JP2006224664A5 - - Google Patents

Claims (29)

1. インクを吐出するためのエネルギーを発生するためのエネルギー発生素子が設けられた基板と、前記エネルギー発生素子に対応して設けられた吐出口と、前記吐出口にインクを供給するためのインク流路と、前記基板とともに前記インク流路を形成している流路形成部材と、を備えたインクジェット記録ヘッドにおいて、
   前記流路形成部材は、
   （ａ）カチオン重合性樹脂、
   （ｂ）光カチオン重合開始剤、及び
   （ｃ−１）芳香環を有する２官能の加水分解性有機シラン化合物と、芳香環を持たない３官能以上の加水分解性有機シラン化合物とを含む組成物の縮合物、
   を含有する光硬化性樹脂組成物の硬化物を含むことを特徴とするインクジェット記録ヘッド。
2. 前記芳香環を持たない３官能以上の加水分解性有機シラン化合物が、カチオン重合可能な基を有することを特徴とする請求項１に記載のインクジェット記録ヘッド。
3. インクを吐出するためのエネルギーを発生するためのエネルギー発生素子が設けられた基板と、前記エネルギー発生素子に対応して設けられた吐出口と、前記吐出口にインクを供給するためのインク流路と、前記基板とともに前記インク流路を形成している流路形成部材と、を備えたインクジェット記録ヘッドにおいて、
   前記流路形成部材は、
   （ａ）カチオン重合性樹脂、
   （ｂ）光カチオン重合開始剤、及び
   （ｃ−２）芳香環を有する３官能の加水分解性有機シラン化合物を含む組成物の縮合物、
   を含有する光硬化性樹脂組成物の硬化物を含むことを特徴とするインクジェット記録ヘッド。
4. 前記組成物が、芳香環を有しない加水分解性有機シラン化合物をさらに含むことを特徴とする請求項３に記載のインクジェット記録ヘッド。
5. 前記芳香環を有しない加水分解性有機シラン化合物が、２官能の加水分解性有機シラン化合物を含むことを特徴とする請求項４に記載のインクジェット記録ヘッド。
6. 前記芳香環を有しない加水分解性有機シラン化合物が、ジメチル基を有する加水分解性有機シラン化合物を含むことを特徴とする請求項４または５に記載のインクジェット記録ヘッド。
7. 前記芳香環を有しない加水分解性有機シラン化合物が、カチオン重合可能な基を有することを特徴とする請求項４ないし６のいずれか１項に記載のインクジェット記録ヘッド。
8. 前記芳香環を有する３官能加水分解性有機シラン化合物および前記芳香環を有しない加水分解性有機シラン化合物のいずれか一方または両方が、炭素数が３以上のアルキル基を有する請求項３ないし７のいずれか１項に記載のインクジェット記録ヘッド。
9. 前記芳香環を有する２官能加水分解性有機シラン化合物および前記芳香環を有しない３官能加水分解性有機シラン化合物のいずれか一方または両方が、炭素数が３以上のアルキル基を有することを特徴とする請求項１または２に記載のインクジェット記録ヘッド。
10. 前記芳香環を有する３官能加水分解性有機シラン化合物は、フェニル基を有する請求項３ないし８のいずれか１項に記載のインクジェット記録ヘッド。
11. 前記芳香環を有する２官能加水分解性有機シラン化合物はフェニル基を有することを特徴とする請求項１または２に記載のインクジェット記録ヘッド。
12. 前記縮合物が、Ｔ０体およびＴ１体の存在比率の合計が５０％以下かつＴ３体の存在比率が１５％以上であることを特徴とする請求項３ないし８及び１０のいずれか１項に記載のインクジェット記録ヘッド。
    ただし、
    Ｔ０：他のシラン分子とは結合していないＳｉ原子
    Ｔ１：１つのシラン分子と酸素を介して結合しているＳｉ原子
    Ｔ２：２つのシラン分子と酸素を介して結合しているＳｉ原子
    Ｔ３：３つのシラン分子と酸素を介して結合しているＳｉ原子
    であり、
    ＴＸ体（Ｘ＝０、１、２、３）の存在比率＝ＴＸ／（Ｔ０＋Ｔ１＋Ｔ２＋Ｔ３）×１００％
    である。
13. 前記縮合物が、Ｔ０体およびＴ１体の存在比率の合計が５０％以下かつＴ３体の存在比率が１５％以上であることを特徴とする請求項１または２に記載のインクジェット記録ヘッド。
    ただし、
