JP2006245169A - 放射線画像検出器および放射線画像信号検出装置 - Google Patents

放射線画像検出器および放射線画像信号検出装置 Download PDF

Info

Publication number
JP2006245169A
JP2006245169A JP2005056997A JP2005056997A JP2006245169A JP 2006245169 A JP2006245169 A JP 2006245169A JP 2005056997 A JP2005056997 A JP 2005056997A JP 2005056997 A JP2005056997 A JP 2005056997A JP 2006245169 A JP2006245169 A JP 2006245169A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
radiation image
image detector
electrode
charge
layer
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Withdrawn
Application number
JP2005056997A
Other languages
English (en)
Inventor
Akira Yamaguchi
晃 山口
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Fujifilm Holdings Corp
Original Assignee
Fuji Photo Film Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Fuji Photo Film Co Ltd filed Critical Fuji Photo Film Co Ltd
Priority to JP2005056997A priority Critical patent/JP2006245169A/ja
Publication of JP2006245169A publication Critical patent/JP2006245169A/ja
Withdrawn legal-status Critical Current

Links

Images

Landscapes

  • Light Receiving Elements (AREA)
  • Measurement Of Radiation (AREA)
  • Solid State Image Pick-Up Elements (AREA)

Abstract

【課題】 放射線画像を担持した放射線の照射を受けて発生し蓄積された電荷信号が、多数の透明線状電極、絶縁層および多数の遮光線状電極がこの順に積層された電極層により読み出される放射線画像検出器において、上記放射線画像検出器とチャージアンプICを有するフレキシブル基板とを熱圧着により接続する際、上記絶縁層の存在に関わらず上記遮光線状電極とフレキシブル基板のチャージアンプICの信号入力線とが適切に接続されるようにする。
【解決手段】 遮光線状電極15bが露出された接続領域10aを設け、その接続領域10aと絶縁層15cとの境界の近傍の接続領域10aに、電荷信号が流されることのないダミー線10bを設けるようにし、遮光線状電極15bを絶縁層15cの段差近傍に設けないようにする。
【選択図】 図3

