JP2003342393A

JP2003342393A - ダイシングテープ用ポリエステル系軟質フィルム

Info

Publication number: JP2003342393A
Application number: JP2002157748A
Authority: JP
Inventors: Shigeo Uchiumi; 滋夫内海; Hiroteru Okumura; 博輝奥村
Original assignee: Mitsubishi Polyester Film Corp
Current assignee: Mitsubishi Polyester Film Corp
Priority date: 2002-05-30
Filing date: 2002-05-30
Publication date: 2003-12-03

Abstract

(57)【要約】【課題】従来困難と考えられてきた塩化ビニルフィルム
並の強度と伸びを示すポリエステル系フィルムより成る
ダイシングテープ用ポリエステル系軟質フィルムを提供
する。【解決手段】５０モル％以上がテレフタル酸またはナフ
タレンジカルボン酸であるジカルボン酸成分（Ａ）及び
５０モル％以上がエチレングリコールであるジオール成
分（Ｂ）から形成され、更に、共重合成分またはブレン
ド成分としてポリアルキレンエーテルグリコール成分
（Ｃ）を含有し、その割合が成分（Ａ）〜（Ｃ）の合計
量に対する値として１０重量%以上５０重量%以下である
ポリエステル樹脂から成る単層または当該単層を少なく
とも１層含む多層のフィルムであって、しかも、フィル
ムの少なくとも１方向のヤング率（Ｅ）が０．１〜２．
０（ＧＰａ）及び伸び（Ｓ）が１５０〜４００（％）で
ある。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、ダイシングテープ用ポ
リエステル系軟質フィルムに関し、詳しくは、主として
ポリエステルから成り、塩ビ並の強度と伸びを示すダイ
シングテープ用ポリエステル系軟質フィルムに関する。

【０００２】

【従来の技術】ダイシングテープ用途は、ダイシング工
程でエキスパンドと呼ばれる手順が必要なことから主と
して塩ビが使用されている。エキスパンドとは、粘着テ
ープを縦横に引き伸ばすことにより、切断されたＩＣチ
ップ同士が並ぶ間隔を広げ、機械でのピックアップをし
易くする役割を担っている。しかしながら、ＩＣ製造過
程では、更なる、ゴミの付着の防止とフィルムの厚み精
度の向上が求められており、それを実現する方法として
ポリエステル系での代替も種々試みられたが、その代替
は極めて難しいと考えられてきた。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】本発明は、上記実情に
鑑みなされたものであり、その目的は、従来困難と考え
られてきた塩化ビニルフィルム並の強度と伸びを示すポ
リエステル系フィルムより成るダイシングテープ用ポリ
エステル系軟質フィルムを提供することにある。

【課題を解決するための手段】

【０００４】本発明者らは、鋭意検討を重ねた結果、あ
る特定の成分を組み合わせにより、上記の目的を容易に
達成し得るとの知見を得、本発明の完成に到った。

【０００５】すなわち、本発明の要旨は、５０モル％以
上がテレフタル酸またはナフタレンジカルボン酸である
ジカルボン酸成分（Ａ）及び５０モル％以上がエチレン
グリコールであるジオール成分（Ｂ）から形成され、更
に、共重合成分またはブレンド成分としてポリアルキレ
ンエーテルグリコール成分（Ｃ）を含有し、その割合が
成分（Ａ）〜（Ｃ）の合計量に対する値として１０重量
%以上５０重量%以下であるポリエステル樹脂から成る単
層または当該単層を少なくとも１層含む多層のフィルム
であって、しかも、フィルムの少なくとも１方向のヤン
グ率（Ｅ）（ＧＰａ）及び伸び（Ｓ）（％）がそれぞれ
次の（ｉ）式および（ii）式を満足することを特徴とす
るダイシングテープ用ポリエステル系軟質フィルムに存
する。

