JP2018173381A - ケルビン検査用治具 - Google Patents
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Abstract
【課題】プランジャが小径の場合であってもソケット及びプランジャの局部摩耗の防止を図る。【解決手段】プランジャ20を有するプローブ10の対と、プランジャ20の先端側柱体部22が貫通するプランジャ貫通孔101を有するソケット90とを備え、先端側柱体部22は、多角柱状の柱体部、又は多角柱の一部が曲面部で置換された柱体部であって、先端側柱体部同士は、一つの稜線部P又は曲面部で近接対向し、隣り合う複数の稜線部Qがプランジャ貫通孔101の内面に接触して摺動自在である。【選択図】図1
Description
本発明は、被検査電子部品(IC,LSI等)に設けられた各端子(電極パッド)にそれぞれ2本のプローブを接触させて、ケルビン法によって被検査電子部品の電子回路等を検査するためのケルビン検査用治具に関する。
従来より、半導体集積回路等の被検査電子部品の電子回路等の検査を行う方法として、ケルビン法が知られている。このケルビン法による検査では、被検査電子部品の各端子にそれぞれ2本のプローブを接触させ、一方のプローブは電流供給用として、他方のプローブは電圧監視用として用いる。
この種のケルビン検査用治具の先行技術文献としては、下記特許文献1,2が挙げられる。
特許文献1において、プローブが有するプランジャの先端側柱体部(先端側本体部)は、ソケットのプランジャ貫通孔を貫通して突出していて、先端側柱体部がプランジャ貫通孔内で周回できないように、先端側柱体部の両側面及びプランジャ貫通孔の対向面を平面状に形成した構造が開示されている。
このような構造の場合、プランジャに回転方向の力が加わったときに、プランジャの先端側柱体部が摺動自在に貫通しているプランジャ貫通孔の平面部に先端側柱体部の一つの角部が接触するため、ソケット及びプランジャの局部摩耗を発生させる問題がある。
特許文献2において、プローブが有するプランジャの延出部(先端側柱体部)は基部に対して偏心位置に設けられており、延出部は基部よりも小径の円柱でソケット側の挿通孔を摺動自在に貫通している。
図18及び図19でプローブが有するプランジャの先端側柱体部が円柱状であるケルビン検査用治具の従来例について簡単に説明する。ケルビン検査用治具は、被検査電子部品(IC,LSI等)の1つの端子(電極パッド)当たり1対のプローブ200を絶縁材からなるソケット210に設けている。プローブ200は、導電性金属製の円筒状チューブ201と、チューブ先端側に固定の導電性金属製のプランジャ202と、プランジャ202の先端側柱体部203をソケット210のプランジャ貫通孔211から突出させる部材等(図示省略)を有している。プランジャ202の先端側柱体部203は基部204よりも小径の円柱形状となっている。
この従来例の場合、丸孔であるプランジャ貫通孔211の内周面に、プランジャ202の円柱形状の先端側柱体部203が接触することになり、角部が無いために、ソケット側プランジャ貫通孔211及びプランジャ202の先端側柱体部203の局部摩耗は発生しにくい。
しかし、最近はプローブの小径化が要求されており、プローブ外径0.5mm以下となると、プランジャ先端側柱体部の円柱加工が製造上極めて困難になり、非現実的となる。
本発明はこうした状況を認識してなされたものであり、その目的は、プランジャが小径の場合であっても容易に製造が可能であり、且つ、ソケット及びプランジャの局部摩耗の防止を実現可能なケルビン検査用治具を提供することにある。
本発明のある態様はケルビン検査用治具である。このケルビン検査用治具は、導電性チューブとその一端側に設けられた導電性プランジャとを有する、対をなしたプローブと、