Description

本発明は、放射線画像を担持した放射線の照射を受けて電荷を発生し、その発生した電荷を蓄積する電荷蓄積層と、上記電荷を読み出すために用いられる多数の第1の線状電極および第2の線状電極が絶縁層を介して設けられた電極層とを備えた放射線画像検出器および該放射線画像検出器を備えた放射線画像信号検出装置に関するものである。
従来、医療分野などにおいて、被写体を透過した放射線の照射を受けて被写体に関する放射線画像を記録し、その記録された放射線画像に応じた電気信号を出力する放射線画像検出器が各種提案、実用化されている。
上記のような放射線画像検出器としては、たとえば、放射線の照射により電荷を発生する半導体材料を利用し、その発生した電荷を蓄積するとともに、その蓄積された電荷に応じた電気信号を出力する放射線画像検出器が種々提案されており、そのような放射線画像検出器として、いわゆる光読取方式のものが提案されている。
そして、上記光読取方式の放射線画像検出器としては、たとえば、放射線を透過する第1の電極層、放射線の照射を受けることにより電荷を発生する記録用光導電層、潜像電荷に対しては絶縁体として作用し、かつ潜像電荷と逆極性の輸送電荷に対しては導電体として作用する電荷輸送層、読取光の照射を受けることにより電荷を発生する読取用光導電層、および読取光を透過する透明線状電極と読取光を遮光する遮光線状電極とが交互に配列された第2の電極層をこの順に積層してなる放射線画像検出器が提案されている(たとえば、特許文献1参照)。
ここで、上記のような光読取方式の放射線画像検出器から出力された電気信号を検出するものとして、比較的ノイズが小さいチャージアンプICが一般的に用いられ、上記のようなチャージアンプICとして、たとえば、TAB(Tape Automated Bonding)のようなフレキシブル基板が用いられる。
そして、上記のようなフレキシブル基板を第2の電極層の透明線状電極または遮光線状電極に接続するため、上記放射線画像検出器においては、透明線状電極または遮光線状電極が露出された接続領域が設けられている。
たとえば、上記のような放射線画像検出器の第2の電極層が、図5に示すように、透明線状電極15aと遮光線状電極15bとが絶縁層15cを介して形成されてなるものである場合であって、遮光線状電極15bにフレキシブル基板のチャージアンプICを接続するような場合には、第2の電極層の一部に、図6に示すような、遮光線状電極15bを露出させた接続領域を形成する必要がある。そして、上記のように形成された接続領域における遮光線状電極15bにチャージアンプの信号入力端子が接続される。
特開2001−160922号公報
しかしながら、上記のようにチャージアンプICとしてフレキシブル基板を使用し、熱圧着によりチャージアンプICの信号入力線と上記接続領域における遮光線状電極15bとを接続するようにした場合には、絶縁層15cによって段差が形成されているため、この段差近傍における遮光線状電極15bとチャージアンプICの信号入力線とが十分に接触せず、接触不良を起こして適切に信号検出できない不具合を生じるおそれがある。
本発明は、上記事情に鑑み、放射線画像検出器から読み出された電荷信号が流れる線状電極とチャージアンプICの信号入力線とを適切に接続することができる放射線画像検出器および該放射線画像検出器を備えた放射線画像信号検出装置を提供することを目的とするものである。
本発明の放射線画像検出器は、放射線画像を担持した放射線の照射を受けて電荷を発生し、その発生した電荷を蓄積する電荷蓄積層と、電荷蓄積層に蓄積された電荷を読み出すために用いられる多数の第1の線状電極からなる第1のストライプ電極、絶縁層および電荷蓄積層に蓄積された電荷を読み出すために用いられる多数の第2の線状電極からなる第2のストライプ電極がこの順に積層された電極層とを備えた放射線画像検出器において、電極層が、その一部に電荷蓄積層、第1のストライプ電極および絶縁層が設けられることなく第2のストライプ電極が露出された接続領域を有し、その接続領域と絶縁層との境界の近傍の接続領域に、電荷信号が流されることのないダミー線が設けられていることを特徴とする。
また、上記放射線画像検出器においては、ダミー線を、第2の線状電極の配列間隔と同じ間隔で複数配列するようにすることができる。
また、ダミー線を、第2の線状電極と同じ断面を有するものとすることができる。
