JP2006201046A

JP2006201046A - 電子線照射装置

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Publication number: JP2006201046A
Application number: JP2005013515A
Authority: JP
Inventors: Keizo Akita; 啓三穐田
Original assignee: NHV Corp
Current assignee: NHV Corp
Priority date: 2005-01-21
Filing date: 2005-01-21
Publication date: 2006-08-03
Anticipated expiration: 2025-01-21
Also published as: JP4556678B2

Abstract

【課題】照射窓を通過する際における電子線のロスを小さくし、効率よく電子線を取り出すことができる電子線照射装置を提供する。
【解決手段】Ｘ方向に搬送される被照射物５０に向けて電子線１４を照射する。Ｘ方向に伸びていると共に両端が支持されて同一平面上かつＹ方向に並べて配置された複数のフィラメント６に対して略平行に配置されて、フィラメント６から放出された電子を電子線として引き出す引出し電極３２を備える。Ｘ方向に並列に配置される複数の長手窓２８、３０に仕切る長手桟２２を有し、前記引出し電極３２から引き出された電子線１４を透過させて照射雰囲気中で取り出す照射窓１６を備える。Ｚ方向最上流側の引出し電極は、前記長手窓２８、３０とＺ方向に対応する部位がフィラメント６側に突出する曲面を有する。
【選択図】図１

Description

この発明は、電子線を被照射物に照射して、被照射物の架橋、改質、硬化、殺菌、その他の表面処理に用いられる電子線照射装置に関し、より具体的には、フィラメントから電子線を引出す引出し電極の改良に関する。

この種の従来の電子線照射装置の一例を示す概略断面図を図５に示す。なお、これとほぼ同様の構造をした電子線照射装置が特許文献１の図３に記載されている。

図５において、この電子線照射装置は、電子線１４を走査しない非走査型（またはエリア型）と呼ばれ、被照射物５０が搬送される方向（Ｘ方向）に相対的に短く、このＸ方向と直交するＹ方向に相対的に長い平面形状（例えば矩形状）の電子線１４を発生させる装置である。なお、Ｙ方向は照射幅方向とも呼ばれる。

この電子線照射装置は、Ｙ方向に長く矩形状の開口部を有する筒状の真空容器２と、この真空容器２の中に収納されていてＹ方向に長い筒状のシールド電極４と、さらにこのシールド電極４の中に収納されている電子源５と、真空容器２の開口部に設けられて電子源５から放出された電子線を照射雰囲気中へ取り出す照射窓１６とを有している。

電子源５は、電子を放出するフィラメント６と、フィラメント６から放出された電子を電子線１４として引き出す引出し電極１２とを有しており、これらはいずれもシールド電極４の中に配置されている。なお、シールド電極４及び引出し電極１２は互いに同電位にされ、それらと各フィラメント６との間には、フィラメント６側を負極にして、電子線１４の引き出し用の引出し電圧Ｖｅが印加される。この引出し電圧Ｖｅを調整することにより、電子線１４の発生量を調整している。なお、各フィラメント６とシールド電極４との間には、フィラメント６から放出された電子を引出し電極１２側へ押し戻す作用をするリフレクタ１０を設ける場合がある。

照射窓１６は、真空容器２の開口部に沿って設けられた窓枠１８と、真空領域と照射雰囲気とを分離するものであって、真空容器２の開口部を塞ぐ窓箔２０と、この窓箔２０を窓枠１８に固定する押さえ枠２６とを有している。

