JP2006218859A - ノズルプレートの製造方法、液滴吐出ヘッド及び画像形成装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】液滴を吐出するノズルの形成されたノズルプレートの製造方法であって、透明基板100上に不透明金属膜102をパターニングする不透明金属膜形成工程と、前記不透明金属膜上に感光性樹脂104を形成する感光性樹脂形成工程と、前記透明基板側から前記感光性樹脂に対して露光する露光工程と、露光された前記感光性樹脂を現像する現像工程と、前記不透明金属膜上に金属層110を形成する金属層形成工程と、少なくとも前記透明基板を前記金属層から分離する分離工程と、を含み、前記ノズルプレートは、少なくとも前記金属層からなり、前記ノズルプレートの液滴吐出側の面は、前記分離工程において前記透明基板を分離した側の面であることを特徴とする。
【選択図】 図5
Description
レートの製造方法を提供する。
図1は、本発明に係る画像形成装置としてのインクジェット記録装置の概略を示す全体構成図である。図1に示すように、このインクジェット記録装置10は、インクの色毎に設けられた複数の印字ヘッド12K、12C、12M、12Yを有する印字部12と、各印字ヘッド12K、12C、12M、12Yに供給するインクを貯蔵しておくインク貯蔵/装填部14と、記録紙16を供給する給紙部18と、記録紙16のカールを除去するデカール処理部20と、前記印字部12のノズル面(インク吐出面)に対向して配置され、
記録紙16の平面性を保持しながら記録紙16を搬送する吸着ベルト搬送部22と、印字部12による印字結果を読み取る印字検出部24と、印画済みの記録紙(プリント物)を外部に排紙する排紙部26と、を備えている。
られるが、印字領域をローラー・ニップ搬送すると、印字直後に用紙の印字面にローラーが接触するので、画像が滲み易いという問題がある。従って、本例のように、印字領域では画像面と接触させない吸着ベルト搬送が好ましい。
がライン状に配列されたRセンサ列と、緑(G)の色フィルタが設けられたGセンサ列と、青(B)の色フィルタが設けられたBセンサ列とからなる色分解ラインCCDセンサで構成されている。なお、ラインセンサに代えて、受光素子が二次元配列されて成るエリアセンサを用いることも可能である。
次に、印字ヘッドの構造について説明する。インク色ごとに設けられている各印字ヘッド12K、12M、12C、12Yの構造は共通しているので、以下、これらを代表して符号50によって印字ヘッドを示すものとする。
沿って並ぶように投影される実質的なノズル間隔(投影ノズルピッチ)の高密度化を達成している。
次に、本発明の特徴であるノズルプレートの製造方法を説明する。
2から透明基板100及びレジスト104aを一度に分離してもよい。
撥液性を有する撥液膜116が設けられている。ノズルプレート60の製造方法は、図5(a)〜(f)に示した第1の実施形態と同様に行われ、分離工程(図5(f)参照)終了後に不透明金属膜102の表面に撥液膜116を形成すればよい。
Claims (7)
- 液滴を吐出するノズルの形成されたノズルプレートの製造方法であって、
透明基板上に不透明金属膜をパターニングする不透明金属膜形成工程と、
前記不透明金属膜上に感光性樹脂を形成する感光性樹脂形成工程と、
前記透明基板側から前記感光性樹脂に対して露光する露光工程と、
露光された前記感光性樹脂を現像する現像工程と、
前記不透明金属膜上に金属層を形成する金属層形成工程と、
少なくとも前記透明基板を前記金属層から分離する分離工程と、を含み、
前記ノズルプレートは、少なくとも前記金属層からなり、
前記ノズルプレートの液滴吐出側の面は、前記分離工程において前記透明基板を分離した側の面であることを特徴とするノズルプレートの製造方法。 - 前記露光工程で、前記感光性樹脂内を進む光が拡がる方向に進むように波長領域、露光量及び照射角度の少なくとも1つが制御されることを特徴とする請求項1に記載のノズルプレートの製造方法。
- 前記感光性樹脂の厚さが10〜50μmであることを特徴とする請求項1又は請求項2に記載のノズルプレートの製造方法。
- 前記不透明金属膜は撥水性を有することを特徴とする請求項1乃至請求項3のいずれか1項に記載のノズルプレートの製造方法。
- 前記不透明金属膜の厚さが1μm以上5μm以下であることを特徴とする請求項1乃至請求項4のいずれか1項に記載のノズルプレートの製造方法。
- 請求項1乃至請求項5のいずれか1項に記載のノズルプレートの製造方法によって製造されたノズルプレートを備えたことを特徴とする液滴吐出ヘッド。
- 請求項6に記載の液滴吐出ヘッドを備えたことを特徴とする画像形成装置。
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