本発明の放射線画像信号検出装置は、上記放射線画像検出器と、上記放射線画像検出器における接続領域において上記第2のストライプ電極に接続される信号線を有するフレキシブル基板とを備えた放射線画像信号検出装置において、フレキシブル基板が、放射線画像検出器におけるダミー線に対向する位置に設けられたフレキシブル基板側ダミー線を有することを特徴とする。
本発明の放射線画像検出器および放射線画像信号検出装置によれば、放射線画像検出器の接続領域と絶縁層との境界の近傍の接続領域に、放射線画像検出器から読み出された電荷信号が流されることのないダミー線を設けるようにし、放射線画像検出器から読み出された電荷信号が流される線状電極を絶縁層の段差近傍に設けないようにしたので、上記線状電極に対してチャージアンプICの信号入力線を適切に接続することができる。
以下、図面を参照して本発明の放射線画像信号検出装置の一実施形態について説明する。図1に、本放射線画像信号検出装置の概略構成図を示す。
本放射線画像信号検出装置は、図1に示すように、放射線画像を担持した放射線の照射を受けて電荷を発生し、その発生した電荷を電気信号として出力する平面形状の放射線画像検出器10と、放射線画像検出器10から出力された電気信号を検出するチャージアンプIC21が設けられたフレキシブル基板20と、フレキシブル基板20から出力された出力信号が入力される回路基板(図示省略)とを備えている。
図2(A)に放射線画像検出器10の一部斜視図を、図2(B)に図2(A)に示す放射線画像検出器10のB−B線断面図を示す。
放射線画像検出器10は、図2(A),(B)に示すように、放射線画像を担持した放射線を透過する第1の電極層11、第1の電極層11を透過した放射線の照射を受けることにより電荷を発生する記録用光導電層12、記録用光導電層12において発生した電荷に対しては絶縁体として作用し、且つその電荷と逆極性の輸送電荷に対しては導電体として作用する電荷輸送層13、読取光の照射を受けることにより電荷を発生する読取用光導電層14、および読取光を透過する線状に延びる透明線状電極15aと読取光を遮光する線状に延びる遮光線状電極15bとが交互の平行に配列された第2の電極層15をこの順に積層してなるものである。そして、第2の電極層15における透明線状電極15aと遮光線状電極15bとの間には絶縁層15cが形成されている。絶縁層15cは、たとえば、SiNまたはSiOなどから形成され、その厚さはたとえば1μm程度である。また、記録用光導電層12と電荷輸送層13との界面には放射線の照射量に応じて発生した電荷が蓄積される蓄電部16が形成される。なお、図2は、放射線画像検出器10の層構成を説明するために示したものであり、後述する放射線画像検出器10における接続領域などは図示省略してある。
そして、放射線画像検出器10には、図1に示すように、その一部に、遮光線状電極15bが露出された接続領域10aを有している。この接続領域10aには、第1の電極層11、記録用光導電層12、電荷輸送層13、読取用光導電層14、透明線状電極15aおよび絶縁層15cは設けられていない。
図3に、図1における3−3線断面図の一部を示す。図3に示すように、接続領域10aにおいては、上述したように遮光線状電極15bが露出されており、接続領域10aと絶縁層15cとの境界の近傍の接続領域10aには、放射線画像検出器10から読み出された電荷信号が流されることのないダミー線10bが設けられている。つまり、絶縁層15cの段差近傍にダミー線10bが設けられている。そして、ダミー線10bは、遮光線状電極15bの配列間隔と同じ間隔で、遮光線状電極15b列の両側にそれぞれ2本ずつ設けられている。なお、本実施形態においては、ダミー線10bを上記のように2本ずつ設けるようにしたが、1本でもよいし、3本以上設けるようにしてもよい。また、遮光線状電極15b列とダミー線10b列との間隔も、遮光線状電極15bの配列間隔と同じ大きさとすることが望ましい。また、ダミー線10bは、遮光線状電極15bと同じ断面を有する形状で形成することが望ましい。上記のようにダミー線10bを形成して配置することにより、熱圧着時における熱伝導一様性を確保することができる。
