JP2006224664A5 - - Google Patents

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  1. インクを吐出するためのエネルギーを発生するためのエネルギー発生素子が設けられた基板と、前記エネルギー発生素子に対応して設けられた吐出口と、前記吐出口にインクを供給するためのインク流路と、前記基板とともに前記インク流路を形成している流路形成部材と、を備えたインクジェット記録ヘッドにおいて、
    前記流路形成部材は、
    (a)カチオン重合性樹脂、
    (b)光カチオン重合開始剤、及び
    (c−1)芳香環を有する2官能の加水分解性有機シラン化合物と、芳香環を持たない3官能以上の加水分解性有機シラン化合物とを含む組成物の縮合物
    を含有する光硬化性樹脂組成物の硬化物を含むことを特徴とするインクジェット記録ヘッド。
  2. 前記芳香環を持たない3官能以上の加水分解性有機シラン化合物が、カチオン重合可能な基を有することを特徴とする請求項1に記載のインクジェット記録ヘッド。
  3. インクを吐出するためのエネルギーを発生するためのエネルギー発生素子が設けられた基板と、前記エネルギー発生素子に対応して設けられた吐出口と、前記吐出口にインクを供給するためのインク流路と、前記基板とともに前記インク流路を形成している流路形成部材と、を備えたインクジェット記録ヘッドにおいて、
    前記流路形成部材は、
    (a)カチオン重合性樹脂、
    (b)光カチオン重合開始剤、及び
    (c−2)芳香環を有する3官能の加水分解性有機シラン化合物を含む組成物の縮合物、
    を含有する光硬化性樹脂組成物の硬化物を含むことを特徴とするインクジェット記録ヘッド。
  4. 前記組成物が、芳香環を有しない加水分解性有機シラン化合物をさらに含むことを特徴とする請求項3に記載のインクジェット記録ヘッド。
  5. 前記芳香環を有しない加水分解性有機シラン化合物が、2官能の加水分解性有機シラン化合物を含むことを特徴とする請求項に記載のインクジェット記録ヘッド。
  6. 前記芳香環を有しない加水分解性有機シラン化合物が、ジメチル基を有する加水分解性有機シラン化合物を含むことを特徴とする請求項4または5に記載のインクジェット記録ヘッド。
  7. 前記芳香環を有しない加水分解性有機シラン化合物が、カチオン重合可能な基を有することを特徴とする請求項ないし6のいずれか1項に記載のインクジェット記録ヘッド。
  8. 前記芳香環を有する3官能加水分解性有機シラン化合物および前記芳香環を有しない加水分解性有機シラン化合物のいずれか一方または両方が、炭素数が3以上のアルキル基を有する請求項ないし7のいずれか1項に記載のインクジェット記録ヘッド。
  9. 前記芳香環を有する2官能加水分解性有機シラン化合物および前記芳香環を有しない3官能加水分解性有機シラン化合物のいずれか一方または両方が、炭素数が3以上のアルキル基を有することを特徴とする請求項1または2に記載のインクジェット記録ヘッド。
  10. 前記芳香環を有する3官能加水分解性有機シラン化合物は、フェニル基を有する請求項ないし8のいずれか1項に記載のインクジェット記録ヘッド。
  11. 前記芳香環を有する2官能加水分解性有機シラン化合物はフェニル基を有することを特徴とする請求項1または2に記載のインクジェット記録ヘッド。
  12. 前記縮合物が、T0体およびT1体の存在比率の合計が50%以下かつT3体の存在比率が15%以上であることを特徴とする請求項3ないし8及び10のいずれか1項に記載のインクジェット記録ヘッド。
    ただし、
    T0:他のシラン分子とは結合していないSi原子
    T1:1つのシラン分子と酸素を介して結合しているSi原子
    T2:2つのシラン分子と酸素を介して結合しているSi原子
    T3:3つのシラン分子と酸素を介して結合しているSi原子
    であり、
    TX体(X=0、1、2、3)の存在比率=TX/(T0+T1+T2+T3)×100%
    である。
  13. 前記縮合物が、T0体およびT1体の存在比率の合計が50%以下かつT3体の存在比率が15%以上であることを特徴とする請求項1または2に記載のインクジェット記録ヘッド。
