JP6424509B2 - 基板加工装置 - Google Patents
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Description
図1に本発明の一実施形態による基板加工装置1の平面図を示している。この基板加工装置1は、太陽電池基板Sに複数の絶縁用の溝を形成するための装置である。図1において、基板Sは、左から基板が搬入され、右側に搬出される。図1に、搬送方向を矢印Cで示している。
この基板加工装置1に搬送されてきた基板Sは、搬送機構2によって搬入・搬出領域Rcまで搬送され、テーブル7上に載置される。そして、テーブル7は、テーブル移動機構8によって、搬入・搬出領域Rcから、例えば第1加工領域Rw1に向かって移動される。このとき、第1加工ヘッド5は、第1支持フレーム3の第1加工領域Rw1に位置している。
(1)この装置では、一方の加工ヘッド5,6で加工を行っているときに他方の加工ヘッド6,5を停止させることにより、他方の加工ヘッド6,5に装着された加工ツール11をメンテナンスすることができる。したがって、加工ツール11のメンテナンスによる装置の稼働率の低下を抑えることができる。
本発明は以上のような実施形態に限定されるものではなく、本発明の範囲を逸脱することなく種々の変形又は修正が可能である。
2 搬送機構
3a 第1ガイドフレーム
4a 第2ガイドフレーム
5 第1加工ヘッド
6 第2加工ヘッド
7 テーブル
8 テーブル移動機構
11 加工ツール
Rc 搬入・搬出領域
Rw1 第1加工領域
Rw2 第2加工領域
Re1 第1待機領域
Re2 第2待機領域
Claims (4)
- 加工される基板を搬送する搬送機構と、
前記搬送機構の一方の側方に、前記搬送機構の搬送方向に延びて配置された第1支持フレームと、
前記搬送機構の他方の側方に、前記搬送方向に延びて配置された第2支持フレームと、
前記第1支持フレームに支持され、前記搬送機構の上方において前記搬送方向に沿って移動可能に設けられ、加工ツールが装着される少なくとも1つの第1加工ヘッドと、
前記第2支持フレームに支持され、前記搬送機構の上方において前記搬送方向に沿って移動可能に設けられ、加工ツールが装着される少なくとも1つの第2加工ヘッドと、
前記搬送機構上の搬入・搬出領域と、前記第1支持フレームを挟んで前記搬入・搬送領域と対向する第1加工領域と、前記第2支持フレームを挟んで前記搬入・搬送領域と対向する第2加工領域と、の間で移動可能であり、基板が載置されるテーブルと、
前記テーブルを、前記搬入・搬出領域と、前記第1加工領域と、前記第2加工領域と、の間で移動するためのテーブル移動機構と、
を備え、
前記第1支持フレームは、前記第1加工領域と、前記搬送方向において前記第1加工領域から外れた第1待機領域と、の間にわたって延びており、
前記第1加工ヘッドは前記第1加工領域と前記第1待機領域との間で移動可能であり、
前記第2支持フレームは、前記第2加工領域と、前記搬送方向において前記第2加工領域から外れた第2待機領域と、の間にわたって延びており、
前記第2加工ヘッドは前記第2加工領域と前記第2待機領域との間で移動可能であり、
前記第1待機領域及び前記第2待機領域には前記テーブル移動機構は設けられていない基板加工装置。 - 前記第1待機領域及び前記第2待機領域は、前記搬送方向において同じ方向に配置されている、請求項1に記載の基板加工装置。
- 前記第1支持フレームは、前記第1加工領域に位置する部分は石製であり、前記第1待機領域に位置する部分は金属製である、請求項1又は2に記載の基板加工装置。
- 前記第2支持フレームは、前記第2加工領域に位置する部分は石製であり、前記第2待機領域に位置する部分は金属製である、請求項1から3のいずれかに記載の基板加工装置。
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