JP2013051062A - イオン源 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】イオン源10は、レーザ13が照射されると電子と陽イオンに電離したプラズマ14を生成するターゲット12と、このターゲット12の電位を陽イオンの出射目標(加速チャンネル18)よりも高く設定する第1電源(第1電圧E1)と、この陽イオンがターゲット12から出射目標(加速チャンネル18)に至る経路上(フィルタ電極15)の電位をターゲット12の電位よりも高く設定する第2電源(第2電圧E2)と、を備える。
【選択図】 図1
Description
以下、本発明の実施形態を添付図面に基づいて説明する。
図1に示すようにイオン源10は、レーザ13が照射されると電子と陽イオンに電離したプラズマ14を生成するターゲット12と、このターゲット12の電位を陽イオンの出射目標(図示では加速チャンネル18)よりも高く設定する第1電源(第1電圧E1)と、この陽イオンがターゲット12から出射目標(加速チャンネル18)に至る経路上(図示ではフィルタ電極15)の電位をターゲット12の電位よりも高く設定する第2電源(第2電圧E2)と、を備えている。
このイオン化室11の外部には、レーザ出力部(図示略)が配置され、透明窓を通過してその内部に入射したレーザ13は、透明窓へ入射する前のイオン化室11外、もしくは後のイオン化室11内に設置された集光レンズ(図示略)により集光された後にターゲット12の表面を照射する。
このプラズマ14には、目的とする多価の陽イオンの他に、質量の大きいクラスターイオンや価数の小さい陽イオン等の不純物が含まれる。
また、第2電圧E2を調節することにより、イオン源10から出射される多価の陽イオンの比率や量を調整することができる。
これにより、加速チャンネル18の入口は、ターゲット12及び加速チャンネル18よりも電位が低く設定されるので、イオン源10から出射される多価の陽イオンは、初速よりも速度を増して加速チャンネル18の入口に入射する。
そして、加速チャンネル18に入射した多価の陽イオンは、さらに加速されることになる。
図2に示すように、第2実施形態に係るイオン源10は、ターゲット12と同電位に設定されるとともにこのターゲット12及び出射目標(加速チャンネル18)に対して両端が開口するプラズマ輸送管19を備えている。
なお、図2において図1と同一又は相当する部分は、同一符号で示し、重複する説明を省略する。
また、プラズマ輸送管19の経路上には、フィルタ電極15が配置されている。このために、質量の大きなクラスターイオン又は価数が小さいイオンは、プラズマ輸送管19を通過することができないため、イオン源10は、高純度の多価の陽イオンを高効率で出射させることができる。
図3(A)は、第2電源を機能させない設定(E2=0)とした場合に、イオン源10から出射されるイオン電流の価数毎の分布を示すグラフである。
図3(B)は、第2電源を機能させた設定(E2≠0)とした場合に、イオン源10から出射されるイオン電流の価数毎の分布を示すグラフである。
一方、図3(B)に示すように、第2電圧E2≠0の設定においては、領域(b)に示すように、価数の大きな(多価の)炭素イオンのイオン電流値が高強度で計測されている。
Claims (3)
- レーザが照射されると電子と陽イオンに電離したプラズマを生成するターゲットと、
前記ターゲットの電位を前記陽イオンの出射目標よりも高く設定する第1電源と、
前記陽イオンが前記ターゲットから前記出射目標に至る経路上の電位を前記ターゲットの電位よりも高く設定する第2電源と、を備えることを特徴とするイオン源。 - 前記ターゲットと同電位に設定されるとともに前記ターゲット及び前記出射目標に対して両端が開口するプラズマ輸送管を備えることを特徴とする請求項1に記載のイオン源。
- 前記第2電源による印加電圧を調節可能としたことを特徴とする請求項1又は請求項2に記載のイオン源。
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