JP2006244632A - 半導体記憶装置 - Google Patents

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Abstract

【課題】外部データバス幅が、使用される誤り訂正符号の情報長よりも短い場合でも、高速なデータ転送レートが得られ、さらにチップ面積の増加を抑制できる半導体記憶装置を提供する。
【解決手段】半導体記憶装置は、書き込みデータ転送経路、読み出しデータ転送経路、符号生成回路CODEGENを備える。書き込みデータ転送経路は、入力バッファDINBUFとセルアレイCA間に配置され、入力バッファDINBUFに入力されたデータをメモリセルへ伝達する。読み出しデータ転送経路は、セルアレイCAと出力バッファDOUTBUF間に配置され、メモリセルからのデータを出力バッファDOUTBUFへ伝達する。符号生成回路CODEGENは、書き込みデータ転送経路に配置され、データを符号化して誤り訂正符号を生成する。書き込み及び読み出しデータ転送経路が持つ少なくとも一部のデータバスのビット幅は、符号生成回路CODEGENにより生成された誤り訂正符号の符号長の2倍より大きい。
【選択図】 図2

Description

本発明は、誤り訂正機能を有する同期型の半導体記憶装置に関するものである。
高速なデータ転送をおこなうために、クロックに同期した同期型の半導体記憶装置が知られている。例えば、同期型の半導体記憶装置として、3段パイプライン方式のシンクロナスDRAMが公表されている(例えば、非特許文献1参照)。
ここでは、このような同期型の半導体記憶装置に、誤り訂正機能を適用したものを考える。図13は、半導体記憶装置が含むDRAMマクロにおいてECC(error checking and correction)を適用した場合のデータバスに沿った構成のみを抜き出して示した図である。
図13において、右からセルアレイCAおよびセンスアンプSA、制御回路DQBUFBLK、ECC入出力ブロックECCIOBLKの各ブロックが配置されている。センスアンプSAには、16本のカラム選択線CSLが入力されている。制御回路DQBUFBLKには、DQバッファDQBUF、及びRD線駆動回路RDDRVが配置されている。DQバッファDQBUFは、カラムリダンダンシ制御ならびにDQ線制御を行うDQ線リードバッファ、DQ線ライトバッファを含む。RD線駆動回路RDDRVはRD線を駆動する。
ECC入出力ブロックECCIOBLKには、データ入出力制御をおこなう入力バッファDINBUF、出力バッファDOUTBUFと、ECC機能を実現するための符号生成回路CODEGEN、シンドロームジェネレータSYNDGEN、誤り訂正回路ECの各回路ブロック、さらにWD線を駆動するためのWD線駆動回路WDDRVが配置されている。符号生成回路CODEGENは、データ書き込み時に符号を生成する。シンドロームジェネレータSYNDGENは、データリード時にシンドロームを発生し、誤り訂正回路ECはシンドロームのデコードと誤り訂正を行う。
さらに、この図13においてライト動作時のデータの流れを説明するものが図14である。外部データバス幅を128ビットとし、入力データDINが入力バッファDINBUFを介して128ビットのデータWDxとして伝えられる。この128ビットのデータWDxを情報ビットとして、符号生成回路CODEGENにて符号(コード)を発生する。符合は、1誤り訂正2誤り検出可能な組織化ハミングコードを使用しているものとする。このとき、検査符号長は9ビットで十分なので、情報ビットとしての128ビットとパリティビットとしての9ビットを合わせた137ビットが符号長となる。符号化された137ビットのデータWDyは、WD線駆動回路WDDRVにて駆動されてDQバッファDQBUFに伝えられ、DQ線を介してメモリセルに書き込まれる。ここで、DQ線は、DQt/DQcの相補信号線対であり、カラムリダンダンシ用に4つのDQ線対分を含んでいる。
図15は、図13におけるリード動作時のデータの流れを示す図である。カラムリダンダンシ、およびECC用のパリティビットを含むデータがセルアレイから読み出され、141ビットのDQ線を介してDQバッファDQBUFに入力される。DQバッファDQBUFに入力されたデータは、リダンダンシ制御された後、137ビットのRD線に伝達される。つぎに、RD線に読み出されたデータは、RD線駆動回路RDDRVで駆動され、データRDyとなり、ECC入出力ブロックECCIOBLK内のシンドロームジェネレータSYNDGENと誤り訂正回路ECに到達する。
137ビットのデータRDyのうち、パリティビットとしての9ビットと、情報ビットとしての128ビットがシンドロームジェネレータSYNDGENに入力され、シンドロームジェネレータSYNDGENは、9ビットのシンドローム(syndrome)を生成する。生成されたシンドロームは、誤り訂正回路EC内にてデコードされる。誤り訂正回路ECは、128ビットの情報ビットRDyのデータに誤りが存在するとき、その誤りを訂正可能であれば訂正する。そして、この訂正された情報ビットRDxが、データ出力バッファDOUTBUFを介してデータDOUTとして外部に出力される。
さてこのとき、外部データバス幅は128ビットであり、DRAMマクロ内部でデータの符号化並びに誤り訂正を行う際の情報長も128ビットとなっている。この場合は、次に示すようにパイプライン動作に特に大きな問題は無い。
図16(a)及び図16(b)は、このときの簡単なパイプライン動作を示す図であり、図16(a)はリード動作を、図16(b)はライト動作を表している。
図16(a)では、リードコマンド<R>の入力に伴って、カラムアドレスCA0が連続して入力されると、サイクル0で、読み出し動作(R0)、すなわちアドレスデコード、カラム選択線CSLの選択、RD線へのデータの読み出しが行われる。サイクル1では、カラムアドレスCA1に対する読み出し動作(R1)が前記読み出し動作(R0)と同様に行われると同時に、カラムアドレスCA0に対応する読み出し動作(R0)により読み出されたデータに対し、誤り訂正動作(E0)が行われる。サイクル2では、カラムアドレスCA2に対する読み出し動作(R2)、カラムアドレスCA1に対する誤り訂正動作(E1)、カラムアドレスCA0に対する出力動作(Q0)が平行して行われる。
図16(b)では、サイクル0で、カラムアドレスCA0に対するライトコマンド<W>及びライトデータ<D0>が入力されて、符号生成動作(E0)が行われる。続いて、サイクル1において、カラムアドレスCA1に対するライトコマンド<W>及びライトデータ<D1>が入力されて、符号生成動作(E1)、およびカラムアドレスCA0に対する書き込み動作(W0)が行われる。以降のサイクルの動作も同様である。
