JP2006156859A - 露光装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 表面に格子状の分割予定ラインによって区画された領域に機能素子が形成されたウエーハの裏面または表面に被覆されたレジスト膜を、分割予定ラインに沿って露光する露光装置であって、ウエーハを保持するチャックテーブル3と、チャックテーブルに保持されたウエーハに形成された分割予定ラインを検出するアライメント手段5と、チャックテーブルに保持されたウエーハの裏面または表面に被覆されたレジスト膜に分割予定ラインに対応したスリット光を露光するスリット露光手段6と、チャックテーブルとスリット露光手段とを相対的に移動しチャックテーブルに保持されたウエーハに形成された分割予定ラインをスリット光の露光位置に位置付けるインデックス手段とを具備している。
【選択図】 図1
Description
ウエーハを保持するチャックテーブルと、
該チャックテーブルに保持されたウエーハに形成された分割予定ラインを検出するアライメント手段と、
該チャックテーブルに保持されたウエーハの裏面または表面に被覆されたレジスト膜に、分割予定ラインに対応したスリット光を露光するスリット露光手段と、
該チャックテーブルと該スリット露光手段とを相対的に移動し、該チャックテーブルに保持されたウエーハに形成された分割予定ラインを該スリット光の露光位置に位置付けるインデックス手段と、を具備している、
ことを特徴とする露光装置が提供される。
チャックテーブル3は、多孔質材料から形成された吸着チャック31を具備しており、吸着チャック31上に後述するウエーハを図示しない吸引手段によって保持するようになっている。このチャックテーブル3は、インデックス手段4によって図1および図2において矢印Yで示す割り出し送り方向に移動せしめられるようになっているとともに、回動可能に構成されている。
ここで、上記露光装置によって露光される被加工物としてのウエーハについて、図7を参照して説明する。図7に示すウエーハ10は、シリコンウエーハからなっており、表面10aには互いに平行な複数の分割予定ライン101によって格子状に形成されている。そして、ウエーハ10の表面10aには、複数の分割予定ライン101によって区画された複数の領域に機能素子としての回路102が形成されている。このように構成されたウエーハ10は、裏面が研削されその厚さが例えば100μmに形成されている。このウエーハ10を分割予定ライン101に沿ってエッチングして個々のチップに分割するには、図8に示すようにウエーハ10の裏面10bに感光性レジスト膜11を形成する(レジスト膜形成工程)。
露光工程は、先ず上記露光装置のチャックテーブル3上にウエーハ10の表面10a側を載置し、図示しない吸引手段を作動することによりチャックテーブル3上にウエーハ10を吸引保持する。従って、ウエーハ10は裏面10bに形成された感光性レジスト膜11が上側となる。このようにして、チャックテーブル3上にウエーハ10を保持したならば、チャックテーブル3を矢印Yで示す方向に作動してウエーハ10をアライメント手段5を構成する撮像手段51の直下に位置付ける。チャックテーブル3が撮像手段51の直下に位置付けられると、撮像手段51および図示しない制御手段によってウエーハ10の裏面10bに形成された感光性レジスト膜11における露光領域を検出するアライメント作業を実行する。即ち、撮像手段51および図示しない制御手段は、ウエーハ10の所定方向に形成されている分割予定ライン101を検出し、この分割予定ライン101が上記マスク手段61の上壁611に形成されたスリット611aと平行に位置付けられようにアライメントを遂行する。もし、所定方向に形成されている分割予定ライン101とスリット611aが平行に位置付けられていない場合には、上記インデックス手段4のパルスモータ44を作動してチャックテーブル3従ってウエーハ10を回動させることによって分割予定ライン101とスリット611aが平行になるようにアライメントする。また、ウエーハ10に形成されている所定方向と直交する方向に形成されている分割予定ライン101に対しても、同様にアライメントが遂行される。このとき、ウエーハ10の分割予定ライン101が形成されている表面10aは下側に位置しているが、撮像手段51が上述したように赤外線照明手段と赤外線を捕らえる光学系および赤外線に対応した電気信号を出力する撮像素子(赤外線CCD)等で構成されているので、ウエーハ10の裏面bに形成されたレジスト膜11側から透かしてウエーハ10を撮像することができる。
