JPWO2008108213A1 - プラズマ処理装置、プラズマ処理方法、および記憶媒体 - Google Patents
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Abstract
Description
2;ハウジング部
3;チャンバーウォール
4;支持部材
5;サセプタ
13;環状通路
14;ガス通路
15;ガス導入路
15a;ガス導入口
16;ガス供給装置
18,19;段部
24;排気装置
27;アッパープレート(支持部材)
27a;支持部
28;透過板
29;シール部材
30;マイクロ波導入部
31;平面アンテナ部材
32;スロット孔
37;導波管
37a;同軸導波管
37b;矩形導波管
39;マイクロ波発生装置
40;モード変換器
51,52;リング状磁石
60;磁石移動機構
100;プラズマ処理装置
W…半導体ウエハ(被処理体)
まず、ウエハWをチャンバー1内に搬入し、サセプタ5上に載置する。そして、ガス供給装置16から、プラズマ処理装置100で行われる処理に合わせて、例えばAr、Kr、Heなどの希ガス、例えばO2、N2O、NO、NO2、CO2などの酸化ガス、例えばN2、NH3などの窒化ガス、薄膜堆積のための原料ガス、エッチングガス、およびこれらの組み合わせを含む処理ガスを所定の流量でガス導入口15aを介してチャンバー1内に導入する。
Claims (16)
- 被処理体を収容する処理容器と、
マイクロ波を発生するマイクロ波発生部と、
前記マイクロ波発生部で発生したマイクロ波を前記処理容器に向けて導く導波路と、
前記導波路に導かれたマイクロ波を前記処理容器に向けて放射する複数のマイクロ波放射孔を有する導体からなる平面アンテナと、
前記処理容器の天壁を構成し、前記平面アンテナのマイクロ波放射孔を通過したマイクロ波を透過する、誘電体からなるマイクロ波透過板と、
前記処理容器内に処理ガスを導入する処理ガス導入機構と、
前記平面アンテナの上方に設けられて前記処理容器内に磁界を形成し、当該磁界によって前記マイクロ波により前記処理容器内に生成される処理ガスのプラズマ特性を制御する磁界形成部と、
を備えるプラズマ処理装置。 - 前記磁界形成部は、前記平面アンテナと同心状に設けられたリング状磁石を有する、請求項1に記載のプラズマ処理装置。
- 前記磁界形成部が前記処理容器に対して接近しまたは離反する方向に、前記磁界形成部を移動する第1の移動機構を更に備える、請求項1または請求項2に記載のプラズマ処理装置。
- 前記磁界形成部が前記処理容器に対して接近しまたは離反する方向と交差する方向に、前記磁界形成部を移動する第2の移動機構を更に備える、請求項1から請求項3のいずれか一項に記載のプラズマ処理装置。
- 前記第2の移動機構が、前記磁界形成部の中心が前記平面アンテナの中心の回りを公転するように当該磁界形成部を移動する、請求項4に記載のプラズマ処理装置。
- 前記磁界形成部は、前記平面アンテナと同心状に設けられた少なくとも2個のリング状磁石を有する、請求項1に記載のプラズマ処理装置。
- 前記リング状磁石の少なくとも1つが前記処理容器に対して接近しまたは離反する方向に、前記リング状磁石の少なくとも1つを移動する第3の移動機構を更に備える、請求項6に記載のプラズマ処理装置。
- 前記リング状磁石の少なくとも1つが前記処理容器に対して接近しまたは離反する方向と交差する方向に、前記リング状磁石の少なくとも1つを移動する第4の移動機構を更に備える、請求項6または請求項7に記載のプラズマ処理装置。
- 前記第4の移動機構が、前記リング状磁石の少なくとも1つの中心が前記平面アンテナの中心の回りを公転するように当該前記リング状磁石の少なくとも1つを移動する請求項8に記載のプラズマ処理装置。
- 前記処理容器内のプラズマ特性が前記リング状磁界形成部により制御されるように前記リング状磁石の移動を制御する制御部を更に備える、請求項7から請求項9のいずれか一項に記載のプラズマ処理装置。
- 処理容器内に被処理体を収容する工程と、
前記処理容器に処理ガスを供給する工程と、
マイクロ波発生部で発生したマイクロ波を導波路により複数のマイクロ波放射孔を有する導体からなる平面アンテナに導き、該マイクロ波をこの平面アンテナから前記処理容器へ導入して前記処理容器内に処理ガスのプラズマを生成する工程と、
前記処理ガスのプラズマに磁界を印加してプラズマ特性を制御する工程と、
を含むプラズマ処理方法。 - 前記プラズマを制御する工程が、所望の前記プラズマ特性を実現するように前記磁界を制御する工程を含む、請求項11に記載のプラズマ処理方法。
- 前記プラズマを制御する工程が、前記平面アンテナと同心円状に配置された少なくとも2個のリング状磁石の少なくとも一つが前記処理容器に対して接近しまたは離反する方向に当該リング状磁石の少なくとも一つを独立に移動する工程を含む、請求項12に記載のプラズマ処理方法。
- 前記プラズマを制御する工程が、前記平面アンテナと同心円状に配置された少なくとも2個のリング状磁石の少なくとも一つが前記処理容器に対して接近しまたは離反する方向と交差する方向に当該リング状磁石の少なくとも一つを独立に移動する工程を含む、請求項12または請求項13に記載のプラズマ処理方法。
- 前記プラズマを制御する工程が、前記平面アンテナと同心円状に配置された少なくとも2個のリング状磁石の少なくとも一つの中心が前記平面アンテナの中心の回りを公転するように当該リング状磁石の少なくとも一つを独立に移動する工程を含む、請求項14に記載のプラズマ処理方法。
- 請求項11から15のいずれか一項に記載のプラズマ処理方法を、請求項1から9のいずれか一項に記載のプラズマ処理装置に実行させるプログラムを格納するコンピュータ可読記憶媒体。
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