JP2006216663A

JP2006216663A - 露光装置

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Publication number: JP2006216663A
Application number: JP2005026263A
Authority: JP
Inventors: Takashi Ono; 貴司小野
Original assignee: Disco Abrasive Systems Ltd
Current assignee: Disco Corp
Priority date: 2005-02-02
Filing date: 2005-02-02
Publication date: 2006-08-17
Anticipated expiration: 2025-02-02
Also published as: JP4571870B2

Abstract

【課題】分割予定ラインの間隔が異なるウエーハに対してもマスク部材をその都度製作することなく露光することができる露光装置を提供する。
【解決手段】表面に格子状の分割予定ラインが形成されたウエーハの裏面または表面に被覆されたレジスト膜を、分割予定ラインに沿って露光する露光装置であって、ウエーハを保持するチャックテーブルと、アライメント手段と、ライン光を露光するライン露光手段と、チャックテーブルとライン露光手段とを相対的に移動するインデックス手段とを具備し、ライン露光手段は透明板に遮光層とライン状の光透過部が形成されたレチクルマスクを備えたマスク手段と、レチクルマスクの該ライン状の光透過部を通してライン光を露光する発光手段とからなっている。
【選択図】図１

Description

本発明は、表面に格子状の分割予定ラインによって区画された領域に機能素子が形成されたウエーハの裏面または表面に被覆されたレジスト膜を、分割予定ラインに沿って露光する露光装置に関する。

半導体デバイス製造工程においては、略円板形状である半導体ウエーハの表面に格子状に形成されたストリートと呼ばれる分割予定ラインによって複数の領域が区画され、この区画された領域にＩＣ、ＬＳＩ等の機能素子を形成する。そして、半導体ウエーハを分割予定ラインに沿って切断することにより機能素子が形成された領域を分割して個々の半導体チップを製造している。また、サファイヤ基板の表面に窒化ガリウム系化合物半導体等の発光素子（機能素子）が積層された光デバイスウエーハも所定の分割予定ラインに沿って切断することにより個々の発光ダイオード、レーザーダイオード等の光デバイスに分割され、電気機器に広く利用されている。

上述した半導体ウエーハや光デバイスウエーハ等の分割予定ラインに沿った切断は、通常、ダイサーと称されている切削装置によって行われている。この切削装置は、被加工物を保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持された被加工物を切削するための切削ブレードを備えた切削手段と、チャックテーブルと切削手段とを相対的に移動せしめる加工送り手段とを具備し、切削ブレードを回転しつつ被加工物を保持したチャックテーブルを加工送りすることにより、ウエーハをストリートに沿って切断する。（例えば、特許文献１参照。）
特開２００１−８５３６５号公報

しかるに、上述した切削装置の切削ブレードによってウエーハを切断すると、分割された個々のチップの外周に細かな欠けが生じやすく、チップの抗折強度を低下させる原因となっている。このような問題を解消するために、ウエーハの裏面にレジスト膜を被覆し、該レジスト膜の分割予定ラインに対応する領域を露光することにより現像して除去し、その後、ウエーハをレジスト膜側からプラズマエッチング等によって分割予定ラインに沿ってエッチングすることにより、ウエーハを分割予定ラインに沿って分割する方法が提案されている。

而して、ウエーハの裏面に被覆されたレジスト膜の分割予定ラインに対応する領域を露光する露光工程においては、ウエーハに形成された分割予定ラインに対応したマスク部材を準備する必要があり、このマスク部材は分割予定ラインの間隔が異なるウエーハに対してその都度製作しなければならず、生産性の面で必ずしも満足し得るものではない。

本発明は上記事実に鑑みてなされたもので、その主たる技術課題は、分割予定ラインの間隔が異なるウエーハに対してもマスク部材をその都度製作することなく露光することができる露光装置を提供することにある。

