JP2006212659A - クラッド材とその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 少なくとも一方の表面に純銅粒子1bのめっき析出組織を有する銅箔1のめっき析出組織側の表面に、アルミニウム箔2が冷間圧延で接合されているクラッド材。
【選択図】 図2
Description
この銅−アルミニウムクラッド材の製造に関しては、大別して、冷間圧延のみで製造する場合と、冷間圧延後に更に熱処理を施すか、または温間圧延で製造する場合とがある。そして、両者のいずれの場合においても、製造されたクラッド材における接合面の接合強度が高いことをもって好適とされている。
すなわち、このCu−Al系合金はエッチング性が非常に悪いので、配線材に対するエッチング処理時に目的パターンの導体回路を形成することが困難になることである。
このような観点に立って開発された前者の製造方法としては、回路基板の配線材の製造を目的として、例えば、圧延アルミニウム箔と銅箔を50%以上の圧下率で冷間圧延する方法が知られている(特許文献1を参照)。
後者の方法としては、例えば、銅系部材にアルミニウム系のインサート材を加工率30%以上の冷間圧延で接合し、ついで温度200〜400℃で熱処理を施したのち、そのインサート材と別のアルミニウム系部材を加工率40%以上で圧延して接合する銅−アルミニウムクラッド材の製造方法が知られている(特許文献3を参照)。
これら先行技術のうち、特許文献1と特許文献2の方法は、いずれも、冷間でクラッディングが行われるため、その接合面にCu−Al合金層が生成する虞れはない。
しかしながら、特許文献1の方法では50%以上の圧下率で冷間圧延が行われているので次のような問題がある。
また、このような高い圧下率を実現するためには、多段ロールの圧延装置を用いることが必要となるが、それは設備の大規模化、その維持作業の負担など現実には多くの問題が発生してくる。
しかしながら、この方法の場合、クラッディングに先立ち接合面に長時間のスパッタエッチング処理を施すことが必要であるため、高価な設備装置を設置しなければならず、やはり経済的に問題がある。
このように、従来のCu−Alクラッド材の製造方法には上記した一長一短があり、その解決が求められている。
また、本発明においては、少なくとも一方の表面に純銅粒子のめっき析出組織を有する銅箔の前記めっき析出組織側の表面にアルミニウム箔を重ね合わせた状態で、圧下率0.1〜10%の冷間圧延を行うことを特徴とするクラッド材の製造方法(以下、第1の製造方法という)が提供される。
また、本発明においては、少なくとも一方の表面に純銅粒子のめっき析出組織を有する銅箔の前記めっき析出組織側の表面にアルミニウム箔を重ね合わせた状態で圧下率0.1〜10%の冷間圧延を行って2枚の箔を一体化し、ついで全体に熱処理を施すことを特徴とするクラッド材の製造方法(以下、第2の製造方法という)が提供される。
この銅箔とアルミニウム箔を重ね合わせて冷間で圧延すると、アルミニウム箔の自然酸化膜は極薄であるため、圧延時の印加圧力が小さく、したがってその圧下率が低くても、銅箔表面に析出している純銅粒子の突起が自然酸化膜を突き破り、アルミニウム箔本体の中に埋め込まれて、銅とアルミニウムが直接的に接合する。
また、得られたクラッド材に対し、銅とアルミニウムの合金が生成しない温度域で熱処理することにより、2枚の箔の接合面における両金属の相互拡散が進み、接合面の接合強度を更に高めることができる。
銅箔1は、図2で示したように、銅箔本体1aの表面(片面)に純銅粒子1bのめっき析出組織を有していて、当該表面が粗化面になっている銅箔である。
このときの電解めっきの条件を適宜に選定することにより、析出する銅粒子の粒径とその分布などを変化させて、得られた銅箔の表面を所望する粗化面にしている。
その場合、純銅粒子の粒径や銅箔本体の表面における分布密度は次のように設定されることが好ましい。
まず、純銅粒子の粒径は、0.1〜10μmの大きさに調整される。この粒径を0.1μmより小さくすると、後述するアルミニウム箔との冷間圧延時に純銅粒子がアルミニウム箔の自然酸化膜を突き破って埋め込まれる深さが浅くなるので、接合面での接合強度をあまり高くすることができないからである。
このめっき析出組織における純銅粒子の分布密度は1×104〜1×108個/mm2に調整されることが好ましい。
本発明のクラッド材は、第1の製造方法の場合、上記した銅箔のめっき析出組織側の表面にアルミニウム箔を重ね合わせ、例えば室温下で冷間のロール圧延を行うことによって製造される。第1の製造方法では、冷間圧延の前後で熱処理は施されない。
また、圧下率を10%より高くすると、接合面の接合強度は高くなるが、他方では接合面の平坦性が悪化して、例えばクラッド材を回路基板の配線材として用いたときに、エッチング性の悪化を引き起こす。
