JP2006214362A - ターボ分子ポンプのシール構造 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 ターボ分子ポンプ1のハウジングの静止部材10に径方向の揺動自在に嵌入されたブッシュ12と、該ブッシュ12の内周部を回動自在に挿通するジャーナル軸部8aとからなり、該ジャーナル軸部8aの外周部にヘリングボーン形の溝8bを凹設すると共に、該へリングボーン形の溝8bに隣接して前記ジャーナル軸部8aと前記ブッシュ12とに形成されるクリアランスシール部8cを有するシール構造とした。
【選択図】 図2
Description
2、2´、2´´ シール構造部分
8a ジャーナル軸部
8b ヘリングボーン形の溝
8c クリアランスシール部
10、10´、10´´ 静止部材
12、12´ ブッシュ
13a、13b、13c Oリング
Claims (6)
- ころがり軸受を介して回転軸を支承しているターボ分子ポンプにおいて、該ターボ分子ポンプのハウジングの静止部材に径方向の揺動可能に嵌入された円筒状のブッシュと、該ブッシュの内周部に僅少の間隙を有して回動自在に該内周部を挿通したジャーナル軸部とからなり、該ジャーナル軸部の外周部にヘリングボーン形の溝を回転方向に向かってヘの字状に開いた形状に凹設すると共に、該ヘリングボーン形の溝に隣接して、前記ブッシュと前記ジャーナル軸部とにより形成されるクリアランスシール部を設けたことを特徴とするターボ分子ポンプのシール構造。
- 前記ブッシュと前記ジャーナル軸部との間隙にパージガスを導入したことを特徴とする請求項1に記載のターボ分子ポンプのシール構造。
- 前記へリングボーン形の溝を前記ジャーナル軸部のころがり軸受側に配置すると共に前記クリアランスシール部を前記ジャーナル軸部の排気ガス流入側に配置したことを特徴とする請求項1に記載のターボ分子ポンプのシール構造。
- 前記ブッシュは外周部に少許の間隙を存して前記静止部材に緩嵌されると共に該ブッシュの外周部に嵌着した少なくとも1本のOリングを介して前記静止部材に係止した構造とし、これらOリングの弾性により前記ブッシュの径方向の揺動を吸収するようにしたことを特徴とする請求項1に記載のターボ分子ポンプのシール構造。
- 前記ブッシュは外周部に少許の間隙を存して前記静止部材に緩嵌されると共に該ブッシュの内周部に当接するOリングを設けて、該Oリングが嵌入するOリング溝を前記静止部材に付設し、該Oリングの弾性により前記ブッシュの径方向の揺動を吸収するようにしたことを特徴とする請求項1に記載のターボ分子ポンプのシール構造。
- 前記静止部材の上端部に孔明き円板状体を設置し、該孔明き円板状体の内周部と、該内周部を挿通するロータの柄部の外周部との間に僅少の間隙を有する固定クリアランスシール部を設けたことを特徴とする請求項1乃至請求項5のいずれか1に記載のターボ分子ポンプのシール構造。
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