    ただし、
    T0:他のシラン分子とは結合していないSi原子
    T1:1つのシラン分子と酸素を介して結合しているSi原子
    T2:2つのシラン分子と酸素を介して結合しているSi原子
    T3:3つのシラン分子と酸素を介して結合しているSi原子
    であり、
    TX体(X=0、1、2、3)の存在比率=TX/(T0+T1+T2+T3)×100%
    である。
  14. 前記縮合物の前記カチオン重合樹脂100重量部に対する配合比が、10〜1000重量部の範囲にあることを特徴とする請求項1ないし13のいずれか1項に記載のインクジェット記録ヘッド。
  15. インクを吐出するためのエネルギーを発生するためのエネルギー発生素子が設けられた基板と、前記エネルギー発生素子に対応して設けられた吐出口と、前記吐出口にインクを供給するためのインク流路と、前記基板とともに前記インク流路を形成している流路形成部材と、を備えたインクジェット記録ヘッドの製造方法において、
    光硬化性樹脂組成物の層を前記基板上に形成する工程と、
    前記基板上に光硬化性樹脂組成物の層にパターン露光を行う工程と、
    前記パターン露光された光硬化性樹脂組成物の層を現像処理して、該光硬化性樹脂組成物の硬化物からなるインク流路のパターンを得る工程と、
    前記インク流路が形成された基板上に、前記吐出口を有する部材を積層する工程と、を有し、
    前記光重合性樹脂組成物が、
    (a)カチオン重合性樹脂、
    (b)光カチオン重合開始剤、及び
    (c−1)芳香環を有する2官能の加水分解性有機シラン化合物と、芳香環を持たない3官能以上の加水分解性有機シラン化合物とを含む組成物の縮合物、
    を含有することを特徴とするインクジェット記録ヘッドの製造方法。
  16. インクを吐出するためのエネルギーを発生するためのエネルギー発生素子が設けられた基板と、前記エネルギー発生素子に対応して設けられた吐出口と、前記吐出口にインクを供給するためのインク流路と、前記基板とともに前記インク流路を形成している流路形成部材と、を備えたインクジェット記録ヘッドの製造方法において、
    光硬化性樹脂組成物の層を前記基板に上に形成する工程と、
    前記基板上に光硬化性樹脂組成物の層にパターン露光を行う工程と、
    前記パターン露光された光硬化性樹脂組成物の層を現像処理して、該光硬化性樹脂組成物の硬化物からなるインク流路のパターンを得る工程と、
    前記インク流路が形成された基板上に、前記吐出口を有する部材を積層する工程と、
    を有し、
    前記光硬化性樹脂組成物が、
    (a)カチオン重合性樹脂、
    (b)光カチオン重合開始剤、及び
    (c−2)芳香環を有する3官能の加水分解性有機シラン化合物を含む組成物の縮合物、
    を含有することを特徴とするインクジェット記録ヘッドの製造方法。
  17. インクを吐出するためのエネルギーを発生するためのエネルギー発生素子が設けられた基板と、前記エネルギー発生素子に対応して設けられた吐出口と、前記吐出口にインクを供給するためのインク流路と、前記基板とともに前記インク流路を形成している流路形成部材と、を備えたインクジェット記録ヘッドの製造方法において、
    インクを吐出するためのエネルギーを発生するためのエネルギー発生素子が設けられた基板上に、インク流路形成用型材としてのインク流路パターンを形成する工程と、
    前記基板上に光硬化性樹脂組成物の層を形成して、該基板上のインク流路パターンを覆う工程と、
    前記インク流路パターンを覆う光硬化性樹脂組成物の層にパターン露光した後、現像処理して、吐出口を有する流路形成部材を得る工程と、
    前記流路形成部材に覆われた前記インク流路パターンを基板上から除去することで、インク流路を形成する工程と、
    を有し、
    前記光重合性樹脂組成物が、
    (a)カチオン重合性樹脂、
    (b)光カチオン重合開始剤、及び
    (c−1)芳香環を有する2官能の加水分解性有機シラン化合物と、芳香環を持たない3官能以上の加水分解性有機シラン化合物とを含む組成物の縮合物、