【０００６】

【数２】０．１＜Ｅ＜２．０・・・（ｉ）１５０＜Ｓ＜４００・・・（ii）

【０００７】

【発明の実施の形態】以下、本発明を詳細に説明する。
本発明のダイシングテープ用ポリエステル系軟質フィル
ムは、特定のポリエステル樹脂から成る単層または当該
単層を少なくとも１層含む多層のフィルムから成る。

【０００８】上記のポリエステル樹脂は、５０モル％以
上がテレフタル酸またはナフタレンジカルボン酸である
ジカルボン酸成分（Ａ）及び５０モル％以上がエチレン
グリコールであるジオール成分（Ｂ）から形成され、更
に、共重合成分またはブレンド成分としてポリアルキレ
ンエーテルグリコール成分（Ｃ）を含有する。

【０００９】すなわち、本発明で使用するポリエステル
樹脂において、ポリアルキレンエーテルグリコール成分
（Ｃ）は、後述する高濃度で含有されていることが重要
であり、共重合成分またはブレンド成分の何れの形で含
有されていてもよい。本発明の好ましい態様において
は、ポリアルキレンエーテルグリコール成分（Ｃ）が共
重合成分の形で含有されている共重合ポリエステルが好
ましい。従って、以下の説明は主として共重合ポリエス
テルに基づいて行なう。

【００１０】ジカルボン酸成分（Ａ）としては、テレフ
タル酸、シュウ酸、マロン酸、コハク酸、アジピン酸、
アゼライン酸、セバシン酸、フタル酸、イソフタル酸、
ナフタレンジカルボン酸、ジフュニルエーテルジカルボ
ン酸などの一種または二種以上が挙げられる。本発明に
おいて、（Ａ）成分中の５０モル％以上は、テレフタル
酸またはナフタレンジカルボン酸とされるが、テレフタ
ル酸であることが好ましい。

【００１１】ジオール成分（Ｂ）としては、エチレング
リコール、プロピレングリコール、トリメチレングリコ
ール、テトラメチレングリコール、ヘキサメチレングリ
コール、ジェチレングリコール、ポリアルキレングリコ
ール、１．４−シクロヘキサンジメタノール、ネオペン
チルグリコール等の脂肪族ジオール及び／又は脂環式ジ
オールの一種または二種以上が挙げられる。本発明にお
いて、（Ｂ）成分中の５０モル％以上はエチレングリコ
ールとされる。

【００１２】本発明において、ポリエステル樹脂中に
は、本発明の効果を損なわない範囲内であれば、更に、
例えば、４，４’−ジヒドロキシビフェノール、２，２
−ビス（４’−ヒドロキシフェニル）プロパン、２，２
−ビス（４’−β−ヒドロキシエトキシフェニル）プロ
パン、ビス（４−ヒドロキシフェニル）スルホン、ビス
（４−βーヒドロキシエトキシフェニル）スルホン酸な
どの芳香族ジオール、グリコール酸、ｐ−ヒドロキシ安
息香酸、ｐ−βーヒドロキシエトキシ安息香酸などのヒ
ドロキシカルボン酸、アルコキシカルボン酸、ステアリ
ン酸、ステアリルアルコール、ベンジルアルコール、安
息香酸、ｔ−ブチル安息香酸、ベンゾイル安息香酸など
の単官能成分、トリカルバリル酸、ヘキサントリカルボ
ン酸、トリメリト酸、トリメシン酸、ピロメリト酸、ベ
ンゾフェノンテトラカルボン酸、ナフタレンテトラカル
ボン酸、１，２，６−ヘキサントリオール、没食子酸、
トリメチロールエタン、トリメチロールプロパン、グリ
セロール、ペンタエリスリトール、ソルビトール、ジペ
ンタエリスリトール、ポリグリセロール等の３官能以上
の多官能成分が含まれていてもよい。

【００１３】ポリアルキレンエーテルグリコール成分
（Ｃ）としては、例えば、ポリエチレングリコール、ポ
リプロピレングリコール、ポリトリメチレンエーテルグ
リコール、ポリテトラメチレンエーテルグリコール、ポ
リヘキサメチレンエーテルグリコール、エチレノキサイ
ドとプロピレンオキサイドのブロック又はランダム共重
合体などが挙げられる。これらは２種以上組み合わせて
使用することも出来る。これらの中では、ポリエチレン
グリコール、ポリテトラメチレンエーテルグリコールが
好ましく、ポリテトラメチレンエーテルグリコールが特
に好ましい。