ところが、前述したパイプライン動作では、外部データバス幅が誤り訂正を行う際の情報長より小さい場合、あるいは、バイトマスク機能などにより、入力されるデータのビット幅が、実質的に情報長より小さくなる場合には、以下に述べるような問題が発生する。
誤り訂正機能をもつ半導体記憶装置においては、ライト時に情報ビットを符号化して複数のメモリセルに格納し、リード時にはメモリセルから読み出されたデータに対し誤りが存在すれば、訂正を行って外部に出力する。一般に、誤り訂正符号を使用するとき、通常は、情報長が大きいほど誤り訂正に必要なパリティビットの割合が少なくて済み効率的である。
しかるに、外部入力バス幅が内部バス幅より小さいとき、あるいはバイトマスク機能により、外部入力バス幅は内部バス幅より小さいとは限らないがメモリセルに書き込まれるべきデータの長さが、実質的に情報長より小さくなることが起こり得るような仕様を持つ半導体記憶装置においては、いわゆる「ECCにおけるリードモディファイライト」とよばれる動作が必要になる。このため、スピードペナルティが大きくなってしまい、パフォーマンスの大幅な劣化をもたらす。「ECCにおけるリードモディファイライト」は、内部バス幅が実質的に誤り訂正符号の符号長と等しいとすると、ライト時には、一旦データをメモリセルから符号長分読み出して誤り訂正動作を行い、その後、外部より入力された情報長より短いライトデータで、読み出され訂正されたデータに上書きして、さらに、符号化してメモリセルに書き込むという動作である。
図17に、この場合のライト動作時のデータの流れを示す。誤り訂正符号の情報長を128ビット、符号長を137ビットとし、外部入力は16ビットのバス幅、DRAMマクロ内部のバス幅はパリティビットも含めると実質的に符号長と同じ137ビットである。ここで、ライト時には、入力されるデータは16ビットしかないので、このままでは128ビットの符号を使用することはできない。
したがって、まず(1)メモリセルからこのアドレスに対応するデータを137ビット読み出す。次に(2)誤り訂正を行い、正しい128ビットの情報ビットを得るとともに、入力された書き込むべき16ビットのライトデータを、128ビットの訂正されたデータに上書きする。この上書きした新しい情報ビットに対し符号を発生し、メモリセルに書き込むべき符号データ137ビットのデータWDyを得る。さらに、(3)この符号データWDyをメモリセルに書き込む、という動作を行う必要がある。
図18(a)、図18(b)、及び図18(c)は、入力データのビット幅が情報長より小さい場合の動作を示す図である。図18(a)に示すリード動作は、図16(a)に示した動作と全く同様である。
図18(b)に示すライト(リードモディファイライト)動作は、以下のようになる。図16(b)と同様にライトコマンドWを引き続き入力すると、まずサイクル0で、読み出し動作(R0)が行われ、サイクル1で誤り訂正と符号化(E0)が行われ、さらにサイクル2で書き込み動作(W0)が行われる。ここで、読み出し動作(R0)では、アドレスCA0に対応するカラム選択線CSLが選択されてメモリセルからのデータが読み出される。書き込み動作(W0)では、アドレスCA0に対応するカラム選択線CSLが選択されて、符号化されたデータがメモリセルに書き込まれる。
このとき、サイクル2においてアドレスCA2に対応するライトコマンドWが入力されると、読み出し動作(R2)がサイクル2にて行われる。このため、サイクル2においては、読み出し動作(R2)と書き込み動作(W0)が同時に行われることになる。これは、すなわち図18に示したセンスアンプSAにおいて、異なるアドレスに対するカラム選択線CSLが同じサイクルで活性化されることになり、データの衝突が起こる場合がある。そこで、データの衝突を防ごうとすると、サイクルタイムを遅くしなければならない。例えば、図18(c)に示すライト動作のように、1サイクル内で読み出し(R0)、訂正符号化(E0)、書き込み(W0)を行えば、データの衝突は起こらないが、明らかにサイクルタイムは増大し、高速なデータ転送を行うことができない。
Y. Takai et al, "250Mbyte/s Synchronous DRAM Using a 3-Stage-Pipelined Architecture", IEEE J. Solid-State Circuits, Vol. 29, No. 4, Apr. 1994
本発明は、このような従来技術における問題点を解決するためになされたものであり、誤り訂正機能をもつ半導体記憶装置において、外部から入力されたライトデータの長さが誤り訂正符号の情報長よりも短い場合においても、高速なデータ転送レートが得られ、さらにチップ面積の増加を抑制できる半導体記憶装置を提供することを目的とする。
前記目的を達成するために、この発明の一実施形態の半導体記憶装置は、クロック信号に同期して動作する半導体記憶装置において、複数のメモリセルが配列されたメモリセルアレイと、前記複数のメモリセルに接続された複数のビット線と、データが入力される入力回路と、データを符号化して誤り訂正符号を生成する符号生成回路と、前記メモリセルから読み出されたデータが供給される読み出し用データバスと、前記符号生成回路により符号化されたデータが供給される書き込み用データバスと、カラムアドレスで指定され、前記読み出し用データバスと前記ビット線を接続する複数の読み出し用カラム選択線と、カラムアドレスで指定され、前記書き込み用データバスと前記ビット線を接続する複数の書き込み用カラム選択線と、前記メモリセルから前記読み出し用データバスに読み出されたデータからシンドロームを生成するシンドローム生成回路と、前記シンドローム生成回路により生成された前記シンドロームをデコードして誤り訂正を行う訂正回路とを具備し、前記クロック信号の同一サイクルにおいて、第1カラムアドレスで指定された前記読み出し用カラム選択線により前記読み出し用データバスとビット線を接続する読み出し動作と、第2カラムアドレスで指定された前記書き込み用カラム選択線により前記書き込み用データバスとビット線を接続する書き込み動作とを行い、前記書き込み動作時には、前記シンドローム生成回路、及び前記訂正回路により誤り訂正されたデータに、前記入力回路に入力されたデータを併せたデータが、前記符号生成回路により符号化されて前記メモリセルに書き込まれることを特徴とする。
