JP2006196788A - 赤外線検知器 - Google Patents
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Abstract
【課題】 赤外線検知器に関し、2 つの波長に対して独立に感度を有し、しかも、必要とされる電極が2つである赤外線検知器を実現しようとする。
【解決手段】 活性層が、第1の半導体層2と、第1の半導体層2上に形成され且つキャリアに対するエネルギーが第1の半導体層2と比較して小さい第2の半導体からなる第1の量子箱3Aを含む量子箱層3と、量子箱層3の上に形成され且つキャリアに対するエネルギーが第1の半導体層2に比較して小さく第2の半導体に比較して大きい第3の半導体層4と、第3の半導体層4上に形成され、且つ、キャリアに対するエネルギーが第3の半導体層4に比較して小さい第4の半導体からなる第2の量子箱5Aを含む量子箱層5と、量子箱層5の上に形成され且つキャリアに対するエネルギーが第3の半導体層4に比較して大きい第5の半導体層6とを積層した構造からなる。
【選択図】 図1
【解決手段】 活性層が、第1の半導体層2と、第1の半導体層2上に形成され且つキャリアに対するエネルギーが第1の半導体層2と比較して小さい第2の半導体からなる第1の量子箱3Aを含む量子箱層3と、量子箱層3の上に形成され且つキャリアに対するエネルギーが第1の半導体層2に比較して小さく第2の半導体に比較して大きい第3の半導体層4と、第3の半導体層4上に形成され、且つ、キャリアに対するエネルギーが第3の半導体層4に比較して小さい第4の半導体からなる第2の量子箱5Aを含む量子箱層5と、量子箱層5の上に形成され且つキャリアに対するエネルギーが第3の半導体層4に比較して大きい第5の半導体層6とを積層した構造からなる。
【選択図】 図1
Description
本発明は、量子箱(=量子ドット)を光吸収層として用いる赤外線検出器の改良に関する。
近年、いわゆるStranski−Krastanow(SK)モードと呼ばれる成長モードにより量子箱構造が実現可能であることが注目され、量子箱構造を用いた各種光素子の開発が盛んになってきている。
量子箱構造は、量子井戸構造などと比較して、電子ないしは正孔の閉じ込めが、方向に関する3つの自由度の全ての方向に及ぶ為、量子閉じ込め準位間での遷移選択則による光の偏光方向選択性の影響がなく、全ての方向からの入射光に対して感度を有する光検出器が作製できる利点を有している。
このことは、従来の量子井戸赤外線検出器(例えば、非特許文献1を参照。)と比較して、検出器に垂直に入射する赤外光を光結合器などを用いずに検知できるため、効率の良い検出器を作製できる旨の利点がある。このような赤外線検知器は一般に量子箱赤外線検出器(Quantum Dot Infrared Photodetector:QDIP)と呼ばれている。
また量子箱赤外線検出器では、信号光によって励起された電子が再び量子箱に捕獲される確率が、量子井戸構造に比べて小さいため、QWIPに比較して良好な特性の検出器を作製できる(例えば、非特許文献2を参照。)。
このような赤外線検知器では、対象とする赤外線の波長が単一であってもよいが、2つ(以上)の波長に対してそれぞれ感度を持つ検知器を用いると、赤外線源の絶対温度が推定可能となるため、赤外線源の特定能力が向上する。即ち、ある強度の赤外線を検知したとき、その赤外線源が低温で且つ近くにあるのか、高温で且つ遠距離にあるのかなどの識別が可能となるため、その応用範囲の拡大が期待できる。
QDIPやQWIPでは、その赤外線検出の原理として、電子あるいは正孔の量子閉じ込め準位間遷移を利用している為、その応答分光特性は、閉じ込め準位間エネルギーに対応した波長を中心としたピーク状の特性を持つている。
この量子閉じ込め準位、あるいは、その間のエネルギーは、量子箱あるいは量子井戸に用いる半導体の種類、組成、膜厚、量子箱の大きさ、あるいはこれらの組み合わせで変化させることができる。従って、複数の波長に感度を有するようにする為には、それぞれの波長に対応した量子閉じ込め準位をもつ量子箱あるいは量子井戸構造を吸収層として作製する必要がある。