【００１４】また、ポリアルキレンエーテルグリコール
成分（Ｃ）の数平均分子量は、通常３００〜１００００
０、好ましくくは４００〜３０００、更に好ましくは５
００〜１５００である。数平均分子量が３００未満の場
合は、フィルムの耐熱性が劣ったり、低分子量物が析出
したりし、１０００００を超える場合は、フィルムの透
明性が劣る。分子量の異なるポリアルキレンエーテルグ
リコール成分（Ｃ）を複数併用する場合は、数平均分子
量の平均値が上記の範囲であればよい。なお、上記の数
平均分子量は、ゲルパーミエーションクロマトグラフィ
ー等の一般的な方法により測定することが出来る。

【００１５】ポリアルキレンエーテルグリコール成分
（Ｃ）は、ポリエステル樹脂中に、１０重量％以上５０
重量％以下（成分（Ａ）〜（Ｃ）の合計量に対する値）
含まれていなければならない。ポリアルキレンエーテル
グリコール成分（Ｃ）の含有量が１０重量％未満の場合
は、フィルムの柔軟性が劣り、５０重量％を超える場合
はフィルム化が困難である。ポリアルキレンエーテルグ
リコール成分（Ｃ）の含有量は、好ましくは１５重量％
以上４０重量％以下、更に好ましくは２０重量％以上３
５重量％以下である。

【００１６】上記のポリエステル樹脂から成る単層を少
なくとも１層含む多層のフィルムにおいて、上記の単層
以外の層は、主としてジカルボン酸とジオールから成る
ポリエステルで構成される。代表的なポリエステルとし
ては、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）とその共
重合体、ポリエチレン−２，６−ナフタレンジカルボキ
シレート（ＰＦＨ）とその共重合体、ポリシクロヘキサ
ンジメチレンテレフタレートとその共重合体（ＰＣＴ
等）等が例示されるが、コスト−パフォーマンスの点か
ら、ＰＥＴを９５モル％以上含有するポリエステルが好
ましい。

【００１７】本発明の各層を構成する上記のポリエステ
ル樹脂は、何れも、ポリエステル樹脂の慣用の製造方法
（直接重合法、エステル交換法など）に従い、回分式ま
たは連続式に製造される。ポリアルキレンエーテルグリ
コール成分（Ｃ）及びテレフタル酸およびエチレングリ
コール以外の任意成分は、重縮合反応過程の任意の段階
で添加することが出来る。

【００１８】また、上記のポリエステル樹脂は、予め、
ジカルボン酸成分（Ａ）及びジオール成分（Ｂ）から成
る低重合度のオリゴマーを製造し、当該オリゴマーとポ
リアルキレンエーテルグリコール成分（Ｃ）とを重縮合
することにより得ることも出来る。

【００１９】重縮合反応により得られた樹脂は、通常、
重縮合反応槽の底部に設けられた抜き出し口からストラ
ンド状に抜き出され、水冷しながら又は水冷後、カッタ
ーで切断されてペレット状とされる。更に、この重縮合
後のペレットを加熱処理して固相重縮合させることによ
り、更に高重合化度させ得ると共に、反応副生物のアセ
トアルデヒドや低分子オリゴマー等を低減化することも
出来る。

【００２０】上記の製造方法において、エステル化反応
は、必要に応じ、例えば、三酸化二アンチモンの他、ア
ンチモン、チタン、マグネシウム、カルシウム等の有機
酸塩や有機金属化合物などのエステル化触媒の存在下に
行なうことが出来る。また、エステル交換反応は、必要
に応じ、例えば、リチウム、ナトリウム、カリウム、マ
グネシウム、カルシウム、マンガン、チタン、亜鉛など
の有機酸塩や有機金属化合物などのエステル交換触媒の
存在下に行なうことが出来る。