また、この発明の他の実施形態の半導体記憶装置は、クロック信号に同期して動作する、バーストモードを持つ半導体記憶装置において、複数のメモリセルが配列されたメモリセルアレイと、前記複数のメモリセルに接続された複数のビット線と、データが入力される入力回路と、データを符号化して誤り訂正符号を生成する符号生成回路と、前記符号生成回路の後段に配置され、前記符号生成回路から出力された前記誤り訂正符号を記憶する複数の記憶回路と、カラムアドレスが偶数の場合にカラム選択線によってビット線に接続され、前記符号生成回路により符号化されたデータのビット幅以上のビット幅を持つ第1データバスと、カラムアドレスが奇数の場合にカラム選択線によってビット線に接続され、前記符号生成回路により符号化されたデータのビット幅以上のビット幅を持つ第2データバスと、前記メモリセルから前記第1、第2データバスに読み出されたデータからシンドロームを生成するシンドローム生成回路と、前記シンドローム生成回路により生成された前記シンドロームをデコードして誤り訂正を行う訂正回路とを具備し、前記バーストモードにおける読み出し動作時には、バーストにより発生した偶数番目のアドレスに対応するデータと奇数番目のアドレスに対応するデータが、前記クロック信号の同一サイクルにおいて前記メモリセルから読み出され、前記シンドローム生成回路、及び前記訂正回路により誤り訂正されて外部に出力され、前記バーストモードにおける書き込み動作時には、バーストにより発生した偶数番目のアドレスに対応するデータと奇数番目のアドレスに対応するデータが、前記クロック信号の同一サイクルにおいて前記メモリセルから読み出され、前記シンドローム生成回路、及び前記訂正回路により誤り訂正されて、その訂正されたデータに、前記入力回路に入力されたデータを併せたデータが符号化されて、前記複数の記憶回路に順次記憶され、前記複数の記憶回路のうち、前記偶数番目のアドレスに対応するデータと前記奇数番目のアドレスに対応するデータが記憶された記憶回路から、これら記憶回路に記憶されているデータが、前記クロック信号の同一サイクルにおいて前記第1、第2データバスを介してメモリセルに書き込まれることを特徴とする。
また、この発明の他の実施形態の半導体記憶装置は、クロック信号に同期してパイプライン動作を行う、バーストモードを持つ半導体記憶装置において、複数のメモリセルが配列されたメモリセルアレイと、前記複数のメモリセルに接続された複数のビット線と、データが入力される入力回路と、データを符号化して誤り訂正符号を生成する符号生成回路と、前記符号生成回路の後段に配置され、前記符号生成回路から出力された前記誤り訂正符号を記憶する複数の記憶回路と、カラムアドレスが偶数の場合にカラム選択線によってビット線に接続され、前記符号生成回路により符号化されたデータのビット幅以上のビット幅を持つ第1データバスと、カラムアドレスが奇数の場合にカラム選択線によってビット線に接続され、前記符号生成回路により符号化されたデータのビット幅以上のビット幅を持つ第2データバスと、前記メモリセルから前記第1、第2データバスに読み出されたデータからシンドロームを生成するシンドローム生成回路と、前記シンドローム生成回路により生成された前記シンドロームをデコードして誤り訂正を行う訂正回路とを具備し、前記バーストモードにおける読み出し動作時には、前記読み出し動作を指示するリードコマンドが入力されてから偶数番目のサイクルあるいは奇数番目のサイクルのいずれであるかに従って、前記第1データバスあるいは前記第2データバスのいずれかにメモリセルのデータが読み出され、読み出されたデータは前記シンドローム生成回路、及び前記訂正回路により誤り訂正されて外部に出力され、前記バーストモードにおける書き込み動作時には、前記書き込み動作を指示するライトコマンドが入力されてから偶数番目のサイクルあるいは奇数番目のサイクルのいずれであるかに従って、前記第1データバスあるいは前記第2データバスのいずれかにメモリセルのデータが読み出され、読み出されたデータは前記シンドローム生成回路、及び前記訂正回路により誤り訂正され、その訂正されたデータに、前記入力回路に入力されたデータを併せたデータが符号化され、前記複数の記憶回路に順次記憶されて、メモリセルに書き込まれるパイプライン動作において、前記クロック信号の同一サイクルにおいて、偶数アドレスに対するメモリセルからの読み出し動作が行われる場合には奇数アドレスに対するメモリセルへの書き込みを行い、奇数アドレスに対するメモリセルからの読み出し動作が行われる場合には偶数アドレスに対するメモリセルへの書き込みを行うことを特徴とする。
本発明によれば、誤り訂正機能をもつ半導体記憶装置において、外部から入力されたライトデータの長さが誤り訂正符号の情報長よりも短い場合においても、高速なデータ転送レートが得られ、さらにチップ面積の増加を抑制できる半導体記憶装置を提供することが可能である。
以下、図面を参照してこの発明の実施形態について説明する。説明に際し、全図にわたり、共通する部分には共通する参照符号を付す。
[第1の実施形態]
まず、この発明の第1の実施形態の半導体記憶装置について説明する。
図1は、第1の実施形態のクロック同期型のDRAMマクロを含む半導体記憶装置の構成を示す配置図である。このDRAMマクロは、半導体基板に単独で形成されていてもよいし、半導体基板にロジック回路と共に混載されていてもよい。
この例では、DRAMマクロは、2つのサブマクロ(バンクBANK1、2)と、このDRAMマクロ下部に配置された制御ブロックCTRLBLK及びECC入出力ブロックECCIOBLKとを含む。制御ブロックCTRLBLKは、クロックに基づいて、コマンド入力、アドレス入力バッファの動作などのタイミング制御を行う。ECC入出力ブロックECCIOBLKは、ECC(error checking and correction)制御とデータ入出力を行う。
2つのサブマクロの各々は、バンクBANK1とバンクBANK2を構成しており、デコーダブロックDECBLKは、ロウアドレスデコーダ、カラムアドレスデコーダ、センスアンプ制御回路等を含む。また、各バンクは1Mビットのセルアレイ(cell array)を4個もち、各セルアレイは、512本のワード線、2048個のビット線対、および数個のスペアビット線対、及び各ワード線とビット線対の交点に配置されたメモリセルから構成されている。
各セルアレイの両側には、メモリセルからビット線に読み出された信号を増幅するためのセンスアンプSAが配置されている。サブマクロの下部には、ECC入出力ブロックECCIOBLKから伝達されるライトデータをメモリセルに書き込むため、およびメモリセルから読み出されたデータを、ECC入出力ブロックECCIOBLKに伝達するための制御回路DQBUFBLKが配置されている。ECC入出力ブロックECCIOBLKは、外部から入力されたライトデータを符号化し、制御回路DQBUFBLKに伝達する。ECC入出力ブロックECCIOBLKは、また、制御回路DQBUFBLKから伝達されたリードデータに誤りがあれば、それを訂正して、チップ外部に出力する。