これら吸収層で赤外線を吸収して発生した電子あるいは正孔は、吸収層領域からバイアス電界によって引き出されて光電流として検出されることで初めて赤外線検知信号として検知される。したがって、これら複数の赤外線検知信号を独立に取り出すためには、それぞれの波長域に対応した電極、並びに、電気的に必要な共通電極の計3電極(2波長の場合)を赤外線検知器に作製する必要がある。
これは、これらの量子箱あるいは量子井戸構造が、半導体を層状に積層して作製されることを考えると、各電極それぞれに対応するコンタクト層まで、この層構造をエッチング加工して作製することを意味しており、検知器の構造或いは作製工程が複雑になり作製歩留まりを劣化させる原因となっている(例えば、特許文献1を参照。)。
特開2000−196133号公報
B.F.Levine,"Quantum well Infrared Photodetector:QWIP"J.Appl.Phys.74,RI(1993)
J.Phillips,J.Appl.Phys.Vol.91,4590(2002)
本発明では、2 つの波長に対して独立に感度を有し、しかも、必要とされる電極が2つである赤外線検知器を実現しようとする。
本発明に依る赤外線検知器に於いては、半導体基板上に形成された少なくとも第1のコンタクト層、光吸収部分となる活性層、第2のコンタクト層で構成される赤外線検知器に於いて、該活性層が、第1の半導体層(第1の半導体からなる層2:図1参照、以下、同じ。)と、第1の半導体層上に形成され且つキャリアに対するエネルギーが第1の半導体層と比較して小さい第2の半導体からなる第1の量子箱(第1の量子箱3A)を含む量子箱層(第1の量子箱層3)と、第1の量子箱を含む量子箱層の上に形成され且つキャリアに対するエネルギーが第1の半導体層に比較して小さく第2の半導体に比較して大きい第3の半導体層(第3の半導体からなる層4)と、第3の半導体層上に形成され、且つ、キャリアに対するエネルギーが第3の半導体層に比較して小さい第4の半導体からなる第2の量子箱(第2の量子箱5A)を含む量子箱層(第2の量子箱層5)と、第2の量子箱を含む量子箱層の上に形成され且つキャリアに対するエネルギーが第3の半導体層に比較して大きい第5の半導体層(第5の半導体からなる層6)とを積層した構造、或いは、その積層した構造を繰り返して積層した構造からなることを特徴とする。
前記手段を採ることに依り、2 つの波長に対して独立に感度を有する2電極赤外線検知器を得ることができ、その構造は簡単であるから、製造も容易であって、製造歩留りを高めることが可能である。
本発明では、量子箱構造では、量子井戸構造と異なり、量子箱間の部分は赤外線吸収に直接関与しないことを利用し、この部分に電子あるいは正孔の捕獲機能を持たせ、ここで捕獲された電子あるいは正孔をバイアス方向によりそれぞれの検知波長に対応した量子箱に供給することにより、2電極素子において、バイアス方向を変えるだけで異なった2つの波長に感度を持つ赤外線検知器を実現している。
図1は本発明に依る赤外線検知器の原理説明図である。以下、本発明の原理を図1を参照しつつ、電子をキャリアとする場合を例にとって説明する。
図1に見られるように、半導体基板1上に、第1の半導体からなる層2と、第1の半導体に比較して電子に対するポテンシャルエネルギーが小さい第2の半導体からなる第1の量子箱3Aの周囲を第1の半導体で囲んでなる第1の量子箱層3と、電子に対するポテンシャルエネルギーが第2の半導体よりも大きく且つ第1の半導体よりも小さい第3の半導体からなる層4、第3の半導体に比較して電子に対するポテンシャルエネルギーが小さい第4の半導体からなる第2の量子箱5Aの周囲を第5の半導体で囲んでなる第2の量子箱層5、第5の半導体からなる層6を積層形成する。