前記対をなしたプローブが設けられていて、前記プランジャの先端側柱体部が貫通するプランジャ貫通孔を有する絶縁性ソケットとを備え、
前記対をなしたプローブにおける前記先端側柱体部は、前記チューブの軸方向の中心に対して前記先端側柱体部同士の相互間隔が狭くなる方向に偏心した位置に形成されていて、
前記先端側柱体部は、複数の稜線部を有する多角柱状の柱体部、又は多角柱の一部が曲面部で置換された柱体部であって、前記先端側柱体部同士は、前記稜線部のうちの一つ又は前記曲面部で近接対向し、隣り合う複数の前記稜線部が前記プランジャ貫通孔の内面に接触して摺動自在であることを特徴とする。
前記対をなしたプローブが設けられていて、前記プランジャの先端側柱体部が貫通するプランジャ貫通孔を有する絶縁性ソケットとを備え、
前記対をなしたプローブにおける前記先端側柱体部は、前記チューブの軸方向の中心に対して前記先端側柱体部同士の相互間隔が狭くなる方向に偏心した位置に形成されていて、
前記先端側柱体部は、複数の稜線部を有する多角柱状の柱体部、又は多角柱の一部が曲面部で置換された柱体部であって、前記先端側柱体部同士は、前記稜線部のうちの一つ又は前記曲面部で近接対向し、隣り合う複数の前記稜線部が前記プランジャ貫通孔の内面に接触して摺動自在であることを特徴とする。
本発明のもう一つの態様もケルビン検査用治具である。このケルビン検査用治具は、導電性チューブとその一端側に設けられた導電性プランジャとを有する、対をなしたプローブと、
前記対をなしたプローブが設けられていて、前記プランジャの先端側柱体部が貫通するプランジャ貫通孔を有する絶縁性ソケットとを備え、
前記対をなしたプローブにおける前記先端側柱体部は、前記チューブの軸方向の中心に対して前記先端側柱体部同士の相互間隔が狭くなる方向に偏心した位置に形成されていて、
前記先端側柱体部は、複数の稜線部を有する多角柱状の柱体部、又は多角柱の一部が曲面部で置換された柱体であって、前記先端側柱体部同士は、前記稜線部のうちの一つ又は前記曲面部で近接対向し、前記稜線部を境界とする一対の面同士が全て鈍角を成していることを特徴とする。
前記対をなしたプローブが設けられていて、前記プランジャの先端側柱体部が貫通するプランジャ貫通孔を有する絶縁性ソケットとを備え、
前記対をなしたプローブにおける前記先端側柱体部は、前記チューブの軸方向の中心に対して前記先端側柱体部同士の相互間隔が狭くなる方向に偏心した位置に形成されていて、
前記先端側柱体部は、複数の稜線部を有する多角柱状の柱体部、又は多角柱の一部が曲面部で置換された柱体であって、前記先端側柱体部同士は、前記稜線部のうちの一つ又は前記曲面部で近接対向し、前記稜線部を境界とする一対の面同士が全て鈍角を成していることを特徴とする。
前記先端側柱体部が正多角柱で、前記正多角柱の稜線部を境界とする一対の面同士が全て鈍角を成しており、前記プランジャ貫通孔が丸孔であるとよい。
前記曲面部が前記プランジャの基部の外周面と同じ曲率の円弧面であり、前記外周面の延長面で形成されているとよい。
前記先端側柱体部同士は、前記稜線部のうちの一つ又は前記曲面部で近接対向しているとよい。
なお、以上の構成要素の任意の組合せ、本発明の表現を方法やシステムなどの間で変換したものもまた、本発明の態様として有効である。
本発明のケルビン検査用治具によれば、プランジャを有するプローブと、前記プランジャの先端側柱体部が貫通するプランジャ貫通孔を有するソケットとを備える場合に、前記先端側柱体部は複数の稜線部を有する多角柱状の柱体又は多角柱の一部が曲面部で置換された柱体であって、隣り合う複数の稜線部が前記プランジャ貫通孔の内面に接触して摺動自在であるため、プランジャ貫通孔の内面に先端側柱体部の角部の一つのみが継続的に接触することを回避できる。これによりソケット及びプランジャの局部摩耗を防止可能である。また、多角柱を形成する工程は加工が容易であるため、プローブの小径化(例えば、プローブ外径0.5mm以下)にも充分対応可能である。