上記主たる技術課題を解決するために、本発明によれば、表面に格子状の分割予定ラインによって区画された領域に機能素子が形成されたウエーハの裏面または表面に被覆されたレジスト膜を、分割予定ラインに沿って露光する露光装置であって、
ウエーハを保持するチャックテーブルと、
該チャックテーブルに保持されたウエーハに形成された分割予定ラインを検出するアライメント手段と、
該チャックテーブルに保持されたウエーハの裏面または表面に被覆されたレジスト膜に、分割予定ラインに対応したライン光を露光するライン露光手段と、
該チャックテーブルと該ライン露光手段とを相対的に移動し、該チャックテーブルに保持されたウエーハに形成された分割予定ラインを該ライン光の露光位置に位置付けるインデックス手段と、を具備し、
該ライン露光手段は、透明板に遮光層とライン状の光透過部が形成されたレチクルマスクを備えたマスク手段と、該レチクルマスクの該ライン状の光透過部を通してライン光を露光する発光手段とからなっている、
ことを特徴とする露光装置が提供される。

上記マスク手段は上記レチクルマスクを複数備えており、該複数のレチクルマスク間隔を調整する間隔調整手段を具備している。上記インデックス手段は、チャックテーブルをレチクルマスクのライン状の光透過部と直交する方向に移動しチャックテーブルに保持されたウエーハに形成されている所定方向に延びる分割予定ラインをライン光の露光位置に位置付ける割り出し送り手段と、チャックテーブルを回動してチャックテーブルに保持されたウエーハに形成されている所定方向に延びる分割予定ラインと直交する方向の分割予定ラインをライン状の光透過部と平行に位置付ける回動手段とからなっている。チャックテーブルは複数からなり、ライン露光手段は複数のチャックテーブルにそれぞれ載置されたウエーハを同時に露光する。

本発明による露光装置おいては、インデックス手段によってチャックテーブルを移動し、チャックテーブルにそれぞれ保持されたウエーハに形成されている分割予定ラインを、レチクルマスクのライン状の光透過部を通して露光するライン光の露光位置に位置付けるので、マスク手段を分割予定ラインの間隔が異なるウエーハに対応してその都度製作する必要がない。

以下、本発明に従って構成された露光装置の好適な実施形態について、添付図面を参照して詳細に説明する。

図１には本発明に従って構成された露光装置の斜視図が示されている。図示の実施形態における露光装置は、基台２と、後述するウエーハを保持する複数（図示の実施形態においては２個）のチャックテーブル３、３と、基台２上に配設され２個のチャックテーブルをそれぞれ支持する２個のインデックス手段４、４と、２個のチャックテーブル３、３にそれぞれ保持された後述するウエーハに形成された分割予定ラインを検出するアライメント手段５と、２個のチャックテーブル３、３に保持されたウエーハにライン光を露光するライン露光手段６とを具備している。

上記２個のチャックテーブル３、３および２個のインデックス手段４、４について、図２を参照して説明する。なお、２個のチャックテーブル３、３および２個のインデックス手段４、４は同一構成であるため、以下一方の符号のみを記載する。
チャックテーブル３は、それぞれ多孔質材料から形成された吸着チャック３１を具備しており、吸着チャック３１上に後述するウエーハを図示しない吸引手段によって保持するようになっている。このチャックテーブル３は、インデックス手段４によって図１および図２において矢印Ｙで示す割り出し送り方向に移動せしめられるようになっているとともに、回動可能に構成されている。

インデックス手段４は、基台２（図１参照）上に矢印Yで示す割り出し送り方向に沿って平行に配設された一対の案内レール４１、４１と、該案内レール４１、４１上に矢印Yで示す割り出し送り方向に移動可能に配設された支持台４２と、該支持台４２上に配設され上記チャックテーブル３を回転可能に支持する円筒部材４３と、該円筒部材４３内に配設されチャックテーブル３を回動する回動手段としてのパルスモータ４４と、支持台４２を一対の案内レール４１、４１に沿って矢印Yで示す割り出し送り方向に移動させるための割り出し送り手段４５を具備している。

