JP2006237386A - 窒化物系半導体発光ダイオード - Google Patents
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Abstract
【解決手段】窒化物系半導体発光ダイオードは、活性層を含む窒化物系半導体素子層上に形成された光透過性オーミック電極406と、光透過性p型オーミック電極406上に形成された誘電体層407と、誘電体層407上に形成された光反射金属層409とを備える。
【選択図】図1
Description
次に、第1の実施の形態に係る窒化物系半導体発光ダイオードについて、図4を用いて説明する。
次に、第2の実施の形態に係る他の窒化物系半導体発光ダイオードについて、図7を用いて説明する。
次に、第3の実施の形態に係る更に他の窒化物系半導体発光ダイオードについて、図8を用いて説明する。
次に、第4の実施の形態に係る窒化物系半導体発光ダイオードについて、図9を用いて説明する。
従来、GaN発光ダイオードは、ウェハ内での歩留まり向上が課題となっている。歩留まり低下の原因としては、結晶欠陥によるものが多く、歩留まり向上の対策としては、光透過性電極をp電極とすることで改善されることが多い。しかし、この場合、光の透過率や反射率が小さく、光取り出し効率が低下するという問題がある。
本発明は上記の実施形態によって記載したが、この開示の一部をなす論述及び図面はこの発明を限定するものであると理解すべきではない。この開示から当業者には様々な代替実施形態、実施例及び運用技術が明らかとなろう。
102、202、302、502、602、702…n型GaN層
103、203、303、503、603、703…活性層
104、204、304、504、604、704…p型GaN層
105…マスク層
106、206、306、406、506、606…光透過性p型オーミック電極
107、207、307、407、507、607、707…誘電体層
108…開孔部
109、209、309、409、509…光反射金属層
110、210、310、510、710…保護膜
111、211、311、511、611、711…p型パッド電極
112、212、312…n型オーミック電極
113、213、313、513、613、713…n型パッド電極
316…光透過性n型オーミック電極
317…誘電体層
518…支持基板
719…光反射性p型オーミック電極
Claims (3)
- 活性層を含む窒化物系半導体素子層上に形成された光透過性オーミック電極と、
該光透過性オーミック電極上に形成された誘電体層と、
該誘電体層上に形成された光反射金属層と
を備えることを特徴とする窒化物系半導体発光ダイオード。 - 前記誘電体層は部分的に開孔し、前記光透過性オーミック電極と前記光反射金属層とは、当該開孔した部分で接触することを特徴とする請求項1に記載の窒化物系半導体発光ダイオード。
- 前記光透過性オーミック電極及び前記誘電体層は、取り出す光の波長に応じた所定の膜厚を有することを特徴とする請求項1又は2に記載の窒化物系半導体発光ダイオード。
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2005
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