以下、図面を参照しながら本発明の好適な実施の形態を詳述する。なお、各図面に示される同一または同等の構成要素、部材、処理等には同一の符号を付し、適宜重複した説明は省略する。また、実施の形態は発明を限定するものではなく例示であり、実施の形態に記述されるすべての特徴やその組み合わせは必ずしも発明の本質的なものであるとは限らない。
実施の形態1
図1乃至図6を用いて本発明に係るケルビン検査用治具の実施の形態1を説明する。ケルビン検査用治具1は、被検査電子部品(IC,LSI等)の1つの端子(電極パッド)当たり1対のプローブ10を絶縁材からなるソケット90に設けている。なお、図1では1対のプローブ10のみを示すが、実際には複数対のプローブ10がソケット90に設けられる。
図1乃至図6を用いて本発明に係るケルビン検査用治具の実施の形態1を説明する。ケルビン検査用治具1は、被検査電子部品(IC,LSI等)の1つの端子(電極パッド)当たり1対のプローブ10を絶縁材からなるソケット90に設けている。なお、図1では1対のプローブ10のみを示すが、実際には複数対のプローブ10がソケット90に設けられる。
図3乃至図5に示すプローブ10は、導電性金属製の円筒状チューブ11と、チューブ先端側(上端側)に固定の導電性金属製のプランジャ20と、チューブ後端側(下端側)に設けられていてチューブ11の軸方向に摺動してチューブ11から突没自在で、且つ、チューブ11から抜け出ないように保持された導電性金属製の当接部材30と、図4のようにチューブ11内部に設けられていて、プランジャ20及び当接部材30のチューブ内側の端面に弾接して当接部材30をチューブ11から突出する方向に付勢するコイルスプリング31とを有している。
図4に示すように、プランジャ20はチューブ11の先端部内側に挿入される略円柱状の内側挿入部27と、この内側挿入部27と同心で内側挿入部27の先端側に形成される円板状の基部としてのフランジ部28と、フランジ部28の中心から偏心した位置でフランジ部28の先端側に形成される多角柱状の先端側柱体部22とを一体に有している(プランジャ20は導電性金属にて一体的に形成される)。
内側挿入部27は、チューブ11の内径よりも若干小さな略円柱状に形成され、内側挿入部27の中間位置には小径のくびれ部27aが形成されている。内側挿入部27をチューブ11に嵌入した後、内側挿入部27のくびれ部27aに対応したチューブ11の外周部分にかしめ加工等を施して、チューブ11の内周側に凸部12を形成することで、凸部12がくびれ部27aに係合する。これによって、プランジャ20がチューブ11から脱落しないようにチューブ11に固定されると共に保持される。
フランジ部28の外周面はチューブ11先端部の外周面と一致している。具体的には、フランジ部28は、チューブ11の外周の円筒形に合わせて、これと同径の円板であり、チューブ11と同心に配置される。
フランジ部28上に立設される先端側柱体部22は、外形がフランジ部28の外径よりも小さな多角柱状の柱体であって、チューブ11の軸方向の中心から偏心して形成されている。つまり、ソケット90に一対のプローブ10を配置するときに、図2のように一対のプローブ10における先端側柱体部22が、チューブ11の軸方向の中心に対して先端側柱体部同士の相互間隔が狭くなる方向の偏心位置に形成される。