【００２１】また、重縮合反応は、例えば、正燐酸、亜
燐酸、次亜燐酸、ポリ燐酸、これらのエステルや有機酸
塩などの燐化合物の存在下、および、例えば、三酸化二
アンチモン、二酸化ゲルマニウム、四酸化ゲルマニウム
等の金属酸化物、或いは、アンチモン、ゲルマニウム、
亜鉛、チタン、コバルト等の有機酸塩や有機金属化合物
などの重縮合触媒の存在下に行なうことが出来る。特に
重縮合触媒としては、テトラブトキシチタネート、三酸
化アンチモン、二酸化ゲルマニウムから選択される１種
以上が好適に使用される。更には、重縮合過程での消泡
を促進するため、シリコーンオイル等の消泡剤を添加す
ることが好ましい。

【００２２】以上、ポリアルキレンエーテルグリコール
成分（Ｃ）が共重合成分の形で含有されている共重合ポ
リエステルについて説明したが、ポリアルキレンエーテ
ルグリコール成分（Ｃ）がブレンド成分の形で含有され
ているポリエステルの場合のポリアルキレンエーテルグ
リコール成分（Ｃ）のブレンドは、溶融押出機を使用し
て溶融混錬する方法によって行なうことが出来る。

【００２３】上記のポリエステル樹脂の固有粘度（フェ
ノール／１，１，２，２−テトラクロロエタン（重量比
＝１／１）の混合溶媒中３０℃で測定した値）は、通常
０．４以上１．５ｄｌ／ｇ以下、好ましくは０．５以上
１．２ｄｌ／ｇ以下、更に好ましくは０．６以上１．０
ｄｌ／ｇ以下である。固有粘度が０．４ｄｌ／ｇ未満の
場合はフィルムの強度が劣り、１．５ｄｌ／ｇを超える
場合はフィルムの製膜が困難となる。

【００２４】表層を形成するポリエステル樹脂には、延
伸フィルムとした際、耐ブロッキング性、易滑性などを
付与するため、無機または有機粒子を含有させるのが好
ましい。無機粒子としては、例えば、シリカ、アルミ
ナ、チタニア、カオリン、クレー、炭酸カルシウム、燐
酸カルシウム、弗化カルシウム、カーボンブラックの
他、ポリエステル重合時のアルカリ金属、アルカリ土類
金属、燐化合物の触媒に起因する析出物などが挙げられ
る。また、有機粒子としては、例えば、各種架橋ポリマ
ー等が挙げられる。

【００２５】粒子の平均粒子径は、通常０．００１以上
１０μｍ以下、好ましくは０．００５以上４μｍ、更に
好ましくは０．０１以上３μｍ以下である。粒子の平均
粒子径は、レーザー回折法、動的光散乱法などの電磁波
散乱法、遠心沈降法などの光透過法で測定される。な
お、平均粒子径とは、上記の方法で測定した５０％体積
平均粒子径（ｄ５０）である。

【００２６】粒子の添加は、通常、樹脂の重縮合過程で
行なわれるが、触媒に起因する析出物以外の粒子は、樹
脂の成形過程で行なってもよい。粒子の含有量は、フィ
ルムに対し、通常０．００５以上１０重量％以下、好ま
しくは０．０１以上１．０重量％以下、更に好ましくは
０．０２以上０．５重量％以下である。

【００２７】また、本発明のポリエステル樹脂は、本発
明の効果を損なわない範囲で各種の添加剤を含有してい
てもよい。

【００２８】上記の添加剤としては、ポリエチレン、ポ
リプロピレン、これらの無水マレイン酸変性物、アイオ
ノマー等のポリオレフィン系樹脂、ポリアミド系樹脂、
ポリカーボネート樹脂、ポリスチレン系樹脂などの他の
熱可塑性樹脂や熱可塑性エラストマーの他、ポリエステ
ル樹脂に共重合されないポリアルキレンエーテルグリコ
ール等が挙げられる。