上記支持台４２は、その下面に上記一対の案内レール４１、４１と嵌合する一対の被案内溝４２１、４２１が設けられており、被案内溝４２１、４２１を一対の案内レール４１、４１に嵌合することにより、一対の案内レール４１、４１に沿って矢印Yで示す割り出し送り方向に移動可能に構成される。上記回動手段としてのパルスモータ４４は、チャックテーブル３を所定角度毎に回動することができる。上記割り出し送り手段４５は、上記一対の案内レール４１と４１の間に平行に配設された雄ネジロッド４５１と、該雄ネジロッド４５１を回転駆動するためのパルスモータ４５２等の駆動源を含んでいる。雄ネジロッド４５１は、その一端が上記基台２に固定された軸受ブロック４５３に回転自在に支持されており、その他端が上記パルスモータ４５２の出力軸に伝動連結されている。なお、雄ネジロッド４５１は、支持台４２の中央部下面に突出して設けられた雌ネジブロック４２３に形成された貫通雌ネジ穴４２３aに螺合されている。従って、パルスモータ４５２によって雄ネジロッド４５１を正転および逆転駆動することにより、支持台４２は案内レール４１、４１に沿って矢印Yで示す割り出し送り方向に移動せしめられる。

図１に戻って説明を続けると、上記アライメント手段５は、上記インデックス手段４を構成する一対の案内レール４１、４１の一端部上方に配設されている。このアライメント手段５は、図示の実施形態においては可視光線によって撮像する通常の撮像素子（ＣＣＤ）の外に、被加工物に赤外線を照射する赤外線照明手段と、該赤外線照明手段によって照射された赤外線を捕らえる光学系と、該光学系によって捕らえられた赤外線に対応した電気信号を出力する撮像素子（赤外線ＣＣＤ）等で構成された撮像手段５１を具備しており、撮像手段５１は撮像した画像信号を図示しない制御手段に送る。撮像手段５１は、基台２に立設された支持柱５２に装着された支持部材５３に支持アーム５４を介して支持されている。なお、撮像手段５１が取付けられた支持アーム５４は、支持部材内に配設された図示しない移動手段によって図１において矢印Xで示す方向、即ち上記矢印Yで示す割り出し送り方向と直交する方向に移動せしめられるように構成されている。

次に、ライン露光手段６について説明する。図示の実施形態におけるライン露光手段６は、マスク手段６１と発光手段６２とからなっている。マスク手段６１は、上壁６１１と左側壁６１２と右側壁６１３と前端壁６１４によって形成されており、上記アライメント手段５の上方を覆うように基台２上に配設されている。このマスク手段６１の上壁６１１には矩形状の開口６１１aが形成されており、この開口６１１aにレチクルマスク６１５が配設されている。レチクルマスク６１５は、図１および図３に示すように透明な合成石英ガラス板やソーダライム板材からなる透明板６１５aの表面にクロム膜等の金属膜によって形成された遮光層６１５bと、該遮光層６１５bに上記矢印Yで示す割り出し送り方向と直交する方向に電子ビーム描画等の手法によって形成された１本のライン状の光透過部６１５cとによって構成されている。なお、レチクルマスク６１５を形成する方法としては、透明板６１５aの表面にライン状の光透過部６１５cに相当にする線状のマスク部材を貼着して遮光層６１５bを形成し、その後マスク部材を剥離してライン状の光透過部６１５cを形成してもよい。このように構成されたレチクルマスク６１５を備えたマスク手段６１内を上記チャックテーブル3が一対の案内レール４１、４１に沿って移動できるようになっている。ライン露光手段６を構成する発光手段６２は、基台２に立設された支持柱６３によって支持され、上記マスク手段６１の上壁６１１に配設されたレチクルマスク６１５の上方位置に配設されており、ライン状の光透過部６１５cに向けて所定の光を照射する。