図2は図1について説明した赤外線検知器の量子箱近傍に於いて、第5の半導体からなる層6側から半導体基板1側に電子が移動する方向にバイアス電圧を印加した場合の電子に対するポテンシャルエネルギーの空間分布を表している。
このような動作条件の下では、一部の電子は第1の量子箱3Aあるいは第2の量子箱5Aに直接供給され、赤外線検知のための量子閉じ込め準位間遷移を起こして光電流に寄与する。
然しながら、図1に見られるような構造に於いては、量子箱面密度にも依るが、量子箱間の部分が占める割合がほとんどである為、検知器を流れる電子の大部分は、図2に破線矢印で示したような経路を通り、バイアス電界に引かれて主に第1の量子箱3Aに供給される。したがってこのようなバイアス方向では、検知器は第1の量子箱3Aで決まる波長の赤外線を感知することとなる。
これとは逆に図1に於ける半導体基板1側から第5の半導体からなる層5側に電子が移動するような方向にバイアス電圧を印加した場合には、上記説明と同様な動作を行って、主に第2の量子箱5Aで決まる波長の赤外線を感知することとなる。
従って、図1に見られるように構成されたQDIPでは、バイアス方向により量子箱3A或いは量子箱5Aそれぞれに対応した波長の赤外線に対する信号電流が得られるものである。
図3乃至図7は本発明一実施例である赤外線検知器の製造工程を説明する為の工程要所に於ける赤外線検知器を表す要部切断側面図であり、以下、これ等の図を参照しつつ説明する。
図3参照
(1)
例えば半絶縁性GaAs基板11上に、例えば周知の分子線エピタキシャル技術を適用し、厚さが例えば100nmの不純物無添加GaAsからなる緩衝層12を成長する。
(1)
例えば半絶縁性GaAs基板11上に、例えば周知の分子線エピタキシャル技術を適用し、厚さが例えば100nmの不純物無添加GaAsからなる緩衝層12を成長する。
(2)
次いで、Si添加濃度を例えば1×1018cm-3としたGaAsからなる第1コンタクト層13を厚さ例えば100nmに成長する。
次いで、Si添加濃度を例えば1×1018cm-3としたGaAsからなる第1コンタクト層13を厚さ例えば100nmに成長する。
図4参照
(3)
引き続いて、厚さが例えば50nmのGaAsからなる第1の埋め込み層14を成長させ、次いで、例えばS−Kモードの成長モードを用い、例えば2分子層のInAsからなる第1の量子箱15Aを成長し、さらに例えばGaAsからなる第2の埋め込み層15Bで埋め込んで第1の量子箱層15を形成する。
(3)
引き続いて、厚さが例えば50nmのGaAsからなる第1の埋め込み層14を成長させ、次いで、例えばS−Kモードの成長モードを用い、例えば2分子層のInAsからなる第1の量子箱15Aを成長し、さらに例えばGaAsからなる第2の埋め込み層15Bで埋め込んで第1の量子箱層15を形成する。
このとき、第1の埋め込み層14、第1の量子箱15A、第2の埋め込み層15Bの一部、或いは、全部に対し、電子供給のための不純物、例えばSiを添加してもよい。
また、GaAsからなる第2の埋め込み層15Bで量子箱15Aの一部あるいは全体を埋め込む厚さ、或いは、全く埋め込まない厚さとするかなどについては、必要とする素子特性設計に応じて決めればよい。
図5参照
(4)
例えば、In組成が0.15であるInGaAsを例えば厚さ10nm程度に成長して電子捕獲層16を成長させ、次いで、例えばS−Kモードの成長モードを用い、例えば2.5分子層のInAsからなる第2の量子箱17Aを成長し、更に例えばGaAsからなる第3の埋め込み層17Bで埋め込んで第2の量子箱層17を形成する。
(4)
例えば、In組成が0.15であるInGaAsを例えば厚さ10nm程度に成長して電子捕獲層16を成長させ、次いで、例えばS−Kモードの成長モードを用い、例えば2.5分子層のInAsからなる第2の量子箱17Aを成長し、更に例えばGaAsからなる第3の埋め込み層17Bで埋め込んで第2の量子箱層17を形成する。