照射窓１６は、多量の電子線１４を取り出すために電子線密度を高くすると窓箔２０の冷却が困難となるので、Ｘ方向の開口長さを大きくすることにより開口領域を広くする必要がある。しかし、Ｘ方向の開口長さが大きくなると、熱抵抗により窓箔２０のＸ方向の中央付近の温度が上昇してしまうと共に窓箔２０の機械的強度が小さいという問題がある。これらの問題を解決するために、照射窓１６のＸ方向のほぼ中央部に（以下、「Ｘ方向の中央部」を単に「中央部」と称する。）、Ｙ方向に伸びる（Ｙ方向に長い）長手桟２２が配置されている。このように、Ｙ方向に伸びる長手桟２２を照射窓１６のＸ方向のほぼ中央部に設けることによって、照射窓１６のＸ方向の開口長さを広げている。また、長手桟２２は、Ｙ方向に伸びることによって、Ｘ方向に複数の長手窓２８、３０が形成されるように照射窓１６を仕切っている。なお、この長手桟２２は中央桟と呼ばれることもある。さらに、この長手桟２２には、この例のように冷却水路２４が形成されている場合もあり、この場合には冷却桟２２と呼ばれることもある。

窓箔２０は、真空容器２と同電位にされ、引出し電極１２等との間には、引出し電極１２等の側を負極にして、電子線１４の加速用の加速電圧Ｖａが印加される。

このようにして、電子源５から引き出されかつ加速された電子線１４は、窓箔２０を透過して真空容器２外（照射雰囲気中）に取り出され、Ｘ方向に搬送される被照射物５０に向けて照射され、被照射物５０の改質等の処理に供される。

ここで、電子源５と照射窓１６との位置関係について、図６を参照しつつ説明する。図６は、図５の電子線照射装置のフィラメント６、引出し電極１２及び照射窓１６の概略を示す斜視図である。

図６において、Ｘ方向に直線状に伸びる複数本のフィラメント６が、同一平面上でＹ方向に複数本並べて配置されている。この複数本の各フィラメント６は、互いに電気的に並列接続されており、給電導体８によって両端部６ｂが支持されると共にこの給電導体８を経由してフィラメント変圧器（図示せず）から加熱用のフィラメント電力が供給される。

引出し電極１２は、Ｙ方向に長い長方形の板状部材であって多数の孔１３を有しており、同一平面上に配置された複数本のフィラメント６に対して略平行（平行を含む）かつ電子線１４引出し方向（Ｚ方向）の下流側に配置されている。

照射窓１６は、同一平面上に配置された複数本のフィラメント６とＺ方向に対応する部位に設けられている。また、長手桟２２は、フィラメント６のほぼ中央部とＺ方向に対応する部位に配置されると共に、Ｙ方向に伸びている。なお、「フィラメント６のほぼ中央部とＺ方向に対応する部位」とは、フィラメント６の中央部を通過するＺ方向の仮想線Ｌ１が照射窓１６と交差する部位を意味する。

また、特許文献１の図４に開示されるように、電子線の引出し方向Ｚに互いに間をあけて配置された２枚の引出し電極を有する電子線照射装置の例もある。この場合、２枚の引出し電極は、互いに同じ構造をしており、電気的に同電位に結合されている。

特開２００３−４８９８号公報（段落０００２〜０００８、図３、図４）

図５及び図６を参照しつつ説明した電子線照射装置並びに特許文献１の図３に記載の電子線照射装置における課題について、図７を参照しつつ説明する。図７は、（ａ）が従来の電子線照射装置の一例を示す概略断面図、（ｂ）が（ａ）の電子線照射装置において電子線１４が照射窓１６を通過する前後の電子線量分布を示す概略図である。

図７（ｂ）において、照射窓１６を通過する前、即ち、窓箔２０を透過する前の電子線１４の線量は、照射窓１６のほぼ中央部において最も大きくなる。これは、フィラメント６の両端が給電導体８（図６参照）によって支持されていることによって温度が低くなり、一方、フィラメント６の中央部は支持されるものがないため温度が高くなることによるものである。即ち、フィラメント６の熱分布（電子流分布）は、両端が低く中央部が高い一山型となり、温度が高いフィラメント６の中央部では放出される電子量が増加する。これにより、照射窓１６を通過（即ち、窓箔２０を透過）前の電子線量分布は、照射窓１６のほぼ中央部において最も大きい一山型となる。

