JP2006246570A5 - - Google Patents

Download PDF

Info

Publication number
JP2006246570A5
JP2006246570A5 JP2005056210A JP2005056210A JP2006246570A5 JP 2006246570 A5 JP2006246570 A5 JP 2006246570A5 JP 2005056210 A JP2005056210 A JP 2005056210A JP 2005056210 A JP2005056210 A JP 2005056210A JP 2006246570 A5 JP2006246570 A5 JP 2006246570A5
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
permanent magnet
thickness
main pole
pole permanent
stator coil
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Withdrawn
Application number
JP2005056210A
Other languages
English (en)
Japanese (ja)
Other versions
JP2006246570A (ja
Filing date
Publication date
Application filed filed Critical
Priority to JP2005056210A priority Critical patent/JP2006246570A/ja
Priority claimed from JP2005056210A external-priority patent/JP2006246570A/ja
Publication of JP2006246570A publication Critical patent/JP2006246570A/ja
Publication of JP2006246570A5 publication Critical patent/JP2006246570A5/ja
Withdrawn legal-status Critical Current

Links

JP2005056210A 2005-03-01 2005-03-01 リニアモータ及びリニアモータを利用した露光装置 Withdrawn JP2006246570A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2005056210A JP2006246570A (ja) 2005-03-01 2005-03-01 リニアモータ及びリニアモータを利用した露光装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2005056210A JP2006246570A (ja) 2005-03-01 2005-03-01 リニアモータ及びリニアモータを利用した露光装置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2006246570A JP2006246570A (ja) 2006-09-14
JP2006246570A5 true JP2006246570A5 (enExample) 2008-04-17

Family

ID=37052387

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2005056210A Withdrawn JP2006246570A (ja) 2005-03-01 2005-03-01 リニアモータ及びリニアモータを利用した露光装置

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP2006246570A (enExample)

Families Citing this family (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2007019127A (ja) * 2005-07-06 2007-01-25 Yaskawa Electric Corp 周期磁界発生装置およびそれを用いたリニアモータ
JP4811785B2 (ja) * 2005-10-13 2011-11-09 株式会社安川電機 周期磁界発生装置およびこれを用いたリニアモータ
NL2008696A (en) * 2011-05-25 2012-11-27 Asml Netherlands Bv A multi-stage system, a control method therefor, and a lithographic apparatus.
JP5784724B2 (ja) 2011-07-08 2015-09-24 三菱電機株式会社 永久磁石型回転電機の製造方法
JP5752177B2 (ja) * 2013-05-09 2015-07-22 三菱電機株式会社 磁石式回転電機
JP6415029B2 (ja) * 2013-07-27 2018-10-31 株式会社アテック 電磁誘導装置
CN107017754A (zh) * 2017-04-24 2017-08-04 江苏大学 圆筒型永磁容错直线游标电机
JP7449085B2 (ja) * 2019-12-20 2024-03-13 キヤノン株式会社 リニアモータ、ステージ装置、リソグラフィ装置及び物品の製造方法
CN112671204B (zh) * 2021-01-18 2022-07-01 哈尔滨工业大学 多层绕组磁悬浮直线永磁同步电机

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US6891600B2 (en) Lithographic apparatus and device manufacturing method
JP4167213B2 (ja) リソグラフィ装置及びデバイス製造方法
KR20110082519A (ko) 웨지 형상 자석들 및 대각선 자화 방향을 갖는 평면 모터
JP2006246570A5 (enExample)
JP2007110822A (ja) 周期磁界発生装置とその製造方法およびこの周期磁界発生装置を用いたリニアモータ
US20040245861A1 (en) Linear motor, stage device having this linear motor, exposure device, and device manufacturing method
TWI248645B (en) Lithographic apparatus and device manufacturing method
WO2006077958A1 (ja) リニアモータ、ステージ装置、及び露光装置
JP6389898B2 (ja) コイルアセンブリ、電磁アクチュエータ、ステージ位置決め装置、リソグラフィ装置およびデバイス製造方法
JP2009136136A (ja) 合成キャリヤを有するローレンツアクチュエータを有するリソグラフィ装置
US20120249991A1 (en) Planar motor and lithographic apparatus comprising such planar motor
JP2014516236A (ja) リニアモータにおいて永久磁石の保磁力を局所的に向上させる方法
JP2003116260A (ja) リニアモータ、ステージ装置及び露光装置
EP3043361A1 (en) Armature coil for electromagnetic actuator, electromagnetic actuator, exposure apparatus, and device manufacturing method
US6876108B2 (en) Linear motor, its controlling method, and XY table
TW200903957A (en) Planar motor, positioning apparatus, exposure apparatus, and device manufacturing method
US20060043799A1 (en) Linear motor and exposure apparatus having the same
JPWO2006035835A1 (ja) 磁界発生装置、電磁アクチュエータ、ステージ装置、露光装置、及びデバイスの製造方法
JPH1140978A (ja) 磁気回路の漏れ磁界低減方法及びその低減方法を用いた電磁アクチュエータ
JP2004289961A (ja) ステッピングモータ
US7696652B2 (en) Electromagnetic actuator, method of manufacturing a part of an electromagnetic actuator, and lithographic apparatus comprising and electromagnetic actuator
JP2002078313A (ja) 積層シートコイル、電機子、リニアモータ、これを用いたステージ装置、露光装置、及びデバイスの製造方法
JP2009284608A (ja) パルスモータ、位置決め装置、露光装置及びデバイス製造方法
JP2005094902A (ja) 移動装置
JP2005039961A (ja) リニアモータ装置、ステージ装置、及び露光装置