JP2006242282A - 案内装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】基台2に延設された複数のガイド部材6,7と、これらガイド部材にそれぞれ1つずつ設けられるとともに、各ガイド部材に沿って移動する空気軸受と、空気軸受によって支持及び位置決めされる可動体4とを備え、複数のガイド部材の中の1つに設けられた空気軸受は、可動体を垂直方向に支持する垂直方向空気軸受8と可動体を水平方向に位置決めする水平方向空気軸受10a,10bとから構成され、その他のガイド部材に設けられた空気軸受は、可動体を垂直方向に支持する垂直方向空気軸受のみで構成されている。
【選択図】 図1
Description
このような装置は、例えば図2(a)〜(c)に示すように、水平な基準面2aを上面部に有する基台2と、基台2の基準面2aから上方に突設され、かつ、基台2の基準面2aの両端にそれぞれ延設されたガイドレール(ガイド部材)6,7と、双方のガイドレール6,7の上側に直交して跨るように位置付けて配置され、双方のガイドレール6,7に沿って移動可能なコラム(可動体)4と、当該コラム4を空気圧によって支持及び位置決めする空気軸受8,10a,10bとを備えている。
垂直方向空気軸受8は、コラム4に固定されており、空気圧によってコラム4をガイドレール6,7の上面6c,7cと非接触の状態で垂直方向に支持している。
また、水平方向空気軸受10a,10bは、垂直方向空気軸受8を介してコラム4に固定されているとともに、双方のガイドレール6,7の両側面6a,6b,7a,7bと対向するようにそれぞれ配置されており、空気圧によってコラム4を双方のガイドレール6,7の両側面6a,6b,7a,7bと非接触の状態で水平方向に位置決めしている。
なお、双方の空気軸受8,10a,10bの外側にはリニアモータ12がそれぞれ設けられ、コラム4は、当該リニアモータ12によって駆動されて、ガイドレール6,7に沿って直線移動する。
(/℃)としてそれぞれ概算)。
基台2(斑レイ岩)の熱膨張量 8×10-6(/℃)×1(℃)×2(m) = 16μm コラム4(アルミ合金)の熱膨張量 21×10-6(/℃)×1(℃)×2(m) = 42μm したがって、この場合、基台2(斑レイ岩)の熱膨張量とコラム4(アルミ合金)の熱膨張量との熱膨張量差は、約26μmとなる。
また、コラム4の熱膨張量がさらに大きくなると、上記すきま(軸受すきま)がなくなってしまう場合もある。この場合には、例えば、水平方向空気軸受10bとガイドレール6,7の内側面6b,7bとが摺接するようになり、両者間の摩擦力が増大して、コラム4を安定して滑らかに移動させることが困難になってしまう。
この場合、その基本構成は、上述した従来の装置(図2)と同様であるため、以下では、本発明の特徴部分の説明に止める。また、本実施形態の説明に際し、図2の装置と同一の構成には同一符号を付して、その説明を省略する。
この結果、コラム4は、熱膨張による影響を受けることなく常に、安定して滑らかに移動することができる。
また、ガイドレール7側に配されたリニアモータ12の可動子と固定子(図示しない)とのすきま量は、コラム4と基台2との熱膨張量の差と比べ十分に大きいので問題はない。
また、空気軸受8,10a,10bからガイドレール6,7に所定圧の空気を吹き付けるのではなく、ガイドレール6,7から空気軸受8,10a,10bに所定圧の空気を吹き付けてもよい。
さらに、水平方向空気軸受10a,10bは、垂直方向空気軸受8を介してコラム4に固定されているが、コラム4に直接固定してもよい。
4 コラム(可動体)
6,7 ガイドレール(ガイド部材)
8 垂直方向空気軸受
10a,10b 水平方向空気軸受
12 リニアモータ
Claims (2)
- 基台に延設された複数のガイド部材と、
これらガイド部材にそれぞれ1つずつ設けられるとともに、各ガイド部材に沿って移動する空気軸受と、
空気軸受によって支持及び位置決めされる可動体とを備えた案内装置であって、
複数のガイド部材の中の1つに設けられた空気軸受は、可動体を垂直方向に支持する垂直方向空気軸受と可動体を水平方向に位置決めする水平方向空気軸受とから構成され、その他のガイド部材に設けられた空気軸受は、可動体を垂直方向に支持する垂直方向空気軸受のみで構成されていることを特徴とする案内装置。 - 垂直方向空気軸受は、可動体を空気圧によってガイド部材から所定のすきまだけ浮上させつつ、ガイド部材と非接触の状態で支持し、水平方向空気軸受は、空気圧によって可動体とガイド部材との間に所定のすきまを保ちながら、可動体をガイド部材と非接触の状態で位置決めしていることを特徴とする請求項1に記載の案内装置。
Priority Applications (1)
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JP2005058751A JP2006242282A (ja) | 2005-03-03 | 2005-03-03 | 案内装置 |
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JP2005058751A JP2006242282A (ja) | 2005-03-03 | 2005-03-03 | 案内装置 |
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JP2006242282A true JP2006242282A (ja) | 2006-09-14 |
JP2006242282A5 JP2006242282A5 (ja) | 2008-01-31 |
Family
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Family Applications (1)
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JP2005058751A Pending JP2006242282A (ja) | 2005-03-03 | 2005-03-03 | 案内装置 |
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Country | Link |
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JP (1) | JP2006242282A (ja) |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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2005
- 2005-03-03 JP JP2005058751A patent/JP2006242282A/ja active Pending
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