図4および図5に示すマスク手段61は、上壁611に矩形状の開口611bが形成され該開口611bにスリット711を備えた3個のスリットプレート71a、71b、71cがその間隔を調整可能に配設されている。スリット711を備えたスリットプレート71a、71b、71cは、それぞれ図5に示すようにその両端部が下方に折り曲げて形成された連結部712、712を備えている。図示の実施形態における露光装置は、スリットプレート71a、71b、71c従ってスリット711の間隔を調整する間隔調整手段72を具備している。間隔調整手段72は、上記スリットプレート71aの連結部712、712にそれぞれ一端が支軸73によって揺動可能に連結されたリンク721、722と、スリットプレート71bの連結部712、712にそれぞれ一端が支軸73によって揺動可能に連結されたリンク723、724と、スリットプレート71cの連結部712、712にそれぞれ一端が支軸73によって揺動可能に連結されたリンク725、726と、上記リンク723の他端に支軸73によって一端が揺動可能に連結されたリンク728と、上記リンク726の他端に支軸73によって一端が揺動可能に連結されたリンク729とからなるリンク機構を備えている。なお、上記リンク722の他端とリンク725の他端は支軸73によって互いに揺動可能に連結され、リンク722とリンク723およびリンク724とリンク725はそれぞれ中間部が支軸73によってそれぞれ揺動可能に連結されている。
まず、マスク手段61のスリットプレート71a、71b、71cにそれぞれ形成されたスリット711とスリット711の間隔を、上述したウエーハ10に形成されている分割予定ライン101の間隔の整数倍で且つ最外側の分割予定ライン101と反対側の最外側の分割予定ライン101との間隔の3分の1の間隔になるように調整する。この調整は、上記間隔調整手段72のパルスモータ742を正転または逆転駆動することによって行う。このようにして、マスク手段61のスリットプレート71a、71b、71cにそれぞれ形成されたスリット711とスリット711の間隔を調整したならば、上述したようにチャックテーブル3上に保持されているウエーハ10に形成された分割予定ライン101を検出し、露光領域のアライメントを実行する。そして、図6に示すようにウエーハ10を保持したチャックテーブル3をスリットプレート71a、71b、71cの下方に移動し、スリットプレート71aに形成されたスリット711の直下にウエーハ10に形成されている分割予定ライン101における図において最右端の分割予定ライン101を位置付ける。この結果、スリットプレート71bに形成されたスリット711の直下にウエーハ10に形成されている全分割予定ライン101における図において最右端から3分の1に相当する分割予定ライン101が位置付けられ、スリットプレート71cに形成されたスリット711の直下にウエーハ10に形成されている全分割予定ライン101における図において最右端から3分の2に相当する分割予定ライン101が位置付けられる。
3:チャックテーブル
4:インデックス手段
41、41:案内レール
42:支持台
44:パルスモータ
45:割り出しし送り手段
451:雄ネジロッド
452:パルスモータ
453:雌ネジブロック
5:アライメント手段
52:撮像手段
6:スリット露光手段
61:マスク手段
611a:スリット
62:発光手段
71a、71b、71c:スリットプレート
711:スリット
712:連結部
72:間隔調整手段
74:作動手段
741:雄ネジロッド
742:パルスモータ
751、752、753、754:蛇腹
10:ウエーハ
101:分割予定ライン
102:回路
11:感光性レジスト膜
Claims (4)
- 表面に格子状の分割予定ラインによって区画された領域に機能素子が形成されたウエーハの裏面または表面に被覆されたレジスト膜を、分割予定ラインに沿って露光する露光装置であって、
ウエーハを保持するチャックテーブルと、
該チャックテーブルに保持されたウエーハに形成された分割予定ラインを検出するアライメント手段と、
該チャックテーブルに保持されたウエーハの裏面または表面に被覆されたレジスト膜に、分割予定ラインに対応したスリット光を露光するスリット露光手段と、
該チャックテーブルと該スリット露光手段とを相対的に移動し、該チャックテーブルに保持されたウエーハに形成された分割予定ラインを該スリット光の露光位置に位置付けるインデックス手段と、を具備している、
ことを特徴とする露光装置。 - 該スリット露光手段は、少なくとも1本のスリットを備えたマスク手段と、該マスク手段の該スリットを通してスリット光を露光する発光手段とからなっている、請求項1記載の露光装置。
- 該マスク手段は複数のスリットを備え、該複数のスリットの間隔を調整する間隔調整手段を具備している、請求項2記載の露光装置。
- 該インデックス手段は、チャックテーブルを該スリットと直交する方向に移動し該チャックテーブルに保持されたウエーハに形成されている所定方向に延びる分割予定ラインをスリット光の露光位置に位置付ける割り出し送り手段と、該チャックテーブルを回動して該チャックテーブルに保持されたウエーハに形成されている所定方向に延びる分割予定ラインと直交する方向の分割予定ラインを該スリットと平行に位置付ける回動手段とからなっている、請求項1から3のいずれかに記載の露光装置。
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