しかしながら、フィラメント６の熱分布（電子流分布）が最大値となるフィラメント６の中央部は、前述のとおり、開口されていない照射窓１６の中央部（即ち、長手桟２２が配置されている部位）とＺ方向に対応する。従って、照射窓１６を通過した後の電子線量分布は、冷却桟２２が配置されている部位の電子線量が小さい二山型となる。その結果、照射窓１６を通過する際における電子線１４のロス（図７（ｂ）中に示す領域Ｇ）が大きくなり、効率よく照射雰囲気中に電子を取り出すことが出来ないといった課題がある。なお、このような課題は、長手桟２２が、フィラメント６の中央部６ａとＺ方向に対応する場合に限られず、フィラメント６の両端部６ｂから離れた中央部６ａでない部位に設けられている場合にも生じ得る。さらに、このような場合には、複数の長手桟２２が設けられている場合も考え得る。

そこで、この発明は、照射窓を通過する際における電子線のロスを小さくし、効率よく照射雰囲気中に電子線を取り出すことができる電子線照射装置を提供することを主たる目的としている。

この発明において、以下の特徴は単独で、若しくは、適宜組合わされて備えられている。前記課題を解決するためのこの発明に係る電子線照射装置は、照射幅方向に対して交差する方向に搬送される被照射物に向けて電子線を照射する電子線照射装置において、電子を放出するものであって、被照射物が搬送される方向に伸びていると共に両端が支持されて同一平面上かつ照射幅方向に並べて配置された複数のフィラメントと、前記同一平面上に配置された複数のフィラメントに対して略平行に配置され、前記フィラメントから放出された電子を電子線として引き出す引出し電極と、被照射物が搬送される方向に並列に配置される複数の長手窓に仕切る長手桟を有し、前記引出し電極から引き出された電子線を透過させて照射雰囲気中に取り出す照射窓とを備え、前記引出し電極は互いに同電位のものが電子線の引出し方向に１段以上配置されており、電子線引出し方向最上流側の引出し電極が、被照射物が搬送される方向に前記長手窓の数と同数の電極片に分割され、前記電極片は、照射幅方向に見た断面において前記長手窓と電子線の引出し方向に対応する部位が前記フィラメント側に突出する曲面を有することを特徴とする。

上記構成によれば、長手窓とＺ方向に対応する電極片の部位がフィラメント側に突出（この突出している部位を「電極片の突出部」と呼ぶ）しているので、電極片の突出部とフィラメントとの距離が小さくなり、両者間の引出し電界が強くなって、長手窓とＺ方向に対応するフィラメントの部位から放出される電子を引き出しやすくなる。また、電極片は、Ｙ方向に見た断面において長手窓とＺ方向に対応する部位が曲面を有しているので、電極片の近傍における加速電界が、かかる曲面に沿った等電位面を形成する。従って、フィラメントから放出された電子は、この等電位面に対して直交する方向に加速され、電子線として長手窓に向かう方向に収束される。

この発明に係る電子線照射装置は、照射幅方向に対して交差する方向に搬送される被照射物に向けて電子線を照射する電子線照射装置において、電子を放出するものであって、被照射物が搬送される方向に伸びていると共に両端が支持されて同一平面上かつ照射幅方向に並べて配置された複数のフィラメントと、前記同一平面上に配置された複数のフィラメントに対して略平行に配置され、前記フィラメントから放出された電子を電子線として引き出す引出し電極と、被照射物が搬送される方向に並列に配置される複数の長手窓に仕切る長手桟を有し、前記引出し電極から引き出された電子線を透過させて照射雰囲気中に取り出す照射窓とを備え、前記引出し電極は互いに同電位のものが電子線の引出し方向に１段以上配置されており、電子線引出し方向最上流側の前記引出し電極は、前記長手窓の数と同数であって、照射幅方向に見た断面において前記長手窓と電子線の引出し方向に対応する部位が前記フィラメント側に突出する曲面を有していることを特徴とする。

