JP2006203036A - 半導体装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】エミッタ構造、ベース構造、コレクタ構造の1E19/cm3以上のn++InGaAs層104,408、p+GaAs層302のノンアロイ層を配することで各電極構造を同一構造化することが可能となり、また各電極構造の各半導体層のキャリアの高濃度と低濃度もしくは混晶比の連続性を持たせることによりヘテロ接合型バイポーラトランジスタ特性の安定化が図れる。
【選択図】図1
Description
また本発明は、前記コレクタ電極は、前記ベース層における前記第5の半導体層上に形成され、前記第5の半導体層を貫通し、下層となる前記第6の半導体層に達していることを特徴とする。
102,305 ベース電極
103 コレクタ電極
104,108,408 n++InGaAs層
105,107 n-InGaP層
106,303 p++GaAs層
202 In0.5Ga0.5As層
203 InGaAs層
204,205,205’ GaAs層
206 In0.48Ga0.52P層
207 ノンドープInGaP層
301 InGaP層
302,304 p-GaAs層
401 p-GaAs層
402,404 n-GaAs層
403 n+GaAs層
405 i-GaAs層
406 n-In0.48Ga0.52P層
407 n+In0.48Ga0.52P層
Claims (7)
- ヘテロ接合型バイポーラトランジスタにおいて少なくとも2層以上の積層構造を有する金属からなる電極を配し、かつエミッタ電極、ベース電極、コレクタ電極それぞれに同一構造を有してなる半導体装置において、
前記2層以上の積層構造を有する金属の下層金属は、この下層金属に接する半導体層と熱処理による合金化もしくは拡散反応するものとし、
エミッタ層が、キャリア濃度1E19/cm3以上の濃度からなる第1の半導体層と、前記第1の半導体層と同一元素からなり下層となる第3の半導体層の元素構成となるように前記半導体層の特定元素を減少し混晶比を変化せしめ、キャリア濃度も同様に前記第3の半導体層の濃度に前記第1の半導体層の濃度から減少させた第2の半導体層と、前記第1の半導体層よりバンドギャプが大きくかつ3E18〜1E16/cm3の範囲のキャリア濃度を上層となる前記第2の半導体層から減少せしめた前記第3の半導体層と、前記第3の半導体層と同一元素からなり下層となる第5の半導体層のキャリア濃度となるよう前記第3の半導体層のキャリア濃度から増加せしめた第4の半導体層と、キャリア濃度が1〜3E18cm3からなる前記第5の半導体層と、上層となる前記第1から第4の半導体層よりバンドギャップの大きい半導体からなりキャリア濃度が1E16〜1E17/cm3の範囲で徐々に減少せしめた第6の半導体層と、前記第6の半導体層と同一元素でキャリア濃度が1〜5E17/cm3の範囲の第7の半導体層とからなることを特徴とする半導体装置。 - ベース層が、前記第6もしくは第7の半導体層のバンドギャップより小さくかつ反対極性でキャリア濃度もしくは構成元素が上部もしくは下部の半導体に対して徐々に増加もしくは減少せしめ、キャリア濃度もしくは構成元素の少なくとも一方に連続性を有することを特徴とする請求項1記載の半導体装置。
- 前記ベース層は、前記エミッタ層の前記第7の半導体層と接し、かつキャリア濃度が1E16/cm3以下の第1の半導体層と、キャリア濃度が1E16〜1E19/cm3の範囲で徐々に増加せしめた第2の半導体層と、キャリア濃度が1E19/cm3以上の第3の半導体層と、キャリア濃度が1E16〜1E19/cm3の範囲で徐々に減少せしめた第4の半導体層からなることを特徴とする請求項2記載の半導体装置。
- コレクタ層は、キャリア濃度もしくは構成元素が上部もしくは下部の半導体に対して徐々に増加もしくは減少せしめ、キャリア濃度もしくは構成元素の少なくとも一方の連続性を有することを特徴とする請求項1〜3のいずれか1項記載の半導体装置。
- 前記コレクタ層は、前記ベース構造の半導体のバンドギャップと同等もしくは大きくかつ反対極性および前記エミッタ構造の半導体と同一の極性からなる第1の半導体層と、キャリア濃度が1E16〜5E18/cm3の範囲で下層となる第3の半導体層のキャリア濃度まで徐々に減少せしめた第2の半導体層と、キャリア濃度が1〜5E16/cm3の範囲の前記第3の半導体層と、前記第3の半導体層のバンドギャップより大きくかつキャリア濃度が下層となる第5の半導体層のキャリア濃度まで徐々に増加せしめた第4の半導体層、キャリア濃度が1E19/cm3以上でバンドギャップが下層となる第6の半導体層より小さい前記第5の半導体層と、キャリア濃度が前記第5の半導体層と同等以下である前記第6の半導体層からなることを特徴とする請求項4記載の半導体装置。
- 前記ベース電極は、前記エミッタ層における前記第6もしくは第7の半導体層上に形成され、前記第6もしくは前記第7の半導体層を貫通し、前記ベース層における前記第2の半導体層に達していることを特徴とする請求項1または3記載の半導体装置。
- 前記コレクタ電極は、前記ベース層における前記第5の半導体層上に形成され、前記第5の半導体層を貫通し、下層となる前記第6の半導体層に達していることを特徴とする請求項1または5記載の半導体装置。
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JP2005013956A JP2006203036A (ja) | 2005-01-21 | 2005-01-21 | 半導体装置 |
Applications Claiming Priority (1)
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JP2005013956A JP2006203036A (ja) | 2005-01-21 | 2005-01-21 | 半導体装置 |
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JP2005013956A Ceased JP2006203036A (ja) | 2005-01-21 | 2005-01-21 | 半導体装置 |
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Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008130586A (ja) * | 2006-11-16 | 2008-06-05 | Nec Electronics Corp | ヘテロ接合バイポーラトランジスタ |
-
2005
- 2005-01-21 JP JP2005013956A patent/JP2006203036A/ja not_active Ceased
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JP2008130586A (ja) * | 2006-11-16 | 2008-06-05 | Nec Electronics Corp | ヘテロ接合バイポーラトランジスタ |
US7821037B2 (en) | 2006-11-16 | 2010-10-26 | Nec Electronics Corporation | Heterojunction bipolar transistor |
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