【００２９】更に、上記の添加剤としては、ヒンダード
フェノール系、亜燐酸エステル系、チオエーテル系など
の酸化防止剤、ベンゾトリアゾール系、ベンゾフェノン
系、ベンゾエート系、ヒンダードアミン系、シアノアク
リレート系などの光安定剤、無機系および有機系の結晶
核剤、分子量調整剤、耐加水分解剤、帯電防止剤、滑
剤、離型剤、可塑剤、難燃剤、難燃助剤、発泡剤、着色
剤、分散助剤などの添加剤、ガラス繊維、カーボンファ
イバー、マイカ、チタン酸カリファイバー等の強化材が
挙げられる。

【００３０】上記の添加剤は、樹脂の重縮合過程で添加
してもよいが、樹脂の成形過程で添加してもよい。

【００３１】本発明のフイルムは、少なくとも１方向の
ヤング率（Ｅ）（ＧＰａ）及び伸び（Ｓ）（％）がそれ
ぞれ次の（ｉ）式および（ii）式を満足することを特徴
とする。

【００３２】

【数３】０．１＜Ｅ＜２．０・・・（ｉ）１５０＜Ｓ＜４００・・・（ii）

【００３３】上記のヤング率（Ｅ）は、好ましくは０．
１Ｇｐａ以上１．５Ｇｐａ以下、更に好ましくは０．２
Ｇｐａ以上１．０Ｇｐａ以下である。ヤング率（Ｅ）が
０．１Ｇｐａ未満の場合はフィルムの成形が困難とな
り、２．０Ｇｐａを超える場合はフィルムの柔軟性が劣
る。

【００３４】上記の伸び（Ｓ）は、好ましくは２００％
以上４００％以下、更に好ましくは２５０％以上３５０
％以下である。また、フィルムの全方向における伸び
（Ｓ）が上記の範囲であることが好ましい。伸び（Ｓ）
が１５０％未満の場合は、フィルムの柔軟性が劣り、４
００％を超える場合は柔らか過ぎてフィルムとしての機
能が損なわれる。

【００３５】本発明のフイルムの厚さは、特に制限され
ないが、通常１．０μｍ以上５００μｍ以下である。ま
た、本発明のフイルムの１００℃で３０分処理後におけ
る熱収縮率は１０．０％以下であることが好ましい。ま
た、前記のポリエステル樹脂から成る単層を少なくとも
１層含む多層のフィルムにおいて、上記の単層以外の層
は、通常、表層を形成する層として２層設けられる。こ
の場合、内層（前記のポリエステル樹脂から成る層）の
厚さに対する両側層の各厚さの比は、通常１：０．０１
〜０．５、好ましくは０．０５〜０．５である。

【００３６】次に、本発明のフイルムの製造方法につい
て説明する。ポリエステル樹脂から成る単層フィルムの
場合は、先ず、原料チップを必要に応じて乾燥した後、
押出機を使用して２００〜３００℃の温度で溶融させ、
押出した後、キャスティングドラム上に急冷して未延伸
シートを得る。ポリエステルチップの乾燥には、ホッパ
ードライヤー、パドルドライヤー、真空乾燥機などを使
用することが出来るが、斯かる乾燥を行なわずに、ＴＥ
Ｘ等のベント付きの押出機を使用するのが好ましい。押
出に際してはＴダイ法が好適である。また、キャスティ
ングに際しては、いわゆる静電密着法を使用することに
より、厚さむらの少ないシートを得ることが出来る。

【００３７】次いで、得られた未延伸シートを、引き続
く延伸工程において（Ｔｇmin−１０℃）以上（Ｔｃmax
−５℃）以下の温度範囲で少なくとも縦および／または
横共に２．０倍以上延伸する。ここに、「Ｔｇmin」
は、原料ポリエステルのＴｇの最小値、「Ｔｃmax」
は、原料ポリエステルのＴｃの最大値を表す。但し、Ｔ
ｇを示さないポリエステルについては、結晶性を有する
含有量での値を外挿することによって求めた値とする。

