JP2006194803A - コンタクトプローブ - Google Patents
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Abstract
【課題】 製品歩留まりや性能向上等を図ったコンタクトプローブを提供する。
【解決手段】 コンタクトプローブ4は、円筒状のスリーブ5と、スリーブ5の両端にそれぞれ所定のストロークSをもって摺動自在に保持された一対のプローブピン6と、スリーブ5の端部から突出する方向に両プローブピン6を付勢するスプリング7と、スリーブ5からの両プローブピン6の脱落を防止する一対のストッパ8とから構成されている。スリーブ5は較的高硬度の鋼管を素材としており、ストッパ8はレーザ溶接によりスリーブ5に固着される。
【選択図】 図2
【解決手段】 コンタクトプローブ4は、円筒状のスリーブ5と、スリーブ5の両端にそれぞれ所定のストロークSをもって摺動自在に保持された一対のプローブピン6と、スリーブ5の端部から突出する方向に両プローブピン6を付勢するスプリング7と、スリーブ5からの両プローブピン6の脱落を防止する一対のストッパ8とから構成されている。スリーブ5は較的高硬度の鋼管を素材としており、ストッパ8はレーザ溶接によりスリーブ5に固着される。
【選択図】 図2
Description
本発明は、半導体チップ等の検査に用いられるコンタクトプローブに係り、詳しくは、製品歩留まりや性能向上等を図る技術に関する。
LSI等の半導体デバイスの製造ラインでは、ウエハの状態で通電検査を行うことによってチップの選別が行われ、ウエハを分離(切断)した後に良品のみが次工程(パッケージ工程)に送られる。チップ選別用のテスタには多数のコンタクトプローブを保持したプローブカードが取り付けられており、ウエハをテスタにセットすることにより、コンタクトプローブ先端のプローブピンがチップ上の各電極パッドに弾接する。
コンタクトプローブは、円筒状を呈する金属製のスリーブ(バレル等ともいう)にスプリングやプローブピンを収納・保持させたもので、スプリングのばね力によってスリーブからプローブピンが突出する構造となっている。コンタクトプローブでは、スリーブからのプローブピンの突出量を規制したり、スリーブからのスプリングやプローブピンの脱落防止を行う必要がある。そのため、図10(a)に図示したコンタクトプローブ4のように、中間に小径部12を有するプローブピン6をスプリング7と伴にスリーブ5に収納した後、小径部12に嵌入する環状ビード部31をスリーブ5の内周面に形成する方法(特許文献1参照)や、図10(b)に図示したコンタクトプローブ4のように、先端側が細い段付きのプローブピン6をスプリング7と伴にスリーブ5に収納した後、大径部11を係止するための絞り部32をスリーブ5の先端に形成する方法(特許文献2参照)等が採られている。通常、これら環状ビード部31や絞り部32は、ロール加締め等の塑性加工をスリーブ5に施すことにより形成される。なお、コンタクトプローブ4は、スリーブ5の外径がプローブカード(図示せず)のプローブ保持部(金属パイプや樹脂保持孔)の内径より大きく設定されており、圧入によってプローブカードに装着される。
特開2001−4659号公報(段落0013、図4)
実用新案登録第2558254号公報(段落0020、図2)
集積度が高いLSI等の検査を行うテスタでは、プローブカード上に高密度に配置する都合上、微少径(例えば、0.1〜0.3mm程度)のコンタクトプローブが用いられる。この種のコンタクトプローブでは、スリーブの肉厚が小さくなることから、上述の塑性加工を行う際にスリーブに潰れや曲がり等の変形が生じやすくなる。スリーブが変形した場合、その修正が殆ど不可能であることからコンタクトプローブを廃棄せざるを得ず、生産歩留まりの低下による製品コストの増大や生産性の低下がもたらされていた。
一方、従来のコンタクトプローブには、低硬度の銅系合金(黄銅や燐青銅等)やこれを母体にしたクラッド材がスリーブの素材として用いられることに起因して、外力により変形しやすい等の問題があった。例えば、コンタクトプローブの使用時において、プローブピンが繰り返し衝突することによって環状ビード部や絞り部が変形し、プローブピンの突出量が変化することがあった。また、プローブカードにコンタクトプローブを装着する際にスリーブが変形(湾曲)し、プローブピンが円滑に作動しなくなることがあった。更に、コンタクトプローブの剛性を確保する都合上、スリーブの肉厚をあまり小さくできないとこから、プローブピンやスプリングの設計自由度が小さくなっていた。これらの問題を解決するためにはスリーブの素材に高硬度のものを用いればよいが、その場合には上述した塑性加工が円滑に行えなくなる。
本発明は、このような背景に鑑みなされたもので、製品歩留まりや性能向上等を図ったコンタクトプローブを提供することを目的とする。
