って配置し、コンパクトに構
成する。

【００２０】第３の変位検出装置（請求項３に対応）
は、レーザ光源と光検出器は、カンチレバーのたわみ動
作方向を含む平面内に配置され、かつカンチレバーを基
準にして同一の側に配置される。本発明の要部を、上記
のごとく把握することも可能である。

【００２１】第４の変位検出装置（請求項４に対応）
は、保持部の反射面とカンチレバーの背面とが作る角度
を実質的に９０度とし、レーザ光源からの出射光線と光
検出器への入射光線とが実質的に平行になるように構成
した。検出光学系の配置箇所に関して、上記のごとき本
発明の特徴構成を採用するとき、第１の反射面を形成す
る保持部の面の傾斜角度を直角にすることによって、レ
ーザ光の入反射光路について、かかる特性を持たせるこ
とができる。

【００２２】第５の変位検出装置（請求項５に対応）
は、好ましくは、レーザ光源と光検出器は近づけて配置
される。レーザ光源からの出射光線と光検出器への入射
光線とが実質的に平行になるような構成を採用すること
によって、レーザ光源の配置位置と光検出器の配置位置
は必然的に近くなることは明らかである。

【００２３】第６の変位検出装置（請求項６に対応）
は、好ましくは、レーザ光源と光検出器は共通のホルダ
に組み込まれ、ユニット化される。レーザ光源の配置位
置と光検出器の配置位置が近くになれば、両者を１つの
ユニットとして構成することもできる。このような構成
によれば、光学検出系の配置・設定が容易となり、装置
の組立てを容易に行うことができる。

【００２４】

【発明の実施の形態】以下に、本発明の好適な実施形態
を添付図面に基づいて説明する。

【００２５】本発明に係る走査型力顕微鏡の変位検出装
置の構成を説明する。本実施形態では、走査型力顕微鏡
はＡＦＭであるとする。図１は要部構成を示す概略正面
図である。図１において、図５で説明した要素と実質的
に同一の要素には同一の符号を付している。ＡＦＭの光
てこ方式の検出光学系の構成要素は、従来技術の箇所で
説明したものと実質的に同じである。

【００２６】図１において、保持部１１の先部の下側に
カンチレバー１２の基端が固定される。カンチレバー１
２の先端には、下方に向いた探針１８が設けられる。探
針１８の先端は、図示しない試料の測定すべき表面に対
向する。保持部１１は、望ましくは、試料と干渉しない
ように、傾斜して配置される。測定時に、探針１８の先
端は試料表面に対して原子レベルの距離で接近した状態
にある。探針１８が試料の表面から原子間力の作用を受
けると、カンチレバー１２の先端部が移動し、カンチレ
バー１２の全体でたわみ変形動作が生じ、保持部１１に
固定されたカンチレバー１２の基端を中心にカンチレバ
ー１２の先端が図１中上下方向に移動する。上記カンチ
レバー１２とレーザ光源１３および光検出器１４からな
る光てこ方式の検出光学系によって、カンチレバー１２
のたわみ変形動作に伴うたわみ動作量が測定される。

【００２７】なお図１では示されないが、試料の表面と
カンチレバー１２とを観察できるように、カンチレバー
１２の上方位置に、光学顕微鏡が配置される。当該光学
顕微鏡によってカンチレバー１２の背面部分が観察され
る。

【００２８】レーザ光源１３と光検出器１４は共に、図
１に示されるように、保持部１１の左手側に配置され
る。保持部１１およびカンチレバー１２を基準にする
と、レーザ光源１３と光検出器１４は、それらの前方位
置に配置される。従ってレーザ光源１３と光検出器１４
は、保持部１１およびカンチレバー１２の前方であっ
て、好ましくは、カンチレバー１２のたわみ動作方向を
含む平面（図１の紙面）に含まれるように配置される。
カンチレバー１２のたわみ動作方向を含む平面とは、換
言すれば、カンチレバー１２の先端が描く軌跡を含む平
面を意味する。

【００２９】図１において、カンチレバー１２の長さは
例えば約１００μｍ、厚みは例えば約１μｍ、また保持
部１１の厚みは例えば約１００〜２００μｍである。保
持部１１の面１１ａは、カンチレバー１２の背面に対し
て角度θで傾斜するように形成され、かつ当該面１１ａ
は鏡面に形成される。従って、面１１ａにレーザ光が照
射されると、面１１ａは反射面として作用し、レーザ光
を反射する。またカンチレバー１２の背面も反射面とし
て作用する。