また、第2の電極層15には、透明線状電極15aと遮光線状電極15bだけでなく、図1および図3に示すように、グランド線30が設けられている。グランド線30は、図1に示すように、放射線画像検出器10の周縁部を囲むように設けられているとともに、透明線状電極15aの一端側が接続され、このグランド線30と透明線状電極15aとがともに接地されている。上記のようにグランド線30を設けることにより、透明線状電極15aに飛び込むノイズをグランド線30によってガードリングすることができる。
一方、上記のような構成の放射線画像検出器10に接続されるフレキシブル基板20は、図1および図3に示すように、チャージアンプIC21が設置されるフィルム基板22と、チャージアンプIC21の入力端と放射線画像検出器10の遮光線状電極15bとに接続される複数の信号入力線20aと、チャージアンプIC21の出力端と回路基板(図示省略)とに接続される複数の信号出力線20bと、放射線画像検出器10のグランド線30と回路基板の回路基板用グランド線とに接続されるフレキシブル基板用グランド線20cと、放射線画像検出器10におけるダミー線10bに対向する位置に設けられたフレキシブル基板側ダミー線20dとを備えている。なお、フィルム基板25aは、たとえば、ポリイミドから形成するようにすればよい。また、チャージアンプIC20のグランド端子(チャージアンプの非反転入力)とフレキシブル基板用グランド線20cはIC用グランド線20eによって接続されている。
そして、フレキシブル基板20は、異方導電性フィルム(ACF : Anisotropic Conductive Film)を用いた熱圧着によって放射線画像検出器10に接続されるが、図3に示すように、放射線画像検出器10の遮光線状電極15bとフレキシブル基板20の信号入力線20aとが接触し、放射線画像検出器10のグランド線30とフレキシブル基板用グランド線20cとが接触し、放射線画像検出器10のダミー線10bとフレキシブル基板側ダミー線20dとが対向するように配置されて熱圧着される。
上記放射線画像信号検出装置によれば、放射線画像検出器10の接続領域10aと絶縁層15cとの境界の近傍の接続領域10aに、放射線画像検出器10から読み出された電荷信号が流されることのないダミー線10bを設けるようにし、放射線画像検出器10から読み出された電荷信号が流される遮光線状電極15bを絶縁層15cの段差近傍に設けないようにしたので、上記遮光線状電極15bに対してチャージアンプIC21の信号入力線20aを適切に接続することができる。
また、放射線画像検出器10にだけでなく、フレキシブル基板20側にもフレキシブル基板側ダミー線20dを設けるようにしたので、熱圧着時における熱伝導一様性をさらに確保することができる。
また、上記放射線画像信号検出装置においては、第2の電極層15が透明線状電極15aと遮光線状電極15bとから構成される放射線画像検出器10を利用するようにしたが、これに限らず、たとえば、遮光線状電極15bの代わりに透明線状電極15aを設けたタイプの放射線画像検出器を利用するようにしてもよい。
また、上記放射線画像検出器10の第2の電極層15における透明線状電極15aと遮光線状電極15bとを入れ替えた構成としてもよい。
また、上記実施形態においては、放射線の照射を受けてその放射線を直接電荷に変換することにより放射線画像の記録を行う、いわゆる直接変換方式の放射線画像検出器を利用するようにしたが、これに限らず、たとえば、放射線を一旦可視光に変換し、その可視光を電荷に変換することにより放射線画像の記録を行う、いわゆる間接変換方式の放射線画像検出器を利用するようにしてもよい。
本発明の放射線画像信号検出装置の一実施形態の概略構成図 図1に示す放射線画像信号検出装置における放射線画像検出器の概略構成図 図1に示す放射線画像検出器の3−3線断面図の一部 従来の放射線画像検出器の電極層の構成を示す図 従来の放射線画像検出器における接続領域を示す図
符号の説明
10 放射線画像検出器
10a 接続領域
10b ダミー線
11 第1の電極層
12 記録用光導電層
13 電荷輸送層
14 読取用光導電層
15 第2の電極層
15a 透明線状電極(第1の線状電極)
15b 遮光線状電極(第2の線状電極)
15c 絶縁層
16 蓄電部
20 フレキシブル基板
21 チャージアンプIC
22 フィルム基板
20a 信号入力線
20b 信号出力線
20c フレキシブル基板用グランド線
20d フレキシブル基板側ダミー線
30 グランド線