【００３８】次いで、得られた一軸または二軸延伸フイ
ルムを、引き続く熱固定工程において１５０〜２４０℃
の温度で熱固定する。熱固定は、一般的には緊張固定下
で行なわれるが、熱固定時および／または熱固定後の冷
却時にフイルムの長手方向および／または幅方向に２０
％以下弛緩を行ったり、または、巾出しを行なうことも
出来る。

【００３９】また、延伸工程中または延伸前もしくは延
伸後、フイルムの片面または両面にコロナ放電処理、薬
液処理、火炎処理などの各種表面処理を施し、フイルム
の接着性などを向上させることも出来る。更には、上記
の延伸工程中または延伸前もしくは延伸後、フイルムの
片面または両面に塗布を行ない、フイルムの接着性、帯
電防止性、易滑性などを向上させることも可能である。

【００４０】ポリエステル樹脂から成る単層を少なくと
も１層含む多層のフィルムの場合は、押出しに共押出法
（コエクストルージョン法）が採用される他は、上記と
同様の方法によって製造される。

【００４１】上記の様にして得られた単層または多層の
ポリエステル系軟質フィルムは、巻き取られてダイシン
グテープとして使用される。そして、厚さ振れが少な
く、異物、ゴミの付着や含有も少ないため、ダイシング
テープ用途に好適に使用される。

【００４２】

【実施例】以下、本発明を実施例を挙げて更に詳細に説
明するが、本発明は、その要旨を超えない限り、以下の
実施例に限定されるものではない。なお、評価方法およ
び原料ポリエステルの製造方法は以下の通りである。ま
た、「部」とあるのは「重量部」を示す。

【００４３】（１）極限粘度［η］：ポリマー１ｇをフ
ェノール／テトラクロロエタン＝５０／５０（重量比）
の混合溶媒１００ｍｌ中に溶解し３０℃で測定する。

【００４４】（２）ヤング率（Ｅ）：（株）インテスコ
製「引張試験機インテスコモデル２００１型」を使用
し、温度２３℃、湿度５０％ＲＨに調節された長さ３０
０mm、幅２０mmの試料フィルムを、１０％／minのひず
み速度で引っ張り、引張応力−ひずみ曲線の初めの直線
部分を使用して次の（iii）式により計算した。

【００４５】

【数４】Ｅ＝（Δσ／Δε）×９．８０７・・・（iii）Ｅ：ヤング率（引張弾性率）（ＭＰａ） Δσ：直線上の２点間の元の平均断面積による応力差 Δε：同じ２点間のひずみ差

【００４６】（３）伸び（Ｓ）：（株）インテスコ製
「引張試験機インテスコモデル２００１型」を使用し、
温度２３℃、湿度５０％ＲＨに調節された長さ５０mm、
幅１５mmの試料フィルムを、２００mm／minの速度で引
っ張り、引張応力−ひずみ曲線より、次の（iv）式に示
す値を求めた。

【００４７】

【数５】Ｓ＝（Ｌ−Ｌ。）／Ｌ。×１００・・・（iv）Ｓ：伸び（引張破壊伸度）（％）Ｌ：破壊時の標点間距離（mm）Ｌ。：元の標点間距離（mm）

【００４８】（４）融点（Ｔｍ）、二次転移温度（Ｔ
ｇ）、結晶化温度（Ｔｃ）：試料片１０ｍｇから、ティ
ー・エイ・インスツルメント株式会社製「ＭＤＳＣ２９
２０」を使用して常法により測定した。融点は（Ｔｍ）
は２０〜３００℃の範囲を２０℃／minの速度で昇温
し、融解吸熱ピークの頂点温度を融点（Ｔｍ）とした。
二次転移温度（Ｔｇ）は２０〜２９０℃間で２０℃／mi
nの速度で昇温させ、２９０℃で３分間溶融保持した後
２０℃以下間で急冷し、次いで、２０〜２００℃の範囲
を２０℃／minの速度で再度昇温させた際のガラス転移
による変位温度を二次転移温度（Ｔｇ）とした。更に、
結晶化温度（Ｔｃ）は２０〜２９０℃まで２０℃／min
の速度で昇温させ、２９０℃で３分間溶融保持した後、
２０℃以下間で急冷し、次いで、２０〜２００℃の範囲
を２０℃／minの速度で再度昇温させた際の結晶化ピー
クの頂点温度を結晶化温度（Ｔｃ）とした。