このとき、電子捕獲層16、第2の量子箱17A、第3の埋め込み層17Bの一部、或いは、全部に対し、電子供給のための不純物、例えばSiを添加してもよい。
また、GaAsからなる第3の埋め込み層17Bで量子箱17Aの一部あるいは全体を埋め込む厚さ、或いは、全く埋め込まない厚さとするかなどについては、必要とする素子特性設計に応じて決めればよい。
図6参照
(5)
引き続いて、厚さが例えば50nmのGaAsからなる第4の埋め込み層18を成長させ、次いで、Si添加濃度を例えば1×1018cm-3としたGaAsからなる第2のコンタクト層19を厚さ例えば100nmに成長する。
(5)
引き続いて、厚さが例えば50nmのGaAsからなる第4の埋め込み層18を成長させ、次いで、Si添加濃度を例えば1×1018cm-3としたGaAsからなる第2のコンタクト層19を厚さ例えば100nmに成長する。
図7参照
(6)
通常の技法を適用することに依り、第1のコンタクト層13並びに第2のコンタクト層19に電極20及び21を形成して完成する。
(6)
通常の技法を適用することに依り、第1のコンタクト層13並びに第2のコンタクト層19に電極20及び21を形成して完成する。
前記実施例では、量子箱としてInAsを用いたが、それに限定される必要はなく、図2及び図2に関する説明で例示したエネルギー構造となる半導体であれば良く、また、第1及び第2の量子箱がそれぞれ異なる半導体で構成されていても良い。
また、前記実施例では、波長を変化させる為に量子箱となる半導体の成長量(膜厚)、即ち、その大きさを変化させたが、これを半導体の種類、組成、それ等の組み合わせで変化させることもできる。
更にまた、前記実施例では、量子箱の埋め込み層として全てGaAs層を用いたが、図2及び図2に関する説明で例示したエネルギー構造となる半導体であれば良く、また、各埋め込み層が全て同じ半導体である必要はない。
更にまた、前記実施例では、半絶縁性GaAs基板上に第1のコンタクト層を積層構成して素子構造を作製しているが、基板を電導性、例えば、n型GaAs基板として、コンタクト層を兼用させて、第1のコンタクト層を省略しても良い。
更にまた、前記実施例では、第2のコンタクト層を成長して結晶成長を終了したが、必要あれば、さらに続けて他の素子構造を形成したり、或いは、素子作製に用いる半導体層を引き続いて成長して良いことは云うまでもない。
本発明に於いては、前記説明した実施例を含め、多くの形態で実施することができ、以下、それを付記として例示する。
(付記1)
半導体基板上に形成された少なくとも第1のコンタクト層、光吸収部分となる活性層、第2のコンタクト層で構成される赤外線検知器に於いて、
該活性層が、第1の半導体層と、第1の半導体層上に形成され且つキャリアに対するエネルギーが第1の半導体層と比較して小さい第2の半導体からなる第1の量子箱を含む量子箱層と、第1の量子箱を含む量子箱層の上に形成され且つキャリアに対するエネルギーが第1の半導体層に比較して小さく第2の半導体に比較して大きい第3の半導体層と、第3の半導体層上に形成され、且つ、キャリアに対するエネルギーが第3の半導体層に比較して小さい第4の半導体からなる第2の量子箱を含む量子箱層と、第2の量子箱を含む量子箱層の上に形成され且つキャリアに対するエネルギーが第3の半導体層に比較して大きい第5の半導体層とを積層した構造、或いは、その積層した構造を繰り返して積層した構造からなること
を特徴とする赤外線検知器。
半導体基板上に形成された少なくとも第1のコンタクト層、光吸収部分となる活性層、第2のコンタクト層で構成される赤外線検知器に於いて、
該活性層が、第1の半導体層と、第1の半導体層上に形成され且つキャリアに対するエネルギーが第1の半導体層と比較して小さい第2の半導体からなる第1の量子箱を含む量子箱層と、第1の量子箱を含む量子箱層の上に形成され且つキャリアに対するエネルギーが第1の半導体層に比較して小さく第2の半導体に比較して大きい第3の半導体層と、第3の半導体層上に形成され、且つ、キャリアに対するエネルギーが第3の半導体層に比較して小さい第4の半導体からなる第2の量子箱を含む量子箱層と、第2の量子箱を含む量子箱層の上に形成され且つキャリアに対するエネルギーが第3の半導体層に比較して大きい第5の半導体層とを積層した構造、或いは、その積層した構造を繰り返して積層した構造からなること