プランジャ20の先端側柱体部22は、多角柱状の柱体であり、図示の場合では正12角柱の先端部分を二つの斜面23で形成して山形にしたものである。そして、二つの斜面23により形成される稜線24は偏心方向に向かって高くなるように傾斜しており、その最高点が先端側柱体部22の頂点P(被検査電子部品の端子への接触点)となる。先端側柱体部22が、多角柱状の柱体であるため、隣接する2面で挟まれた稜線部Qを長手方向(チューブ11の軸方向)に複数有する(多角柱状の角数)。先端側柱体部22の頂点Pは、前述した通り前記山形の稜線24の最高点であり、かつ稜線部Qのうち最も長いものの先端に位置し、図2のように1対の先端側柱体部22の頂点P同士が最短距離となる配置である。つまり、ソケット90に配置される対をなすプローブ10の頂点P同士の距離が最短となるように、各プローブ10はソケット90に配置される。なお、頂点Pの位置の稜線部Qは、図2のように、チューブ11の軸方向に直交する平面においてフランジ部28の外周面上に位置しているときが、対をなす頂点P同士の間隔が最短となって最も好ましいが、フランジ部28の外周面近傍の内側に位置していてもよい。多角柱状の先端側柱体部22における稜線部Qを境界とする2面(稜線部Qを挟んだ隣接する2面)の成す角αは鈍角(α>90°)である。
図1に示すように、絶縁材からなるソケット90は、先端側(上段)のリテーナ100及び後端側(下段)のピンブロック110が積層一体化された構造を有し、リテーナ100とピンブロック110とを上下に貫通するように、プローブ10を収容する貫通孔が形成される。ピンブロック110にはプローブ10、すなわちそのチューブ11を配置するチューブ配置孔111が形成され、ここにプローブ10がその軸方向に摺動自在に挿通されている。また、ピンブロック110にはチューブ配置孔111の後端部位置に当接部材30を外方に突出させるとともにチューブ11の後端側が後端方向に抜け出ないように、当接部材30の外径よりも大きく、且つ、チューブ11の外径より小さな小径部112が形成されている。リテーナ100にはピンブロック110のチューブ配置孔111に連通するチューブ配置孔111が形成されると共に先端側にプランジャ20の先端側柱体部22を貫通させるように、先端側柱体部22の外形よりも若干大径のプランジャ貫通孔101が形成されている。チューブ11はチューブ配置孔111よりも短く形成されるため、チューブ配置孔111にはチューブ11の軸方向の摺動範囲を規定する空間部121が形成される。
ケルビン検査用治具1で被検査電子部品を検査する場合、図1のように底部基板(検査基板)130がソケット90の後端面に密着して配設される。ソケット90で保持された対をなすプローブ10の当接部材30はそれぞれ底部基板130の電極131,132に弾接する。この結果、プランジャ20の先端側柱体部22はソケット90のプランジャ貫通孔101を貫通し、かつチューブ11内のコイルスプリング31により突出方向に付勢される。
図2は対をなすプランジャ20の先端側柱体部22が貫通するリテーナ100側のプランジャ貫通孔101の配置を示し、対をなす先端側柱体部22の頂点Pを有する稜線部Q同士が相互に対向する配置であり、このとき、先端側柱体部22の頂点Pの間隔が最短距離となる。
上記実施の形態1において、被検査電子部品200を検査する場合、図1のようにケルビン検査用治具1のソケット90の後端面に底部基板130を配置し、底部基板130上の電極131,132に対をなすプローブ10の当接部材30を弾接させる(待機状態)。続いて、被検査電子部品200をソケット90の被検査物載置面91に向けて押し当てて、すなわち、被検査電子部品200の端子(電極パッド)201をプランジャ20の先端側柱体部22に当接し、さらに押し当ての継続により、先端側柱体部22を押し下げて当接部材30の突出量が減じる。このとき、プローブ10内部のコイルスプリング31が圧縮されることにより、この圧縮による付勢力によって、対をなしたプランジャ20の先端側柱体部22の頂点Pが被検査電子部品200が有する同一の端子(電極パッド)201に弾接する(検査状態)。これによって、底部基板130の電極131,132は被検査電子部品200の端子(電極パッド)201とプローブ10を介して電気的に接続する。例えば、底部基板130の一方の電極131が電流供給電極であれば、これに接続するプローブ10が電流供給用プローブとして機能し、他方の電極132が電圧監視用電極であれば、これに接続するプローブ10が電圧監視用プローブとして機能する。