図2は、第1の実施形態の半導体記憶装置におけるデータバスに沿った構成を示す図である。図2に示すように、セルアレイ側から、セルアレイCAおよびセンスアンプSA、制御回路DQBUFBLK、及びECC入出力ブロックECCIOBLKの各ブロックが配置されている。セルアレイCAは、行列状に配列された複数のメモリセルを有している。センスアンプSAには、各16本のカラム選択線WCSL、RCSLが入力されている。制御回路DQBUFBLKには、DQバッファDQBUF、及びRD線駆動回路RDDRVが配置されている。DQバッファDQBUFは、カラムリダンダンシ制御ならびにDQ線制御を行うDQ線リードバッファ、DQ線ライトバッファを含む。RD線駆動回路RDDRVはRD線を駆動する。
ECC入出力ブロックECCIOBLKには、データ入出力制御をおこなう入力バッファDINBUF、出力バッファDOUTBUFと、ECC機能を実現するための符号生成回路CODEGEN、シンドロームジェネレータSYNDGEN、誤り訂正回路EC、レジスタREGの各回路ブロック、さらにWD線を駆動するためのWD線駆動回路WDDRVが配置されている。符号生成回路CODEGENは、データ書き込み時に符号を生成する。シンドロームジェネレータSYNDGENは、データリード時にシンドロームを発生し、誤り訂正回路ECはシンドロームのデコードと誤り訂正を行う。
第1の実施形態と図13に示した従来例との違いを以下に述べる。第1の実施形態では、DQ線をリード用とライト用に分離し、リード用のRDQ線(RDQt/RDQc)と、ライト用のWDQ線(WDQt/WDQc)の2系統を備えている。したがって、DQ線の本数は実質的に従来例の2倍となっている。これに伴い、センスアンプが、図3に示すように、デュアルポートを持つデュアルポートセンスアンプSADPになっている。
さらに、図示するように、カラム選択線CSLも分離され、リード用のカラム選択線RCSLとライト用のカラム選択線WCSLが配置されている。これにより、クロック信号の同一サイクルにおいて、異なるアドレスに対する読み出し動作と書き込み動作を、同時に並列に行うことができるようになる。
さらに、同一サイクルにおいて、同じアドレスに対する読み出し動作と書き込み動作が同時に行われる場合を別に考慮する必要がある。例えば、図4(b)に示したライト動作を用いて説明する。なおここで、ライト動作は、前述した「ECCにおけるリードモディファイライト」を指すものとする。ライトコマンドWが入力されるサイクル0では、アドレスCA0に対する読み出し動作(R0)が行われ、サイクル2ではメモリセルに対する書き込み動作(W0)が行われる。ここで、ライトコマンドWが入力されるサイクル2において、やはりこのライトコマンドWに対応するアドレスがCA0である場合は、サイクル2での読み出し動作(R2)も同じアドレスである。このため、例えばカラム選択線RCSL0とWCSL0が同時に立ってしまい、デュアルポートセンスアンプSADPにおいてデータが衝突してしまう。これは、サイクル2において、アドレスCA0に対するリードコマンドが入力された場合でも同じ問題が生ずる。
これを避けるため、図2において、誤り訂正回路ECの後段にレジスタREGを設けている。これにより、第1サイクルにおいて入力されたコマンドのカラムアドレスが、以前入力されたライトコマンドに従って第1サイクルにおいて書き込み動作を行うアドレスと同一であるならば、メモリセルからの読み出し動作は行わずにレジスタREGに記憶されたデータを使用する。これによって、読み出し動作と書き込み動作の衝突を回避することができる。
図3に、DRAMマクロにおけるデュアルポートセンスアンプSADPの構成を示す。この図では説明を簡単にするために、セルアレイの片側のみを示している。
メモリセルに対する書き込み時には、ライト用のカラム選択線WCSLのうちの1本が選択され、WDQ線がビット線対に接続されてデータがメモリセルに書き込まれる。一方、メモリセルからの読み出し時には、リード用のカラム選択線RCSLのうちの1本が選択され、メモリセルに記憶されたデータがセンスアンプにより増幅され、ビット線対を介してRDQ線に読み出される。
ここで、異なるカラムアドレスに対して、読み出し動作と書き込み動作が行われる場合、例えば、リード用のカラム選択線RCSL0に対応する読み出し動作と、ライト用のカラム選択線WCSL1に対する書き込み動作が同時に行われる場合、ビット線対BLP0のデータは、RDQt<0>/RDQc<0>線に読み出されるとともに、WDQt<0>/WDQc<0>線のデータが、ビット線対BLP8に伝えられ、メモリセルに書き込まれる。
図4(a)、図4(b)、及び図4(c)は、第1の実施形態の半導体記憶装置におけるリード動作及びライト動作を示す図である。
図4(a)は、3段パイプライン構成において、連続するリードコマンドRが入力されている場合のリード動作を示しており、その制御は以下のように従来例と同様である。リードコマンドRの入力に伴って、カラムアドレスCA0が連続して入力されると、サイクル0で、読み出し動作(R0)、すなわちアドレスデコード、カラム選択線CSLの選択、RD線へのデータの読み出しが行われる。サイクル1では、カラムアドレスCA1に対する読み出し動作(R1)が前記読み出し動作(R0)と同様に行われると同時に、読み出し動作(R0)により読み出されたデータに対し、誤り訂正動作(E0)が行われる。サイクル2では、カラムアドレスCA2に対する読み出し動作(R2)、カラムアドレスCA1に対する誤り訂正動作(E1)、カラムアドレスCA0に対する出力動作(Q0)が平行して行われる。
また、図4(b)は、3段パイプライン構成において、連続するライトコマンドWが入力されている場合のライト動作を示している。この図4(b)ではレイテンシを1として、ライトデータを1クロック遅く入力している。すなわち、ライトデータD0、D1、…は、ライトコマンドWに対して、1クロック遅れて入力されている。