本発明は、このような背景に鑑みなされたもので、製品歩留まりや性能向上等を図ったコンタクトプローブを提供することを目的とする。
上記課題を解決するため、本発明に係るコンタクトプローブは、筒状のスリーブと、前記スリーブに摺動自在に保持され、その先端が当該スリーブの端部から突出したプローブピンと、前記スリーブに収納され、当該スリーブから突出する方向に前記プローブピンを付勢する弾性部材と、前記スリーブからの前記プローブピンの脱落を防止する筒状のストッパとを有し、前記プローブピンには、前記スリーブの内周面に摺接する大径部と、当該大径部より外径の小さい小径部とが形成され、前記ストッパは、前記スリーブに挿入されるとともに、前記プローブピンの小径部の外側位置で当該スリーブの内周面に固着されている。
また、本発明に係るコンタクトプローブにおいては、前記ストッパが前記ピン保持部に前記プローブピンの小径部を嵌め込むための切欠部を有する形態を採ることが望ましい。
また、本発明に係るコンタクトプローブにおいては、前記ストッパの前記スリーブへの固着がレーザ溶接によって行われる形態を採ることが望ましい。
また、本発明に係るコンタクトプローブにおいては、前記スリーブの内面に凹凸が形成されていないことが望ましい。
本発明のコンタクトプローブによれば、プローブピンの脱落防止をスリーブに塑性加工を施すことなく行えるため、スリーブの変形に起因するプローブピンの作動不良等が起こり難くなる。また、スリーブの素材として高硬度の鋼管等を用いることができるため、プローブカードに装着する際や使用時におけるスリーブの曲がり等が起こり難くなる他、スリーブの肉厚を減少させることで設計自由度を向上させることができる。また、ストッパに切欠部を設けたものでは、コンタクトプローブの組立作業性が向上する。また、ストッパのスリーブへの固着をレーザ溶接によって行うものでは、スリーブを変形させることなく確実な固着が実現される。また、前記スリーブの内面に凹凸が形成されていないものでは、コンタクトプローブの使用時における変形等が起こり難い。
以下、図面を参照し、本発明に係るコンタクトプローブの実施形態を詳細に説明する。
図1は第1実施形態に係るコンタクトプローブが装着されたプローブカードの断面図であり、図2は第1実施形態に係るコンタクトプローブの縦断面図であり、図3は第1実施形態に係るコンタクトプローブの分解斜視図であり、図4はプローブピンの小径部とストッパとの係合形態を示す図であり、図5は第1実施形態でのコンタクトプローブの製造工程の一部を示す図である。また、図6は第2実施形態に係るコンタクトプローブの要部縦断面図であり、図7は第2実施形態に係るコンタクトプローブの製造方法を示す図であり、図8は第3実施形態に係るコンタクトプローブの要部縦断面図であり、図9は図8中のA部拡大図である。
図1は第1実施形態に係るコンタクトプローブが装着されたプローブカードの断面図であり、図2は第1実施形態に係るコンタクトプローブの縦断面図であり、図3は第1実施形態に係るコンタクトプローブの分解斜視図であり、図4はプローブピンの小径部とストッパとの係合形態を示す図であり、図5は第1実施形態でのコンタクトプローブの製造工程の一部を示す図である。また、図6は第2実施形態に係るコンタクトプローブの要部縦断面図であり、図7は第2実施形態に係るコンタクトプローブの製造方法を示す図であり、図8は第3実施形態に係るコンタクトプローブの要部縦断面図であり、図9は図8中のA部拡大図である。
《第1実施形態》
図1に示すように、プローブカード1は樹脂材やセラミックス材を素材とするカードブロック2に多数の保持孔3を穿設したものであり、各保持孔3にはそれぞれコンタクトプローブ4が圧入されている。なお、カードブロック2には、コンタクトプローブ4の抜け出しを防止する機構(図示せず)が設けられている。プローブカード1の使用時において、コンタクトプローブ4は、その上端が検査基盤41の電極パッド42に弾接し、その下端がLSI43の電極パッド44に弾接する。
図1に示すように、プローブカード1は樹脂材やセラミックス材を素材とするカードブロック2に多数の保持孔3を穿設したものであり、各保持孔3にはそれぞれコンタクトプローブ4が圧入されている。なお、カードブロック2には、コンタクトプローブ4の抜け出しを防止する機構(図示せず)が設けられている。プローブカード1の使用時において、コンタクトプローブ4は、その上端が検査基盤41の電極パッド42に弾接し、その下端がLSI43の電極パッド44に弾接する。