上記構成によれば、長手窓とＺ方向に対応する引出し電極の部位がフィラメント側に突出（この突出している部位を「引出し電極の突出部」と呼ぶ）しているので、引出し電極の突出部とフィラメントとの距離が小さくなり、両者間の引出し電界が強くなって、長手窓とＺ方向に対応するフィラメントの部位から放出される電子を引き出しやすくなる。また、引出し電極は、Ｙ方向から見た断面において長手窓とＺ方向に対応する部位が曲面を有しているので、引出し電極の近傍における加速電界が、かかる曲面に沿った等電位面Ｅとなる。従って、フィラメントから放出された電子は、等電位面Ｅに対して直交する方向に加速され、電子線として長手窓に向かう方向に収束される。

請求項１に記載の発明によれば、長手窓とＺ方向に対応するフィラメントの部位から放出される電子を引き出しやすくなるので、照射窓を通過する前の電子線量分布が、長手窓において大きい多山型となる。即ち、長手窓に対応した山型ができ、例えば長手窓の数が２つであれば二山型の電子線量分布となる。従って、照射窓を通過する際における電子線のロスを小さくし、効率よく電子を取り出すことが可能となる。しかも、フィラメントから放出された電子は、電子線として長手窓に向かう方向に収束されるので、更なる電子線のロスを小さくすることが可能となる。加えて、引出し電極は長手窓の数と同数の電極片に分割されているので容易に加工できる。

請求項２に記載の発明によれば、長手窓とＺ方向に対応するフィラメントの部位から放出される電子を引き出しやすくなるので、照射窓を通過する前の電子線量分布が、長手窓において大きい多山型となる。即ち、長手窓に対応した山型ができ、例えば長手窓の数が２つであれば二山型の電子線量分布となる。従って、照射窓を通過する際における電子線のロスを小さくし、効率よく電子線を取り出すことが可能となる。しかも、フィラメントから放出された電子は、電子線として長手窓に向かう方向に収束されるので、更なる電子線のロスを小さくすることが可能となる。

図１は、この発明に係る電子線照射装置の一例を示す概略断面図であって、１段の引出し電極３２を備えている。図２は、図１の電子線照射装置のフィラメント６、引出し電極３２及び照射窓１６の概略を示す斜視図である。図３は、（ａ）がこの発明に係る電子線照射装置の一例を示す概略断面図、（ｂ）が（ａ）の電子線照射装置において電子線１４が照射窓１６を通過する前後の電子線量分布を示す概略図である。なお、図５〜図７に示した従来例と同一または相当する部分には同一符号を付し、以下においては当該従来例との相違点を主に説明する。

図１において、この電子線照射装置は、従来例における引出し電極１２に代わる引出し電極３２を備えており、この引出し電極３２には従来例と同様にして引出し電圧Ｖｅ及び加速電圧Ｖａが印加される。ここで、引出し電極３２は、１段のみ配置されていると共に長手窓２８、３０の数と同じ数の電極片にＸ方向に分割されている。本実施形態においては、電極片の数は２枚であり、この２枚の電極片を第１電極片３４及び第２電極片３６と呼ぶ。ただし、この２枚の電極片３４、３６は同電位に結合されており、引出し電極３２は、電気的には全体としてみれば１枚の電極として働く。

図２において、第１電極片３４及び第２電極片３６には、長手窓２８、３０に向けて貫通する孔３５、３７が、それぞれ、形成されている。なお、図２では、便宜上、孔３５、３７の数を制限して図示しているが、実際には更に多数の孔３５、３７が形成されている。

図２に図示されるように、第１電極片３４は半円筒形状に加工されている。より具体的に言えば、第１電極片３４のＸ方向のほぼ中央部３４ａがフィラメント６側に突出すると共に、Ｙ方向から見た断面において長手窓２８とＺ方向に対応する部位が曲面Ｒ１を有している。即ち、第１電極片３４はＸ方向に曲がる曲面Ｒ１を有していることを意味する。また、第１電極片３４のＸ方向の直線幅Ａ１は、フィラメント６のＸ方向の長さＢの約２分の１の長さとなっている。ここで、第１電極片３４のＸ方向のほぼ中央部３４ａは、長手窓２８のＸ方向のほぼ中央部２８ａと対応する部位である。なお、「中央部２８ａと対応する部位」とは、中央部２８ａとＺ方向に対応する部位を意味する。