図2において、「ECCにおけるリードモディファイライト」動作を行う際には、リードデータに誤り訂正を行った後、この訂正されたデータに、入力された128ビットより小さいライトデータを上書きして、符号を生成する必要がある。したがって、ライトデータを入力するタイミングは、誤り訂正が終わり、符号が生成される前にするのがよい。そのためには、パイプラインの構成によっては、ライトコマンドの入力サイクルよりも数クロック遅らせてライトデータを入力するほうがよい。もちろん、ライトコマンドと同時にライトデータを入力して、必要になるまでレジスタにライトデータを保存してもよいが、レジスタの形成に必要な面積分だけチップサイズが大きくなる。ユーザの要求する仕様がライトレイテンシを0に規定している場合には、パイプライン構成によっては、後者のようにレジスタにライトデータを保存しておく必要が出てくる場合がある。
図4(c)は、後述する4段パイプライン構成において、連続するライトコマンドWが入力されている場合のライト動作を示している。この図で、(Ej)はシンドローム生成とデコード、誤り訂正を示し、(Cj)は符号の生成を示している。ここでは、書き込みのレイテンシを2としている。その理由は、図4(b)の場合と同様に、ライトデータを入力するタイミングは、誤り訂正が終わり、符号が生成される前にするのがよいからである。なお、jは0以上の自然数である。
図5(a)及び図5(b)は、パイプライン構成の例としてそれぞれ3段パイプラインと4段パイプラインの場合を示している。
図5(a)に示す3段パイプラインの動作を以下に説明する。ライトコマンドWが入力された場合、まず第1ステージでは、入力されたコマンドとアドレスがデコードされ、カラム選択線CSLが活性化されて、メモリセルからDQ線にデータが読み出される。第2ステージでは、読み出されたリードデータに対して誤り訂正が行われ、さらに訂正されたリードデータ並びに入力されたライトデータに対して符号化が行われる。第3ステージでは、第1ステージと同じアドレスのカラム選択線CSLが活性化されて、符号化されたデータがメモリセルに書き込まれる。なお、リードコマンドが入力された場合には、符号化とメモリセルへの書き込みは行わずに、誤り訂正されたデータが第3ステージで外部に出力される。
また、図5(b)に示す4段パイプラインの動作では、読み出したリードデータの誤り訂正と、訂正されたリードデータの符号化が別ステージになっている。第2ステージでは、読み出したリードデータの誤り訂正が行われ、第3ステージでは訂正されたリードデータの符号化が行われる。第4ステージでは、第1ステージと同じアドレスのカラム選択線CSLが活性化されて、符号化されたデータがメモリセルに書き込まれる。なお、リードコマンドが入力された場合には、符号化とメモリセルへの書き込みは行わずに、誤り訂正されたデータが第4ステージで外部に出力される。
以上説明したようにこの第1の実施形態の半導体記憶装置では、外部データバス幅が、使用される誤り訂正符号の情報長よりも実質的に短い場合、例えばバイトマスク機能により、入力されたライトデータが通常よりも少なくなるような場合においても、前述したリードモディファイライトにおけるデータの衝突を防ぐことができるため、高速なデータ転送レートを得ることができる。さらに、この実施形態の半導体記憶装置が形成されるチップ面積を低減することができる。すなわち、誤り訂正機能をもつ半導体記憶装置において、入力データのビット幅が誤り訂正符号の情報長より小さい場合においても、内部バスを二重化することにより、スピードペナルティを小さくすることができる。さらに、バーストモードを導入することにより、面積ペナルティも小さくすることが可能である。
[第2の実施形態]
次に、この発明の第2の実施形態のクロック同期型のDRAMマクロを含む半導体記憶装置について説明する。このDRAMマクロは、半導体基板に単独で形成されていてもよいし、半導体基板にロジック回路と共に混載されていてもよい。前記第1の実施形態における構成と同様の部分には同じ符号を付してその説明は省略し、以下に異なる構成部分のみを説明する。
図6は、第2の実施形態の半導体記憶装置におけるデータバスに沿った構成を示す図である。センスアンプSAEOとDQバッファDQBUFとの間を接続するDQ線は、奇数アドレスに対応するoDQt/oDQc線と、偶数アドレスに対応するeDQt/eDQc線とに分離されている。RD線駆動回路RDDRVと誤り訂正回路EC及びシンドロームジェネレータSYNDGENとの間には、マルチプレクサRMUXが接続されている。また、符号生成回路CODEGENとWD線駆動回路WDDRVとの間には、レジスタWREG、マルチプレクサWMUXが接続されている。さらに、WD線及びRD線は、第1の実施形態と比べて2倍の本数を有している。
第2の実施形態では、データバスの二重化を行うが、センスアンプはデュアルポートを持っていない。偶数アドレスのデータと奇数アドレスのデータを同時に取り扱う、いわゆる2ビットプリフェッチ方式を採用している。さらに、第1の実施形態では、毎サイクルに異なるアドレスに対するリードコマンドならびにライトコマンドを入力することができたが、第2の実施形態では、リード及びライトにおけるデータの入出力はバースト動作で行われる。また、前述したように、DQ線は奇数アドレスに対応したoDQt/oDQc線と、偶数アドレスとに対応したeDQt/eDQc線とに分離されており、これに対応したセンスアンプSAEOが配置されている。
一方、ECC入出力ブロックECCIOBLK内の誤り訂正回路ECと入力バッファDINBUF、出力バッファDOUTBUFなどのデータの入出力制御回路では、データバスは二重化していない。RD線は、ECC入出力ブロックECCIOBLKに接続される前段において、マルチプレクサRMUXによってマルチプレックスされて、137×2ビットから137ビットに一重化される。
ライトデータバスについては、符号生成回路CODEGENの直後に137ビットのレジスタWREGが配置されている。これらレジスタWREGから出力されるライトデータが、マルチプレクサWMUXによってマルチプレックスされて、WD線に出力され137ビットから137×2ビットに二重化される。
通常、市販されている汎用のシンクロナスDRAMには、2ビット、4ビット、8ビットなどのバースト長が設定されたバーストモードが搭載されている。バーストモードとは、データの開始アドレスを指定し、その開始アドレスから定まったビット数のデータを連続して転送する機能である。
図7は、図6に示したECC入出力ブロックECCIOBLKを詳細に示したものである。以下に、第2の実施形態のリード動作を、図6及び図7を用いて説明する。ここでは、バースト長を2とする。なお、後述するように、バースト長は4でも8でもその動作は同様である。