図示の実施形態における露光装置は以上のように構成されており、以下その作用について説明する。
ここで、上記露光装置によって露光される被加工物としてのウエーハについて、図７を参照して説明する。図７に示すウエーハ１０は、シリコンウエーハからなっており、表面１０ａには互いに平行な複数の分割予定ライン１０１によって格子状に形成されている。そして、ウエーハ１０の表面１０aには、複数の分割予定ライン１０１によって区画された複数の領域に機能素子としての回路１０２が形成されている。このように構成されたウエーハ１０は、裏面が研削されその厚さが例えば１００μmに形成されている。このウエーハ１０を分割予定ライン１０１に沿ってエッチングして個々のチップに分割するには、図８に示すようにウエーハ１０の裏面１０bに感光性レジスト膜１１を形成する（レジスト膜形成工程）。

次に、上述したレジスト膜形成工程によってウエーハ１０の裏面１０bに形成された感光性レジスト膜１１を分割予定ライン１０１に沿って露光し、分割予定ライン１０１と対応する領域を除去する露光工程を実施する。
露光工程は、先ず上記露光装置の２個のチャックテーブル３、３上にそれぞれウエーハ１０の表面１０a側を載置し、図示しない吸引手段を作動することにより２個のチャックテーブル３、３上にそれぞれウエーハ１０、１０を吸引保持する。従って、ウエーハ１０、１０はそれぞれ裏面１０bに形成された感光性レジスト膜１１が上側となる。このようにして、２個のチャックテーブル３、３上にそれぞれウエーハ１０、１０を保持したならば、チャックテーブル３、３を矢印Yで示す方向に作動してウエーハ１０、１０をアライメント手段５を構成する撮像手段５１の撮像領域に位置付ける。チャックテーブル３、３が撮像手段５１の撮像領域に位置付けられると、撮像手段５１および図示しない制御手段によってウエーハ１０、１０の裏面１０bに形成された感光性レジスト膜１１における露光領域を検出するアライメント作業を実行する。即ち、先ず一方のチャックテーブル３に保持されたウエーハ１０の直上に撮像手段５１を位置付け、ウエーハ１０の所定方向に形成されている分割予定ライン１０１を検出し、この分割予定ライン１０１が上記マスク手段６１を構成するレチクルマスク６１５のライン状の光透過部６１５cと平行に位置付けられようにアライメントを遂行する。もし、所定方向に形成されている分割予定ライン１０１とライン状の光透過部６１５cが平行に位置付けられていない場合には、上記インデックス手段４のパルスモータ４４を作動してチャックテーブル３従ってウエーハ１０を回動させることによって分割予定ライン１０１とライン状の光透過部６１５cが平行になるようにアライメントする。また、ウエーハ１０に形成されている所定方向と直交する方向に形成されている分割予定ライン１０１に対しても、同様にアライメントが遂行される。このとき、ウエーハ１０の分割予定ライン１０１が形成されている表面１０aは下側に位置しているが、撮像手段５１が上述したように赤外線照明手段と赤外線を捕らえる光学系および赤外線に対応した電気信号を出力する撮像素子（赤外線ＣＣＤ）等で構成されているので、ウエーハ１０の裏面ｂに形成されたレジスト膜１１側から透かしてウエーハ１０を撮像することができる。このようにして、一方のチャックテーブル３に保持されたウエーハ１０の裏面１０bに形成された感光性レジスト膜１１における露光領域を検出するアライメント作業を実施したならば、撮像手段５１を図１において矢印Xで示す方向に移動して他方のチャックテーブル３に保持されたウエーハ１０の直上に位置付け、他方のチャックテーブル３に保持されたウエーハ１０に対して上述したアライメント作業を実行する。