第２電極片３６は、第１電極片３４と同様に半円筒形状に加工されており、Ｘ方向のほぼ中央部３４ａがフィラメント６側に突出すると共に、第１電極片３４と同様に、Ｙ方向矢視において長手窓３０とＺ方向に対応する部位が曲面Ｒ２を有している。即ち、第２電極片３６はＸ方向に曲がる曲面Ｒ２を有していることを意味する。また、第２電極片３６のＸ方向の直線幅Ａ２は、フィラメント６のＸ方向の長さＢの約２分の１の長さとなっている。即ち、引出し電極３２のＸ方向の長さ（Ａ１＋Ａ２）とフィラメント６のＸ方向の長さＢとが同じであることを意味する。また、第２電極片３６のＸ方向のほぼ中央部３６ａは、長手窓３０のＸ方向のほぼ中央部３０ａと対応する部位である。なお、「中央部３０ａと対応する部位」とは、中央部３０ａとＺ方向に対応する部位を意味する。

また、フィラメント６のほぼ中央部６ａと引出し電極３２（第１電極片３４と第２電極片３６との境界部３８）とのＺ方向の距離は、第１電極片３４のほぼ中央部３４ａとフィラメント６とのＺ方向の距離及び第２電極片３６のほぼ中央部３６ａとフィラメント６とのＺ方向の距離と比して大きい。換言すれば、第１電極片３４のほぼ中央部３４ａとフィラメント６とのＺ方向の距離及び第２電極片３６のほぼ中央部３６ａとフィラメント６とのＺ方向の距離は、いずれも、フィラメント６のほぼ中央部６ａと引出し電極３２とのＺ方向の距離と比して小さい。

なお、前述したように、長手窓２８と長手窓３０との間には冷却桟２２が設けられており、この冷却桟２２は、Ｙ方向に伸びている。また、冷却桟２２とフィラメント６のほぼ中央部６ａとがＺ方向に対応する。即ち、フィラメント６の中央部６ａを通過するＺ方向の仮想線Ｌ１は、第１電極片３４と第２電極片３６との境界部３８及び冷却桟２２と交差することとなる。

次に、本実施形態の電子線照射装置における作用効果について、図３を参照しつつ説明する。

図３（ｂ）において、電子線１４が照射窓１６を通過する前の電子線量分布は、冷却桟２２とＺ方向に対応する部位において電子線量が小さくなる二山型となる。これは、長手窓２８、３０のほぼ中央部２８ａ、３０ａとＺ方向に対応する第１電極片３４及び第２電極片３６と、フィラメント６との距離が小さくなるからである。これにより、前述した引出し電圧Ｖｅによる電子の引出し電界が強くなり、長手窓２８、３０とＺ方向に対応するフィラメント６の部位から放出される電子を引き出しやすくなる。従って、照射窓１６を電子線１４が通過する際（即ち、窓箔２０を電子線１４が透過する際）における電子線１４のロスを小さくし、効率よく電子線を取り出すことにより、照射効率を上げることが可能となる。しかも、フィラメント６から放出された電子は、電子線１４として長手窓２８、３０に向かう方向に収束されるので、冷却桟２２とＺ方向に対応する部位に向かう電子線量が小さくなり、その効果は顕著となる。

また、本実施形態における引出し電極３２は、第１電極片３４と第２電極片３６とに分割されているので、それぞれの電極片３４、３６が１つずつの曲面Ｒ１、Ｒ２を有するように曲げ加工を行えば良いので、容易に加工することができる。

次に、この発明に係る電子線照射装置の他の例について、図４を参照しつつ説明する。図４は、この発明に係る他の例の電子線照射装置のフィラメント６、引出し電極３９及び照射窓１６の概略を示す斜視図である。この電子線照射装置は、図１に図示される引出し電極３２に代えて引出し電極３９を備えている。なお、以下においては、前記実施形態との相違点を主体に説明する。