【００３０】前述した保持部１１とカンチレバー１２
は、実際上、例えば次のように製作される。第１の製作
法は、特開平４−４０３１１公報に開示される。この公
報による製作法は、例えば当該公報の第５図に示すよう
に、所要の厚みを有するシリコン基板の表面にフォトエ
ッチング技術を適用してカンチレバー部分と基板部分を
製作するステップと、カンチレバー先端に酸化膜を形成
するステップと、表面酸化膜を除去して尖鋭な先端部を
有するカンチレバー部分を形成するステップと、水蒸気
によるスチーム酸化で酸化膜をシリコン基板の両面に形
成するステップと、両面の酸化膜を微細加工するステッ
プと、シリコン基板を異方性エッチングするステップと
から構成される。この異方性エッチングでは、シリコン
基板の両面から（１１１）面に沿ってエッチングが進行
し、この結果、カンチレバー保持部のカンチレバー側の
面に鏡面（反射面）が形成される。また第２の製作法
は、特開平５−２１４５６４号公報に開示される。この
公報によっても、例えば図１や図４において、カンチレ
バーを保持する保持部が示されている。かかる保持部の
カンチレバー側の面に鏡面を形成するためのコーティン
グ処理を行えば、保持部のカンチレバー側の面に上述の
反射面を作ることができる。

【００３１】図１に示される保持部１１とカンチレバー
１２の形態および構成と、レーザ光源１３と光検出器１
４の配置位置とに基づいて、レーザ光源１３から出射さ
れたレーザ光１５は、最初、保持部１１の面１１ａで反
射され、次にカンチレバー１２の背面で反射される。反
射されたレーザ光１５は最終的に光検出器１４に入射さ
れる。

【００３２】上記の配置構成によれば、レーザ光１５の
光路は、レーザ光源１３および光検出器１４が含まれる
平面の中であって、保持部１１とカンチレバー１２の前
方位置（図１中左手側）に形成される。従って、光学顕
微鏡が配置されることになる空間を避けることができ
る。このため、図示しない光学顕微鏡の対物レンズに干
渉されることなく、光てこ方式の検出光学系をＡＦＭに
組み込むことができる。なおレーザ光源１３と光検出器
１４の配置箇所は、保持部１１の前面に設けられた反射
面１１ａを利用できる箇所であれば、上記の平面内に限
定されない。

【００３３】前述のカンチレバー１２、光学顕微鏡の対
物レンズ（図示せず）、レーザ光源１３と光検出器１４
からなる検出光学系の配置構成に基づけば、対物レンズ
によって試料の表面とカンチレバー１２を観察すること
によって、容易に試料表面上の測定領域を同定できると
共に、このような配置構成の下で、レーザ光源１３と光
検出器１４からなる検出光学系にとって、カンチレバー
１３の保持部１１および対物レンズに対して干渉を生じ
ないレーザ光の光路を容易に確保できる。また、本実施
形態の装置構成に基づく検出感度および検出精度は、図
５を参照して説明した従来装置の構成の場合と実質的に
同じである。

【００３４】図２は本発明の第２の実施形態を示し、図
１と同様な図である。この実施形態は、図１の構成にお
いて上記角度θが９０度に設定されるところに特徴があ
り、その他の構成は図１の場合と同じである。上記実施
形態で説明した保持部とは面の傾斜角が異なるが、同一
の符号を付している。保持部１１の面１１ａとカンチレ
バー１２の背面とのなす角度θを９０度に設定すると、
換言すれば、両者を直角な位置関係で形成すると、レー
ザ光源１３から出射されたレーザ光１５の光路と、カン
チレバー１２の背面で反射されて光検出器１４に入射す
るレーザ光１５の光路とを平行にすることができる。こ
のように入反射光を互いに平行にすることにより、レー
ザ光源１３と光検出器１４をできる限り近づけて配置す
ることができ、光てこ方式の検出光学系のレイアウトを
より容易なものとしている。

【００３５】図３は本発明の第３の実施形態を示し、前
述の第２の実施形態の変形例を示している。この実施形
態では、保持部１１の面１１ａとカンチレバー１２の背
面との角度を９０度として入反射光の光路を互いに平行
にすることにより、近接して配置されるレーザ光源１３
と光検出器１４を共通のホルダ２１の中に組み込むよう
に構成したものである。その他の構成は第２の実施形態
と同じであり、同一の要素には同一の符号を付してい
る。ホルダ２１の材質および形態は任意である。本実施
形態によれば、装置構成を単純化でき、装置の小型化を
達成することができる。

