JP2006245353A - 固定用粘着テープおよび積層セラミックコンデンサの製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 冷却することで粘着力が低下する側鎖結晶性ポリマーを主成分とする粘着剤1をオレフィンを材種とする基材フィルム2の片面に設けて粘着テープ100を得る。この粘着テープ100を使ってセラミックグリーンシートの積層体3を台座4に固定し、ギロチン刃6により、セラミックグリーンシートの積層体3を、複数の生チップ5へ切断し、粘着テープ100の基材フィルム2を引き伸ばし、生チップ5の間隔を広げ、粘着テープ100の粘着力を低下させた後、複数の生チップ5を粘着テープ100から取り出す。
【選択図】 図2
Description
(a)セラミックグリーンシートの積層体を前記粘着テープを使用して台座に固定する工程。
(b)ギロチン刃により、前記セラミックグリーンシートの積層体を、複数の生チップへ切断する工程。
(c)粘着テープの基材フィルムを引き伸ばし、生チップの間隔を広げる工程。
(d)粘着テープの粘着力を低下させ、複数の前記生チップを粘着テープから取り出す工程。
冷却により粘着力が低下する側鎖結晶性ポリマーを主成分とする粘着剤1を作成し、低密度ポリエチレンの基材フィルム2(厚さ100μm)に、上記で作成した粘着剤1を塗布し、乾燥し粘着テープ100を作成した。前記側鎖結晶性ポリマーの側鎖成分として炭素数が18のアクリル酸エステル(ステアリルアクリレート)を使用した。
基材フィルムの材種としてPET(厚さ100μm)を使用した以外は、すべて実施例1と同様にして粘着テープを作成した。
粘着剤として、一般的なアクリル系感圧粘着剤を使用した以外は、すべて実施例1と同様にして粘着テープを作成した。
(粘着テープの生チップのブロッキング防止に対する適正評価)
Claims (6)
- 積層セラミックコンデンサの製造工程においてセラミックグリーンシートの積層体をギロチン刃で生チップに切断する際、前記セラミックグリーンシートの積層体を台座に固定するために使用される粘着テープであって、
冷却することで粘着力が低下する側鎖結晶性ポリマーを主成分とする粘着剤が基材フィルムの片面に設けられているとともに、切断された前記生チップの間隔を拡張するために、前記基材フィルムが所定の力で引き伸ばせることを特徴とする固定用粘着テープ。 - 前記基材フィルムがオレフィンを材種とすることを特徴とする請求項1に記載の固定用粘着テープ。
- 前記基材フィルムの厚さが50μm以上〜250μm以下であることを特徴とする請求項1または請求項2に記載の固定用粘着テープ。
- 前記側鎖結晶性ポリマーの側鎖成分が、炭素数14以上〜22以下のメタクリル酸エステルまたは、アクリル酸エステルであることを特徴とする請求項1に記載の固定用粘着テープ。
- 冷却することで粘着力が低下する側鎖結晶性ポリマーを主成分とする粘着剤がオレフィンを材種とする基材フィルムの片面に設けられた粘着テープを使って、以下の工程(a)乃至(d)を含むことを特徴とする積層セラミックコンデンサの製造方法。
(a)セラミックグリーンシートの積層体を前記粘着テープを使用して台座に固定する工程。
(b)ギロチン刃により、前記セラミックグリーンシートの積層体を、複数の生チップへ切断する工程。
(c)前記粘着テープの前記基材フィルムを引き伸ばし、前記生チップの間隔を広げる工程。
(d)前記粘着テープの粘着力を低下させ、複数の前記生チップを粘着テープから取り出す工程。 - 前記基材フィルムの厚さが50μm以上〜250μm以下であることを特徴とする請求項5に記載の積層セラミックコンデンサの製造方法。
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Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008251824A (ja) * | 2007-03-30 | 2008-10-16 | Nitta Ind Corp | チップ型電子部品の外部電極形成方法 |
JP2008251823A (ja) * | 2007-03-30 | 2008-10-16 | Nitta Ind Corp | チップ型電子部品の外部電極形成方法 |
JP2016046475A (ja) * | 2014-08-26 | 2016-04-04 | 株式会社村田製作所 | シート剥離方法、シート剥離装置およびそれを用いた積層セラミック電子部品の製造方法 |
Citations (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS61219124A (ja) * | 1985-03-25 | 1986-09-29 | 関西日本電気株式会社 | セラミツク部品の製造方法 |
JPH0241209A (ja) * | 1988-08-02 | 1990-02-09 | Sanken Electric Co Ltd | 半導体等の基板の分割方法 |
JPH03157910A (ja) * | 1989-11-15 | 1991-07-05 | Nec Kansai Ltd | 電子部品の製造方法 |
JP2000351946A (ja) * | 1999-06-10 | 2000-12-19 | Nitta Ind Corp | セラミック電子部品用生シートの仮止め粘着テープ及びセラミック電子部品の製造方法 |
