JP2006237640A - 半導体製造方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】 本発明は、基板、あるいは、新たに基板上に堆積・形成する膜および基板の中に、イオン照射に起因して導入される欠陥を劇的に減少させるプラズマプロセス方法を提供することを目的とする。
【選択図】 図2
Description
(実施例1)
本例は、本発明をマグネトロンプラズマエッチング装置に用いた場合の実施例を示すものである。
本例では、本発明をマグネトロンスパッタリング装置に応用した場合の実施例を示すものである。
本例では、本発明をラジアルラインスロットアンテナプラズマ装置を用い、シリコン基板表面を低温で酸化するプラズマ酸化プロセスに応用した場合を示す。
207 電極I、
208 基板、
209 フォーカスリング、
210 シャワープレート、
211 電極II、
212 ガス導入口、
213 磁場の印加手段、
214 真空ポンプ、
215 整合回路I、
216 高周波電源I、
217 整合回路II、
218 高周波電源II、
4001 基体、
4002 フィールド酸化膜、
4003 ゲート酸化膜、
4004 ゲート電極、
4005 絶縁耐圧の測定に用いた探針、
4006 電圧計、
4007 電圧印加手段、
4008 電流計、
401 真空容器、
402 電極I、
403 電極II、
404 Taターゲット、
405 シリコンウェハ、
406 整合回路I、
412 整合回路II、
408 高周波電源I、
413 高周波電源II、
5004 ゲート電極、
5005 探針、
5007 定電流源、
5010 Al電極、
901 真空容器、
902 原料ガスの導入口、
903 真空ポンプ、
904 誘電体板、
905 アンテナ、
908 基板、
909 反射板、
6001 基体、
6002 フィールド酸化膜、
6003 ゲート酸化膜、
6004 ゲート電極、
6005 探針、
6006 電圧計、
6007 電圧印加手段、
6008 電流計。
Claims (1)
- Xeプラズマを用いて表面クリーニング及びポスト照射を行って成膜、エッチング、あるいは、表面変質等のプラズマを用いたプロセスを行っている最中に、導入ガス種に含まれているO2をN2に、あるいはN2をO2に変化させることを特徴とする半導体製造方法。
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