以上のようにしてチャックテーブル３、３上に保持されているウエーハ１０、１０に形成されている分割予定ライン１０１を検出し、露光領域のアライメントが行われたならば、図３に示すようにウエーハ１０、１０を保持したチャックテーブル３、３を矢印Y1で示す方向、即ち上記スリット６１１aと直交する方向に移動し、ウエーハ１０、１０に形成されている分割予定ライン１０１における図において最右端の分割予定ライン１０１をマスク手段６１を構成するレチクルマスク６１５のライン状の光透過部６１５cの直下に位置付ける。次に、発光手段６２を附勢し上記ライン状の光透過部６１５cを通してウエーハ１０、１０の裏面１０bに形成された感光性レジスト膜１１にライン光を露光する（露光工程）。このライン光は、ウエーハ１０、１０に形成されている分割予定ライン１０１における図３において最右端の分割予定ライン１０１に対応した領域を露光する。このライン光による露光を１秒程度実施することにより、感光性レジスト膜１１は分割予定ライン１０１に沿って露光され除去される。

上述したようにウエーハ１０、１０の裏面１０bに形成された感光性レジスト膜１１における図３において最右端の分割予定ライン１０１に対応した領域を除去したならば、インデックス手段４、４の割り出し送り手段４５、４５を構成するパルスモータ４５２、４５２を作動して、上記分割予定ラインの間隔分だけチャックテーブル３、３を矢印Y1で示す方向に移動する（割り出し工程）。この結果、チャックテーブル３、３に保持されたウエーハ１０、１０に形成された分割予定ライン１０１における図３において最右端から２番目の分割予定ライン１０１がマスク手段６１を構成するレチクルマスク６１５のライン状の光透過部６１５cの直下に位置付けられる。そして、上記露光工程を実施する。このようにして、割り出し工程と露光工程を順次実施することにより、ウエーハ１０、１０の裏面１０bに形成された感光性レジスト膜１１における所定方向の分割予定ライン１０１と対応する領域を除去することができる。次に、インデックス手段４、４のパルスモータ４４、４４を作動してチャックテーブル３、３を９０度回動せしめる。この結果、チャックテーブル３、３に保持されたウエーハ１０、１０は、上記所定方向に対して直角に形成された分割予定ライン１０１がマスク手段６１を構成するレチクルマスク６１５のライン状の光透過部６１５cと平行に位置付けられる。そして、上述した割り出し工程と露光工程を順次実施することにより、ウエーハ１０、１０の裏面１０bに形成された感光性レジスト膜１１における上記所定方向と直角に形成された分割予定ラインと対応する領域が露光されて除去される。

以上のように図示の実施形態における露光装置においては、インデックス手段４、４のパルスモータ４５２、４５２を作動してチャックテーブル３、３をウエーハに形成された分割予定ラインの間隔分だけ移動する割り出し工程と、ウエーハ１０、１０の裏面１０bに形成された感光性レジスト膜１１に上記ライン状の光透過部６１５cを通して光を照射する露光工程を順次実施するので、分割予定ラインの間隔が異なるウエーハに対応してマスク手段６１をその都度製作する必要がない。また、図示の実施形態においては、２個のチャックテーブル３、３を備えているので、２個のウエーハ１０、１０を同時に露光することができる。なお、図示の実施形態においては、２個のチャックテーブル３、３を備えた例を示したが、チャックテーブルは３個以上でもよい。

以上のようにして、ウエーハ１０、１０の裏面１０bに形成された感光性レジスト膜１１における全ての分割予定ラインと対応する領域が露光され除去されたならば、ウエーハ１０、１０は次工程である例えばプラズマエッチング工程に搬送される。

