JP2006201179A5 - - Google Patents

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JP2008261790A (ja) 2007-04-13 2008-10-30 Hitachi High-Technologies Corp 欠陥検査装置
JP2009031251A (ja) * 2007-06-28 2009-02-12 Hitachi High-Technologies Corp 光学式検査方法、および光学式検査装置
US7869025B2 (en) 2007-06-28 2011-01-11 Hitachi-High-Technologies Corporation Optical inspection method and optical inspection system
JP2009156651A (ja) * 2007-12-26 2009-07-16 Gunze Ltd フィルムの欠陥検査装置
JP4898713B2 (ja) * 2008-01-17 2012-03-21 株式会社日立ハイテクノロジーズ 表面検査装置および表面検査方法
JP5355922B2 (ja) * 2008-03-31 2013-11-27 株式会社日立ハイテクノロジーズ 欠陥検査装置
JP5331586B2 (ja) 2009-06-18 2013-10-30 株式会社日立ハイテクノロジーズ 欠陥検査装置および検査方法
JP5450161B2 (ja) 2010-02-26 2014-03-26 株式会社日立ハイテクノロジーズ 欠陥検査装置および欠陥検査方法
JP5538072B2 (ja) 2010-06-03 2014-07-02 株式会社日立ハイテクノロジーズ 欠陥検査方法およびその装置
JP5520737B2 (ja) 2010-07-30 2014-06-11 株式会社日立ハイテクノロジーズ 欠陥検査装置および欠陥検査方法
JP2012137350A (ja) 2010-12-27 2012-07-19 Hitachi High-Technologies Corp 欠陥検査方法および欠陥検査装置
JP5659048B2 (ja) 2011-03-02 2015-01-28 株式会社日立製作所 光検査方法及びその装置
JP5676419B2 (ja) 2011-11-24 2015-02-25 株式会社日立ハイテクノロジーズ 欠陥検査方法およびその装置
JP2013205015A (ja) 2012-03-27 2013-10-07 Hitachi Ltd 光検査装置およびその方法
JP2012177714A (ja) * 2012-06-20 2012-09-13 Hitachi High-Technologies Corp 検査装置
JP5655045B2 (ja) * 2012-09-11 2015-01-14 株式会社日立ハイテクノロジーズ 光学式表面欠陥検査装置及び光学式表面欠陥検査方法
JP6493136B2 (ja) * 2015-10-06 2019-04-03 株式会社Sumco ウェーハ検査方法およびウェーハ検査装置
US11143600B2 (en) 2018-02-16 2021-10-12 Hitachi High-Tech Corporation Defect inspection device

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