Claims (4)

  1. 放射線画像を担持した放射線の照射を受けて電荷を発生し、該発生した電荷を蓄積する電荷蓄積層と、該電荷蓄積層に蓄積された電荷を読み出すために用いられる多数の第1の線状電極からなる第1のストライプ電極、絶縁層および前記電荷蓄積層に蓄積された電荷を読み出すために用いられる多数の第2の線状電極からなる第2のストライプ電極がこの順に積層された電極層とを備えた放射線画像検出器において、
    前記電極層が、該一部に前記電荷蓄積層、前記第1のストライプ電極および前記絶縁層が設けられることなく前記第2のストライプ電極が露出された接続領域を有し、
    該接続領域と前記絶縁層との境界の近傍の前記接続領域に、前記電荷信号が流されることのないダミー線が設けられていることを特徴とする放射線画像検出器。
  2. 前記ダミー線が、前記第2の線状電極の配列間隔と同じ間隔で複数配列されていることを特徴とする請求項1記載の放射線画像検出器。
  3. 前記ダミー線が、前記第2の線状電極と同じ断面を有するものであることを特徴とする請求項1または2記載の放射線画像検出器。
  4. 請求項1から3いずれか1項記載の放射線画像検出器と、前記接続領域において前記第2のストライプ電極に接続される信号線を有するフレキシブル基板とを備えた放射線画像信号検出装置において、
    前記フレキシブル基板が、前記放射線画像検出器における前記ダミー線に対向する位置に設けられたフレキシブル基板側ダミー線を有することを特徴とする放射線画像信号検出装置。
JP2005056997A 2005-03-02 2005-03-02 放射線画像検出器および放射線画像信号検出装置 Withdrawn JP2006245169A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2005056997A JP2006245169A (ja) 2005-03-02 2005-03-02 放射線画像検出器および放射線画像信号検出装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2005056997A JP2006245169A (ja) 2005-03-02 2005-03-02 放射線画像検出器および放射線画像信号検出装置

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JP2006245169A true JP2006245169A (ja) 2006-09-14

Family

ID=37051295

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2005056997A Withdrawn JP2006245169A (ja) 2005-03-02 2005-03-02 放射線画像検出器および放射線画像信号検出装置

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP2006245169A (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN106646576A (zh) * 2016-11-28 2017-05-10 中国科学院合肥物质科学研究院 一种适用于强核辐照环境的高增益模拟放大装置

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN106646576A (zh) * 2016-11-28 2017-05-10 中国科学院合肥物质科学研究院 一种适用于强核辐照环境的高增益模拟放大装置

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP5358509B2 (ja) 放射線検出器モジュール
JP5693174B2 (ja) 放射線検出装置及び放射線検出システム
JP2008510130A5 (ja)
JP6231778B2 (ja) 電気デバイスおよび放射線検査装置
JP2001099942A (ja) X線平面検出装置
JP4227389B2 (ja) 撮像装置及びその製造方法
JP2008539415A (ja) ディジタルフラットx線検出器
JP2007214191A (ja) 放射線検出器および放射線検査装置
JP2007155564A (ja) 放射線検出器および放射線画像検出装置
US20120181438A1 (en) Radiation detecting apparatus, radiation detecting system, and method of manufacturing radiation detecting apparatus
JP5973834B2 (ja) 放射線検出器
JP6631610B2 (ja) 撮像ユニット及び撮像装置
JP2006245169A (ja) 放射線画像検出器および放射線画像信号検出装置
TW200413744A (en) Active-matrix substrate and electromagnetic wave detector
JP2008232873A (ja) 放射線固体検出器
JP4138405B2 (ja) ライン光源および読取用露光装置
JP3131108U (ja) 光または放射線検出装置
JP2006226750A (ja) 放射線画像信号検出装置およびフレキシブル基板
JP4641211B2 (ja) 放射線検出器および放射線検査装置
JP4373405B2 (ja) 放射線検出器および放射線検査装置
JP4545628B2 (ja) 放射線検出回路、放射線検出器および放射線検査装置
JP2005241334A (ja) 放射線検出装置
JP2013076577A (ja) X線検出パネル
JP2008089491A (ja) 放射線画像検出装置
JP3723002B2 (ja) 放射線画像読取方法および装置、並びにそれに使用する放射線固体検出器

Legal Events

Date Code Title Description
A711 Notification of change in applicant

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A712

Effective date: 20061208

A300 Application deemed to be withdrawn because no request for examination was validly filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300

Effective date: 20080513