    Ｔ０：他のシラン分子とは結合していないＳｉ原子
    Ｔ１：１つのシラン分子と酸素を介して結合しているＳｉ原子
    Ｔ２：２つのシラン分子と酸素を介して結合しているＳｉ原子
    Ｔ３：３つのシラン分子と酸素を介して結合しているＳｉ原子
    であり、
    ＴＸ体（Ｘ＝０、１、２、３）の存在比率＝ＴＸ／（Ｔ０＋Ｔ１＋Ｔ２＋Ｔ３）×１００％
    である。
14. 前記縮合物の前記カチオン重合樹脂１００重量部に対する配合比が、10〜1000重量部の範囲にあることを特徴とする請求項１ないし１３のいずれか１項に記載のインクジェット記録ヘッド。
15. インクを吐出するためのエネルギーを発生するためのエネルギー発生素子が設けられた基板と、前記エネルギー発生素子に対応して設けられた吐出口と、前記吐出口にインクを供給するためのインク流路と、前記基板とともに前記インク流路を形成している流路形成部材と、を備えたインクジェット記録ヘッドの製造方法において、
    光硬化性樹脂組成物の層を前記基板上に形成する工程と、
    前記基板上に光硬化性樹脂組成物の層にパターン露光を行う工程と、
    前記パターン露光された光硬化性樹脂組成物の層を現像処理して、該光硬化性樹脂組成物の硬化物からなるインク流路のパターンを得る工程と、
    前記インク流路が形成された基板上に、前記吐出口を有する部材を積層する工程と、を有し、
    前記光重合性樹脂組成物が、
    （ａ）カチオン重合性樹脂、
    （ｂ）光カチオン重合開始剤、及び
    （ｃ−１）芳香環を有する２官能の加水分解性有機シラン化合物と、芳香環を持たない３官能以上の加水分解性有機シラン化合物とを含む組成物の縮合物、
    を含有することを特徴とするインクジェット記録ヘッドの製造方法。
16. インクを吐出するためのエネルギーを発生するためのエネルギー発生素子が設けられた基板と、前記エネルギー発生素子に対応して設けられた吐出口と、前記吐出口にインクを供給するためのインク流路と、前記基板とともに前記インク流路を形成している流路形成部材と、を備えたインクジェット記録ヘッドの製造方法において、
    光硬化性樹脂組成物の層を前記基板に上に形成する工程と、
    前記基板上に光硬化性樹脂組成物の層にパターン露光を行う工程と、
    前記パターン露光された光硬化性樹脂組成物の層を現像処理して、該光硬化性樹脂組成物の硬化物からなるインク流路のパターンを得る工程と、
    前記インク流路が形成された基板上に、前記吐出口を有する部材を積層する工程と、
    を有し、
    前記光硬化性樹脂組成物が、
    （ａ）カチオン重合性樹脂、
    （ｂ）光カチオン重合開始剤、及び
    （ｃ−２）芳香環を有する３官能の加水分解性有機シラン化合物を含む組成物の縮合物、
    を含有することを特徴とするインクジェット記録ヘッドの製造方法。
17. インクを吐出するためのエネルギーを発生するためのエネルギー発生素子が設けられた基板と、前記エネルギー発生素子に対応して設けられた吐出口と、前記吐出口にインクを供給するためのインク流路と、前記基板とともに前記インク流路を形成している流路形成部材と、を備えたインクジェット記録ヘッドの製造方法において、
    インクを吐出するためのエネルギーを発生するためのエネルギー発生素子が設けられた基板上に、インク流路形成用型材としてのインク流路パターンを形成する工程と、
    前記基板上に光硬化性樹脂組成物の層を形成して、該基板上のインク流路パターンを覆う工程と、
    前記インク流路パターンを覆う光硬化性樹脂組成物の層にパターン露光した後、現像処理して、吐出口を有する流路形成部材を得る工程と、
    前記流路形成部材に覆われた前記インク流路パターンを基板上から除去することで、インク流路を形成する工程と、
    を有し、
    前記光重合性樹脂組成物が、
    （ａ）カチオン重合性樹脂、
    （ｂ）光カチオン重合開始剤、及び
    （ｃ−１）芳香環を有する２官能の加水分解性有機シラン化合物と、芳香環を持たない３官能以上の加水分解性有機シラン化合物とを含む組成物の縮合物、
