JP2006237412A - 半導体装置の製造方法および電子機器の製造方法 - Google Patents
半導体装置の製造方法および電子機器の製造方法 Download PDFInfo
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Abstract
【解決手段】 半導体ウェハ状態で導電粒子を散布し、バンプ上に選択的に導電粒子を保持させた状態で感光レジストを剥離し、その後ICチップに分割し基板との接続を実施する。
【選択図】 図1
Description
2 電極パッド
3 バリアメタル
4 感光レジスト
5 開口部
6 バンプ
7 樹脂
8 導電粒子
9 ガラス基板
10 透明電極
11 接合材料
12 IC
13 IC搭載圧着ヘッド
Claims (6)
- 半導体ウェハの電極部に形成されたバンプ上に選択的に導電粒子を付着させる第一工程と、前記半導体ウェハを分割して半導体チップを形成する第二工程と、基板に形成された電極と前記半導体チップのバンプとを、接合材料を介して位置合せする第三工程と、前記接合材料を用いて前記半導体チップと前記基板を接続する工程を備えることを特徴とする電子機器の製造方法。
- 前記第一工程が、半導体ウェハ上に電極部を形成する工程と、前記半導体ウェハに感光材を塗布し、前記電極部の位置の前記感光材を除去する工程と、前記電極部の位置に選択的にバンプを形成する工程と、前記バンプと前記感光材上に導電粒子を設ける工程と、前記感光材を剥離する工程と、を備えることを特徴とする請求項1に記載の電子機器の製造方法。
- 前記導電粒子を設ける工程が、前記バンプと前記感光材上に接着性を有する樹脂を塗布する工程と、前記樹脂上に導電粒子を散布する工程を備えることを特徴とする請求項2に記載の電子機器の製造方法。
- 前記導電粒子を設ける工程が、前記バンプと前記感光材上に接着性を有する導電粒子を散布する工程を備えることを特徴とする請求項2に記載の電子機器の製造方法。
- 前記接着性を有する導電粒子が、導電粒子を接着性を有する樹脂と攪拌させることにより作製されたことを特徴とする請求項4に記載の電子機器の製造方法。
- 半導体ウェハ上に電極部を形成する工程と、前記半導体ウェハに感光材を塗布し、前記電極部の位置の前記感光材を除去する工程と、前記電極部の位置に選択的にバンプを形成する工程と、前記バンプと前記感光材上に導電粒子を設ける工程と、前記感光材を剥離する工程と、を備えることを特徴とする半導体装置の製造方法。
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Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2010531003A (ja) * | 2007-05-25 | 2010-09-16 | ジエマルト・エス・アー | 携帯電子機器を使用して物理チャネルからのアプリケーションコマンドを処理する方法および対応する機器およびシステム |
KR101309319B1 (ko) | 2006-11-22 | 2013-09-13 | 삼성디스플레이 주식회사 | 액정표시장치 구동회로 및 그의 제조방법과 액정표시장치구동회로가 실장 된 액정표시장치 |
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JPH0562981A (ja) * | 1991-06-18 | 1993-03-12 | Oki Electric Ind Co Ltd | 半導体素子の突起電極形成方法とその接続方法 |
JP2002111178A (ja) * | 2000-09-29 | 2002-04-12 | Toshiba Corp | 導電部の形成方法、および半導体装置 |
JP2004296692A (ja) * | 2003-03-26 | 2004-10-21 | Seiko Epson Corp | 電子部品の製造方法、電子部品、電子部品の実装方法および電子機器 |
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2005
- 2005-02-28 JP JP2005052188A patent/JP2006237412A/ja not_active Withdrawn
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