被検査電子部品200を交換して検査を繰り返す毎に、チューブ11及びプランジャ20はソケット90内でチューブ11の軸方向に摺動する。このとき、図6のプローブ10に、例えば、反時計方向の回転方向の力が加わったときの回転接触シミュレーションからわかるように、正多角柱状の先端側柱体部22の隣り合う複数(少なくとも2つ)の稜線部Qが丸孔(横断面が真円)であるプランジャ貫通孔101の内周面に同時に接触して摺動する(若しくは摺動する割合が多くなる)。このため、プローブ10に回転方向の力が加わった場合でも先端側柱体部22とプランジャ貫通孔101内周面の接触に起因する局部的な摩耗は防止される。また、稜線部Qを挟んだ隣接する2面の成す角αが鈍角であるため、プランジャ貫通孔101内周面に深く摩耗溝が形成されることを防止できる。なお、図6においてプローブが時計方向に回転した場合、稜線24を挟んで反対側の複数の稜線部がプランジャ貫通孔101の内周面に同時に接触する。
本実施の形態によれば、下記の効果を奏することができる。
(1) プローブ10が有しているプランジャ20の先端側柱体部22が多角柱状の柱体であるため、隣り合う複数の稜線部Qがソケット90側のプランジャ貫通孔101の内面に接触して摺動自在であるため、プランジャ貫通孔101の内面に先端側柱体部22の角部の一つのみが継続的に接触することを回避できる。これによりプランジャ貫通孔101の内周面及び先端側柱体部22の局部摩耗を防止可能である。
(2) プランジャ20の先端側柱体部22が多角柱状の柱体で、かつ稜線部Qを挟んだ隣接する2面の成す角αが全て鈍角であるため、プランジャ貫通孔101内周面に深く摩耗溝が形成されることを防止でき、その結果として、プランジャ貫通孔101の内周面及び先端側柱体部22の局部摩耗を防止可能である。
(3) 図18及び図19の従来例の場合、プランジャ20のフランジ部28に対して偏芯位置に形成される先端側柱体部22の円柱加工が必要であって、この円柱加工は極めて困難であるが、これと比較して多角柱加工は、プランジャの外周に面状カットにより一面を形成し、続いて、プランジャを周方向に回転して次の面状カットにより二面を形成し、これを繰り返し行うだけで偏心構造が形成できるために、遙かに容易であり、プローブ10の小径化(例えば、プローブ外径0.5mm以下)にも充分対応可能である。
実施の形態2
図7乃至図11を用いて本発明に係るケルビン検査用治具の実施の形態2を説明する。ケルビン検査用治具2は、プローブ10が有しているプランジャ20の先端側柱体部22Aが多角柱状の柱体である点は実施の形態1のケルビン検査用治具1と共通するが、先端側柱体部22Aの先端面が多角形の外縁に多数の頂点Pを形成した多点接触部25となっている点が実施の形態1のケルビン検査用治具1とは異なっている。その他の構成は実施の形態1と同様である。
図7乃至図11を用いて本発明に係るケルビン検査用治具の実施の形態2を説明する。ケルビン検査用治具2は、プローブ10が有しているプランジャ20の先端側柱体部22Aが多角柱状の柱体である点は実施の形態1のケルビン検査用治具1と共通するが、先端側柱体部22Aの先端面が多角形の外縁に多数の頂点Pを形成した多点接触部25となっている点が実施の形態1のケルビン検査用治具1とは異なっている。その他の構成は実施の形態1と同様である。
この実施の形態2の場合、図7に示すように被検査電子部品200Aが有する同一の端子201Aがはんだバンプ等の半球状に盛り上がった形状のときに有効である。つまり、プランジャ20の先端側柱体部22Aが先端面に多点接触部25を有するため、測定時においてバンプ等の平坦面ではない端子201Aに対して確実に接触して電気的導通を確保できる。その他の作用効果は実施の形態1と同様である。