【００４９】実施例１テレフタル酸３０．３ｋｇ、エチレングリコール１２．
２Ｌ、ポリテトラメチレンエーテルグリコール（数平均
分子量１０００）１５．０ｋｇを原料とし、触媒および
助触媒として、テトラブトキシチタネートと正燐酸およ
び酢酸コバルトを使用し、平均粒径２．４μｍの無定形
シリカ（富士シリシア社製「サイリシア３２０」）をポ
リエステルに対して０．１５重量となる様に添加し、２
７０℃、４００Ｐａでの直接重縮合法により共重合ポリ
エステル樹脂を得た。そして、重合槽より共重合ポリエ
ステル樹脂をストランド状に抜き出し、冷却後、ペレタ
イザーでカットすることによりペレット形状で回収し
た。得られた共重合ポリエステル樹脂チップの固有粘度
は０．７９であった。

【００５０】上記のチップを風乾し、ベント付き２軸押
出し機（ＴＥＸ）に供給し、２５５℃で押出し、キャス
ティングドラム上で急冷し、未延伸樹脂シートを得た。
得られた未延伸樹脂シートを、ロール延伸機により、５
０℃で縦方向に３．５倍延伸した後、テンター延伸機に
より、７０℃で横方向に３．６倍延伸し、引き続き、テ
ンター内にて２００℃で熱固定し、２５μｍの２軸延伸
フイルムを得た。

【００５１】得られたフイルムについて、ヤング率
（Ｅ）と伸び（Ｓ）を測定したところ、それぞれ、０．
５Ｇｐａおよび３００％と柔軟性に富んだフィルムであ
った。常法で得られたポリエチレンテレフタレート単体
のフィルム（比較例１）と比較したところ、ヤング率は
１／１０、伸びは約２．３倍であり、これまでにない柔
軟なポリエステル系フィルムであることが判明した。そ
して、このフィルムをベースに粘着剤などを施し、ダイ
シングテープとして実際に使用したところ、フィルムの
厚み精度に優れると共に異物の混入や付着も少なく良好
な結果が得られた。

【００５２】実施例２テレフタル酸３０．３ｋｇ、エチレングリコール１２．
２Ｌ、ポリテトラメチレンエーテルグリコール（数平均
分子量１０００）１５．０ｋｇを原料とし、触媒および
助触媒として、テトラブトキシチタネートと正燐酸およ
び酢酸コバルトを使用し、２７０℃、４００Ｐａでの直
接重縮合法により共重合ポリエステル樹脂（ＣＯ−ＰＥ
Ｔ）を得た。そして、重合槽よりＣＯ−ＰＥＴをストラ
ンド状に抜き出し、冷却後、ペレタイザーでカットする
ことによりペレット形状で回収した。

【００５３】一方、ポリエステルに対して平均粒径２．
４μｍの無定形シリカ（富士シリシア社製「サイリシア
３２０」）を０．１５重量％となる様に添加した以外
は、常法に従ってポリエチレンテレフタレート樹脂（Ｈ
Ｍ−ＰＥＴ）を得た。

【００５４】上記のＣＯ−ＰＥＴ及びＨＭ−ＰＥＴの各
ペレットをそれぞれ風乾および乾燥し、ベント付き２軸
押出し機（ＴＥＸ）に別々の導管を通して供給し、ＣＯ
−ＰＥＴは２５５℃で、ＨＭ−ＰＥＴは３００℃で押出
し、ＨＭ−ＰＥＴ／ＣＯ−ＰＥＴ／ＨＭ−ＰＥＴの２種
３層の未延伸積層フィルムを得た。