【００３６】図４は本発明の第４の実施形態を示し、こ
の実施形態は第３の実施形態をさらに変形したものであ
る。

【００３７】保持部１１の面１１ａをカンチレバー１２
の背面に対して直角になるように構成し、光てこ方式の
検出光学系の入反射光を互いに平行にした場合に、カン
チレバー１２の寸法によっては、入射光と反射光がほと
んど同軸上になることが考えられる。一般的にカンチレ
バー１２の長さは数百μｍ程度である場合が多く、その
ときの入反射光の光路同士の間隔は同様に数百μｍ程度
になる。この場合、レーザ光源１３と光検出器１４が互
いに干渉してしまい配置が困難となるおそれもある。そ
こで、このような場合には、例えばホルダ２１の内部に
ハーフミラー２２を設け、光路１５を曲げることによ
り、レーザ光源１３の設置位置を変更するように構成す
ることも可能である。その他の構成は、図３で説明した
ものと同じである。本実施形態によれば、レーザ光源お
よび光検出器を光学顕微鏡と干渉しない場所に配置する
ことができ、さらに、光学顕微鏡の作動距離による寸法
的な制約を受けることなく自由に目的とする光学的配置
を実現できる。

【００３８】上記の各実施形態において、レーザ光源と
光検出器の配置位置を反対とし、構成を全体として逆に
することができるのは勿論である。

【００３９】上記実施例ではＡＦＭについて説明した
が、光学顕微鏡が複合化されるその他の走査型力顕微鏡
に本発明を適用できるのは勿論である。また光学顕微鏡
以外の電子顕微鏡等の他の装置が複合される場合にも適
用できるのは勿論である。

【００４０】

【発明の効果】以上の説明で明らかなように本発明によ
れば、カンチレバーの変位検出に光てこ方式検出光学系
を使用するＡＦＭ等において、カンチレバー保持部のカ
ンチレバー側の面にレーザ光反射面を設け、好ましくは
レーザ光源と光検出器をカンチレバー保持部の前方位置
を利用して配置したため、検出光の入反射光路を偏向さ
せるための偏向部材を使用することなく、光学顕微鏡の
対物レンズやその他の付加装置に干渉されない入反射光
路を確保することができる。またカンチレバーの保持部
が入反射光路の障害になることもなく、反対に保持部の
有する特性を積極的に利用してレーザ光の入反射路を形
成するようにした。上記の構成によれば、有効な測定を
行うことができ、かつ最適でかつコンパクトな装置構成
を実現できる。

【００４１】また作動距離の小さい高倍率の対物レンズ
を使用しても、原理的には、カンチレバーの保持部の厚
さ（数百μｍ程度）に比較して相対的に僅かに大きな作
動距離を確保すればよく、高倍率かつ高分解能な光学顕
微鏡とＡＦＭ等の複合化を達成することができる。

【００４２】また保持部の反射面とカンチレバーの背面
のなす角度を直角にした構成によれば、光てこ検出光学
系の入反射光の光路を平行にすることができ、レーザ光
源と光検出器を近接してユニット化することができ、光
てこ検出光学系の配置を容易にし、装置を簡易かつコン
パクトに作製することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の係る変位検出装置の要部構成を示す正
面図である。

【図２】本発明に係る変位検出装置の要部構成の他の例
を示す正面図である。

【図３】本発明に係る変位検出装置の要部構成の他の例
を示す正面図である。

【図４】本発明に係る変位検出装置の要部構成の他の例
を示す正面図である。

【図５】従来の変位検出装置の構成を説明するための要
部斜視図である。

【図６】従来装置の問題点を説明するための要部拡大正
面図である。

【符号の説明】

１１保持部１２カンチレバー１３レーザ光源１４光検出器１５レーザ光（光路）１８探針２１ホルダ２２ハーフミラー

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】探針を備えたカンチレバーと、このカン
チレバーを保持する保持部と、前記カンチレバーにレー
ザ光を与えるレーザ光源と、前記カンチレバーで反射さ
れた前記レーザ光を受光する光検出器とを備えた走査型
力顕微鏡の変位検出装置において、前記保持部におけるカンチレバー側の面に前記レーザー
光を反射する反射面を形成したことを特徴とする走査型
力顕微鏡の変位検出装置。
【請求項２】前記レーザ光源と前記光検出器は、前記
保持部の前方に配置されること特徴とする請求項１記載
の走査型力顕微鏡の変位検出装置。
【請求項３】前記レーザ光源と前記光検出器は、前記
カンチレバーのたわみ動作方向を含む平面内に配置さ
れ、かつ前記カンチレバーを基準にして同じ側に配置さ
れることを特徴とする請求項１または２記載の走査型力
顕微鏡の変位検出装置。
【請求項４】前記保持部の前記反射面と前記カンチレ
バーの背面が作る角度を実質的に９０度に設定し、前記
レーザ光源からの出射光線と前記光検出器への入射光線
を実質的に平行にしたことを特徴とする請求項１記載の
走査型力顕微鏡の変位検出装置。
【請求項５】前記レーザ光源と前記光検出器は近づけ
て配置されることを特徴とする請求項４に記載の走査型
力顕微鏡の変位検出装置。
【請求項６】前記レーザ光源と前記光検出器は共通の
ホルダに組み込まれ、ユニット化されることを特徴とす
る請求項５記載の走査型力顕微鏡の変位検出装置。