図2に示すように、第1実施形態のコンタクトプローブ4は、円筒状のスリーブ5と、スリーブ5の両端にそれぞれ所定のストロークSをもって摺動自在に保持された一対のプローブピン6と、スリーブ5の端部から突出する方向に両プローブピン6を付勢するスプリング(圧縮コイルばね)7と、スリーブ5からの両プローブピン6の脱落を防止する一対のストッパ8とから構成されている。本実施形態の場合、スリーブ5は較的高硬度の鋼管(例えば、ニッケルメッキされた鋼管やステンレス鋼管等)を所定の寸法に切断したものを素材とし、プローブピン6は高硬度材(例えば、炭素鋼やタングステン、超硬合金等)を素材とし、ストッパ8は金属(例えば、ニッケル電鋳材やステンレス鋼、燐青銅等)を素材としている。また、スリーブ5やプローブピン6、ストッパ8は、導電性を向上させるべく、その表面に金メッキが施されている。
図2,図3に示すように、プローブピン6は、スリーブ5の内周面に摺接する大径部11と、ストッパ8が係合する小径部12と、大径部11と同径の後部13とからなっている。大径部11の先端には円錐状の接触部14が形成されており、この接触部14が電極パッド42,44に当接する。また、ストッパ8は、図4にも示すように、組立時にプローブピン6の小径部12が通過する切欠15を備えた断面略C字形状を呈しており、その外径がスリーブ5の内径と略等しく設定されている。
コンタクトプローブ4の製造にあたっては、図3に示すように、スリーブ5にスプリング7を嵌挿させた後、小径部12にストッパ8が嵌め込まれたプローブピン6をスリーブ5に挿入する。次に、図5に示すように、プローブピン6の先端を治具21に当接させて位置決めを行った状態で、スリーブ5のストッパ8が位置する部位にYAGレーザ等のレーザビーム22を照射してスリーブ5とストッパ8とを溶接する。これにより、スリーブ5の変形を伴わずにストッパ8がスリーブ5に確実かつ高い位置精度をもって固着されることになる。
第1実施形態のコンタクトプローブ4では、このような構成を採ったことにより、スリーブ5にロール加締め等の塑性加工を施す必要が無くなるとともに、従来品に較べてスリーブ5の強度や剛性を有意に高くすることができた。その結果、スリーブ5は、製造時における変形が起こり難くなる他、プローブカード1への装着時や使用時にも変形し難くなった。また、強度や剛性を確保しながらスリーブ5の肉厚を小さくすることができるため、プローブピン6やスプリング7の設計自由度が向上し、製造の容易化や性能の向上を図りやすくなった。
《第2実施形態》
図6に示すように、第2実施形態のコンタクトプローブ4は、上述した第1実施形態のコンタクトプローブと略同様の構成を採っているが、第1実施形態とはプローブピン6およびストッパ8の形状等が異なる。第2実施形態のプローブピン6は、スリーブ5の内周面に摺接する大径部11と、先端に円錐状の接触部14を有する小径部12とからなっている。ストッパ8は、円筒状を呈しており、その後端でプローブピン6の大径部11を係止する。
図6に示すように、第2実施形態のコンタクトプローブ4は、上述した第1実施形態のコンタクトプローブと略同様の構成を採っているが、第1実施形態とはプローブピン6およびストッパ8の形状等が異なる。第2実施形態のプローブピン6は、スリーブ5の内周面に摺接する大径部11と、先端に円錐状の接触部14を有する小径部12とからなっている。ストッパ8は、円筒状を呈しており、その後端でプローブピン6の大径部11を係止する。
コンタクトプローブ4の製造にあたっては、図7に示すように、治具21により押し込むことでストッパ8の先端がスリーブ5の先端と面一となるように位置決めを行った状態で、スリーブ5の表面にYAGレーザ等のレーザビーム22を照射し、スリーブ5とストッパ8とを溶接する。これにより、第1実施形態と同様に、スリーブ5の変形を伴わずにストッパ8がスリーブ5に確実かつ高い位置精度をもって固着されることになる。
《第3実施形態》
図8に示すように、第2実施形態のコンタクトプローブ4は、上述した第2実施形態のコンタクトプローブと略同様の構成を採っているが、ストッパ8がスリーブ5の端面から突き出している。コンタクトプローブ4の製造にあたっては、図示しない治具によりストッパ8をスリーブ5に所定寸法押し込んだ後、図9に示すように、スリーブ5の端部とストッパ8とを隅肉溶接する。
図8に示すように、第2実施形態のコンタクトプローブ4は、上述した第2実施形態のコンタクトプローブと略同様の構成を採っているが、ストッパ8がスリーブ5の端面から突き出している。コンタクトプローブ4の製造にあたっては、図示しない治具によりストッパ8をスリーブ5に所定寸法押し込んだ後、図9に示すように、スリーブ5の端部とストッパ8とを隅肉溶接する。
以上で具体的実施形態の説明を終えるが、本発明は上記実施形態に限定されることなく幅広く変形実施することができる。例えば、上記実施形態では、スリーブの素材として鋼管を用いるようにしたが、銅系合金と金とのクラッド材を用いてもよく、その場合にもスリーブに塑性加工を行わないことによる効果が得られる。その他、コンタクトプローブの具体的構造や各構成部材の形状等についても、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で適宜変更可能である。