更に、接合面の接合強度を高めようとする場合は、第2の製造方法を適用することが好適である。
第2の製造方法は、第1の製造方法で得られたクラッド材に対して熱処理を施す方法である。熱処理を施すことにより、接合面では、銅とアルミニウムの拡散接合が進行して、接合面の接合強度は一層向上する。
図3に、本発明の別のクラッド材の1例Bを示す。
このクラッド材Bは、銅箔本体1aの表面にニッケルめっき層3が積層され、このニッケルめっき層3の表面に純銅粒子のめっき析出組織が形成され、このめっき析出組織とアルミニウム箔2がクラッディングされた構造になっている。
このクラッド材Bの製造に用いる銅箔例を図4に示す。この銅箔は、銅箔本体の平滑面に、一旦ニッケルめっきを施して薄いニッケルめっき層3を成膜し、ついで、このニッケルめっき層3の表面に、電解めっき法によって既に説明した純銅粒子のめっき析出組織を形成して製造することができる。
なお、銅粒子の粒径は、めっき面を顕微鏡で観察し、1視野内に存在する全ての銅粒子の粒径を実測し、その実測値の平均値であり、またその分布密度は、1視野内に存在する銅粒子の個数を実測し、その実測値を単位面積(1mm2)内の個数に換算した値である。
得られたクラッド材につき、下記の仕様で特性を測定した。
接合面の平坦性:各クラッド材を厚み方向に切断して表出した接合面を顕微鏡で観察し、接合面が一直線の線状に視認される場合を○印、接合面がうねった曲線に視認される場合を×印として評価した。
結果を表1に示す。
(1)比較例と試験片1〜6のクラッド材は、いずれも、接合面は平坦である。しかしながら、表面に銅粒子のめっき析出組織を有する銅箔を用いて製造した試験片1〜6のクラッド材は、タフピッチ銅箔をそのまま用いた比較例のクラッド材よりも接合面の接合強度は高くなっていて、表面に銅粒子を析出させることの有用性が明らかである。
そして、試験片1〜6において、銅粒子の粒径が大きくなるにつれて接合面の接合強度も高くなっていくが、しかし、銅粒子の粒径が0.1μmより小さいと比較例の接合強度と大差なく、また銅粒子の粒径が10.0μmより大きい試験片6は、接合面に大きな銅粒子が視認され、エッチング性の悪化を予想させる。
(2)銅粒子の粒径と圧下率が同じで、銅粒子の分布密度が異なっている試験片7と試験片8において、分布密度が1×104個/μm2より低い試験片7と、逆に分布密度が1×108個/μm2より高い試験片8は、いずれも、接合面の接合強度が低くなっている。
(3)銅粒子の粒径と分布密度は同じであるが、圧下率を変化させて製造した試験片9〜12のグループにおいて、圧下率が0.05%と非常に低い試験片9の場合、圧延後のクラッド材に部分的な剥離が認められた。また逆に、圧下率を20%と高くした試験片12の場合、接合面の接合強度は確かに高くなっているが、他方では接合面の変形が激しくなり、例えば回路基板の配線材としては不適である。
(4)試験片13〜15のグループから明らかなように、同じクラッド材に熱処理を施した場合、温度が400℃以下であれば、接合強度はベースになっている試験片3よりも高くなり、また接合面の状態は同等であるが、しかし、温度を400℃より高くすると、接合面の接合強度は高まるとはいえ、接合面に介在物が生成し、エッチング性の悪化を引き起こすようになる。
1a 銅箔本体
1b 銅粒子のめっき析出組織
2 アルミニウム箔
3 ニッケルめっき層
Claims (7)
- 少なくとも一方の表面に純銅粒子のめっき析出組織を有する銅箔の前記めっき析出組織側の表面に、アルミニウム箔が接合されていることを特徴とするクラッド材。
- 前記純銅粒子の粒径が0.1〜10μmである請求項1のクラッド材。
- 前記めっき析出組織における前記純銅粒子が、前記銅箔の表面の単位面積(1mm2)当たり1×104〜1×108個の分布密度で析出している請求項1または2のクラッド材。
- 前記銅箔の表面にニッケルめっき層が形成され、前記ニッケルめっき層の表面に前記純銅粒子のめっき析出組織が形成されている請求項1〜3のいずれかのクラッド材。
- 少なくとも一方の表面に純銅粒子のめっき析出組織を有する銅箔の前記めっき析出組織側の表面にアルミニウム箔を重ね合わせた状態で、圧下率0.1〜10%の冷間圧延を行うことを特徴とするクラッド材の製造方法。
- 少なくとも一方の表面に純銅粒子のめっき析出組織を有する銅箔の前記めっき析出組織側の表面にアルミニウム箔を重ね合わせた状態で圧下率0.1〜10%の冷間圧延を行って2枚の箔を一体化し、ついで全体に熱処理を施すことを特徴とするクラッド材の製造方法。
- 熱処理温度が200〜400℃である請求項6のクラッド材の製造方法。
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