を特徴とする赤外線検知器。
(付記2)
第1の量子箱並びに第2の量子箱が同一の半導体からなること
を特徴とする(付記1)記載の赤外線検知器。
第1の量子箱並びに第2の量子箱が同一の半導体からなること
を特徴とする(付記1)記載の赤外線検知器。
(付記3)
第1の半導体層並びに第5の半導体層が同一の半導体からなること
を特徴とする(付記1)記載の赤外線検知器。
第1の半導体層並びに第5の半導体層が同一の半導体からなること
を特徴とする(付記1)記載の赤外線検知器。
(付記4)
第1の量子箱並びに第2の量子箱がInGaAsからなること
を特徴とする(付記1)記載の赤外線検知器。
第1の量子箱並びに第2の量子箱がInGaAsからなること
を特徴とする(付記1)記載の赤外線検知器。
(付記5)
第1の半導体層並びに第5の半導体層がGaAsからなること
を特徴とする(付記1)記載の赤外線検知器。
第1の半導体層並びに第5の半導体層がGaAsからなること
を特徴とする(付記1)記載の赤外線検知器。
(付記6)
第3の半導体層がInGaAsからなること
を特徴とする(付記1)記載の赤外線検知器。
第3の半導体層がInGaAsからなること
を特徴とする(付記1)記載の赤外線検知器。
1 半導体基板
2 第1の半導体からなる層
3 第1の量子箱層
3A 第1の量子箱
4 第3の半導体からなる層
5 第2の量子箱層
5A 第2の量子箱
6 第5の半導体からなる層
2 第1の半導体からなる層
3 第1の量子箱層
3A 第1の量子箱
4 第3の半導体からなる層
5 第2の量子箱層
5A 第2の量子箱
6 第5の半導体からなる層
Claims (5)
- 半導体基板上に形成された少なくとも第1のコンタクト層、光吸収部分となる活性層、第2のコンタクト層で構成される赤外線検知器に於いて、
該活性層が、第1の半導体層と、第1の半導体層上に形成され且つキャリアに対するエネルギーが第1の半導体層と比較して小さい第2の半導体からなる第1の量子箱を含む量子箱層と、第1の量子箱を含む量子箱層の上に形成され且つキャリアに対するエネルギーが第1の半導体層に比較して小さく第2の半導体に比較して大きい第3の半導体層と、第3の半導体層上に形成され、且つ、キャリアに対するエネルギーが第3の半導体層に比較して小さい第4の半導体からなる第2の量子箱を含む量子箱層と、第2の量子箱を含む量子箱層の上に形成され且つキャリアに対するエネルギーが第3の半導体層に比較して大きい第5の半導体層とを積層した構造、或いは、その積層した構造を繰り返して積層した構造からなること
を特徴とする赤外線検知器。 - 第1の半導体層並びに第5の半導体層が同一の半導体からなること
を特徴とする請求項1記載の赤外線検知器。 - 第1の量子箱並びに第2の量子箱がInGaAs(0≦Ga<1)からなること
を特徴とする請求項1記載の赤外線検知器。 - 第1の半導体層並びに第5の半導体層がGaAsからなること
を特徴とする請求項1記載の赤外線検知器。 - 第3の半導体層がInGaAsからなること
を特徴とする請求項1記載の赤外線検知器。
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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-
2005
- 2005-01-14 JP JP2005008314A patent/JP2006196788A/ja not_active Withdrawn
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