実施の形態3
図12は本発明の実施の形態3であって、プローブ10が有するプランジャ20の先端側柱体部22Bがソケット側のプランジャ貫通孔101のセンター位置にある場合の拡大平面図であり、図13はプローブ10に回転方向の力が加わったときの回転接触シミュレーションを示す拡大平面図である。実施の形態1のケルビン検査用治具1の先端側柱体部22は正12角柱状であるのに対し、実施の形態3の場合、先端側柱体部22Bは正15角柱状である点が異なる。その他の構成は実施の形態1と同様である。
図12は本発明の実施の形態3であって、プローブ10が有するプランジャ20の先端側柱体部22Bがソケット側のプランジャ貫通孔101のセンター位置にある場合の拡大平面図であり、図13はプローブ10に回転方向の力が加わったときの回転接触シミュレーションを示す拡大平面図である。実施の形態1のケルビン検査用治具1の先端側柱体部22は正12角柱状であるのに対し、実施の形態3の場合、先端側柱体部22Bは正15角柱状である点が異なる。その他の構成は実施の形態1と同様である。
図13からわかるように、正15角柱状の先端側柱体部22Bでも、隣り合う複数の稜線部Qがソケット側のプランジャ貫通孔101の内面に接触して摺動自在であるため、プランジャ貫通孔101の内面に先端側柱体部22Bの角部の一つのみが継続的に接触することを回避でき、これによりプランジャ貫通孔101の内周面及び先端側柱体部22Bの局部摩耗を防止可能である。つまり、実施の形態1と同様の作用効果を奏することができる。
実施の形態4
図14は本発明の実施の形態4であって、プローブ10が有するプランジャ20の先端側柱体部22Cがソケット側のプランジャ貫通孔101のセンター位置にある場合の拡大平面図であり、図15はプローブ10に回転方向の力が加わったときの回転接触シミュレーションを示す拡大平面図である。実施の形態1のケルビン検査用治具1の先端側柱体部22は正多角柱状であるのに対し、実施の形態4の場合、先端側柱体部22Cは多角柱の一部が曲面部としての円弧面26で置換された柱体であって、先端側柱体部22C同士は、円弧面26で近接対向している。頂点Pは円弧面26の最先端位置にある。また、稜線部Qを境界とする一対の面同士が全て鈍角を成している。但し、全ての面の幅が同一の正多角柱ではないので、一対の面同士が成す角度は同一とは限らない。円弧面26の曲率をプランジャ20のフランジ部28の曲率と同じにして、円弧面26をフランジ部28の外周面の延長面で構成すれば、大径のフランジ部28と同時に加工できるから、円弧面26の加工に困難性はない。その他の構成は実施の形態1と同様である。
図14は本発明の実施の形態4であって、プローブ10が有するプランジャ20の先端側柱体部22Cがソケット側のプランジャ貫通孔101のセンター位置にある場合の拡大平面図であり、図15はプローブ10に回転方向の力が加わったときの回転接触シミュレーションを示す拡大平面図である。実施の形態1のケルビン検査用治具1の先端側柱体部22は正多角柱状であるのに対し、実施の形態4の場合、先端側柱体部22Cは多角柱の一部が曲面部としての円弧面26で置換された柱体であって、先端側柱体部22C同士は、円弧面26で近接対向している。頂点Pは円弧面26の最先端位置にある。また、稜線部Qを境界とする一対の面同士が全て鈍角を成している。但し、全ての面の幅が同一の正多角柱ではないので、一対の面同士が成す角度は同一とは限らない。円弧面26の曲率をプランジャ20のフランジ部28の曲率と同じにして、円弧面26をフランジ部28の外周面の延長面で構成すれば、大径のフランジ部28と同時に加工できるから、円弧面26の加工に困難性はない。その他の構成は実施の形態1と同様である。