    を含有することを特徴とするインクジェット記録ヘッドの製造方法。
  18. インクを吐出するためのエネルギーを発生するためのエネルギー発生素子が設けられた基板と、前記エネルギー発生素子に対応して設けられた吐出口と、前記吐出口にインクを供給するためのインク流路と、前記基板とともに前記インク流路を形成している流路形成部材と、を備えたインクジェット記録ヘッドの製造方法において、
    インクを吐出するためのエネルギーを発生するためのエネルギー発生素子が設けられた基板上に、インク流路形成用型材としてのインク流路パターンを形成する工程と、
    前記基板上に光硬化性樹脂組成物の層を形成して、該基板上のインク流路パターンを覆う工程と、
    前記インク流路パターンを覆う光硬化性樹脂組成物の層にパターン露光した後、現像処理して、吐出口を有する流路形成部材を得る工程と、
    前記流路形成部材に覆われた前記インク流路パターンを基板上から除去することで、インク流路を形成する工程と、
    を有し、
    前記光硬化性樹脂組成物が、
    (a)カチオン重合性樹脂、
    (b)光カチオン重合開始剤、及び
    (c−2)芳香環を有する3官能の加水分解性有機シラン化合物を含む組成物の縮合物、
    を含有することを特徴とするインクジェット記録ヘッドの製造方法。
  19. インクを吐出するためのエネルギーを発生するためのエネルギー発生素子が設けられた基板と、前記エネルギー発生素子に対応して設けられた吐出口と、前記吐出口にインクを供給するためのインク流路と、前記基板とともに前記インク流路を形成している流路形成部材と、を備えたインクジェット記録ヘッドの製造方法において、
    光硬化性樹脂組成物(1)の層を前記基板上に形成する工程と、
    前記基板上に光硬化性樹脂組成物(1)の層にパターン露光を行う工程と、
    前記パターン露光された光硬化性樹脂組成物(1)の層を現像処理して、該光硬化性樹脂組成物の硬化物からなるインク流路のパターンを得る工程と、
    前記インク流路が形成された基板上に、光硬化性樹脂組成物(2)の層をラミネートにより積層する工程と、光硬化性樹脂組成物(2)の層にパターン露光、現像処理により吐出口を形成する工程、
    とを有し、前記光重合性樹脂組成物(1)及び前記光重合性樹脂組成物(2)の少なくとも一方が、
    (a)カチオン重合性樹脂、
    (b)光カチオン重合開始剤、及び
    (c−1)芳香環を有する2官能の加水分解性有機シラン化合物と、芳香環を持たない3官能以上の加水分解性有機シラン化合物とを含む組成物の縮合物、
    を含有することを特徴とするインクジェット記録ヘッドの製造方法。
  20. インクを吐出するためのエネルギーを発生するためのエネルギー発生素子が設けられた基板と、前記エネルギー発生素子に対応して設けられた吐出口と、前記吐出口にインクを供給するためのインク流路と、前記基板とともに前記インク流路を形成している流路形成部材と、を備えたインクジェット記録ヘッドの製造方法において、
    光硬化性樹脂組成物(1)の層を前記基板上に形成する工程と、
    前記基板上に光硬化性樹脂組成物(1)の層にパターン露光を行う工程と、
    前記パターン露光された光硬化性樹脂組成物(1)の層を現像処理して、該光硬化性樹脂組成物の硬化物からなるインク流路のパターンを得る工程と、
    前記インク流路が形成された基板上に、光硬化性樹脂組成物(2)の層をラミネートにより積層する工程と、光硬化性樹脂組成物(2)の層にパターン露光、現像処理により吐出口を形成する工程、
    とを有し、前記光重合性樹脂組成物(1)及び前記光重合性樹脂組成物(2)の少なくとも一方が、
    (a)カチオン重合性樹脂、
    (b)光カチオン重合開始剤、及び
    (c−2)芳香環を有する3官能の加水分解性有機シラン化合物を含む組成物の縮合物、
    を含有することを特徴とするインクジェット記録ヘッドの製造方法。
  21. インクを吐出するためのエネルギーを発生するためのエネルギー発生素子が設けられた基板と、前記エネルギー発生素子に対応して設けられた吐出口と、前記吐出口にインクを供給するためのインク流路と、前記基板とともに前記インク流路を形成している流路形成部材と、を備えたインクジェット記録ヘッドの製造方法において、