JP2001035815A (ja) * | 1999-07-21 | 2001-02-09 | Hitachi Chem Co Ltd | ダイシング用粘着フィルム |
JP2002322448A (ja) * | 1989-05-11 | 2002-11-08 | Nitta Ind Corp | 温度感応性接着剤組成物 |
JP2003183608A (ja) * | 2002-10-01 | 2003-07-03 | Nitta Ind Corp | セラミック電子部品用生シートの仮止め粘着テープ及びセラミック電子部品の製造方法 |
JP2003243571A (ja) * | 2003-03-24 | 2003-08-29 | Miyazaki Oki Electric Co Ltd | 半導体装置の製造方法 |
JP2003342393A (ja) * | 2002-05-30 | 2003-12-03 | Mitsubishi Polyester Film Copp | ダイシングテープ用ポリエステル系軟質フィルム |
JP2004072084A (ja) * | 2002-06-12 | 2004-03-04 | Furukawa Electric Co Ltd:The | ウエハの製造方法と粘着テープ |
JP2004235436A (ja) * | 2003-01-30 | 2004-08-19 | Tdk Corp | チップ部品分離方法及び装置 |
JP2004311848A (ja) * | 2003-04-09 | 2004-11-04 | Nitta Ind Corp | 半導体装置の製造方法、保護用粘着テープおよびダイボンド用接着剤付き支持用粘着テープ |
-
2005
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Patent Citations (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS61219124A (ja) * | 1985-03-25 | 1986-09-29 | 関西日本電気株式会社 | セラミツク部品の製造方法 |
JPH0241209A (ja) * | 1988-08-02 | 1990-02-09 | Sanken Electric Co Ltd | 半導体等の基板の分割方法 |
JP2002322448A (ja) * | 1989-05-11 | 2002-11-08 | Nitta Ind Corp | 温度感応性接着剤組成物 |
JPH03157910A (ja) * | 1989-11-15 | 1991-07-05 | Nec Kansai Ltd | 電子部品の製造方法 |
JP2000351946A (ja) * | 1999-06-10 | 2000-12-19 | Nitta Ind Corp | セラミック電子部品用生シートの仮止め粘着テープ及びセラミック電子部品の製造方法 |
JP2001035815A (ja) * | 1999-07-21 | 2001-02-09 | Hitachi Chem Co Ltd | ダイシング用粘着フィルム |
JP2003342393A (ja) * | 2002-05-30 | 2003-12-03 | Mitsubishi Polyester Film Copp | ダイシングテープ用ポリエステル系軟質フィルム |
JP2004072084A (ja) * | 2002-06-12 | 2004-03-04 | Furukawa Electric Co Ltd:The | ウエハの製造方法と粘着テープ |
JP2003183608A (ja) * | 2002-10-01 | 2003-07-03 | Nitta Ind Corp | セラミック電子部品用生シートの仮止め粘着テープ及びセラミック電子部品の製造方法 |
JP2004235436A (ja) * | 2003-01-30 | 2004-08-19 | Tdk Corp | チップ部品分離方法及び装置 |
JP2003243571A (ja) * | 2003-03-24 | 2003-08-29 | Miyazaki Oki Electric Co Ltd | 半導体装置の製造方法 |
JP2004311848A (ja) * | 2003-04-09 | 2004-11-04 | Nitta Ind Corp | 半導体装置の製造方法、保護用粘着テープおよびダイボンド用接着剤付き支持用粘着テープ |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008251824A (ja) * | 2007-03-30 | 2008-10-16 | Nitta Ind Corp | チップ型電子部品の外部電極形成方法 |
JP2008251823A (ja) * | 2007-03-30 | 2008-10-16 | Nitta Ind Corp | チップ型電子部品の外部電極形成方法 |
JP2016046475A (ja) * | 2014-08-26 | 2016-04-04 | 株式会社村田製作所 | シート剥離方法、シート剥離装置およびそれを用いた積層セラミック電子部品の製造方法 |
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