図15からわかるように、多角柱の一部が円弧面26で置換された先端側柱体部22Cでも、隣り合う複数の稜線部Qがソケット側のプランジャ貫通孔101の内面に接触して摺動自在であるため、プランジャ貫通孔101の内面に先端側柱体部22Cの角部の一つのみが継続的に接触することを回避でき、これによりプランジャ貫通孔101の内周面及び先端側柱体部22Cの局部摩耗を防止可能である。つまり、実施の形態1と同様の作用効果を奏することができる。
実施の形態5
図16は本発明の実施の形態5であって、プローブ10が有するプランジャ20の先端側柱体部22Dがソケット側のプランジャ貫通孔102のセンター位置にある場合の拡大平面図、図17は実施の形態5におけるプローブ10に回転方向の力が加わったときの回転接触シミュレーションを示す拡大平面図である。実施の形態1のケルビン検査用治具1の先端側柱体部22は正多角柱状であるのに対し、実施の形態5の場合、先端側柱体部22Dは異形多角柱(幅広面を有する)の一部が曲面部としての円弧面26Aで置換された柱体であって、先端側柱体部22D同士は、円弧面26Aで近接対向している。頂点Pは円弧面26Aの最先端位置にある。また、稜線部Qを境界とする一対の面同士が全て鈍角を成している。但し、全ての面の幅が同一の正多角柱ではないので、一対の面同士が成す角度は同一と限らない。ソケット側のプランジャ貫通孔102は先端側柱体部22Dの断面よりも僅かに大きな形状であって、円弧面26Aの曲率と同様の曲率の円弧面103と、円弧面26Aの反対側の平坦面に対面する平坦面104を有する異形孔である。その他の構成は実施の形態4と同様である。
図16は本発明の実施の形態5であって、プローブ10が有するプランジャ20の先端側柱体部22Dがソケット側のプランジャ貫通孔102のセンター位置にある場合の拡大平面図、図17は実施の形態5におけるプローブ10に回転方向の力が加わったときの回転接触シミュレーションを示す拡大平面図である。実施の形態1のケルビン検査用治具1の先端側柱体部22は正多角柱状であるのに対し、実施の形態5の場合、先端側柱体部22Dは異形多角柱(幅広面を有する)の一部が曲面部としての円弧面26Aで置換された柱体であって、先端側柱体部22D同士は、円弧面26Aで近接対向している。頂点Pは円弧面26Aの最先端位置にある。また、稜線部Qを境界とする一対の面同士が全て鈍角を成している。但し、全ての面の幅が同一の正多角柱ではないので、一対の面同士が成す角度は同一と限らない。ソケット側のプランジャ貫通孔102は先端側柱体部22Dの断面よりも僅かに大きな形状であって、円弧面26Aの曲率と同様の曲率の円弧面103と、円弧面26Aの反対側の平坦面に対面する平坦面104を有する異形孔である。その他の構成は実施の形態4と同様である。
図17からわかるように、幅広面を有する異形多角柱の一部が曲面部としての円弧面26Aで置換された異形の柱体でも、隣り合う複数の稜線部Qがソケット側のプランジャ貫通孔102内面に接触して摺動自在であるため、プランジャ貫通孔102の内面に先端側柱体部22Dの角部の一つのみが継続的に接触することを回避でき、これによりプランジャ貫通孔102の内周面及び先端側柱体部22Dの局部摩耗を防止可能である。つまり、実施の形態1と同様の作用効果を奏することができる。
以上、実施の形態を例に本発明を説明したが、実施の形態の各構成要素や各処理プロセスには請求項に記載の範囲で種々の変形が可能であることは当業者に理解されるところである。以下、変形例について触れる。
前述の実施の形態1,2,3はプローブ10が有するプランジャ20の先端側柱体部が正多角柱であったが、稜線部を境界とする隣接2面の成す角(角部)が全て鈍角である正多角柱以外の多角柱又は多角柱の一部を曲面で置換した形状でもよい。また、隣り合う複数の稜線部がプランジャ貫通孔の内面に接触して摺動自在であれば、一部の稜線部(角部)は必ずしも鈍角でなくともよい。なお、4角柱では、角部が全て直角又は一部が鋭角となるためため好ましくなく、多角柱は5角以上である。