次に、マスク手段６１の他の実施形態について図4および図5を参照して説明する。図４にはマスク手段６１の他の実施形態を備えた露光装置が示されており、図５にはマスク手段６１を構成する複数のレチクルマスクおよび複数のレチクルマスクの間隔を調整する間隔調整手段が示されている。なお、図４に示す実施形態においては、マスク手段６１以外は上記図１に示す露光装置と実質的に同一であるため、同一部材には同一符号を付して、その説明は省略する。
図４および図５に示すマスク手段６１は、上壁６１１に比較的大きな矩形状の開口６１１bが形成され、該開口６１１b部に３個のレチクルマスク７１a、７１b、７１cがその間隔を調整可能に配設されている。３個のレチクルマスク７１a、７１b、７１cは、上記図１および図３に示す実施形態におけるレチクルマスク６１５と同様に、それぞれ透明な合成石英ガラス板やソーダライム板材からなる透明板７１１の表面にクロム膜等の金属膜によって形成された遮光層７１２と、該遮光層７１２に上記矢印Yで示す割り出し送り方向と直交する方向に電子ビーム描画等の手法によって形成された１本のライン状の光透過部７１３とによって構成されている。このように構成された３個のレチクルマスク７１a、７１b、７１cの両端には、それぞれＬ字状に形成された取付け部材７１４が装着されている。取付け部材７１４は、装着部７１４aと連結部７１４bとからなっており、装着部７１４aが３個のレチクルマスク７１a、７１b、７１cの両端部にそれぞれ接着剤等によって装着される。

図示の実施形態における露光装置は、レチクルマスク７１a、７１b、７１c従ってライン状の光透過部７１３の間隔を調整する間隔調整手段７２を具備している。間隔調整手段７２は、上記レチクルマスク７１a、７１b、７１cの両端に装着された取付け部材７１４、７１４の連結部７１４b、７１４bにそれぞれ一端が支軸７３によって揺動可能に連結されたリンク７２１、７２２と、取付け部材７１４の７１４b、７１４bにそれぞれ一端が支軸７３によって揺動可能に連結されたリンク７２３、７２４と、取付け部材７１４の７１４b、７１４bにそれぞれ一端が支軸７３によって揺動可能に連結されたリンク７２５、７２６と、上記リンク７２３の他端に支軸７３によって一端が揺動可能に連結されたリンク７２８と、上記リンク７２６の他端に支軸７３によって一端が揺動可能に連結されたリンク７２９とからなるリンク機構を備えている。なお、上記リンク７２２の他端とリンク７２５の他端は支軸７３によって互いに揺動可能に連結され、リンク７２２とリンク７２３およびリンク７２４とリンク７２５はそれぞれ中間部が支軸７３によってそれぞれ揺動可能に連結されている。

図示の実施形態における間隔調整手段７２は、上記リンク機構を作動するための一対の作動手段７４、７４を具備している。作動手段７４、７４は、上記基台２(図４参照)上において割り出し送り手段４５の一対の案内レール４１と４１の外側に平行に配設されている。この作動手段７４、７４は、それぞれ雄ネジロッド７４１と、該雄ネジロッド７４１を回転駆動するためのパルスモータ７４２等の駆動源を含んでいる。雄ネジロッド７４１は、その一端が上記基台２(図４参照)に固定された軸受ブロック７４３に回転自在に支持されており、その他端が上記パルスモータ７４２の出力軸に伝動連結されている。なお、雄ネジロッド７４１には、雌ネジブロック７４４に形成された貫通雌ネジ穴７４４aが螺合されている。このように構成された作動手段７４におけるパルスモータ７４２のケースには上記リンク７２１、７２８の他端が支軸７３によってそれぞれ揺動可能に連結され、雌ネジブロック７４４には上記リンク７２６、７２９の他端が支軸７３によってそれぞれ揺動可能に連結されている。従って、パルスモータ７４２によって雄ネジロッド７４１を正転または逆転駆動することにより、雌ネジブロック７４４に沿って矢印Yで示す割り出し送り方向に移動せしめられる。この結果、リンク機構に取付け部材７１４を介して連結された３個のレチクルマスク７１a、７１b、７１cは、その間隔が拡大または縮小せしめられる。

