JP4875415B2 - コンタクトプローブ - Google Patents
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Description
また、接触する2枚の導電性金属材料は、バネ性を有するので、コンタクトの動作が増加するにつれて、接触面の凹凸が除去されて滑らかになり、その結果、接触抵抗値が減少し、更に良好な検査が可能となった。
更に、ストッパー(凸部)を設けることによって、接触分しか開かないので、プローブの耐久性が向上するほか、ファインピッチの場合のプローブとして支障なく使用することができる。
このような凸条(ストッパー)10,10´を設けることによって、接触分しか開かないので、プローブの耐久性が向上する。仮にストッパーを設けずに平坦にすると、被測定物で深く押すことによって先端の開きが増大するので、耐久性が減少し、ファインピッチの場合は、隣接するプローブと接触し、リーク発生原因となる。
上記のような凸条10,10´を形成するには、断面半円状のリング状凸条を形成したロールと、該凸条に嵌合し得るリング状凹条を形成したロールの間に、板体7,7´を通過させればよい。
また、ロッド7,7´を製造する治具は、ドリル等による丸孔の形成が容易であることから、断面半円状のロッドとするのが、治具の製作が容易となる。
7……………………金属板体(ロッド)
8……………………金属板
9……………………筒状スリーブ
10,10´…………凸条
11,11´…………傾斜面
12……………………ロッド
Claims (5)
- 弾性を有する導電性金属材料からなる板体を対向させ、該板体の先端部で被測定物を弾性挟持し、前記導電性金属材料の挟持部には、前記挟持された被測定物のストッパーが形成され、前記先端部を除いた前記対向する板体で金属プレートを挟持し、これを筒状スリーブに嵌合固定することを特徴とするコンタクトプローブ。
- 前記対向する板体先端は、先端に向かって拡大した開口が形成されるように傾斜している請求項1に記載のプローブ。
- 前記対向する板体の被測定物挟持面は、平坦に形成されている請求項1又は2に記載のプローブ。
- 前記筒状スリーブ後端には、ソケットに嵌合するロッドが連設され、該ロッドは、外周に対向した平面を有するように形成されている請求項1〜3のいずれかに記載のプローブ。
- 前記被測定物は、角型被測定物である請求項1〜4のいずれかに記載のプローブ。
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