JP2006222355A - 積層部品の製造方法、積層部品用グリーンシート及び積層部品 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 金型10に載置した無地のグリーンシート1上に、銀ペーストを用いて配線パターン2を所定領域に印刷する(a)。配線パターン2が印刷されている領域に対応してマスキングパターン3aを設けたスクリーンマスク3を被せて(b)、配線パターン2の印刷領域の周辺領域にペースト状のセラミックス材をスクリーン印刷してセラミックス層4を形成する(c)。配線パターン2とセラミックス層4が印刷されたグリーンシート1との間に段差がない積層部品用グリーンシート20が得られる。このような積層部品用グリーンシート20と無地のグリーンシートとを複数枚ずつ積層して、インダクタ内蔵型の積層部品を製造する。
【選択図】 図1
Description
図1は、第1実施の形態の製造工程を示す断面図である。フェライト粉末をスラリー化してシート状に成型した無地のグリーンシート1を金型10に載置し、グリーンシート1上に、銀ペーストを用いて配線パターン2を所定領域に印刷する(図1(a))。次に、配線パターン2が印刷されている領域に対応してマスキングパターン3aを設けたスクリーンマスク3を被せて(図1(b))、配線パターン2の印刷領域の周辺領域にペースト状のセラミックス材をスクリーン印刷してセラミックス層4を形成する(図1(c))。このようにして、配線パターン2とセラミックス層4が印刷されたグリーンシート1との間に段差がない積層部品用グリーンシート20が得られる。
図2は、第2実施の形態の製造工程を示す断面図である。フェライト粉末をスラリー化してシート状に成型した無地のグリーンシート1を金型10に載置し、グリーンシート1上に、銀ペーストを用いて配線パターン2を所定領域に印刷する(図2(a))。次に、スクリーン印刷用のスクリーンマスク3を被せて(図2(b))、配線パターン2の印刷領域も含むグリーンシート1の全域にペースト状のセラミックス材をスクリーン印刷してセラミックス層4を形成する(図2(c))。このようにして、配線パターン2とセラミックス層4が印刷されたグリーンシート1との間に段差がない積層部品用グリーンシート20が得られる。
図3は、第3実施の形態の製造工程を示す断面図である。フェライト粉末をスラリー化してシート状に成型した無地のグリーンシート1を金型10に載置し、配線パターンの形成領域に対応してマスキングパターン3aを設けたスクリーンマスク3を被せて(図3(a))、グリーンシート1上の配線パターンの形成領域の周辺領域にペースト状のセラミックス材をスクリーン印刷してセラミックス層4を形成する(図3(b))。次いで、配線パターンの形成領域以外の領域に対応してマスキングパターン5aを設けたスクリーンマスク5を被せ(図3(c))、銀ペーストを用いて配線パターン2を印刷する(図3(d))。このようにして、配線パターン2とセラミックス層4が印刷されたグリーンシート1との間に段差がない積層部品用グリーンシート20が得られる。
図4は、第4実施の形態の製造工程を示す断面図である。フェライト粉末をスラリー化してシート状に成型した無地のグリーンシート1を金型10に載置し、グリーンシート1上に、銀ペーストを用いて配線パターン2を所定領域に印刷する(図4(a))。次に、配線パターン2が印刷されている領域に対応してマスキングパターン3aを設けるとともに、配線パターン2の印刷領域外のベタ領域の中心にリブ状のマスキングパターン3bを設けたスクリーンマスク3を被せる(図4(b))。
図6は、第5実施の形態の製造工程を示す断面図である。フェライト粉末をスラリー化してシート状に成型した無地のグリーンシート1を金型10に載置し、グリーンシート1上に、銀ペーストを用いて配線パターン2を所定領域に印刷する(図6(a))。次に、配線パターン2の印刷領域外のベタ領域の中心にリブ状のマスキングパターン3bを設けたスクリーンマスク3を被せ(図6(b))、配線パターン2の印刷領域も含むグリーンシート1の全域にペースト状のセラミックス材をスクリーン印刷してセラミックス層4を形成する(図6(c))。このようにして、配線パターン2とセラミックス層4が印刷されたグリーンシート1との間に段差がない積層部品用グリーンシート20が得られる。
図7は、第6実施の形態の製造工程を示す断面図である。フェライト粉末をスラリー化してシート状に成型した無地のグリーンシート1を金型10に載置し、配線パターンの形状に合わせた上述したようなマスキングパターン3a、及び上述したようなリブ状のマスキングパターン3bを設けたスクリーンマスク3を、グリーンシート1に被せて(図7(a))、配線パターンの形成領域の周辺領域にペースト状のセラミックス材をスクリーン印刷してセラミックス層4を形成する(図7(b))。次いで、配線パターンの形成領域以外の領域に対応してマスキングパターン5aを設けたスクリーンマスク5を被せ(図7(c))、銀ペーストを用いて配線パターン2を印刷する(図7(d))。このようにして、配線パターン2とセラミックス層4が印刷されたグリーンシート1との間に段差がない積層部品用グリーンシート20が得られる。
2 配線パターン
3,5 スクリーンマスク
3a,3b,5a マスキングパターン
4 セラミックス層
20 積層部品用グリーンシート
30 積層部品
Claims (8)
- 配線パターンを形成したグリーンシートと無地のグリーンシートとを積層した積層体を焼成して積層部品を製造する方法において、
前記配線パターンを形成したグリーンシートを作製する工程は、グリーンシートに配線パターンを印刷するステップと、前記グリーンシートの印刷された前記配線パターンの少なくとも周辺領域に、ペースト状のセラミックス材を印刷するステップとを有することを特徴とする積層部品の製造方法。 - 配線パターンを形成したグリーンシートと無地のグリーンシートとを積層した積層体を焼成して積層部品を製造する方法において、
前記配線パターンを形成したグリーンシートを作製する工程は、グリーンシートの配線パターン形成領域以外の領域に、ペースト状のセラミックス材を印刷するステップと、前記グリーンシートの前記配線パターン形成領域に、配線パターンを印刷するステップとを有することを特徴とする積層部品の製造方法。 - 前記ペースト状のセラミックス材を印刷するステップにあって、1または複数のリブ状のマスキングパターンを設けたスクリーンマスクを使用することを特徴とする請求項1または2記載の積層部品の製造方法。
- 配線パターンを形成したグリーンシートと無地のグリーンシートとを積層した積層体を焼成して得られる積層部品を製造するために使用されるグリーンシートにおいて、
一部領域に配線パターンが印刷されており、印刷された前記配線パターンの少なくとも周辺領域にペースト状のセラミックス材が印刷されていることを特徴とする積層部品用グリーンシート。 - 請求項1乃至3のいずれかに記載の製造方法により製造されたことを特徴とする積層部品。
- 請求項1乃至3のいずれかに記載の製造方法により製造される積層部品であって、焼成後の厚さが1mm以下であり、焼成後の前記配線パターンの厚さが20μm以上であるコイルを備えていることを特徴とする積層部品。
- 請求項1乃至3のいずれかに記載の製造方法により製造される積層部品であって、焼成後の厚さが1mm以下であり、焼成後の前記配線パターンの厚さ及び幅が夫々20μm以上及び330μm以上であるコイルを備えていることを特徴とする積層部品。
- 焼成後の面積が8mm2 以上であることを特徴とする請求項6または7記載の積層部品。
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JP2003101228A (ja) * | 2001-09-27 | 2003-04-04 | Kyocera Corp | セラミック積層体の製法 |
JP2004079862A (ja) * | 2002-08-21 | 2004-03-11 | Kyocera Corp | セラミック積層体の製法 |
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