JP2006210236A - 酸化物超電導線材の製造方法及び製造装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 レーザ光25が入射される透明窓24を有する処理容器10と、該処理容器の蒸着処理室10a内に設けられた酸化物超電導体または酸化物超電導体と近似組成のターゲット12と、蒸着処理室内にターゲットと対向して設けられたテープ基材加熱用の熱板28と、該熱板上にテープ基材11をその長手方向に沿って移動させる送出装置18及び巻取装置19と、熱板とターゲットの間に窓孔が位置するように設けられたスリット板27と、透明窓を通してターゲットに向けてレーザ光を照射するレーザ発光装置とを備え、スリット板の窓孔周縁部に、窓孔周縁部により覆われる熱板の局部昇温を防いでテープ基材の表面温度分布を均一に維持する冷却手段を設けたことを特徴とする酸化物超電導体の製造装置。
【選択図】 図1
Description
図1〜図3は、本発明に係る酸化物超電導体の製造装置の一実施形態であるレーザ蒸着装置を示し、図1はこのレーザ蒸着装置の構成図、図2はその要部拡大図、図3は同じレーザ蒸着装置に用いられているスリット板27の平面図である。なお、本実施形態は、図4に示すように、金属製の基材1上にIBAD法によって多結晶中間薄膜2が形成されているテープ基材11にレーザ蒸着法(パルスレーザ蒸着(PLD)法)によって酸化物超電導体からなる超電導層3を形成し、長尺テープ状の酸化物超電導線材5を製造する場合を例示している。
ハステロイテープ基材上にIBAD法により膜厚約1μm、配向性10度のGd2Zr2O7からなる第一の多結晶中間薄膜を形成し、この第一の多結晶中間薄膜上に、PLD法により配向性5度のCeO2からなる第二の多結晶中間薄膜を形成した、長さ100mのテープ基材を作製した。このテープ基材をその多結晶中間薄膜側を上にして図1に示すレーザ蒸着装置の熱板上に設置し、ターゲットとしてY1Ba2Cu3OX系の円板状のターゲットを支持ホルダの支持部に取り付け、蒸着処理室を真空排気装置で減圧した。送出装置からテープ基材を1.0m/hで送り出しつつ、レーザ発光装置からレーザ光を発生させ、レーザ光をターゲットに照射した。レーザ光の強度は20W、照射周波数は100Hzとした。スリット板の窓孔両側部に設けた冷却管路に冷却水を流し、熱板の曲面上を通過するテープ基材の表面温度が約800℃になるように熱板に内蔵した加熱ヒータと冷却水をオン/オフ制御した。この状態で熱板の曲面に接するテープ基材の表面温度分布を測定したところ、図2(b)に示すように、加熱領域は約800℃で均一であり局部昇温は認められなかった。この条件でテープ基材に超電導層を成膜して長尺の酸化物超電導線材を製造した。得られた酸化物超電導線材は、超電導層の膜厚が約0.5μmであり、0.1m長の臨界電流密度(Jc)値は1.9MA/cm2であった。
スリット板の冷却管路に冷却水を流さず、窓孔周縁部を冷却しない以外は、実施例と同様にしてテープ基材上に超電導層を成膜した。
この状態で熱板の曲面に接するテープ基材の表面温度分布を測定したところ、図7(b)に示すように、中央部は約800℃であったが、その両側部は30〜40℃昇温していた。この条件でテープ基材に超電導層を成膜して長尺の酸化物超電導線材を製造した。得られた酸化物超電導線材は、超電導層の膜厚が約0.5μmであり、0.1m長の臨界電流密度(Jc)値は1.6MA/cm2であり、前記実施例で得られたものよりも臨界電流密度が低かった。
Claims (4)
- 蒸着処理室内に設けた酸化物超電導体または酸化物超電導体と近似組成のターゲットにレーザ光を照射して前記ターゲットから発生させた粒子をスリット板の窓孔を通して、前記スリット板に隣接配置した熱板に沿わせて加熱しながら移動中のテープ基材上に順次堆積させて超電導層を形成する酸化物超電導線材の製造方法において、
前記スリット板の窓孔周縁部に冷却手段を設け、前記窓孔周縁部により覆われる熱板の局部昇温を防いでテープ基材の表面温度分布を均一に維持しながら超電導層を形成することを特徴とする酸化物超電導線材の製造方法。 - 前記冷却手段が、前記窓孔周縁部に設けられた冷却管路に冷却媒体を流す冷却装置であることを特徴とする請求項1に記載の酸化物超電導線材の製造方法。
- レーザ光が入射される透明窓を有する処理容器と、該処理容器の蒸着処理室内に設けられた酸化物超電導体または酸化物超電導体と近似組成のターゲットと、前記蒸着処理室内に前記ターゲットと対向して設けられたテープ基材加熱用の熱板と、該熱板上にテープ基材をその長手方向に沿って移動させる送出装置及び巻取装置と、前記熱板と前記ターゲットの間に窓孔が位置するように設けられたスリット板と、前記透明窓を通して前記ターゲットに向けてレーザ光を照射するレーザ発光装置とを備えた酸化物超電導体の製造装置において、
前記スリット板の窓孔周縁部に、該窓孔周縁部により覆われる熱板の局部昇温を防いでテープ基材の表面温度分布を均一に維持する冷却手段を設けたことを特徴とする酸化物超電導体の製造装置。 - 前記冷却手段が、前記窓孔周縁部に設けられた冷却管路に冷却媒体を流す冷却装置であることを特徴とする請求項3に記載の酸化物超電導線材の製造装置。
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