図４に戻って説明を続けると、上記レチクルマスク７１aと７１b間には蛇腹７５１が配設され、レチクルマスク７１bと７１c間には蛇腹７５２が配設されている。また、レチクルマスク７１aとマスク手段６１の上壁６１１に形成された開口６１１bの一方の縁辺との間には蛇腹７５３が配設され、レチクルマスク７１cと開口６１１bの他方の縁辺との間には蛇腹７５４が配設されている。このようにマスク手段６１の上壁６１１に形成された開口６１１b部に配設された蛇腹７５１、７５２、７５３、７５４は、上記発光手段６２からの光を遮断するとともに、上記３個のレチクルマスク７１a、７１b、７１cの移動を許容する機能を有する。

図４および図５に示すマスク手段６１は以上のように構成されており、以下このマスク手段６１を用いた露光作業について説明する。
まず、マスク手段６１のレチクルマスク７１a、７１b、７１cにそれぞれ形成されたライン状の光透過部７１３と７１３の間隔を、上述したウエーハ１０、１０に形成されている分割予定ライン１０１の間隔の整数倍で且つ最外側の分割予定ライン１０１と反対側の最外側の分割予定ライン１０１との間隔の３分の１の間隔になるように調整する。この調整は、上記間隔調整手段７２のパルスモータ７４２を正転または逆転駆動することによって行う。このようにして、マスク手段６１のレチクルマスク７１a、７１b、７１cにそれぞれ形成されたライン状の光透過部７１３と７１３の間隔を調整したならば、上述したようにチャックテーブル３、３上に保持されているウエーハ１０、１０に形成された分割予定ライン１０１を検出し、露光領域のアライメントを実行する。そして、図６に示すようにウエーハ１０、１０を保持したチャックテーブル３をレチクルマスク７１a、７１b、７１cの下方に移動し、レチクルマスク７１aに形成されたライン状の光透過部７１３の直下にウエーハ１０に形成されている分割予定ライン１０１における図において最右端の分割予定ライン１０１を位置付ける。この結果、レチクルマスク７１bに形成されたライン状の光透過部７１３の直下にウエーハ１０、１０に形成されている全分割予定ライン１０１における図において最右端から３分の１に相当する分割予定ライン１０１が位置付けられ、レチクルマスク７１cに形成されたライン状の光透過部７１３の直下にウエーハ１０、１０に形成されている全分割予定ライン１０１における図において最右端から３分の２に相当する分割予定ライン１０１が位置付けられる。

次に、発光手段６２を附勢し上記レチクルマスク７１a、７１b、７１cに形成されたライン状の光透過部７１３を通してウエーハ１０、１０の裏面１０bに形成された感光性レジスト膜１１にライン光を照射する（露光工程）。この結果、感光性レジスト膜１１は、レチクルマスク７１a、７１b、７１cに形成されたライン状の光透過部７１３の直下に位置するウエーハ１０、１０の３本の分割予定ライン１０１に沿って露光され除去される。

上述したように露光工程を実施したならば、上記インデックス手段４、４の割り出し送り手段４５、４５を構成するパルスモータ４５２、４５２を作動して、上記分割予定ライン１０１の間隔分だけチャックテーブル３、３を矢印Y1で示す方向に移動し（割り出し工程）、上記露光工程を実施することにより、ウエーハ１０、１０の３本の分割予定ライン１０１に沿って同時に露光することができる。このように図４乃至図６に示す実施形態においては、感光性レジスト膜１１における複数本（図示の実施形態においては３本）の分割予定ライン１０１に対応した領域を同時に露光し除去することができるので、生産性が向上する。また、レチクルマスク７１a、７１b、７１cに形成されたライン状の光透過部７１３の間隔は、間隔調整手段７２のパルスモータ７４２を正転または逆転駆動することによって調整することができるので、分割予定ラインの間隔が異なるウエーハに対応することができる。

なお、上述した実施形態においては、レチクルマスク６１５および７１a、７１b、７１cの表面（上面）に遮光層６１５bおよび７１２を形成した例を示したが、遮光層６１５bおよび７１２はレチクルマスク６１５および７１a、７１b、７１cの裏面（下面）に形成し、ウエーハ１０と対面するように構成してもよい。また、上述した実施形態においては、２個のチャックテーブルを備えた例を示したが、チャックテーブルは１個でもよい。また、上述した実施形態においては、ウエーハ１０、１０の裏面に感光性レジスト膜１１を被覆した例を示したが、感光性レジスト膜１１はウエーハ１０、１０の表面に被覆してもよい。