リード時には、まずサイクル0で、アドレス0のデータ137ビットとアドレス1のデータ137ビットが同時にRD線まで読み出される。サイクル1では、マルチプレクサRMUXにより、アドレス0のデータ137ビットのみがECC入出力ブロックECCIOBLKまで転送されて、シンドロームジェネレータSYNDGENによりシンドロームが生成され、誤り訂正回路ECにより誤り訂正が行われる。さらに、サイクル2において、アドレス0の訂正されたデータ128ビットを、出力バッファDOUTBUFを介して外部に出力するとともに、アドレス1のデータ137ビットがECC入出力ブロックECCIOBLKに転送され、同様に誤り訂正が行われる。またこれと同時に、2つ目のバーストリードコマンドが入力され、アドレス2に対するデータとアドレス3に対するデータが同時にRD線に読み出される。以降の動作は前述と同様である。
以下に、ライト動作の場合について説明する。まず、メモリセルからの読み出しは今説明したリード動作の場合と殆ど同じであり、データを外部に出力しないだけである。誤り訂正回路ECで訂正されたリードデータは、符号生成回路CODEGENにおいて、外部から入力されたライトデータと合成された後、符号が生成され、複数のレジスタWREGのうちの1つに順次格納されていく。さらに、次のサイクルにおいて複数あるレジスタWREGのうちの2つが選択されて、二重化されたWD線、DQ線を介してアドレス2つ分のデータを同時にメモリセルに書き込む。
図8は、第2の実施形態の半導体記憶装置において3段パイプライン方式を使用した場合の動作を示す図である。図8には、バースト長BLが2、4、8の場合をそれぞれ示している。
バースト長BL=2の場合について以下に説明する。サイクル0において、ライトコマンドWとバースト開始アドレスが入力され、これに対応するアドレス0とアドレス1のデータがメモリセルからRD線に読み出される。これが、図8中の(R0)と(R1)の動作である。サイクル1では、アドレス0のデータに対してシンドロームジェネレータSYNDGEN、誤り訂正回路ECによる誤り訂正が行われると共に、その誤り訂正されたデータに外部からの入力データが上書きされる。そして、この入力データが上書きされたデータに対して符号生成回路CODEGENによる符号化が行われ、レジスタWREG0に格納される。これが、(E0)で示す動作である。
サイクル2では、さらに別の開始アドレスに対するライトコマンドWが入力され、アドレス2とアドレス3のデータがメモリセルから読み出される((R2)と(R3))。また、これと共に、アドレス1のデータに対する誤り訂正と符号化がおこなわれ、レジスタWREG1に格納される((E1))。
サイクル3では、レジスタWREG0とレジスタWREG1に格納され符号化されたデータがメモリセルに同時に書き込まれると共に、アドレス2のデータが誤り訂正および符号化されてレジスタWREG0に格納される。以下、このような動作を繰り返す。すなわち、センスアンプSAEOの動作をみると、偶数サイクルでは読み出し動作を、偶数アドレスと奇数アドレスに対して同時に行い、奇数サイクルでは書き込み動作を、偶数アドレスと奇数アドレスに対して同時に行っている。
図9は、第2の実施形態の半導体記憶装置において4段パイプライン方式を使用した場合の動作を示す図である。パイプラインは、第2ステージをデータの誤り訂正に、第3ステージをデータの符号化に割り当てている。書き込み動作は奇数サイクルに行われるので、図8と比較すると、実際には2サイクル遅れてメモリセルに書き込まれる。そのため、レジスタWREGは3段パイプライン構成の場合と比較して、2個分余分に必要となる。その他の動作は、図8に示した動作と同様である。バースト開始から数えて、偶数サイクルでは読み出し動作を、偶数アドレスと奇数アドレスに対して同時に行い、奇数サイクルでは書き込み動作を、偶数アドレスと奇数アドレスに対して同時に行っている。
図10は、シンクロナスDRAMのアドレッシングモードを示している。いずれの場合においても、データは2ビットプリフェッチした場合には偶数アドレスと奇数アドレスの組み合わせになっているので、2ビットプリフェッチ方式においてデータが衝突することはない。すなわち、同一サイクルにおいて、2つの偶数アドレスが同時にアクセスされ、例えば図11に示すセンスアンプSAEOにおいて、カラム選択線CSL0とカラム選択線CSL2が同時に選択されて、eDQt<0>線とeDQc<0>線で違うメモリセルのデータが衝突することはない。
図11は、第2の実施形態の半導体記憶装置におけるセンスアンプSAEOの構成を示している。偶数アドレスによって指定されるカラム選択線CSL0、CSL2、・・・により、ビット線は、偶数アドレスに対応するDQ線(eDQt/eDQc線)に接続される。一方、奇数アドレスによって指定されるカラム選択線CSL1、CSL3、・・・により、ビット線は奇数アドレスに対応するDQ線(oDQt/oDQc線)に接続される。このように、センスアンプSAEOにおけるDQ線の本数は実質的に2倍になっている。また、センスアンプSAEOは、カラム選択線CSLをリード用とライト用に分離して設ける必要がないので、第1の実施形態と比較してチップ面積の増加を抑制することができる。
また、第2の実施形態においては、偶数アドレスであるか奇数アドレスであるか、すなわちカラムアドレスの最下位ビット(LSB)であるCA0の値が0であるか、1であるかに従ってデータバスを二重化しているが、カラムアドレスの下位ビットCA1、CA0の値が00または01,10,11に従ってデータバスを四重化する4ビットプリフェッチバースト方式に対しても本発明は適用可能である。さらに一般に、Nビットプリフェッチバースト方式(N=2、4、8、16、…)でも適用可能である。
以上説明したようにこの第2の実施形態の半導体記憶装置では、外部データバス幅が、使用される誤り訂正符号の情報長よりも実質的に短い場合、例えばバイトマスク機能により、入力されたライトデータが通常よりも少なくなるような場合においても、前述したリードモディファイライトにおけるデータの衝突を防ぐことができるため、高速なデータ転送レートを得ることができる。さらに、この実施形態の半導体記憶装置が形成されるチップ面積を低減することができる。
[第3の実施形態]
次に、この発明の第3の実施形態のクロック同期型のDRAMマクロを含む半導体記憶装置について説明する。前記第3の実施形態では、データバスに沿った構成は図6に示した前記第2の実施形態と同様であるが、動作制御が異なる。DRAMマクロは、半導体基板に単独で形成されていてもよいし、半導体基板にロジック回路と共に混載されていてもよい。