【００５５】上記の未延伸樹脂シートを、ロール延伸機
により５０℃で縦方向に３．５倍延伸した後、テンター
延伸機により７０℃で横方向に３．６倍延伸し、引き続
き、テンター内にて２００℃で熱固定し、２５μｍの２
軸延伸フイルムを得た（フィルムの厚み構成は２μｍ／
２１μｍ／２μｍである）。

【００５６】得られた積層フイルムのヤング率（Ｅ）と
伸び（Ｓ）を測定したところ、それぞれ、０．５Ｇｐａ
及び３００％と柔軟性に富んだ積層フィルムであった。
また、上記の積層フィルムについて耐溶剤性試験を行な
った結果、メチルエチルケトン、イソプロピルアルコー
ル、酢酸エチル及びトルエンの何れの溶剤に対しても何
ら変化は無く良好であった。更に、ポリオレフィンで問
題になる異物は圧倒的に少ないフィルムであった。この
フィルムをベースに粘着剤などを施し、ダイシングテー
プとして実際に使用したところ、フィルムの厚み精度に
優れると共に異物の混入や付着も少なく良好な結果が得
られた。

【００５７】

【発明の効果】以上説明した本発明によれば、従来困難
と考えられてきた塩化ビニルフィルム並の強度と伸びを
示すポリエステル系フィルムより成るダイシングテープ
用ポリエステル系軟質フィルムが提供される。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.⁷ 識別記号ＦＩテーマコート゛(参考） //(Ｃ０８Ｌ 67/02 Ｈ０１Ｌ 21/78 Ｍ 71:02） (72)発明者奥村博輝滋賀県坂田郡山東町井之口347番地三菱化学ポリエステルフィルム株式会社中央研究所内Ｆターム(参考） 4F071 AA44X AA47 AA51 AA51X AA76 AA81 AA84 AA88 AF14 AF21 AH12 BA01 BB06 BB08 BC01 BC10 BC12 4F100 AA20 AK41A AL01A AT00B AT00C AT00D AT00E BA02 BA03 BA04 BA05 BA06 BA07 BA10A BA10B BA10C BA10D BA10E BA13 EH20 EH202 EJ38 EJ382 GB41 GB90 JA07A JA07B JA07C JA07D JA07E JK01 JK01A JK08 YY00A YY00B YY00C YY00D YY00E 4J002 CF061 CF081 CH012 CH022 GF00 GQ00 4J004 AB01 CA06 CC02 CC03 CD01 CD08 CD10 FA05 FA08

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】５０モル％以上がテレフタル酸またはナ
フタレンジカルボン酸であるジカルボン酸成分（Ａ）及
び５０モル％以上がエチレングリコールであるジオール
成分（Ｂ）から形成され、更に、共重合成分またはブレ
ンド成分としてポリアルキレンエーテルグリコール成分
（Ｃ）を含有し、その割合が成分（Ａ）〜（Ｃ）の合計
量に対する値として１０重量%以上５０重量%以下である
ポリエステル樹脂から成る単層または当該単層を少なく
とも１層含む多層のフィルムであって、しかも、フィル
ムの少なくとも１方向のヤング率（Ｅ）（ＧＰａ）及び
伸び（Ｓ）（％）がそれぞれ次の（ｉ）式および（ii）
式を満足することを特徴とするダイシングテープ用ポリ
エステル系軟質フィルム。【数１】０．１＜Ｅ＜２．０・・・（ｉ）１５０＜Ｓ＜４００・・・（ii）
【請求項２】ポリアルキレンエーテルグリコール成分
（Ｃ）が共重合成分として含有されている請求項１に記
載のダイシングテープ用ポリエステル系軟質フィルム。
【請求項３】ポリアルキレンエーテルグリコール成分
（Ｃ）が数平均分子量が３００から１０００００のポリ
テトラメチレンエーテルグリコールである請求項１又は
２に記載のダイシングテープ用ポリエステル系軟質フィ
ルム。