図４において、引出し電極３９は１枚の板状部材を加工することにより、フィラメント６側に突出すると共に、Ｘ方向に曲がる曲面が形成された２つの曲面Ｒ３、Ｒ４を有している。これらの曲面Ｒ３、Ｒ４の中心部は、それぞれ、長手窓２８、３０の中央部２８ａ、３０ａと対応している。また、引出し電極３９には、長手窓２８、３０に向けて貫通する孔４０が形成されている。なお、「中央部２８ａ、３０ａと対応する部位」とは、中央部２８ａ、３０ａとＺ方向に対応する部位を意味する。即ち、各曲面Ｒ３、Ｒ４のそれぞれの中心部を通過するＺ方向の仮想線Ｌ２、Ｌ３は、それぞれ、長手窓２８、３０の中心部と交差することとなる。

また、フィラメント６のほぼ中央部６ａと引出し電極３９とのＺ方向の距離は、フィラメント６と引出し電極３９の曲面Ｒ１、Ｒ２が形成されている部位とのＺ方向の距離よりも大きい。また、フィラメント６の中央部６ａを通過するＺ方向の仮想線Ｌ１は冷却桟２２と交差するので、電子線１４が照射窓１６を通過する前の電子線量分布は、図３（ｂ）に図示される照射窓１６を通過する前の電子線量分布と同様に、冷却桟２２とＺ方向に対応する部位において電子線量が小さくなる二山型となる。従って、照射窓１６を電子線１４が通過する際における電子線１４のロスを小さくし、効率よく電子を取り出すことにより、照射効率を上げることが可能となる。しかも、フィラメント６から放出された電子は、電子線１４として長手窓２８、３０に向かう方向に収束されるので、冷却桟２２とＺ方向に対応する部位に向かう電子線量が小さくなり、その効果は顕著となる。

なお、本実施形態では、１段の引出し電極を備えた電子線照射装置について説明したが、これに限るものではない。例えば、Ｚ方向に２段の引出し電極又は３段の引出し電極を備えた電子線照射装置についても、この発明を適用することができる。この場合、少なくともＺ方向の最上流側（即ち、フィラメント６に最も近い側）の引出し電極が、フィラメント６側に突出する曲面を有していれば良い。ただし、Ｚ方向の最上流側の引出し電極がフィラメント６側に突出する曲面を有していれば、この引出し電極よりもＺ方向の下流側の引出し電極がフィラメント６側に突出する曲面を有する態様を排除するものではない。なお、引出し電極が１段の場合、この引出し電極がＺ方向最上流側の引出し電極となる。

また、本実施形態において、照射窓１６が長手桟２２によってＸ方向に二つの長手窓２８、３０に仕切られているが、長手窓の数が三つ以上となるように仕切られていても良い。このとき、フィラメント６側に突出する曲面の数は、長手窓の数と同数であることが好ましい。即ち、引出し電極が複数の電極片に分割されている場合であれば、１つの曲面を有する電極片を長手窓の数と同数だけ有し、一つの引出し電極が複数の曲面を有する場合であれば、長手窓の数と同数の曲面を有する。

また、本実施形態では、Ｙ方向に対して直交するＸ方向に被照射物５０が搬送されているが、被照射物が搬送される方向は必ずしも直交する方向には限られず、Ｙ方向に万遍なく電子線を照射させることができる方向であれば良い。

また、本実施形態では、二つの長手窓２８、３０がＸ方向に並べて形成されているが、長手窓の数はこれに限られない。この場合、引出し電極は、長手窓の数と同数の曲面を有していることが好ましい。

さらに、長手窓２８、３０は、さらに小さくＹ方向に仕切られていても良い。この場合、引出し電極の形状は、Ｙ方向の仕切りの有無に影響されるものではなく、長手窓２８、３０とＺ方向に対応する曲面を有していれば良い。

また、本実施形態では、１つの曲面を有する２つの電極片を有する引出し電極３２の例と、２つの曲面を有する１枚の引出し電極３９の例とについて説明したが、長手窓の数が３つ以上の場合には、１つの曲面を有する電極片と複数個の曲面を有する電極片とを組み合わせた引出し電極であっても良い。