図12は、第3の実施形態の半導体記憶装置におけるライト動作を示す図である。以下に、バースト長が8の場合を述べる。ライトコマンドWと開始アドレスが指定されると、順次、各サイクルにおいて、連続したアドレスに対応するメモリセルからデータが読み出される。読み出された次のサイクルでシンドロームジェネレータSYNDGEN、誤り訂正回路ECによる誤り訂正が行われ、その次のサイクルで符号生成回路CODEGENによる符号化が行われる。さらに、その次のサイクルで、最初のサイクルのアドレスに対応するメモリセルに書き込みが行われる。
この第3の実施形態におけるセンスアンプの動作は、奇数サイクルでは奇数アドレスに対するメモリセルからの読み出しと、偶数アドレスに対するメモリセルへの書き込みが同時に行われる。一方、偶数サイクルでは、偶数アドレスに対するメモリセルからの読み出しと、奇数アドレスに対するメモリセルへの書き込みが同時に行われる。したがって、同一サイクルにおいてデータが衝突することはない。
前記センスアンプでは、カラム選択線CSLをリード用とライト用に別々に設ける必要がないので、第1の実施形態と比較して、半導体記憶装置が形成されるチップ面積を減少させることができる。なお、第3の実施形態においても、第2の実施形態と同様にデータバスを多重化してもよい。
以上説明したようにこの第3の実施形態の半導体記憶装置では、一つのサイクルにおいて奇数アドレスあるいは偶数アドレスのいずれか一方に対するメモリセルからの読み出しと、前記奇数アドレスあるいは偶数アドレスのいずれか他方に対するメモリセルへの書き込みが同時に行われる。したがって、外部データバス幅が、使用される誤り訂正符号の情報長よりも実質的に短い場合、例えばバイトマスク機能により、入力されたライトデータが通常よりも少なくなるような場合においても、ライト動作、すなわち前述したリードモディファイライトにおけるデータの衝突を防ぐことができるため、高速なデータ転送レートを得ることができる。さらに、リード用とライト用のカラム選択線CSLを別々に配置する必要がないため、半導体記憶装置が形成されるチップ面積の増加を抑制することができる。
前記実施形態にて説明してきたように、誤り訂正(ECC)機能をもった同期型の半導体記憶装置においても、従来、外部から入力されるデータのビット幅が、内部の誤り訂正符号の情報長よりも小さい場合に問題となるリードモディファイライトによるサイクルタイムの悪化を解消することができ、高速なデータ転送レートを実現できると共に、ECC機能による信頼性の高い半導体記憶装置を提供することができる。
この発明の実施形態の半導体記憶装置は、地球上の物質から輻射されるα線や、地球外からの宇宙線に起因するソフトエラーや、チップ動作時の予期しないノイズによるエラーや、DRAMのメモリセルに蓄えられた電荷がリークにより減少することによるエラーに対して非常に耐性の高い誤り訂正機能をもち、さらに、入出力(I/O)バス幅が狭い場合や、バイトマスク機能を使用する場合にも、誤り訂正符号長を大きくできるため、パリティビットの占めるチップ面積を小さくでき、かつ高速なデータ転送レートを実現することが可能である。
また、前述した各実施形態はそれぞれ単独で実施できるばかりでなく、適宜組み合わせて実施することも可能である。さらに、前述した各実施形態には種々の段階の発明が含まれており、各実施形態において開示した複数の構成要件の適宜な組み合わせにより、種々の段階の発明を抽出することも可能である。
この発明の第1の実施形態の半導体記憶装置に搭載されたクロック同期型のDRAMマクロの構成を示す配置図である。 第1の実施形態の半導体記憶装置におけるデータバスに沿った構成を示す図である。 第1の実施形態の半導体記憶装置におけるデュアルポートセンスアンプの構成を示す図である。 第1の実施形態の半導体記憶装置におけるリード動作及びライト動作を示す図である。 第1の実施形態の半導体記憶装置におけるパイプラインの構成例を示す図である。 この発明の第2及び第3の実施形態の半導体記憶装置におけるデータバスに沿った構成を示す図である。 第2の実施形態の半導体記憶装置におけるECC入出力ブロックの構成を示す図である。 第2の実施形態の半導体記憶装置において3段パイプライン方式を使用した場合の動作を示す図である。 第2の実施形態の半導体記憶装置において4段パイプライン方式を使用した場合の動作を示す図である。 通常のシンクロナスDRAMのアドレッシングモードを示す図である。 第2の実施形態の半導体記憶装置におけるセンスアンプの構成を示す図である。 第3の実施形態の半導体記憶装置におけるライト動作を示す図である。 従来のDRAMマクロにおいてECC(error checking and correction)を適用した場合のデータバスに沿った構成を示す図である。 従来のDRAMマクロにおけるライト動作時のデータの流れ示す図である。 従来のDRAMマクロにおけるリード動作時のデータの流れを示す図である。 従来のDRAMマクロにおけるパイプライン動作を示す図である。 従来のDRAMマクロにおける外部入力バス幅が誤り訂正符号の情報長より短い場合のライト動作時のデータの流れ示す図である。 従来のDRAMマクロにおける外部入力バス幅が誤り訂正符号の情報長より短い場合の動作を示す図である。
符号の説明
BANK1,2…バンク、CTRLBLK…制御ブロック、ECCIOBLK…ECC入出力ブロック、DECBLK…デコーダブロック、SA…センスアンプ、DQBUFBLK…制御回路、CA…セルアレイ、WCSL,RCSL…カラム選択線、DQBUF…DQバッファ、RDDRV…RD線駆動回路、DINBUF…入力バッファ、DOUTBUF…出力バッファ、CODEGEN…符号生成回路、シンドロームジェネレータ、EC…誤り訂正回路、REG…レジスタ、WDDRV…WD線駆動回路。

Claims (5)

  1. クロック信号に同期して動作する半導体記憶装置において、
    複数のメモリセルが配列されたメモリセルアレイと、
    前記複数のメモリセルに接続された複数のビット線と、
    データが入力される入力回路と、
    データを符号化して誤り訂正符号を生成する符号生成回路と、
    前記メモリセルから読み出されたデータが供給される読み出し用データバスと、
    前記符号生成回路により符号化されたデータが供給される書き込み用データバスと、
    カラムアドレスで指定され、前記読み出し用データバスと前記ビット線を接続する複数の読み出し用カラム選択線と、
    カラムアドレスで指定され、前記書き込み用データバスと前記ビット線を接続する複数の書き込み用カラム選択線と、
    前記メモリセルから前記読み出し用データバスに読み出されたデータからシンドロームを生成するシンドローム生成回路と、
    前記シンドローム生成回路により生成された前記シンドロームをデコードして誤り訂正を行う訂正回路とを具備し、