    を含有することを特徴とするインクジェット記録ヘッドの製造方法。
18. インクを吐出するためのエネルギーを発生するためのエネルギー発生素子が設けられた基板と、前記エネルギー発生素子に対応して設けられた吐出口と、前記吐出口にインクを供給するためのインク流路と、前記基板とともに前記インク流路を形成している流路形成部材と、を備えたインクジェット記録ヘッドの製造方法において、
    インクを吐出するためのエネルギーを発生するためのエネルギー発生素子が設けられた基板上に、インク流路形成用型材としてのインク流路パターンを形成する工程と、
    前記基板上に光硬化性樹脂組成物の層を形成して、該基板上のインク流路パターンを覆う工程と、
    前記インク流路パターンを覆う光硬化性樹脂組成物の層にパターン露光した後、現像処理して、吐出口を有する流路形成部材を得る工程と、
    前記流路形成部材に覆われた前記インク流路パターンを基板上から除去することで、インク流路を形成する工程と、
    を有し、
    前記光硬化性樹脂組成物が、
    （ａ）カチオン重合性樹脂、
    （ｂ）光カチオン重合開始剤、及び
    （ｃ−２）芳香環を有する３官能の加水分解性有機シラン化合物を含む組成物の縮合物、
    を含有することを特徴とするインクジェット記録ヘッドの製造方法。
19. インクを吐出するためのエネルギーを発生するためのエネルギー発生素子が設けられた基板と、前記エネルギー発生素子に対応して設けられた吐出口と、前記吐出口にインクを供給するためのインク流路と、前記基板とともに前記インク流路を形成している流路形成部材と、を備えたインクジェット記録ヘッドの製造方法において、
    光硬化性樹脂組成物（１）の層を前記基板上に形成する工程と、
    前記基板上に光硬化性樹脂組成物（１）の層にパターン露光を行う工程と、
    前記パターン露光された光硬化性樹脂組成物（１）の層を現像処理して、該光硬化性樹脂組成物の硬化物からなるインク流路のパターンを得る工程と、
    前記インク流路が形成された基板上に、光硬化性樹脂組成物（２）の層をラミネートにより積層する工程と、光硬化性樹脂組成物（２）の層にパターン露光、現像処理により吐出口を形成する工程、
    とを有し、前記光重合性樹脂組成物（１）及び前記光重合性樹脂組成物（２）の少なくとも一方が、
    （ａ）カチオン重合性樹脂、
    （ｂ）光カチオン重合開始剤、及び
    （ｃ−１）芳香環を有する２官能の加水分解性有機シラン化合物と、芳香環を持たない３官能以上の加水分解性有機シラン化合物とを含む組成物の縮合物、
    を含有することを特徴とするインクジェット記録ヘッドの製造方法。
20. インクを吐出するためのエネルギーを発生するためのエネルギー発生素子が設けられた基板と、前記エネルギー発生素子に対応して設けられた吐出口と、前記吐出口にインクを供給するためのインク流路と、前記基板とともに前記インク流路を形成している流路形成部材と、を備えたインクジェット記録ヘッドの製造方法において、
    光硬化性樹脂組成物（１）の層を前記基板上に形成する工程と、
    前記基板上に光硬化性樹脂組成物（１）の層にパターン露光を行う工程と、
    前記パターン露光された光硬化性樹脂組成物（１）の層を現像処理して、該光硬化性樹脂組成物の硬化物からなるインク流路のパターンを得る工程と、
    前記インク流路が形成された基板上に、光硬化性樹脂組成物（２）の層をラミネートにより積層する工程と、光硬化性樹脂組成物（２）の層にパターン露光、現像処理により吐出口を形成する工程、
    とを有し、前記光重合性樹脂組成物（１）及び前記光重合性樹脂組成物（２）の少なくとも一方が、
    （ａ）カチオン重合性樹脂、
    （ｂ）光カチオン重合開始剤、及び
    （ｃ−２）芳香環を有する３官能の加水分解性有機シラン化合物を含む組成物の縮合物、
    を含有することを特徴とするインクジェット記録ヘッドの製造方法。
21. インクを吐出するためのエネルギーを発生するためのエネルギー発生素子が設けられた基板と、前記エネルギー発生素子に対応して設けられた吐出口と、前記吐出口にインクを供給するためのインク流路と、前記基板とともに前記インク流路を形成している流路形成部材と、を備えたインクジェット記録ヘッドの製造方法において、