4 コンタクトプローブ
5 スリーブ
6 プローブピン
7 スプリング
8 ストッパ
11 大径部
12 小径部
15 切欠
5 スリーブ
6 プローブピン
7 スプリング
8 ストッパ
11 大径部
12 小径部
15 切欠
Claims (4)
- 筒状のスリーブと、
前記スリーブに摺動自在に保持され、その先端が当該スリーブの端部から突出したプローブピンと、
前記スリーブに収納され、当該スリーブから突出する方向に前記プローブピンを付勢する弾性部材と、
前記スリーブからの前記プローブピンの脱落を防止する筒状のストッパとを有し、
前記プローブピンには、前記スリーブの内周面に摺接する大径部と、当該大径部より外径の小さい小径部とが形成され、
前記ストッパは、前記スリーブに挿入されるとともに、前記プローブピンの小径部の外側位置で当該スリーブの内周面に固着されることを特徴とするコンタクトプローブ。 - 前記ストッパが、前記ピン保持部に前記プローブピンの小径部を嵌め込むための切欠部を有することを特徴とする、請求項1記載のコンタクトプローブ。
- 前記ストッパの前記スリーブへの固着がレーザ溶接によってなされたことを特徴とする、請求項1または請求項2に記載のコンタクトプローブ。
- 前記スリーブの内面に凹凸が形成されていないことを特徴とする、請求項1から請求項3のいずれか一項に記載のコンタクトプローブ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005008536A JP2006194803A (ja) | 2005-01-17 | 2005-01-17 | コンタクトプローブ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2005008536A JP2006194803A (ja) | 2005-01-17 | 2005-01-17 | コンタクトプローブ |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2006194803A true JP2006194803A (ja) | 2006-07-27 |
Family
ID=36800992
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2005008536A Pending JP2006194803A (ja) | 2005-01-17 | 2005-01-17 | コンタクトプローブ |
Country Status (1)
Country | Link |
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JP (1) | JP2006194803A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20180111219A (ko) * | 2017-03-31 | 2018-10-11 | 주식회사 오킨스전자 | 레이저 용접을 이용하여 조립되는 프로브 핀, 그 프로브 핀의 조립 방법 및 여기에 사용되는 프로브 핀의 전기-광학 용접 시스템 |
CN113909407A (zh) * | 2021-09-24 | 2022-01-11 | 苏州和林微纳科技股份有限公司 | 多工位回转式微型探针全自动卷边机 |
-
2005
- 2005-01-17 JP JP2005008536A patent/JP2006194803A/ja active Pending
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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KR20180111219A (ko) * | 2017-03-31 | 2018-10-11 | 주식회사 오킨스전자 | 레이저 용접을 이용하여 조립되는 프로브 핀, 그 프로브 핀의 조립 방법 및 여기에 사용되는 프로브 핀의 전기-광학 용접 시스템 |
KR102149699B1 (ko) * | 2017-03-31 | 2020-08-31 | 주식회사 오킨스전자 | 레이저 용접을 이용하여 조립되는 프로브 핀, 그 프로브 핀의 조립 방법 및 여기에 사용되는 프로브 핀의 전기-광학 용접 시스템 |
CN113909407A (zh) * | 2021-09-24 | 2022-01-11 | 苏州和林微纳科技股份有限公司 | 多工位回转式微型探针全自动卷边机 |
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