    光硬化性樹脂組成物(1)の層を前記基板上に形成する工程と、
    前記基板上に光硬化性樹脂組成物(1)の層にパターン露光を行い潜像を形成する工程と、
    前記パターン露光された光硬化性樹脂組成物(1)の層の上に光硬化性樹脂組成物(2)の層をラミネートにより積層する工程と、光硬化性樹脂組成物(2)の層にパターン露光を行い潜像を形成する工程と、現像処理により該光硬化性樹脂組成物(1)、(2)の硬化物からなるインク流路のパターンおよび吐出口を形成する工程、
    とを有し、
    前記光重合性組成物(1)及び前記光重合性組成物(2)の少なくとも一方が
    (a)カチオン重合性樹脂、
    (b)光カチオン重合開始剤、及び
    (c−1)芳香環を有する2官能の加水分解性有機シラン化合物と、芳香環を持たない3官能以上の加水分解性有機シラン化合物とを含む組成物の縮合物、
    を含有することを特徴とするインクジェット記録ヘッドの製造方法。
  22. インクを吐出するためのエネルギーを発生するためのエネルギー発生素子が設けられた基板と、前記エネルギー発生素子に対応して設けられた吐出口と、前記吐出口にインクを供給するためのインク流路と、前記基板とともに前記インク流路を形成している流路形成部材と、を備えたインクジェット記録ヘッドの製造方法において、
    光硬化性樹脂組成物(1)の層を前記基板上に形成する工程と、
    前記基板上に光硬化性樹脂組成物(1)の層にパターン露光を行い潜像を形成する工程と、
    前記パターン露光された光硬化性樹脂組成物(1)の層の上に光硬化性樹脂組成物(2)の層をラミネートにより積層する工程と、光硬化性樹脂組成物(2)の層にパターン露光を行い潜像を形成する工程と、現像処理により該光硬化性樹脂組成物(1)、(2)の硬化物からなるインク流路のパターンおよび吐出口を形成する工程、
    とを有し、
    前記光重合性組成物(1)及び前記光重合性組成物(2)の少なくとも一方が
    (a)カチオン重合性樹脂、
    (b)光カチオン重合開始剤、及び
    (c−2)芳香環を有する3官能の加水分解性有機シラン化合物を含む組成物の縮合物、
    を含有することを特徴とするインクジェット記録ヘッドの製造方法。
  23. 前記芳香環を有する2官能加水分解性有機シラン化合物および前記芳香環を持たない3官能以上の加水分解性有機シラン化合物のいずれか一方または両方が、炭素数が3以上のアルキル基を有する請求項15、17、19及び21のいずれか1項に記載のインクジェット記録ヘッドの製造方法。
  24. 前記芳香環を有する3官能の加水分解性有機シラン化合物が炭素数が3以上のアルキル基を有する請求項16、18、20、および22のいずれか1項に記載のインクジェット記録ヘッドの製造方法。
  25. 前記芳香環を持たない3官能以上の加水分解性有機シラン化合物が、カチオン重合可能な基を有する請求項15、17、19、21及び23のいずれか1項に記載のインクジェット記録ヘッドの製造方法。
  26. 前記芳香環を有する2官能加水分解性有機シラン化合物は、フェニル基を有する請求項15、17、19、21及び23のいずれか1項に記載のインクジェット記録ヘッドの製造方法。
  27. 前記芳香環を有する3官能の加水分解性有機シラン化合物はフェニル基を有する請求項16、18、20および22のいずれか1項に記載のインクジェット記録ヘッドの製造方法。
  28. 前記縮合物の前記カチオン重合樹脂100重量部に対する配合比が、10〜1000重量部の範囲にあることを特徴とする請求項15ないし27のいずれか1項に記載のインクジェット記録ヘッドの製造方法。
  29. (a)カチオン重合性樹脂、
    (b)光カチオン重合開始剤、及び
    (c−1)芳香環を有する2官能の加水分解性有機シラン化合物と、芳香環を持たない3官能以上の加水分解性有機シラン化合物とを含む組成物の縮合物、
    を含有する光硬化性樹脂を含むことを特徴とするインクジェット記録ヘッド用組成物。
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