    光硬化性樹脂組成物（１）の層を前記基板上に形成する工程と、
    前記基板上に光硬化性樹脂組成物（１）の層にパターン露光を行い潜像を形成する工程と、
    前記パターン露光された光硬化性樹脂組成物（１）の層の上に光硬化性樹脂組成物（２）の層をラミネートにより積層する工程と、光硬化性樹脂組成物（２）の層にパターン露光を行い潜像を形成する工程と、現像処理により該光硬化性樹脂組成物（１）、（２）の硬化物からなるインク流路のパターンおよび吐出口を形成する工程、
    とを有し、
    前記光重合性組成物（１）及び前記光重合性組成物（２）の少なくとも一方が
    （ａ）カチオン重合性樹脂、
    （ｂ）光カチオン重合開始剤、及び
    （ｃ−１）芳香環を有する２官能の加水分解性有機シラン化合物と、芳香環を持たない３官能以上の加水分解性有機シラン化合物とを含む組成物の縮合物、
    を含有することを特徴とするインクジェット記録ヘッドの製造方法。
22. インクを吐出するためのエネルギーを発生するためのエネルギー発生素子が設けられた基板と、前記エネルギー発生素子に対応して設けられた吐出口と、前記吐出口にインクを供給するためのインク流路と、前記基板とともに前記インク流路を形成している流路形成部材と、を備えたインクジェット記録ヘッドの製造方法において、
    光硬化性樹脂組成物（１）の層を前記基板上に形成する工程と、
    前記基板上に光硬化性樹脂組成物（１）の層にパターン露光を行い潜像を形成する工程と、
    前記パターン露光された光硬化性樹脂組成物（１）の層の上に光硬化性樹脂組成物（２）の層をラミネートにより積層する工程と、光硬化性樹脂組成物（２）の層にパターン露光を行い潜像を形成する工程と、現像処理により該光硬化性樹脂組成物（１）、（２）の硬化物からなるインク流路のパターンおよび吐出口を形成する工程、
    とを有し、
    前記光重合性組成物（１）及び前記光重合性組成物（２）の少なくとも一方が
    （ａ）カチオン重合性樹脂、
    （ｂ）光カチオン重合開始剤、及び
    （ｃ−２）芳香環を有する３官能の加水分解性有機シラン化合物を含む組成物の縮合物、
    を含有することを特徴とするインクジェット記録ヘッドの製造方法。
23. 前記芳香環を有する２官能加水分解性有機シラン化合物および前記芳香環を持たない３官能以上の加水分解性有機シラン化合物のいずれか一方または両方が、炭素数が３以上のアルキル基を有する請求項１５、１７、１９及び２１のいずれか１項に記載のインクジェット記録ヘッドの製造方法。
24. 前記芳香環を有する３官能の加水分解性有機シラン化合物が炭素数が３以上のアルキル基を有する請求項１６、１８、２０、および２２のいずれか１項に記載のインクジェット記録ヘッドの製造方法。
25. 前記芳香環を持たない３官能以上の加水分解性有機シラン化合物が、カチオン重合可能な基を有する請求項１５、１７、１９、２１及び２３のいずれか１項に記載のインクジェット記録ヘッドの製造方法。
26. 前記芳香環を有する２官能加水分解性有機シラン化合物は、フェニル基を有する請求項１５、１７、１９、２１及び２３のいずれか１項に記載のインクジェット記録ヘッドの製造方法。
27. 前記芳香環を有する３官能の加水分解性有機シラン化合物はフェニル基を有する請求項１６、１８、２０および２２のいずれか１項に記載のインクジェット記録ヘッドの製造方法。
28. 前記縮合物の前記カチオン重合樹脂１００重量部に対する配合比が、10〜1000重量部の範囲にあることを特徴とする請求項１５ないし２７のいずれか１項に記載のインクジェット記録ヘッドの製造方法。
29. （ａ）カチオン重合性樹脂、
    （ｂ）光カチオン重合開始剤、及び
    （ｃ−１）芳香環を有する２官能の加水分解性有機シラン化合物と、芳香環を持たない３官能以上の加水分解性有機シラン化合物とを含む組成物の縮合物、
    を含有する光硬化性樹脂を含むことを特徴とするインクジェット記録ヘッド用組成物。