また、ソケット側のプランジャ貫通孔は実施の形態5の図16や図17に示したように丸孔に限定されない。プランジャ貫通孔は先端側柱体部の隣り合う複数の稜線部(角部)が前記プランジャ貫通孔の内面に接触して摺動自在であればよい。
プランジャの先端側柱体部以外のプローブ構造は適宜変更可能である。
1,2 ケルビン検査用治具
10 プローブ
11 チューブ
20 プランジャ
22,22A,22B,22C,22D 先端側柱体部
25 多点接触部
26,26A 円弧面
27 内側挿入部
28 フランジ部
30 当接部材
31 コイルスプリング
90 ソケット
101,102 プランジャ貫通孔
130 底部基板
200,200A 被検査電子部品
P 頂点
Q 稜線部
10 プローブ
11 チューブ
20 プランジャ
22,22A,22B,22C,22D 先端側柱体部
25 多点接触部
26,26A 円弧面
27 内側挿入部
28 フランジ部
30 当接部材
31 コイルスプリング
90 ソケット
101,102 プランジャ貫通孔
130 底部基板
200,200A 被検査電子部品
P 頂点
Q 稜線部
Claims (5)
- 導電性チューブとその一端側に設けられた導電性プランジャとを有する、対をなしたプローブと、
前記対をなしたプローブが設けられていて、前記プランジャの先端側柱体部が貫通するプランジャ貫通孔を有する絶縁性ソケットとを備え、
前記対をなしたプローブにおける前記先端側柱体部は、前記チューブの軸方向の中心に対して前記先端側柱体部同士の相互間隔が狭くなる方向に偏心した位置に形成されていて、
前記先端側柱体部は、複数の稜線部を有する多角柱状の柱体部、又は多角柱の一部が曲面部で置換された柱体部であって、隣り合う複数の前記稜線部が前記プランジャ貫通孔の内面に接触して摺動自在であることを特徴とするケルビン検査用治具。 - 導電性チューブとその一端側に設けられた導電性プランジャとを有する、対をなしたプローブと、
前記対をなしたプローブが設けられていて、前記プランジャの先端側柱体部が貫通するプランジャ貫通孔を有する絶縁性ソケットとを備え、
前記対をなしたプローブにおける前記先端側柱体部は、前記チューブの軸方向の中心に対して前記先端側柱体部同士の相互間隔が狭くなる方向に偏心した位置に形成されていて、
前記先端側柱体部は、複数の稜線部を有する多角柱状の柱体部、又は多角柱の一部が曲面部で置換された柱体であって、前記先端側柱体部同士は、前記稜線部のうちの一つ又は前記曲面部で近接対向し、前記稜線部を境界とする一対の面同士が全て鈍角を成していることを特徴とするケルビン検査用治具。 - 前記先端側柱体部が正多角柱で、前記正多角柱の稜線部を境界とする一対の面同士が全て鈍角を成しており、前記プランジャ貫通孔が丸孔である請求項1又は2に記載のケルビン検査用治具。
- 前記曲面部が前記プランジャの基部の外周面と同じ曲率の円弧面であり、前記外周面の延長面で形成されている請求項1又は2に記載のケルビン検査用治具。
- 前記先端側柱体部同士は、前記稜線部のうちの一つ又は前記曲面部で近接対向している請求項1乃至4のいずれか一項に記載のケルビン検査用治具。
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WO2019235207A1 (ja) * | 2018-06-08 | 2019-12-12 | 株式会社エンプラス | Icソケット |
JP2019212586A (ja) * | 2018-06-08 | 2019-12-12 | 株式会社エンプラス | Icソケット |
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