また、第１電極片３４、第２電極片３６及び引出し電極３９のそれぞれが有する曲面Ｒ１〜Ｒ４の形状は特定の形状に限定されるものではなく、フィラメント６との距離が大きい部位と小さい部位とを有し、かつフィラメント６から放出された電子が長手窓２８、３０に向けて収束する形状であれば良い。例えば、Ｙ方向矢視において一定の曲率半径を有している曲面（即ち、Ｙ方向矢視において真円を描く弧の一部となる曲面）、又はＹ方向矢視において複数の曲率半径を有している曲面（即ち、Ｙ方向矢視において楕円を描く弧の一部となる曲面）等が考えられる。

この発明に係る電子線照射装置の一例を示す概略断面図である。図１の電子線照射装置のフィラメント、引出し電極及び照射窓の概略を示す斜視図である。（ａ）はこの発明に係る電子線照射装置の一例を示す概略断面図、（ｂ）は（ａ）の電子線照射装置において電子線が照射窓を通過する前後の電子線量分布を示す概略図である。この発明に係る他の例の電子線照射装置のフィラメント、引出し電極及び照射窓の概略を示す斜視図である。従来の電子線照射装置の一例を示す概略断面図である。図５の電子線照射装置のフィラメント、引出し電極及び照射窓の概略を示す斜視図である。（ａ）は従来の電子線照射装置の一例を示す概略断面図、（ｂ）は（ａ）の電子線照射装置において電子線が照射窓を通過する前後の電子線量分布を示す概略図である。

符号の説明

６フィラメント
１４電子線
１６照射窓
２２冷却桟（長手桟）
２８、３０長手窓
３２引出し電極
３４第１電極片
３６第２電極片
３９引出し電極
Ｒ１第１電極片の曲面
Ｒ２第２電極片の曲面
Ｒ３引出し電極の第１曲面
Ｒ４引出し電極の第２曲面

Claims

照射幅方向に対して交差する方向に搬送される被照射物に向けて電子線を照射する電子線照射装置において、
電子を放出するものであって、被照射物が搬送される方向に伸びていると共に両端が支持されて同一平面上かつ照射幅方向に並べて配置された複数のフィラメントと、
前記同一平面上に配置された複数のフィラメントに対して略平行に配置され、前記フィラメントから放出された電子を電子線として引き出す引出し電極と、
被照射物が搬送される方向に並列に配置される複数の長手窓に仕切る長手桟を有し、前記引出し電極から引き出された電子線を透過させて照射雰囲気中に取り出す照射窓とを備え、
前記引出し電極は互いに同電位のものが電子線の引出し方向に１段以上配置されており、
電子線引出し方向最上流側の引出し電極が、被照射物が搬送される方向に前記長手窓の数と同数の電極片に分割され、
前記電極片は、照射幅方向に見た断面において前記長手窓と電子線の引出し方向に対応する部位が前記フィラメント側に突出する曲面を有することを特徴とする電子線照射装置。
照射幅方向に対して交差する方向に搬送される被照射物に向けて電子線を照射する電子線照射装置において、
電子を放出するものであって、被照射物が搬送される方向に伸びていると共に両端が支持されて同一平面上かつ照射幅方向に並べて配置された複数のフィラメントと、
前記同一平面上に配置された複数のフィラメントに対して略平行に配置され、前記フィラメントから放出された電子を電子線として引き出す引出し電極と、
被照射物が搬送される方向に並列に配置される複数の長手窓に仕切る長手桟を有し、前記引出し電極から引き出された電子線を透過させて照射雰囲気中に取り出す照射窓とを備え、
前記引出し電極は互いに同電位のものが電子線の引出し方向に１段以上配置されており、
電子線引出し方向最上流側の前記引出し電極は、前記長手窓の数と同数であって、照射幅方向に見た断面において前記長手窓と電子線の引出し方向に対応する部位が前記フィラメント側に突出する曲面を有していることを特徴とする電子線照射装置。