本発明に従って構成された露光装置の一実施形態を示す斜視図。図１に示す露光装置に装備されるチャックテーブルおよびインデックス手段の一実施形態を示す斜視図。図１に示す露光装置を構成するマスク手段のスリットの直下にチャックテーブルに保持されたウエーハの分割予定ラインを位置付けた状態を示す説明図。本発明に従って構成された露光装置の他の実施形態を示す斜視図。図４に示す露光装置に装備されるマスク手段を構成するスリットプレートおよび間隔調整手段の斜視図。図４に示す露光装置を構成するマスク手段のスリットプレートに形成されたスリットの直下にチャックテーブルに保持されたウエーハの分割予定ラインを位置付けた状態を示す説明図。被加工物であるウエーハの斜視図。図７に示すウエーハの裏面に感光性レジスト膜が被覆された状態を示す斜視図。

符号の説明

２：基台
３：チャックテーブル
４：インデックス手段
４１、４１：案内レール
４２：支持台
４４：パルスモータ
４５：割り出しし送り手段
４５１：雄ネジロッド
４５２：パルスモータ
４５３：雌ネジブロック
５：アライメント手段
５２：撮像手段
６：ライン露光手段
６１：マスク手段
６１５：レチクルマスク
６１５a：透明板
６１５b：遮光層
６１５c：ライン状の光透過部
６２：発光手段
７１a、７１b、７１c：レチクルマスク
７１１：透明板
７１２：遮光層
７１３：ライン状の光透過部
７２：間隔調整手段
７４：作動手段
７４１：雄ネジロッド
７４２：パルスモータ
７５１、７５２、７５３、７５４：蛇腹
１０：ウエーハ
１０１：分割予定ライン
１０２：回路
１１：感光性レジスト膜

Claims

表面に格子状の分割予定ラインによって区画された領域に機能素子が形成されたウエーハの裏面または表面に被覆されたレジスト膜を、分割予定ラインに沿って露光する露光装置であって、
ウエーハを保持するチャックテーブルと、
該チャックテーブルに保持されたウエーハに形成された分割予定ラインを検出するアライメント手段と、
該チャックテーブルに保持されたウエーハの裏面または表面に被覆されたレジスト膜に、分割予定ラインに対応したライン光を露光するライン露光手段と、
該チャックテーブルと該ライン露光手段とを相対的に移動し、該チャックテーブルに保持されたウエーハに形成された分割予定ラインを該ライン光の露光位置に位置付けるインデックス手段と、を具備し、
該ライン露光手段は、透明板に遮光層とライン状の光透過部が形成されたレチクルマスクを備えたマスク手段と、該レチクルマスクの該ライン状の光透過部を通してライン光を露光する発光手段とからなっている、
ことを特徴とする露光装置。
該マスク手段は該レチクルマスクを複数備えており、該複数のレチクルマスク間隔を調整する間隔調整手段を具備している、請求項１記載の露光装置。
該インデックス手段は、該チャックテーブルを該レチクルマスクの該ライン状の光透過部と直交する方向に移動し該チャックテーブルに保持されたウエーハに形成されている所定方向に延びる分割予定ラインをライン光の露光位置に位置付ける割り出し送り手段と、該チャックテーブルを回動して該チャックテーブルに保持されたウエーハに形成されている所定方向に延びる分割予定ラインと直交する方向の分割予定ラインを該スリットと平行に位置付ける回動手段とからなっている、請求項１又は２記載の露光装置。
該チャックテーブルは複数からなり、該ライン露光手段は該複数のチャックテーブルにそれぞれ載置されたウエーハを同時に露光する、請求項１〜３のいずれかに記載の露光装置。