    前記クロック信号の同一サイクルにおいて、第1カラムアドレスで指定された前記読み出し用カラム選択線により前記読み出し用データバスとビット線を接続する読み出し動作と、第2カラムアドレスで指定された前記書き込み用カラム選択線により前記書き込み用データバスとビット線を接続する書き込み動作とを行い、
    前記書き込み動作時には、前記シンドローム生成回路、及び前記訂正回路により誤り訂正されたデータに、前記入力回路に入力されたデータを併せたデータが、前記符号生成回路により符号化されて前記メモリセルに書き込まれることを特徴とする半導体記憶装置。
  2. 前記訂正回路の後段に配置され、前記訂正回路から出力されたデータを記憶する記憶回路をさらに具備し、書き込み動作を指示するライトコマンドに続いて読み出し動作を指示するリードコマンドが入力された際、前記ライトコマンドに対応して入力されたカラムアドレスと、前記リードコマンドに対応して入力されたカラムアドレスとが同一であるとき、前記記憶回路に記憶されたデータを読み出しデータとして、前記出力回路を介して外部に出力することを特徴とする請求項1に記載の半導体記憶装置。
  3. クロック信号に同期して動作する、バーストモードを持つ半導体記憶装置において、
    複数のメモリセルが配列されたメモリセルアレイと、
    前記複数のメモリセルに接続された複数のビット線と、
    データが入力される入力回路と、
    データを符号化して誤り訂正符号を生成する符号生成回路と、
    前記符号生成回路の後段に配置され、前記符号生成回路から出力された前記誤り訂正符号を記憶する複数の記憶回路と、
    カラムアドレスが偶数の場合にカラム選択線によってビット線に接続され、前記符号生成回路により符号化されたデータのビット幅以上のビット幅を持つ第1データバスと、
    カラムアドレスが奇数の場合にカラム選択線によってビット線に接続され、前記符号生成回路により符号化されたデータのビット幅以上のビット幅を持つ第2データバスと、
    前記メモリセルから前記第1、第2データバスに読み出されたデータからシンドロームを生成するシンドローム生成回路と、
    前記シンドローム生成回路により生成された前記シンドロームをデコードして誤り訂正を行う訂正回路とを具備し、
    前記バーストモードにおける読み出し動作時には、バーストにより発生した偶数番目のアドレスに対応するデータと奇数番目のアドレスに対応するデータが、前記クロック信号の同一サイクルにおいて前記メモリセルから読み出され、前記シンドローム生成回路、及び前記訂正回路により誤り訂正されて外部に出力され、
    前記バーストモードにおける書き込み動作時には、バーストにより発生した偶数番目のアドレスに対応するデータと奇数番目のアドレスに対応するデータが、前記クロック信号の同一サイクルにおいて前記メモリセルから読み出され、前記シンドローム生成回路、及び前記訂正回路により誤り訂正されて、その訂正されたデータに、前記入力回路に入力されたデータを併せたデータが符号化されて、前記複数の記憶回路に順次記憶され、
    前記複数の記憶回路のうち、前記偶数番目のアドレスに対応するデータと前記奇数番目のアドレスに対応するデータが記憶された記憶回路から、これら記憶回路に記憶されているデータが、前記クロック信号の同一サイクルにおいて前記第1、第2データバスを介してメモリセルに書き込まれることを特徴とする半導体記憶装置。
  4. 前記メモリセルから前記第1、第2データバスへ2つのアドレス分のデータを読み出す前記読み出し動作は、この読み出し動作を指示するリードコマンドが入力されたときのクロック信号のサイクルから数えて偶数番目のサイクルで行われ、前記第1、第2データバスからメモリセルへ2つのアドレス分のデータを書き込む前記書き込み動作は、この書き込み動作を指示するライトコマンドが入力されたときのクロック信号のサイクルから数えて奇数番目のサイクルで行われることを特徴とする請求項3に記載の半導体記憶装置。
  5. クロック信号に同期してパイプライン動作を行う、バーストモードを持つ半導体記憶装置において、
    複数のメモリセルが配列されたメモリセルアレイと、
    前記複数のメモリセルに接続された複数のビット線と、
    データが入力される入力回路と、
    データを符号化して誤り訂正符号を生成する符号生成回路と、
    前記符号生成回路の後段に配置され、前記符号生成回路から出力された前記誤り訂正符号を記憶する複数の記憶回路と、
    カラムアドレスが偶数の場合にカラム選択線によってビット線に接続され、前記符号生成回路により符号化されたデータのビット幅以上のビット幅を持つ第1データバスと、
    カラムアドレスが奇数の場合にカラム選択線によってビット線に接続され、前記符号生成回路により符号化されたデータのビット幅以上のビット幅を持つ第2データバスと、
    前記メモリセルから前記第1、第2データバスに読み出されたデータからシンドロームを生成するシンドローム生成回路と、
    前記シンドローム生成回路により生成された前記シンドロームをデコードして誤り訂正を行う訂正回路とを具備し、
    前記バーストモードにおける読み出し動作時には、前記読み出し動作を指示するリードコマンドが入力されてから偶数番目のサイクルあるいは奇数番目のサイクルのいずれであるかに従って、前記第1データバスあるいは前記第2データバスのいずれかにメモリセルのデータが読み出され、読み出されたデータは前記シンドローム生成回路、及び前記訂正回路により誤り訂正されて外部に出力され、
    前記バーストモードにおける書き込み動作時には、前記書き込み動作を指示するライトコマンドが入力されてから偶数番目のサイクルあるいは奇数番目のサイクルのいずれであるかに従って、前記第1データバスあるいは前記第2データバスのいずれかにメモリセルのデータが読み出され、読み出されたデータは前記シンドローム生成回路、及び前記訂正回路により誤り訂正され、その訂正されたデータに、前記入力回路に入力されたデータを併せたデータが符号化され、前記複数の記憶回路に順次記憶されて、メモリセルに書き込まれるパイプライン動作において、
    前記クロック信号の同一サイクルにおいて、偶数アドレスに対するメモリセルからの読み出し動作が行われる場合には奇数アドレスに対するメモリセルへの書き込みを行い、奇数アドレスに対するメモリセルからの読み出し動作が行われる場合には偶数アドレスに対するメモリセルへの書き込みを行うことを特徴とする半導体記憶装置。
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