JP2006203077A - 積層型圧電構造体の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 ワークピース30は、複数の圧電体層24,26,28と、各圧電体層の上下に形成された電極層22,25,27,29とからなり、電極層22,27は共通電極部33において共通に接続されており、極層25,29は共通電極部34において共通に接続されている。側面31を電着液中に浸して共通電極部33に所定電圧を印加することで、側面31における電極層22,27の露出端面に絶縁膜を形成する。また、側面32を電着液中に浸して共通電極部34に所定電圧を印加することで、側面32における電極層25,29の露出端面に絶縁膜を形成する。この後、側面31,32に側面電極を形成し、ワークピース30から共通電極部33,34を切り落とす。
【選択図】 図10
Description
10 積層型圧電素子
11 圧電体層
12a,12b 電極層
13 絶縁膜
14a,14b 側面電極
20 基板
21 マスク
22,25,27,29 電極層
23 ノズル
24,26,28 圧電体層
30 ワークピース
33,34 共通電極部
35,36 絶縁膜
37,38 側面電極
40 2次元超音波トランスデューサ
50 積層型圧電素子
51 圧電体層
52a,52b 電極層
53 絶縁膜
54a,54b 側面電極
61,64 溝
62,65 メッキ膜
63 レジスト材
66,67 側面電極
Claims (9)
- 第1電極層、圧電体層、第2電極層、圧電体層の順に繰り返し積層されてなる積層体と、
この積層体の1つの側面に形成され、前記第1電極層と電気的に接続されるとともに、前記第2電極層と絶縁膜を介して絶縁された第1側面電極と、
前記積層体の他の側面に形成され、前記第2電極層と電気的に接続されるとともに、前記第1電極層と絶縁膜を介して絶縁された第2側面電極とを備えてなる積層型圧電構造体の製造方法において、
前記第1および第2側面電極を形成する前のワークピースとして、
前記第1電極層、前記圧電体層、前記第2電極層、前記圧電体層の順に繰り返し積層するとともに、前記第1電極層が共通に接続された第1共通電極部と、前記第2電極層が共通に接続された第2共通電極部とを形成したものを用いることを特徴とする積層型圧電構造体の製造方法。 - 前記第1、第2共通電極部を選択的に電着用の電極として用い、電圧が印加された前記第1、第2電極層の露出部に絶縁材料を電着させることによって前記絶縁膜を形成することを特徴とする請求項1記載の積層型圧電構造体の製造方法。
- 前記第1、第2共通電極部を選択的に電解メッキ用の電極として用い、電圧が印加された前記第1、第2電極層の露出部に金属メッキ膜を形成し、この金属メッキ膜を、酸化、窒化、硫化、またはフッ化して絶縁化することによって前記絶縁膜を形成することを特徴とする請求項1記載の積層型圧電構造体の製造方法。
- 前記第1および第2側面電極を形成する前に、前記第1および第2共通電極部に電圧を印加して前記圧電体層のポーリング処理を行うことを特徴とする請求項1ないし3いずれか記載の積層型圧電構造体の製造方法。
- 前記第1および第2電極層をスパッタ法または蒸着法によって形成することを特徴とする請求項1ないし4いずれか記載の積層型圧電構造体の製造方法。
- 前記圧電体層をエアロゾルデポジション法によって形成することを特徴とする請求項1ないし5いずれか記載の積層型圧電構造体の製造方法。
- 前記圧電体層の端部をテーパ状に形成し、このテーパ部で、前記第1および第2電極層の端部を覆うことを特徴とする請求項1ないし6いずれか記載の積層型圧電構造体の製造方法。
- 前記第1および第2側面電極を形成した後、前記ワークピースから前記第1および第2共通電極部を切り落とすことを特徴とする請求項1ないし7いずれか記載の積層型圧電構造体の製造方法。
- 前記ワークピースをダイシングして、複数の素子が1次元状または2次元状に配列されてなるアレイを作成することを特徴とする請求項1ないし8いずれか記載の積層型圧電構造体の製造方法。
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